【課題】添加ガスを一方のサブラインに供給する前後で、メインラインから第１及び第２サブラインへ分流されるメインガスの分流比を維持できる流体制御方法を提供すること。
【解決手段】メインライン１７から第１及び第２サブライン１９，２０にメインガスを分流させてチャンバ３１に供給するときに、第２サブライン２０に添加ガスを供給する場合に、第１及び第２サブライン１９，２０からチャンバ３１に供給されるメインガスの流量を第１及び第２サブライン１９，２０の圧力に基づいて制御する流体制御方法において、添加ガスを供給されない第１サブライン１９の圧力を一定にするように、第１サブライン１９の圧力を制御しながら、第２サブライン２０に添加ガスを供給する。 （もっと読む）

供給ライン、ドレンライン、出力ライン、及び、その供給ラインをその出力ラインに選択的に接続する、或いは、その出力ラインをそのドレンラインに接続する個別に切換可能な複数のオン／オフバルブを有するデジタル液圧制御装置の制御方法を説明する。その方法は、その出力ラインにおける流体の圧力及び／又は流量を含む制御量を検出するステップと、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つを選択するステップであり、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つは、その制御量が目標値に近づくようにその制御量を制御するための少なくとも１つのその選択されるバルブを通過する流体の量及び方向を制御するために切り換えられるところのステップとを含む。さらに、その方法は、個々のバルブのキャリブレーション、及び／又は、条件監視を含むテストシーケンスを実行するステップを含む。個々のバルブのキャリブレーションは、それらバルブのうちの２つであり、一方が供給ラインを出力ラインに接続し、他方が出力ラインをドレンラインに接続するところの２つのバルブを交互に開くこと、及び、その制御装置における検出された流量及び圧力の値にしたがって個々のバルブのためのキャリブレーション値を算出して設定することによる。条件監視では、それらバルブのそれぞれが順番に切り換えられ、そのバルブの切り換えに応じて、検出された流量及び圧力の値から、個々のバルブのバルブ開条件が推定される。
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【課題】 コストを減少するとともに、スペースの減少も可能とした流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体制御装置1は、流体制御部2と流体導入部3とを有している。流体導入部3は、３つに分けられており、入口側に配置されてそれぞれ２×Ｎ／２個の開閉弁23からなる第１および第２入口側遮断開放部5,6と、４×Ｍ個の開閉弁23からなり、第１および第２入口側遮断開放部5,6と流体制御部2との間に配置された流体制御部側遮断開放部7とからなる。 （もっと読む）

【課題】単一のセンサを使って流量を制御できるフロー制御装置を提供すること。
【解決手段】制御装置（３０）は、フローを受け入れるための流入口（３２）；フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口（３４）；圧力低減エレメント（３６）；上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の上流の圧力センサ（３８）；下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の下流の圧力センサ（４０）；プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ（４２）；ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ（４４）を含む。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】一次側圧力センサを設けることなく、従来のマスフローコントローラの機械構成を用いてＰＩ性能を発揮するマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路１内を流れる流体Ｆの流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ２と、流量センサ２の上流側に設けた流量制御バルブ３と、流量制御バルブ３の駆動電圧Ｖを検出する電圧検出部４と、少なくとも流量測定値（ＯＵＴ）、流量設定値（ＳＥＴ）及び駆動電圧をパラメータとして所定の演算式から流量制御バルブ３の開度制御信号を算出して出力する制御部５と、を具備する。 （もっと読む）

システムは流体のマスフロー送給を遂行し、また、流体のマスフロー確証を遂行する。システムは室内への流体の流れを制御する入口弁と、室からの流体の流れを制御する出口弁と、室内の流体の圧力を測定する圧力トランスデューサと、室内の流体の温度を測定する温度センサと、コントローラとを含む。コントローラは、第１のモードにある場合には、装置による流体の流量の測定を確証し、第２のモードにある場合には、室から処理設備へ所望量の流体を送給するように、室内の圧力及び温度の変化の測定値を使用して、入口弁及び出口弁の開閉を制御するように形状づけられる。 （もっと読む）

【課題】装置の損傷程度を検知し、損傷部位を特定する装置を提供する。
【解決手段】圧力調整器１０は流体流路に配置されて、流路内を移動可能な絞り要素２２を有している。軸３０が絞り要素２２に取りつけられている。その装置は、絞り要素の上流圧力を測定するための第一圧力センサ３４、絞り要素２２の下流圧力を測定するための第二圧力センサ３５および絞り要素２２の位置を検知するための作動センサ４４とを有している。測定された圧力と作動距離に基づいて流量を定めるためのアルゴリズムを備えたプロセッサ５２が提供される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの交換や弁本体の交換を簡単に行えるようにする。
【解決手段】アクチュエータ２のメモリ２−２に特性テーブルＴ１〜Ｔｎ（取付先の候補として予め定められた弁本体１毎にその弁本体１の属性（例えば、口径）に対応して弁開度θと流量係数Ｃｖとの関係を示すテーブル）を格納する。設定部２−４に取付先の弁本体１を指定する情報（例えば、製品型番）をセットする。アクチュエータ２のＣＰＵ２−１は、設定部２−４にセットされている情報から実際に取り付けられている弁本体１の属性を特定し、この特定した弁本体１の属性に対応するメモリ２−２内の特性テーブルを用いて流量Ｑの算出を行う。この流量制御弁１００において、例えば、アクチュエータ２を交換する場合は、新しいアクチュエータ２’の設定部２−４に、実際に取り付ける弁本体１を指定する情報を入力するだけでよい。 （もっと読む）

【課題】制御系の相互干渉を低減するとともに、容易に制御系の調整を行うことができるプラントワイド多変数連携非干渉制御方法を提供する。
【解決手段】原料から目的物を生産するプロセスの制御を可能とする相互に干渉する要素を有する複数の操作弁と、プロセスの状態を表す変数を検知し、検知した値に応じた信号を操作弁に与える制御部とを備え、制御部からの信号を受けた各操作弁の弁開度操作により、プロセスの状態を制御するプラントの制御方法において、制御部は、操作弁の弁開度と、その弁開度に応じて変化するプロセスの状態を表す変数との関係を、定常状態での方程式で構築し、当該方程式により操作弁ごとに導出した解析解式に基づいて、操作弁の目標の弁開度であるＣＶ値を算出し、検知した値に応じた操作弁の現状の弁開度であるＣＶ値を算出するとともに、２つのＣＶ値の偏差ｅを算出し、偏差ｅに基づいてプロセスの状態をフィードバック制御する。 （もっと読む）

【課題】マスフローコントローラにおけるＰＩ性能を向上させる。
【解決手段】マスフローコントローラにおいて、安定状態におけるＰＩＤ演算に用いる比例係数、積分係数及び微分係数を、一次側圧力、当該一次側圧力の時間変化量、及び流量設定値の少なくとも２つに基づいて変更させる。 （もっと読む）

【課題】質量流量計の測定精度を向上させる。
【解決手段】試料ガスＧが流れる流路に設けられた感熱抵抗体４１ａ、４１ｂを有するセンサ部４１１、４１２からの出力信号を取得し、前記試料ガスＧの流量Ｑ_ｒａｗを算出する流量算出部４２と、前記流路２における一次側圧力Ｐ_ｉｎを測定する圧力測定部４３と、前記圧力測定部４３により得られた一次側圧力Ｐ_ｉｎ、及び前記試料ガスＧの定圧比熱Ｃ_Ｐにより決まるガス係数αを用いて、前記流量算出部４２により得られた測定流量Ｑ_ｒａｗを補正する流量補正部４４と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、流路面積が可変のオリフィス板及び当該オリフィス板を備えた流量制御装置を提供する。
【解決手段】オリフィス板１０１は、両面に形成された電極１１１，１１２及び圧電体１１０からなり、面内方向に伸縮する圧電素子から構成してある。オリフィス板１は、孔部１１３及び孔部１１３の周縁から放射状に径方向外側に向かって延びる複数の切欠部１１４，１１４，…からなる流路部１１５を備える。電極１１１，１１２に電圧を印加して圧電体１０を面内方向に伸長させた場合、流路部１１５の流路面積が減少する。電極１１１，１１２に印加する電圧を調整することにより、流路面積が可変となる。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】チャンバーへ供給されるプロセスガス等の流体の供給量（総量）を補正することができる流量制御装置を提案する。
【解決手段】流路の弁機構３０より下流側に設置され、設置箇所において流れる流体の圧力値を検出すると共に、検出された圧力検出値を表す圧力検出信号を出力する圧力検出手段４０を有し、弁機構制御手段Ｐ５が、予め流体を流路に流して流量設定値と流量検出値とが一致するように弁機構３０を制御したときに、圧力検出手段４０が検出した圧力基準値の時間変化を示した、圧力基準値−時間テーブルがＲＯＭ１２からなる記憶手段に記憶されている。制御手段１０の弁機構補正制御手段Ｐ６は、圧力検出手段４０からの圧力検出信号を受けて、この圧力検出信号が表す圧力検出値と、圧力基準値−時間テーブルにおける圧力検出値の検出時に対応する時間の圧力基準値とに基づいて弁機構３０を補正制御する。 （もっと読む）

本発明は、連結部を通る１つ以上の流入流と１つ以上の流出流との間で、連結部を通るガス流量を制御する方法及び装置に関する。本方法は、流入質量流量測定値の総計を流出質量流量測定値の総計と比較して、バイアス成分を加算して、バイアス質量流量不均衡値を供給することにより得られるバイアス質量流量不均衡値を使用する。流入流及び流出流（１２、１４、１６、１８、２０）のうちの少なくとも１つの流量は、バイアス質量流量不均衡値をゼロに向けて移動させるように調整される。更に、連結部圧力測定値（ＰＣ）が供給され、連結部圧力測定値（ＰＣ）は、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化に応答して、圧力設定点（ＰＳＰ）からの連結部圧力測定値（ＰＣ）の変化を軽減するようにバイアス成分を調整するために使用される。 （もっと読む）

【課題】圧力変動に対する感度を実質的に取り除いた質量流量コントローラを提供する。
【解決手段】質量流量コントローラは、圧力センサと組み合わされた熱質量流量センサを含んでおり、入力圧力における揺らぎに比較的敏感ではない質量流量コントローラを提供する。圧力センサと熱センサとは、それぞれが測定された入口流率とデッド・ボリュームの中の圧力とを示す信号を電子コントローラに提供する。電子コントローラは、測定された圧力を用いて測定された入口流率を補償して出口流率の補償された測度を生じ、これが質量流量コントローラの出口弁を動作させるのに用いられる。 （もっと読む）

【課題】無駄な待ち時間を減らしつつ、流量制御の精度を向上させることができる流体分流供給ユニットを提供すること。
【解決手段】マスフローメータ８の二次側に第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを接続する。第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを流量特性に照合して、動作周期ｔのうちで弁開するパルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を決定する。そして、第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂの動作周期ｔを一定にして、決定したパルスＯＮ時間に従って第１及び第２開閉弁１１Ａ，１１Ｂを開閉させて流量制御を行う。このとき、マスフローメータ８が測定するユニット総流量Ｑを平均したユニット平均流量Ｑｍと、第１及び第２設定流量Ｑａ，Ｑｂを合計した指令総流量Ｑａ＋Ｑｂとの偏差ＱＰをゼロにするように、パルスＯＮ時間ａ’，ｂ’を補正する。 （もっと読む）

ガス流量調節器は、アクチュエータ、調整弁、および二次装置を含む。下流圧力フィードバックは、調整弁の出口の中に置かれるピトー管を介してアクチュエータおよび二次装置に提供される。ピトー管は、アクチュエータに接続され、アクチュエータ制御空洞およびダイヤフラムを出口の中の下流圧力と流体連通させ、アクチュエータ設定点圧力で出口圧力を維持する端部を有する第１の分枝を有する。また、ピトー管は、二次装置に接続され、二次装置の内部を出口の中の下流圧力と流体連通させ、出口圧力が所定の通常の運転圧力範囲から分岐するときに、前記下流圧力の変化に対応する第２の分枝も有する。
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【課題】流量制御が行えなくなった場合、開度制御に自動的に移行するようにして、システムを停止することなく、制御を続行する。
【解決手段】実流量正常異常判断部２５Ｃにおいて実流量計測部２５Ｂによって計測される流体の実流量ＱＲの正常／異常を判断する。実流量正常異常判断部２５Ｃにおいて、異常と判断した場合、制御モード切替部２５Ｄのモード切替スイッチＳＷ１の接続モードを切り替え、実流量計測部２５Ｂからの実流量ＱＲをバルブ制御部２５Ａへ選択出力するモード（流量制御モード）から、弁開度検出器１６からの実開度θｐｖをバルブ制御部２５Ａへ選択出力するモード（開度制御モード）に切り替える。 （もっと読む）