【課題】
自然流下水とポンプ圧送水を合流させる配水システムにおいて、基本配水量未満で配水ポンプを停止させずに、配水圧力の急激な変動を抑えることで、ポンプと配管の寿命を保持できる制御装置、制御方法、制御システムを提供する。
【解決手段】
配水量の変動に応じて流量一定制御もしくは圧力一定制御のどちらかに切り替える制御判断部を有し、ポンプが圧力一定制御中に、吐出流量の下降が既定継続時間を継続した場合、流量一定制御に切り替え、このときの吐出圧を記憶するとともに、流量一定制御中に、流量一定制御に切替わった時の圧力よりもポンプ吐出圧が既定継続時間を継続した場合に、圧力制御に切り替えることとする。 （もっと読む）

可変容量ポンプを制御する燃料計量ユニット。燃料計量ユニットは可変容量ポンプの吐出量を計量するため可変容量ポンプと流体連通している主計量弁と、戻り燃料流を生成するため主計量弁と流体連通している圧力調節器と、再循環で発生する熱を最小に保つため可変容量ポンプの吐出量を設定することで、戻り燃料流が低レベルで実質的に一定に維持されるように、戻り燃料量を調節する、圧力調節器と可変容量ポンプとに流体連通している調節弁とを備える。
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気体フローを調節して前記気体フローに関連する圧力変化率の測定を改善する装置が、内部体積に特長付けられた内部部分と前記気体フローを受け取る入口ポートとを有する測定チャンバ（１０２）を含む。この装置は、圧力センサ（１０４）と信号プロセッサとを含む。信号プロセッサは、前記センサ（１０４）から前記圧力信号を受け取り、サンプリングし、圧力信号の時間導関数を計算する。この装置は、更に、前記入口ポート配置された入口ダンパ（１０８）を含み、よって、前記気体フローは前記入口ポートを通過する前にこの入口ダンパ（１０８）を通過する。この入口ダンパは、気体フローをダンパ伝達関数に従って修正する。チャンバ体積とダンパ伝達関数とは、前記測定チャンバの中の圧力の変動に関連する周波数を前記サンプリング周波数の所定の分数に制限するように選択される。
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【課題】 生産用装置の稼働状況に応じて冷却水を供給することで冷却水の供給動力を省くことができるとともに、容易且つ安価に生産用装置に組み込むことができる流量制御装置を提供する。
【解決手段】 生産用装置の一部をなすドライポンプ１１に供給された冷却水を回収する回収管Ｐ２には、冷却水の温度を検出する冷却水温度検出部２１及び流量連続制御バルブ２３が設けられている。バルブコントローラ２２は、ドライポンプ１１の動作を制御するドライポンプコントローラ２４からドライポンプ１１の動作開始を示す旨の状態信号Ｓ２が出力された場合に、予め設定されたプログラムに従って流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。また、状態信号Ｓ２が出力されてから所定時間経過後は、冷却水温度検出部２１の検出結果に基づいて流量連続制御バルブ２３の開口度を制御する。 （もっと読む）

コンテナ（１４）から製造プロセス（１３）へ液体（１２）を供給するためのシステム（１０）は、外側コンテナ（２２）と、液体（１２）で満たされたフレキシブルな内側コンテナ（２０）と、を備えている。流体流路（４０）は、内側コンテナ（２０）の内部と製造プロセス（１３）との間に、液体の流通状態を形成する。加圧流体源（３０）は、外側コンテナ（２２）の内壁と、内部コンテナ（２０）との間のスペース（３１）と流体流通状態にある。この加圧流体源（３０）は、流体流路（４０）を介して内部コンテナ（２０）から製造プロセス（１３）へ液体を押し出すために、外側コンテナ（２２）の内壁と内側コンテナ（２０）との間のスペース（３１）に、加圧された流体が流れ込むようにする。圧力センサ（４４）は、流体流路（４０）における圧力を検出するために配置される。圧力センサ（４１）に応答する制御部（５０）は、加圧流体源（３０）からの圧力を調整することにより、流体流路（４０）における圧力を制御する。
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【課題】 部品数の増加を抑えるとともに、より一層のコンパクト化が果たされた集積化流体制御装置を可能とする継手部材を提供する。
【解決手段】 センサ付き継手部材10は、隣り合う流体制御機器16,20の下端開口同士を接続するＶ字状通路41aが形成された通路ブロック41と、通路ブロック41の側面に設けられた圧力センサ42とを備えている。通路ブロック41には、Ｖ字状通路41aから分岐して圧力センサ42に通じる分岐通路41bが形成されている。 （もっと読む）

【課題】気泡の発生を防止または抑制して微小流量域における優れた測定精度の流量測定が可能となり、かつ流体や気泡の滞留が生じにくい流量計及びこれを用いた流量制御システムを提供すること。
【解決手段】出口環境が一定圧力の流体流路を流れる液体の微小流量を測定する流量計であって、流体流路１の出口側端部に接続され、流体流路１よりも流路断面積を小さく設定して出口環境を一定圧力とした所定長さの流量測定管路部５と、流体流路１の出口近傍に設置して流量測定管路部５の上流側で液体の圧力を検出する圧力センサ３と、圧力センサ３で検出した流体圧力から流量を算出する圧力検出制御部４とを具備して構成した。 （もっと読む）

【課題】流体の圧力等の条件変動の影響を受けにくい流量制御を実現する。
【解決手段】 流体流制御装置５は、装置に流体を流入させるための注入口１２０と、装置から流体を流出させるための排出口１２５を含んでいる。この装置は、流体を受け取ってその流体を制御された圧力で送出するように構成された圧力調整部１５も含んでいる。更に、圧力調整部により送出された流体を受け取って、その流体を制御された流量で送出するように構成された流量制御弁調節部を更に含んでいる。更に、流体の流量を測定するように構成された流量計２５と、少なくとも流量計により測定された流量に従って少なくとも流量制御弁調節部を制御する制御装置１１５とを含んでいる。本装置は、流体を半導体処理工具に流入させるため及び／又は複数の流体を配合するために使用される。 （もっと読む）

流量を算出するために時間の関数としてガスの圧力低下を測定する流量調節器の内部独立式等温検査体積部は、内部に蓄熱部を有する。蓄熱部は、既知体積部の中を流れるガスが定常流状態のときに蓄熱部の温度をガス温度と等温にするとともに、ガスが膨張するとき、検証過程中の外部からの影響を最小限度に抑制しつつ、ガス温度を一定に維持するための熱の伝導を実施するために周囲からの影響を受けないよう隔離されている。
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制御弁の制御ループが、ニューマチック増幅器からの流出口圧力を制御パラメータとして用いて作動される。制御ループを圧力制御モードで作動させて、システムがカットオフ範囲で動作している場合でもまたは移動停止部に係合している場合でも、制御ループコンポーネントを診断することが可能となる。診断は、ポジショナに通常設けられている圧力センサおよび変位センサを用いて実行されうる。プロセッサが、これらのセンサからデータを受信して論理サブルーチンに従って故障信号を生成するように、プログラミングされうる。論理サブルーチンは、ニューマチック増幅器の流出口ポートを通って流れる制御流体の質量流量を計算し、他の制御パラメータと比較し、制御ループコンポーネントにおける漏洩および閉塞を検出することを含みうる。故障が検出されると、故障時点における制御ループの動作パラメータを特徴付けし、故障の根本原因の故障箇所が特定される。 （もっと読む）

制御装置（３０）は、フローを受け入れるための流入口（３２）；フローをフロー・システムの他の構成要素に導くための流出口（３４）；圧力低減エレメント（３６）；上流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の上流の圧力センサ（３８）；下流の圧力を測定するよう構成された、圧力低減エレメント（３６）の下流の圧力センサ（４０）；プロセッサ、メモリ、及び流体の流量を算定しバルブ制御信号を発生させるためのソフトウエア命令を包含させることが可能なコントローラ（４２）；ならびに、バルブ制御信号に反応して流体フローを調節する、ちょう型バルブ、油圧駆動バルブなどのバルブ（４４）を含む。
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フロー制御装置のインサイチュ検証及び較正のためのシステム及び方法であって、フロー制御装置をフロー検証装置に接続する第１のネットワーク物理層を含む。フロー検証装置のコントローラは、第１のネットワーク物理層を通じてフロー制御装置のそれぞれと通信し、気体に特有の情報と伝達関数とをそれぞれのフロー制御装置から受け取り、それぞれのフロー制御装置のフローを検証するようにプログラムされている。フロー検証装置のコントローラは、更に、第１のネットワーク物理層を通じてフロー制御装置のそれぞれと通信し、必要であれば、フロー制御装置を較正する。フロー制御装置の検証及び較正は、好ましくは、フロー制御装置に接続された第２のネットワーク物理層に接続されたツール・コントローラを介して提供された単一のコマンドに基づいて実行される。
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