【課題】作動流体が貯留されるリザーバに接続される第１流体圧シリンダと、それに伝達管を介して接続される第２流体圧シリンダとを備え、構成においてコンパクトであると共に、混入したエアを効率良く排出させるようにした流体圧伝達装置などを提供する。
【解決手段】作動流体が貯留されるリザーバに接続されると共に、第１ピストンが移動自在に収容された第１流体圧シリンダと、第１流体圧シリンダに流体圧伝達管を介して接続されると共に、第２ピストンが移動自在に収容された第２流体圧シリンダを備え、第１ピストンの移動によって生成される流体圧を流体圧伝達管を介して第２流体圧シリンダに伝達して第２ピストンを移動させる流体圧伝達装置において、第１流体圧シリンダなどにエアが混入したか否か判定し（Ｓ１０）、エアが混入したと判定された場合、混入したエアを除去する（Ｓ１２からＳ１４）。 （もっと読む）

【課題】精密かつ高速に圧力制御を行なうことができる圧力制御装置を提供すること。
【解決手段】実施形態の圧力制御装置は、バルブと、前記バルブに接続されている軸部と、ソレノイド部と、マイクロメータ部と、制御部と、を備えている。前記ソレノイド部は、前記軸部をソレノイド駆動によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整し、前記マイクロメータ部は、前記軸部に着脱自在に取り付けられるとともに、前記軸部に取り付けられた場合には前記軸部をねじ機構によって軸方向に移動させることにより、前記軸部を介して前記バルブのゲート開度を調整する。前記制御部は、前記マイクロメータ部を用いて前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部に取り付け、前記ガス圧力を制御する際には、前記マイクロメータ部を前記軸部から取り外す。 （もっと読む）

【課題】気圧の変動に対して安定した基準圧を伝達することができ、基準圧に対する空調室の室内気圧を陽圧または負圧に保持することができる室内気圧調節システムを提供する。
【解決手段】室内気圧調節システム１０Ａは、給気ファン１５および排気ファン１６と、クリーンルーム１２からの空気の排気量を調節可能なモーターダンパ１７と、屋外における空気の基準圧をダンパ１７に伝達する中空管３４とを備えている。ダンパ１７のコントローラ３３は、クリーンルーム１２の室内気圧と中空管３４から伝達された基準圧との差圧を計測し、計測した差圧に基づいて基準圧に対する室内気圧を陽圧に保持するためにダンパ１７のダンパ開度を調節する。 （もっと読む）

【課題】基本機能を犠牲にすることなく、確実に、調節弁の開度制御の速応性や整定性などの制御性を向上させる。
【解決手段】供給電流Ｉが取り得る電流の範囲を複数の電流範囲に区分し、この電流範囲の区分毎に基本機能回路部７が実施する調節弁２の開度制御の制御形態（単ループ制御、二重ループ制御など）を定めたテーブルＴＢ１をメモリ５に格納しておく。ＣＰＵ４は、供給電流Ｉの実際値を検出し、基本機能回路部７に振り向けることが可能な余剰電流があるか否かを判断する。この場合、４ｍＡを超える供給電流を余剰電流とみなし、その余剰電流を基本機能回路部７に配分するように、電流調整部８へ指令を送る。また、供給電流Ｉの区分に応じ、テーブルＴＢ１に定められている制御形態で開度制御を実施するように、基本機能回路部７に指示する。 （もっと読む）

【課題】デジタル制御を採用したバルブ制御器であっても、従来のアナログ制御を使用している場合に近い応答性を実現することができる圧力制御装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路５上に設けられた流体制御バルブ２と、前記流体の圧力を測定する圧力センサ３と、前記圧力センサ３で測定される圧力の測定値が、予め設定される設定値となるように前記流体制御バルブ２の開度を制御するバルブ制御器４と、を備え、前記バルブ制御器４が、入力される値に対して所定の演算を施して前記流体制御バルブ２の開度の操作量に関連する値を演算する操作量演算部４１と、入力される値に対してデジタル制御により位相のずれを補償した値を出力する位相補償部４２と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】配水バルブ制御装置に故障等の不具合が生じた際にも、需要家に対して良好な配水制御が可能となる配水バルブ制御装置を提供する。
【解決手段】配水バルブ制御装置１００は、制御部１と、制御部１から目標開度Ｓ２及び正常信号Ｓ１が入力される信号入出力部２と、信号入出力部２に接続されたバルブ調節部３とを備える構成とする。そして、配水バルブ制御装置１００に不具合が生じた場合には、信号入出力部２は、バルブ調節部３への正常信号Ｓ１の出力を停止して配水バルブ２０２の開度を該不具合発生時の開度に維持する。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】下流側に流量変動が発生した場合においても、高応答かつ高精度に圧力制御を行うことができる圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】圧力レギュレータ４１は、サーボ弁１１によって、気体供給源１０から供給される気体の等温化圧力容器１３への流入流量を規制し、等温化圧力容器１３内の圧力を一定に保持する。ここで、サーボ弁１１を操作する圧力制御手段（コンピュータ４６）は、圧力計１４で計測した等温化圧力容器１３内の圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流入流量を制御する流入流量制御系を構成すると共に、圧力微分計１５で計測した等温化圧力容器１３内の圧力微分値に基づいて等温化圧力容器１３における流入流量と流出流量との差である流入出流量差を推定するオブザーバを構成し、推定した流入出流量差を流入流量制御系にフィードバックするモデル追従制御系を構成する。 （もっと読む）

【課題】既存の圧力レギュレータに付随する「降圧」および「昇圧」の問題と、保守性の問題を解決した自己調整圧力レギュレータを提供する。
【解決手段】あらかじめ定められた圧力にプロセスにおける流量を維持するためのインテリジェント圧力レギュレータ１０であって、レギュレータの性能を向上させ、自己診断および通信能力を与える電子制御器を含む。電子制御器は、制御されている流体の圧力を示す信号を与える圧力センサと、絞り要素の位置を調整する調整圧力と、制御されている流体の圧力を示す信号を受信し、この信号に応答にしてアクチュエータに調整圧力を与えるＰＩＤ制御器３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】真空容器の内部におけるガスの流れを制御する技術を提供する。
【解決手段】ガス供給部からプロセスガスの供給を受けてプロセス対象にプロセスを実行する真空容器５００におけるプロセスガスの真空圧力と流れとを真空ポンプを使用して制御する真空制御システム１０を提供する。真空制御システム１０は、真空容器５００において相互に相違する位置に配置された複数のガス排出口５６１，５６２の各々と真空ポンプ３００との間に接続されている各真空制御バルブ１００，２００と、プロセス対象に供給されるプロセスガスの真空圧力を計測する圧力計測部６３１と、計測された真空圧力に応じて複数の真空制御バルブ５６１，５６２の各々の開度を操作する制御装置６１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】回転位置検出センサや駆動部が故障しているか否かを判定し、故障が発生している場合には、その故障に対して適切な処置を行うことができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】第１回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転数を求め、且つ、第２回転位置検出センサの検出情報に基づいて回転出力軸の回転角度を求め、それら求めた回転出力軸の回転数及び回転角度から回転出力軸の回転位置を求める回転位置演算手段と、回転位置演算手段にて求めた回転出力軸の回転位置が目標回転位置になるように、駆動部の駆動指令値を調整する自動運転を行う制御部と、制御部による自動運転中に、第１回転位置検出センサの検出情報と第２回転位置検出センサの検出情報と駆動部の駆動指令値とを比較して、第１回転位置検出センサ、第２回転位置検出センサ、及び、駆動部の何れかが故障であることを判定する故障判定手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】構成の簡素化及び小型化を図り、しかも、駆動モータに不要な負荷がかかるのを防止しながら、回転出力軸の過剰な回転を防止することができる圧力制御装置の提供。
【解決手段】回転出力軸Ｊ２の回転を減速して減速回転軸Ｊ３に伝達する基準用減速機構Ｓ２と、基準用減速機構Ｓ２の減速用ギアＦ３又は減速回転軸Ｊ３が過剰回転位置に回転されると動作状態に切り換えられるスイッチ部２９と、そのスイッチ部２９が動作状態に切り換えられるに伴って駆動モータを駆動停止させる駆動モータ停止手段とが備えられ、過剰回転位置が、回転出力軸Ｊ２が適正回転範囲を越えて回転されるに伴ってスイッチ部２９を動作状態に切り換える位置に設定されている。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式を簡単に知ることができるようにする。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂを設ける。単動パイロットリレー３からの増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの圧力値を圧力センサ５によって検出し、演算部１へ送る。演算部１は、ポジショナ動作型式判別機能１Ｂによって、制御出力Ｋの変化に対応する増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化を監視し、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが同方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を正動作型と判別する。制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とが異なる方向の場合、ポジショナ１００の動作型式を逆動作型と判別する。この判別結果は表示部７の画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】自身の現在の動作型式や制御のための各種パラメータの設定変更を自動的に行わせる。
【解決手段】演算部１にポジショナ動作型式判別機能１Ｂおよび使用パラメータ選択機能１Ｃを設ける。記憶部６に正動作パラメータと逆動作パラメータを記憶させておく。ポジショナ動作型式判別機能１Ｂは、制御出力Ｋの変化方向と増幅空気圧信号Ｐｏｕｔの変化方向とからポジショナ１００の動作型式を判別し、その判別結果をポジショナ１００の現在の動作型式として自動設定する。使用パラメータ選択機能１Ｃは、判別されたポジショナ１００の現在の動作型式に応じ、正動作型である場合には正動作パラメータを、逆動作型である場合には逆動作パラメータを記憶部６から使用パラメータとして選択し、選択した使用パラメータを自動設定する。 （もっと読む）

【課題】乾式機械式一次ポンプと少なくとも１つの二次ポンプとからなるポンプユニットに配管によって接続された、排出物を含んでいるチャンバ内の圧力調整の範囲を増大させ、短い反応時間を得る。
【解決手段】乾式機械式一次ポンプ４と少なくとも１つの二次ポンプ５との両方の回転速度を同時に制御する速度調整器６を含む。 （もっと読む）

【課題】ガスの種類、流量等で変化する真空容器内の圧力をシミュレーションし得る装置を提供する。
【解決手段】真空バルブにより真空容器内圧力を所定の処理時間間隔で制御する圧力制御装置９を具備する真空処理装置における真空容器のシミュレーション装置で、開度検出器22で検出されたバルブ開度を入力してバルブ特性曲線に基づきバルブのコンダクタンスを求めるコンダクタンス取得部72と、ここで得られたコンダクタンスに、前回処理時の真空容器内圧力を乗算して排出ガス量を求める排出ガス量計算部73と、ここで得られた排出ガス量に、ガス流量テーブルから処理経過時間に応じて得られた今回処理時における流入ガス量を入力して真空容器内の圧力変化を求める圧力変化計算部75と、ここで得られた圧力変化に前回処理時における真空容器内圧力を加算して今回処理時における真空容器内圧力を求める容器圧力計算部76とを具備したもの。 （もっと読む）

【課題】可変速ポンプ及び並列設置された返送弁を有する配水設備Ａと、配水設備Ｂが接続された配水網において、配水設備Ｂからの押込圧力が大きい場合には配水流量低下に伴い、無送水を引き起こし需要家へ圧力変動を与えて濁水発生の原因となる。
【解決手段】配水池から需要家１４に上水を供給する配水網に複数のポンプと流量調節装置を備える返送弁１５が並列に設けられた配水設備において、可変速ポンプを目標圧力に制御する圧力制御器１０と実配水流量と実配水圧力から他配水設備との押合状態を検出し、ポンプ回転数から全台停止タイミングを判定するポンプ全台停止時期判定器８と、一連の返送弁開閉動作と返送流量から開閉時期を調節する開度調節器を備え、自配水設備のポンプを全台停止時に発生する圧力変動を抑止する。 （もっと読む）

【課題】室圧調整する対象室間の室間連通口が開扉状態にあるとき、室間連通口において一方向き通過気流を形成するとともに、対象室と外部域との間での圧力の高低関係も所要の関係に保持できる室圧制御システムを提供する。
【解決手段】制御手段１０は、室間連通口１２の扉１２ａが閉扉状態にあるとき、各対象室用の設定通常室圧ｐｐａ，ｐｐｂを各対象室１ａ，１ｂの目標室圧ｐｍａ，ｐｍｂにした状態で各対象室１ａ，１ｂについて室圧調整ダンパＶａ，Ｖｂの開度調整による室圧調整制御を実行する閉扉モード制御を実施し、かつ、扉１２ａが開扉状態にあるとき、いずれか一方の対象室１ａに対する室圧調整ダンパＶａの開度を固定するとともに、他方の対象室１ｂの目標室圧ｐｍｂを気流形成用の設定室圧ｐｍｂに変更した状態で、他方の対象室１ｂについて室圧調整制御を実行する開扉モード制御を実施する構成にする。 （もっと読む）

【課題】実調整用関係情報の設定を簡易に且つ正確に行う。
【解決手段】設定圧力を目標設定圧力に調整すべく、圧力設定バネ１４の圧縮量を調整自在な圧力調整ネジ１６を回転させるモータ１７の作動を制御するモータ制御部１８と、目標設定圧力と圧力調整ネジ１６の回転角度との関係における調整用傾きを決定するための調整用傾き決定情報、及び、現在の整圧器２の二次側圧力を示す現圧力情報を入手する情報入手部１９とを備え、モータ制御部１８は、情報入手部１９にて入手した調整用傾き決定情報に基づいて調整用傾きを決定し、その決定した調整用傾き、情報入手部１９にて入手した現圧力情報、並びに、現在の圧力調整ネジ１６の回転角度を示す現回転角度情報に基づいて、設定圧力を目標設定圧力に調整するときの目標設定圧力と圧力調整ネジ１６の回転角度との関係を示す実調整用関係情報を設定する実調整用関係情報設定処理を行う。 （もっと読む）

圧交替式パッド（１）は、圧縮機（２）から供給ライン（３）を介して、供給ライン（７、８）によって空気が供給される膨張可能な隔室（９、１０）を含む。圧力制御装置は圧縮機の出力を制御する。角度位置の上昇に伴って大気への空気流を制限する角度検出弁（４０）および圧力変換器（１７）もまた供給ライン（３）に接続している。検出弁（１９）の角度増加によるあらゆる圧力上昇によって、検出ラインに背圧が発生する。圧力制御器（２）は圧力変換器（１７）を用いてこの圧力変化を検知し、次いで、それに従って隔室（９、１０）への圧縮機出力を調整するように作動する。角度検出弁（４０）はヘッドレスト部とともに動くようにパッドの頭部部分に設置される。
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