【課題】流量制御が行えなくなった場合、開度制御に自動的に移行するようにして、システムを停止することなく、制御を続行する。
【解決手段】実流量正常異常判断部２５Ｃにおいて実流量計測部２５Ｂによって計測される流体の実流量ＱＲの正常／異常を判断する。実流量正常異常判断部２５Ｃにおいて、異常と判断した場合、制御モード切替部２５Ｄのモード切替スイッチＳＷ１の接続モードを切り替え、実流量計測部２５Ｂからの実流量ＱＲをバルブ制御部２５Ａへ選択出力するモード（流量制御モード）から、弁開度検出器１６からの実開度θｐｖをバルブ制御部２５Ａへ選択出力するモード（開度制御モード）に切り替える。 （もっと読む）

【課題】応答性に優れ、かつ高精度・広範囲に流量を制御することができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置１０は、圧力調整手段としてのパイロットレギュレータ２０とその下流側に配置されたエアオペレートバルブ４０とを備えている。エアオペレートバルブ４０は、カバー４１、シリンダ４２、ボディ４３からなる。ボディ４３には吸入通路５８と、排出通路５９と、各通路５８，５９を連通する円形溝６７と、吸入通路５８と円形溝６７とを連通する固定オリフィス６４とが形成されている。吸入通路５８の円形溝６７側端部は弁座オリフィス５８ａとなっており、その開口部周囲は弁座６３となっている。ダイアフラム弁体５５は圧縮コイルバネ４８の付勢力により常時弁座６３に着座されており、圧力制御室５１が操作エアにより加圧されると弁座６３から離れる。 （もっと読む）

低い流入圧力において広い流量検証範囲にわたって高い測定精度をもたらす高精度質量流量検証器（ＨＡＭＦＶ）が、流体送達デバイスによる流量測定値を検証するために開示される。ＨＡＭＦＶは、上流バルブを有する複数Ｎの流入口を画定するチャンバ、１つの下流バルブを有する１つの流出口、チャンバ内の流体圧力を測定するように構成される圧力センサ、およびチャンバ内の流体温度を測定するように構成される温度センサを備える。複数Ｎの臨界流ノズルが、対応する上流バルブに隣接して配設される。ＨＡＭＦＶは、所望の流量検証範囲および流体の種類に基づいて、対応する上流バルブを開き、他の全ての上流バルブを閉じることによって、複数Ｎの臨界流ノズルの１つを起動するように構成されるコントローラをさらに備える。複数Ｎの臨界流ノズルの少なくとも２つは、異なる断面積を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の流体を択一的に選択切換して供給する際に、簡易な構成で連続して流体を供給することができる流体の切換制御方法及び切換制御装置を提供する。
【解決手段】複数の流体を切換手段によって択一的に選択切換して流体使用部１２に所定の流量を供給する方法において、複数の流体のうち選択切換されて使用部１２に流通している流体の流量を測定して圧力調整手段９０による制御信号を当該流体の圧力制御弁部２０（２０ｘ，２０ｙ，２０ｚ）に送り所定の流量の制御をなすとともに、複数の流体のうち選択切換されず使用部１２に流通していない他の流体の圧力制御弁部に対しても圧力調整手段９０による制御信号を送り、選択切換時に即時に所定の流量を確保できる待機状態となるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、冶金炉の冷却要素(1)の個々の冷却要素流路(3)を流れる冷却液の温度、流量、または圧力などの物理量のうち少なくとも１つを計測する方法および装置に関する。本装置は、冷却液を分配して冷却要素(1)の冷却要素流路(3)に供給する供給母管(2)と、冷却液を冷却要素(1)の冷却要素流路(3)から回収して収容する回収母管(4)とを備える。本装置は測量ライン(5)を備え、測量ラインはバルブ機構(6)を介して少なくとも１つの冷却要素流路(3)に流体接続され、冷却液は測量ライン(5)を経由して回収母管(4)に案内されるか、または測量ライン(5)を経ずに回収母管(4)に案内される。測量ライン(5)は、測量ライン(5)を流れる冷却液の物理量のうちの少なくとも１つを計測し、また冷却要素流路(3)を計測する計測器(7)を少なくとも１つ含む。
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【課題】燃料ガスタンクに貯蔵された燃料ガスの使用量を増加させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、燃料ガスを貯蔵する燃料ガス貯蔵容器と、燃料ガス貯蔵容器から流出する燃料ガスの圧力を減圧し、燃料ガス貯蔵容器の圧力が一定圧力まで低下すると通過する燃料ガスの流量が減少するレギュレータと、レギュレータの下流に配設され、通過する燃料ガスの流量を任意の流量に設定する流量制御弁と、を備える燃料ガス供給装置であって、燃料ガス貯蔵容器の圧力値を検出する圧力検出手段と、圧力値が第１所定圧力より小さくなったときは、流量制御弁を通過する燃料ガスの流量が、その圧力値が第１所定圧力より大きいときの流量と比べて減少しないように、その流量制御弁を制御する第１の流量制御弁制御手段（Ｓ５）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

提供される方法と装置は、ガス・フロー・コントローラを通過する流量を正確に測定するために、ガス・フロー・コントローラ（ＧＦＣ）の上流の圧力の低下率を用いる。今日、生産使用されている多くのガス・フロー・コントローラを通過するガス流の測定が、特殊で高機能な圧力調整器もしくはその他の特殊な構成要素を必要とすることなしに可能となる。提供される様々な施策等により、測定の最中もしくは後に生じる圧力変化により、テスト対象のガス・フロー・コントローラを通過するガスの一定の流れが乱されないようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置等の稼働中において、流路を流れる流体の流量制御の精度を検定することが可能な流量制御装置を提供する。
【解決手段】流路４の流量を流量設定値になるようにバルブ駆動制御情報を流量制御弁機構７に出力する制御手段８と、流体の流量を検出する流量検出手段５と、流体の圧力を検出する圧力検出手段６とを備えている。制御手段８は、流量制御弁機構７にバルブ駆動制御情報を出力したときに、出力したバルブ駆動制御情報と流路の流量との関係を示す情報を、流路の流体の圧力に関連付けして記憶したバルブ特性情報Ｋを予め備えている。流量の制御中に、流量設定値と圧力検出手段６が検出した圧力値とに関連付けされる基準となるバルブ駆動制御情報を、バルブ特性情報Ｋを参照して求め、この求めたバルブ駆動制御情報と制御手段８が流量制御弁機構７に出力したバルブ駆動制御情報との差異量を流量制御の検定情報としている。 （もっと読む）

【課題】 腐食性ガスを含めて、あらゆるガス種を対象とする流量制御器の流量校正を簡単に行うことが出来、しかも安価で且つ高流量制御精度を備えた圧力制御式流量基準器を提供する。
【解決手段】 校正用ガス供給源からの校正ガスの圧力を調整する圧力制御器と、圧力制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた被校正流量制御器の接続口と、被校正流量制御器の下流側の接続孔に接続した基準圧力式流量制御器と、基準圧力式流量制御器の下流側に設けたボリュームと、ボリュームの下流側に設けた真空ポンプとから圧力制御式流量器準器を校正する。 （もっと読む）

【課題】操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供する。
【解決手段】本発明の流量制御装置１００は、開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、回転アクチュエータ６０の回転軸に軸結合して回転し、流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アーム１０と、流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、回転角検出ユニット７０の信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように回転アクチュエータ６０を駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 非臨界膨張条件にある流体中の同一点の流体圧力と流体温度を同時に測定してオリフィス通過流量を高精度に制御できる圧力式流量制御装置を実現する。
【解決手段】 流量制御用のオリフィス４と、オリフィス４の上流側配管に設けられたコントロールバルブ２２と、オリフィス４とコントロールバルブ２２の間に設けて上流側圧力Ｐ_１を検出する上流側圧力センサ１０と、オリフィス４の下流側配管に設けて下流側圧力Ｐ_２を検出する下流側圧力センサ１２と、上流側圧力Ｐ_１と下流側圧力Ｐ_２によりオリフィス通過流量を流量式Ｑｃ＝ＫＰ_２^ｍ（Ｐ_１−Ｐ_２）^ｎによって演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置であって、上流側圧力センサ１０又は下流側圧力センサ１２は圧力を受けたときに電気抵抗が変化する抵抗素子から構成され、この圧力センサとしての抵抗素子を同時に温度センサとしても用いる。 （もっと読む）

【課題】 制御対象となるガスの種類や性状によらず、そのガス流量を高精度に制御できる質量流量制御装置および実ガスの質量流量制御方法を提供する。
【解決手段】 実ガスが流入する流入管部２と、実ガスの温度を検出する温度センサ７と、実ガスの圧力を検出する圧力センサ８と、実ガスの質量流量を検出する流量センサ５と、実ガスの流量を制御する流量制御弁６と、各センサの出力に基づいて流量制御弁６の開度を調整する制御回路９と、を有する質量流量制御装置１であり、制御回路９は、圧力と温度に依存し、校正ガスの流量に対する実ガスの流量の比率である環境補正係数により補正された流量設定値と流量センサ５からの流量信号を比較するディジタル演算回路１０を有する。 （もっと読む）

呼吸測定システムに用いられる電子空気式アセンブリ１００が、中に規定される複数のチャネル２１２、２１４、２１６、２１８と、空腔２２０を形成する複数の壁２２４とを持つ筐体２１０を含む。筐体は、上部面２１５、下部面２２５及びこの筐体の下部面に規定される複数の開口を含む。カバー２５０は、空腔を囲みこれによりチャンバが形成されるよう、及びチャネルを囲みこれにより複数の導管が形成されるよう、筐体の上部面に固定される。制御要素３２０は、複数の開口における少なくとも１つの開口に動作可能に結合され、測定要素３５２、３５４は、複数の開口における少なくとも１つの開口に動作可能に結合される。このアセンブリは、呼吸測定システムの空気圧を管理するための、単純で堅牢な要素を提供する。
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【課題】柔軟、正確、かつ汚染の無いリアルタイムの連続混合システム、また、適切な混合および処理ツールへの正確な流体流量を確実にするための正確な圧力制御を提供する。
【解決手段】流量制御装置と、流量制御装置１１０と流体連通しているコリオリ質量流量計１１２とを含む流体供給システムである。コリオリ流量計は、ＰＦＡのような高純度プラスティック材料で作製されたフローチューブを有し、供給システムを高純度用途に適したものにする。コントローラ１１４は、ピンチバルブ１２０を含むことが可能な流量制御装置１１０に制御出力信号を供給し、設定点信号および流量計１１２から受け取った測定値信号に応答して、流量制御装置の出力を変化させる。 （もっと読む）

【課題】圧力変化による流体の変化量を低減させることを可能とする流体制御装置を実現する。
【解決手段】流体の微小流量を制御する流体制御装置において、膜により区切られた第１及び第２の微小流路を有するマイクロチップと、前記第１の微小流路を介して流入される流体を前記第２の微小流路に流出させると共に圧力損失を発生させる圧力損失発生部とを備え、前記膜が、前記流体に発生した前記圧力損失に応じて前記第１及び第２の微小流路の断面積をそれぞれ変化させる。 （もっと読む）

【課題】流量調節弁の開度の指令値と真値のずれが、流量によって変化する場合でも、流量調節弁の開度の真値を用いることができる、流量調節弁の開度の制御方法、ならびに、それらを用いた金属の精錬方法を提供する。
【解決手段】流量計６の指示値ｆ、流量調節弁７（弁体定格値がＣｖ（ｍ⁴／Ｎ^1/2ｈｒ））の開度の指令値Ｍｖを読み取り、圧力計５の指示値（上流側Ｐ₀（Ｐａ）、下流側Ｐ₁（Ｐａ））を読み取ったものとともに、下記（１）、（２）及び（３）の３つの式に代入する一連の手順を、流量計の指示値の異なる２つの時点で、踏むことにより、合計６つの式を得、それらを連立させて解くに際し、前記流量計の指示値と真値（Ｆ（ｍ³／ｈｒ））のずれ（δｆ（ｍ³／ｈｒ））をゼロとすることで、前記流量調節弁の開度の指令値と真値（Ｓ）のずれ（δｍ）を求める。Ｆ＝Ｃｖ×（Ｓ／１００）²×√（Ｐ₀―Ｐ₁） （１）Ｆ＝ｆ―δｆ （２）Ｓ＝Ｍｖ―δｍ （３） （もっと読む）

本発明は、流量調節器に一体化された片持ち梁形の監視装置であって、湿度及び降水に起因して監視装置の内部に溜まる液体を排出できるよう、監視装置の最も下方の地点の付近に配置することができる位置選択可能な通気ポートを有している監視装置を提供する。また、監視装置は、種々の設置環境に対応すべく監視装置を流量調節器のアクチュエータ及び弁本体とは別個独立に回転させることができる接続モジュールを備えることができる。接続モジュールは、主たる下流側圧力フィードバック通路のうちの流量調節器の弁本体に位置する部分と接続モジュールに位置する部分とが監視装置を回転させることで整列から外れてしまう場合に、下流側圧力フィードバック配管へとつながる導入ポートをさらに備えることができる。 （もっと読む）

【課題】幅広い流量範囲で安定して精度良く流量を制御でき、コンパクトで、メンテナンスや部品交換が容易で、シール性が良い流体制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】計測器からの電気信号に基づいて流体制御配管部材の開度をＦＢ制御する制御部とを具備し、流体制御配管部材が、一端にチューブに水密された状態で挿着される挿入部と他端に接続部と中央に鍔部を有する第一、第二連結体と、中央に貫通孔が形成され貫通孔の一端に挿入部に挿着されたチューブが嵌着される拡径部が設けられた保持体を具備する。保持体の貫通孔にチューブを貫通させチューブ両端に第一連結体及び第二連結体の挿入部を挿着したものを保持体の拡径部に嵌着し、第二連結体の鍔部と保持体とが流体制御配管部材と計測器との間で圧接された状態で固定され、第二連結体の接続部と計測器の流体流入口または流体流出口が直接接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】プロセス流体の流れを受け取る流体入口および複数の流体出口を含む流体流れ制御システム。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

【課題】プロセス内の構成要素の制御をより大きな中央処理能力に対する要求を減少することを可能とする工業システムを提供する。
【解決手段】流体流量調整装置は、流体流路内で移動可能な絞り要素を有するレギュレータ本体１２と、パイプライン１４，１６、レギュレータ本体１２及び前記絞り要素１８の状態を測定してその状態を示すセンサ信号を出力する複数のセンサ２６，３０，３４と、前記複数のセンサ２６，３０，３４から出力された一又は複数のセンサ信号に応じて複数の外部プロセスコントロール装置を制御するため出力信号を生成するように構成されているプロセッサ２８と、前記複数の外部プロセスコントロール装置と通信し、また前記プロセッサ２８と通信するように構成されている通信ユニット３６とを備える。前記プロセッサ２８は、一又は複数のセンサ信号及び前記装置信号に応じてレギュレータ本体１２を制御することができる。 （もっと読む）