【課題】正確な量の１つまたは複数の流体を提供する。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

【課題】圧力及び質量流量の両方を反映させるとともにタンク容積の変化も考慮した高精度の検定を行う質量流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路6の最上流に設けられた検定用バルブ42と、質量流量制御バルブ機構10と、質量流量制御バルブ機構10より上流側の流路6に設けられたタンク44と、質量流量検出手段8と、圧力検出手段46と、質量流量制御バルブ機構10を制御する手段18と、質量流量検定制御手段48とを有する質量流量制御装置を検定する方法であって、(1) 流路6に設定質量流量の流体を流し、(2) 流体の質量流量が設定質量流量と一致するように質量流量制御バルブ機構10の開度を保持し、(3) 検定用バルブ42を閉じ、(4) タンク44から流出する流体の流れが安定化した後で流体の圧力及び質量流量を測定し、(5) 初期状態において同じ手順で測定しておいた基準の圧力及び質量流量に対する圧力及び質量流量の変化率を求め、(6) 変化率に応じて検定を行う方法。 （もっと読む）

【課題】 圧力変動を吸収することができて流量の制御性が高い流量制御装置を提供する。
【解決手段】 流体を流す流路６に、流量を検出して流量信号を出力する流量検出手段８と、バルブ駆動信号により弁開度を変えることによって流量を制御する流量制御弁機構１０とを設ける。そして、外部から入力される流量設定信号Ｓ０と流量信号Ｓ１とに基づいて流量制御弁機構を制御する制御手段４４を設けてなる流量制御装置において、流路に流体の圧力を検出して圧力検出信号を出力する圧力検出手段４２を設ける。前記制御手段は流量検出手段から得られる流量信号に基づいて、圧力検出信号を用いることなく流量信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第１制御モードがある。そして、圧力検出信号と流量設定信号とに基づいて流量制御を行う第２制御モードとを選択的に切り替える。 （もっと読む）

【課題】油圧シリンダ等の流体作動機器に供給される流体の流量制御システムに、該流量制御システムにおいて発生するハンチング成分を抑制するハンチング抑制手段を設ける。
【解決手段】ハンチング抑制手段として、流体回路自体が振動的であることに対応して流量制御システムに負帰還する圧力振動成分負帰還手段に加えて、さらに流量変化補償手段、応答遅れ補償手段、流量抑制手段、そして容積変化補正手段を設けてハンチングを効果的に抑制するようにした。 （もっと読む）

【課題】従来技術の問題点を解決する。
【解決手段】本発明はプロセスの運転中に制御弁性能を確定するシステムを提供する方法に関するものであり、当該方法は、制御弁の上流および下流側位置間の差圧を測定すると共に式：Q＝C_v×φ(x)×√(ΔP/G)を用いて制御弁の期待流量を確定すること、制御弁を通る実際の流量を測定すること、実際の流量と期待流量との間の値の差を特定するために実際の流量を期待流量と比較すること、期待流量との差が許容し得る値の範囲内にあるかどうかを特定すること、そして制御弁の性能を確定することを具備する。本発明はまた制御弁の性能を確定するためのシステムに関し、当該システムは、制御弁を通過する実際の流量を測定する流量計と、少なくとも制御弁に関する期待流量を所有するデータベースと、制御弁の性能を確定するために実際の流量と期待流量とを比較する比較器とを具備してなる。 （もっと読む）

【課題】上下水道プラントなどの水処理プラントにおいて、通水を制御する流量調節弁を適切に制御することで、水撃やハンチングの発生を効果的に抑制できる制御システムを提供することにある。
【解決手段】上下水道プラントにおいて、配管系６に設けられて、通水の流量を調節する流量調節弁３と、流量調節弁３の開閉を制御し、前記流量調節弁３の開閉圧力差に基づいて前記流量調節弁の開閉速度を制御するコントローラ１００とを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】流量比可変型ガス分流供給装置を小型化低コスト化すると共に、流量比の調整を簡単且つ高精度で出来るようにする。
【解決手段】流量制御装置６から供給された流量Ｑのガスを第１分流管路１及び第２分流管路２へ所定の流量Ｑで分流させ、両分流管路１、２から流量Ｑのガスをチャンバ内へ供給するように、前記第１分流管路１に第１オリフィス３を介設し、また、前記第２分流管路２を複数の分岐管路２ａ〜２ｎを並列状に直結した管路としてオリフィス４ａ〜４ｎ介設すると共に、前記分岐回路の全部又は一部に開閉バルブＶｂ〜Ｖｎを介設し、当該開閉バルブＶｂ〜Ｖｎの開又は閉により第２分流管路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積Ｓ２ｏを調整することにより、前記第１分流回路１の第１オリフィス３と前記第２分流路２の流通可能なオリフィスの合計開口面積との比に等しい流量比でもって、各分流管路１、２へ流量Ｑのガス流を分流させる。 （もっと読む）

多重モード制御アルゴリズムを使用して、流体の流量を制御するためのシステムおよび方法を説明する。一実施形態は、閉ループモードから開ループモードに多重モード制御アルゴリズムを変化させるための方法を含む。本方法は、センサによって生成される少なくとも１つのセンサ指標を受信するステップを含む。多重モード制御アルゴリズムは、少なくとも１つのセンサ指標に基づいて、閾値条件が充足される場合に、閉ループモードから開ループモードに修正される。多重モード制御アルゴリズムは、設定値に従って流体の流量を制御するために、流量制御器によって使用される。 （もっと読む）

【課題】構成の簡易化を図りつつ、しかも外乱に強い流量制御を実現する。
【解決手段】流体制御弁１０は、吸入通路２３と排出通路２４とを開通する流路面積を調整するための弁部材３１を有するとともに、弁部材３１に連結され二次側圧力とパイロット圧との圧力バランスにより作動するダイアフラム部材３８を有する。コントローラ５０は、電空レギュレータ４５によるパイロット圧を調整することで弁部材３１を変位させ流体流量を制御する。また、コントローラ５０は、電空レギュレータ４５によるパイロット圧調整値に基づいて二次側圧力を推定するとともに、一次側圧力と二次側圧力との圧力差に基づいて流体流量を算出する。 （もっと読む）

【課題】通路を流通する流体の流量を高精度で且つ安定して制御することにある。
【解決手段】圧力流体入力ポート１２、圧力流体出力ポート１４、及び圧力センサポート１６を有し、複数の金属板の積層体からなるベース部１８と、前記ベース部１８内の第１通路３０を流通する圧力流体（ガス）の圧力を調圧する圧力制御部２０と、第２通路３４を流通する圧力流体の圧力を検出する圧力センサ７８と、前記圧力制御部２０によって調圧された圧力流体を所定量に絞る第１〜第３オリフィス４８ａ〜４８ｃを含むと共に、前記圧力流体出力ポート１４に向かって圧力流体が導出される第４〜第６通路３８、４０、４２をそれぞれ切り換える第１〜第３オン／オフ弁４６ａ〜４６ｃを有する流路切換部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】温調された恒温の循環液をポンプによって送給する管路を備え、それに外部装置を接続して使用する恒温液循環装置において、外部装置の配管における循環液圧力が圧力上限設定値を超えないように制御し、外部装置の配管を保護する。
【解決手段】温調された恒温の循環液をポンプ１３によって送給する管路１２を備え、外部装置２０に恒温の循環液を送給する恒温液循環装置１０において、その動作を制御するコントローラ１５に、外部装置２０における配管の圧力上昇予測点の圧力検出を行う任意数の圧力センサ１８の出力に基づいて、その圧力が該コントローラに予め設定した圧力上限設定値を超えないように制御する制御機能をもたせる。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 圧力式流量制御装置を分解、組立なしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにして、制御流量の切換を容易にする。
【解決手段】 コントロール弁２のバルブボディ２３の流体入口側と前記入口側取付用ブロック３９とを、並びに前記バルブボディ２３の流体出口側と前記出口側取付用ブロック４３とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁２を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ２３の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔４２ｃと出口側取付用ブロック４３のガスケット型オリフィス挿入孔４３ｂとの間に、圧力式流量制御装置Ａのガスケット型オリフィス３８を着脱自在に挿着する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 配水区域の予測される需要量より、各配水場の複数の配水ポンプによる最適な水配計画を立案する。
【解決手段】 配水区域３３についての需要量予測パターンを基に、各配水場１８，２３，２８にて配水ポンプの組合せ毎に作成されるポンプ運転特性と配水区域３３の目標末端圧力パターンより、この目標末端圧力パターンを満たす配水ポンプの組合せを考慮して各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンを作成する。次に、その各配水場１８，２３，２８の配水流量パターンより、各配水場の現在時間帯の配水流量値を抽出する。抽出された配水流量値を各配水場の配水ポンプの運転を制御する制御装置２２，２７，３２に対し送信し、各配水場１８，２３，２８の配水ポンプ２１，２６，３１の運転を制御する。 （もっと読む）

【課題】流量設定値の変化に対する追随速度を犠牲にすることなく、圧力変動が生じても流量変動を抑制でき、クロストークが生じ得るようなシステムにも採用できるコントローラの提供。
【解決手段】流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部２と、その流量センサ部２の上流側または下流側に設けた流量制御バルブ３と、前記流量測定信号から得られる流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に少なくとも比例演算を施して流量制御バルブ３へのフィードバック制御値を算出する算出部６と、前記フィードバック制御値に基づいて開度制御信号を生成し、流量制御バルブ３に出力する開度制御信号出力部７と、を備えたものにおいて、前記比例演算におけるゲイン値を算出するための関数を、前記流量設定値を所定量以上変化させた時点からの所定期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間とにおいて異ならせた。 （もっと読む）

【課題】 １基の流量制御装置によってより広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図る。
【解決手段】 オリフィス上流側圧力Ｐ₁及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ₂を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ₁（Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ₂^m（Ｐ₁−Ｐ₂）ⁿ（Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。 （もっと読む）

本発明は、流量圧力の緩慢低減を経時的に測定可能な流量に変える磁気式流量制御装置に関する。閾値差圧に到達すると、流量制御装置を通る流路は、相対的に大きな開口部に向け急激に開き、その結果、特に、従来の水量計における流体容量の測定を可能にするために流路を通る高流量にて流体容量が生成される。本発明の装置は、この低流量を統合して、測定可能な流体流量に変えることで、流体を流量計によって最適な誤差範囲で測定することができるようにする。これは、許容標準値内である流量計の圧力降下を維持しながら達成される。したがって、本発明は、パルスと同様の方法で、実質的に高流量と無流量との間で相対的に著しい変化を実現する。
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【課題】 ベースの締付け固定時に発生する応力を吸収緩和することでセンサに歪などの悪影響が及ばないようにして、本来の性能を安定よく確保でき、しかも、複数のセンサ等が設置される場合も低コストで十分な応力緩和機能を発揮できるようにする。
【解決手段】 内部に流体流路を有する本体ブロック１の外面１Ａに、圧力センサ７を設置する中央取付部６ａを有するセンサ取付用ベース（マスフローコントローラ用ベース）６をその長手方向の両端においてボルト１１，１１を介して金属ガスケット１３を押圧変形させるように締付け固定してなるマスフローコントローラの取付構造であって、ベース６の長手方向両端の固定部位６ｂ，６ｂより中央取付部６ａ側寄りの二箇所に、流体導入流路９と干渉しないように切り込み溝１４，１４を設けている。
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【課題】
自然流下水とポンプ圧送水を合流させる配水システムにおいて、基本配水量未満で配水ポンプを停止させずに、配水圧力の急激な変動を抑えることで、ポンプと配管の寿命を保持できる制御装置、制御方法、制御システムを提供する。
【解決手段】
配水量の変動に応じて流量一定制御もしくは圧力一定制御のどちらかに切り替える制御判断部を有し、ポンプが圧力一定制御中に、吐出流量の下降が既定継続時間を継続した場合、流量一定制御に切り替え、このときの吐出圧を記憶するとともに、流量一定制御中に、流量一定制御に切替わった時の圧力よりもポンプ吐出圧が既定継続時間を継続した場合に、圧力制御に切り替えることとする。 （もっと読む）