【課題】簡単な構造で容易に高圧側と低圧側に作動バネのバネ荷重を大幅に変更可能とする安全弁を提供する。
【解決手段】安全弁１は、二つの口部１３，１５を備えた弁箱１０と、弁箱１０内を一次室１４と二次室１６とに区画するダイヤフラム２と、ダイヤフラム２に結合されたダイヤフラム押さえ３と、一次室１４と二次室１６とを連通する弁孔３４と、弁孔３４を開閉自在とする弁体５と、ダイヤフラム押さえ３に受け止められてダイヤフラム２を付勢して一次室１４内の超過圧力によりダイヤフラム２が応動して弁体５が開弁する圧力の設定を行う作動バネ４とを備える。弁箱１０は、ダイヤフラム２を収容するダイヤフラムケース１１と、作動バネ４を収容し作動バネ４の支点側となる端部を支持するバネケース１２とにより構成され、バネケース１２は、ダイヤフラムケース１１に対して作動バネ４のバネ圧方向に移動可能に螺合接続されている。 （もっと読む）

【課題】安定的に開弁動作を行うことが可能な圧力調整弁を得る。
【解決手段】容器体１４内は、ダイヤフラム２４と弁座部材２６とで構成された隔壁部材２２により、流入側領域２８と流出側領域３０とに区画され、弁座開口３２は板バネ片３４により閉塞されている。流入口１８からの流体流入で流入側領域２８の内圧が高まると、第１コイルスプリング３６の押圧力に抗して隔壁部材２２が上方へと移動し、移動途中で、板バネ片３４が接触部４０に接触するため、さらに隔壁部材２２が上方へと移動すると、板バネ片３４は接触部４０から押圧されて弁座開口３２が開放される。隔壁部材２２の変位の初期段階では、弁座開口３２を開放せず、この変位の途中から弁座開口３２を開放するので、弁座開口３２の開弁動作を安定的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】一次室を構成するバルブ構成部材の強度低下を来すことなく、一次室を減圧する。
【解決手段】一次室１１と、弁口１６を介して一次室１１と連通可能な二次室１２と、弁口１６の開度を変化させるように移動可能な弁体２７とを備え、一次室１１を構成するバルブ構成部材１０が合成樹脂製とされている減圧弁であって、弁体２７が弁口１６を閉塞する閉弁状態において、一次室１１内の圧力がバルブ構成部材１０の耐圧を超えない範囲内で上昇したときには、一次室１１内の流体が弁体２７を貫通する連通路３０を通って二次室１２側へ流出することを許容するが、常には連通路３０を閉止状態に保持するリリーフ弁３５を備えている。 （もっと読む）

【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁体を連動、連結させた弁機構を収容するボディに、減圧室の圧力が所定圧以上となるのに応じて開弁して減圧室の圧力を外部に解放するリリーフ弁が配設されるガス用減圧弁において、ガスの排出位置を任意に設定することを可能としつつ部品点数および組付工数の増大を回避した安価な構成で、リリーフ弁をボディに配設する。
【解決手段】リリーフ弁２１が、摺動孔７５を有してボディ１６に一体に設けられる円筒状の継手部７４と、摺動孔７５に摺動可能に嵌合されるリリーフ弁体７６と、摺動孔７５の外端部に嵌合、固定されるキャップ７７と、リリーフ弁体７６およびキャップ７７間に設けられるコイルばね７８とを備え、リリーフ弁体７６を着座させることを可能とした環状のリリーフ弁座８１が、減圧室に通じるリリーフ弁孔８０を中央部に開口させて前記摺動孔７５の内端に形成される。 （もっと読む）

【課題】背圧室からの油圧の印加態様に応じて変位する可動部材により開弁圧を切り替えるリリーフ弁を備えた可変油圧システムにおいてポンプの吐出脈動による可動部材の振動を抑制する可変油圧システムを提供する。
【解決手段】可変油圧システム１０のリリーフ弁２０には、低圧段制御時に出口通路２５と背圧室３５とを連通させる連通路２１Ｃが設けられている。こうした連通路２１Ｃを設けることにより、リリーフされたオイル及び連通路２１Ｃを流れるオイルを通じてポンプ１３の吐出側の油圧の脈動を背圧室３５に伝播させることが可能となる。そしてこの連通路２１Ｃは、スリーブ２６の頂面２６Ｄに作用する油圧の脈動と背圧面２６Ｃに作用する油圧の脈動とが同位相となる態様で設けられている。 （もっと読む）

【課題】チャタリング現象を防止できる真空弁制御装置を提供する。
【解決手段】液体の液位変動によって真空弁を開閉させる真空弁制御装置２である。
そして、液位変動を検知する検知管内の圧力変動によって弾性変形する検知ダイヤフラム２２が配置される検知空間２３と、検知ダイヤフラム２２の弾性変形に伴うプランジャ２４の移動によって開閉される検知弁２５と、検知弁２５が開閉されて導入される真空圧によって弾性変形する切替ダイヤフラム２６が配置される切替空間２７と、切替ダイヤフラム２６の弾性変形に伴って移動されて真空弁に真空圧又は大気圧を選択的に導入する切替弁２８と、を備えるとともに、検知空間２３と切替空間２７とは連通されないで分離される。 （もっと読む）

【課題】制限システムを調節するための方法および装置が提供される。
【解決手段】一つの例示的な実施形態では、制限システムであって、内部の流体の量に対応する制限を通路内に設けるように構成された、ポートに結合された制限装置と、ポートに連通した圧力調節ユニットと、を有する、制限システムが提供される。圧力調節ユニットは、この圧力調節ユニットと制限装置との間を実質的に一定の平衡圧力に維持することができる。圧力調節ユニットはまた、制限装置に作用する流体圧力に応じて制限装置内の流体の量を制御するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスを容易に行うことができる止水栓装置を提供する。
【解決手段】流入口34bが形成された止水栓装置本体20と、止水栓装置本体20内に螺合された第１回転軸部材46と、第１回転軸部材46に取り付けられ、第１回転軸部材46が回転されると、軸方向に移動され、流入口34bを開閉する弁部材56とを備えた止水弁ユニット2aと、止水栓装置本体20内の止水弁ユニット2aの下流側に配置され、第１回転軸部材46と同軸に延びかつその一方の端に第１回転軸部材46の端部と係合可能な係合端が形成された第２回転軸部材48と、第２回転軸部材48の他方の端に取り付けられ、回転操作することにより第１回転軸部材46を回転させる操作部48cとを備え、止水栓装置本体20に組み込まれた調圧弁ユニット2bとを有し、調圧弁ユニット2bは、弁部材56が流入口34bを閉鎖したままの状態で止水栓装置本体20から取り外し可能である。 （もっと読む）

【課題】弁本体部が開成状態から閉成状態へと復帰する際にチャタリングが発生せず、安定した開閉状態を実現する真空弁制御装置を提供する。
【解決手段】水位検知用コネクタＣ１内の空気圧が大気圧以下の場合には、吸引口Ｍを大気圧側コネクタＣ２に連通させることにより、シリンダ内の上側空間の空気を吸引して真空弁本体を開成状態とし、水位検知用コネクタＣ１内の空気圧が大気圧より大きい場合には、吸引口Ｍを大気圧側コネクタ２に連通させることにより、空間に空気を導入して真空弁本体を閉成状態に復帰させる空気圧回路が形成されて、真空弁本体部が開成状態から閉成状態へと復帰する途中で開成状態と閉成状態との中間状態になった際に、空気圧回路駆動用の通路Ｐ２Ａ，Ｐ２ａから真空弁本体部７の閉成状態復帰用の通路Ｐ２Ｂ，Ｐ２ｃ，Ｐ２ｄへの空気吸入を防止するための隔壁ＰＷが設けられている。 （もっと読む）

【課題】給気の停止過程又は開始過程や排気の停止過程又は開始過程において、室圧を設定値に保つことが可能な室圧制御システムを提供する。
【解決手段】回転数をインバータ制御可能な空調機１０によって空気が供給される各区画からの、定風量の排気ファン２３及び還気ファン２６による排気量を、ＶＡＶ弁２によって制御して、各区画の室圧を設定値に維持する。各区画への給気量を停止する場合では、給気通路１０１に設けられたＶＳＴ弁３を、給気通路１０１における通気量の変化の速度がＶＡＶ弁２による通気量の変化の速度を下回るような所要時間をかけて閉じる。 （もっと読む）

【課題】 一次側通路と、二次側通路と、一次側通路と二次側通路との境界部の流路面積を可変調整する止水機能を有する弁体とを備え、一次側通路が樹脂で形成された減圧弁であって、減圧弁の閉弁時に一次圧が適正範囲を超えて上昇した場合に、一次側通路から直接減圧弁外へ排水することなく前記一次圧を低減できる減圧弁を提供する。
【解決手段】 一次側通路と、二次側通路と、一次側通路と二次側通路との境界部の流路面積を可変調整する止水機能を有する弁体とを備え、一次側通路が樹脂で形成された減圧弁であって、一次側通路と二次側通路とを連通させる第２弁機構を備え、第二弁機構は、前記弁体が一次側通路と二次側通路との境界部を閉じている時に、樹脂製の一次側通路の耐圧値よりも低い一次圧で開弁する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムに過大な負荷を加えて破損させることなく耐久性を向上させて長寿命化を図る。
【解決手段】背圧弁制御装置１は、一次側の被制御ガスを所定圧力に制御するダイアフラム式背圧弁２を用いたもので、設定器３、加算器５、セレクタ６、電空変換器８を具備する。設定器３は、ユーザの入力操作により圧力を設定する。加算器５は、一次側のプロセス制御圧力と予め指定された固定圧力とを加算する。セレクタ６は、設定器３で設定された設定圧力と、加算器５で加算された加算圧力とを比較し、圧力の低い方を選択圧力とする。電空変換器８は、セレクタ６は、選択圧力に応じた空気圧をダイアフラム式背圧弁２のダイアフラムに印加する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低流量域における圧力調整弁の振動を防止することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る圧力調整弁は、ダイヤフラム１５によって仕切られた制御圧室Ｃと圧力調整室Ｐと、ダイヤフラム１５と共に軸方向に変位するバルブ本体１７と、バルブ本体１７が接離するバルブシート２３とを備え、圧力調整室Ｐ内の流体によるダイヤフラム押圧力が制御圧室Ｃ側からのダイヤフラム押圧力よりも大きいときに、ダイヤフラム１５がバルブ本体１７をリフトさせて流体排出通路２２を開く構成の圧力調整弁であって、バルブシート２３に対するバルブ本体１７のリフト量Ｘが150［μm］よりも小さい範囲では、流体排出通路２２を流れる流体流量Ｑ［リットル／時間］とリフト量Ｘ［μm］との関係が、Ｑ÷Ｘ＜0.46となるように、バルブ本体１７とバルブシート２３との形状、及び流体排出通路２２の径寸法が設定されている。 （もっと読む）

【課題】高圧化したガス容器を従来のガス配管やガス機器に適用でき、しかもガスの消費により貯蔵ガス圧力が低下しても、取出ガス流量の減少を防止できるようにする。
【解決手段】ハウジング(２)内に、入口路(６)と減圧弁(７)と出口路(８)とを順に形成する。減圧弁(７)を入口路(６)からの圧力と出口路(８)からの圧力とのバランスで開閉させる。入口路(６)と出口路(８)を接続する第２取出路(18)を、減圧弁(７)と並列に設ける。第２取出路(18)に、出口路(８)からの取出圧力が所定圧力以下になると開弁するシーケンス弁(19)を配置する。 （もっと読む）

【課題】離れて位置する区画内部における圧力を精度高く制御することができるシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】圧力制御システムは、各エンクロージャに対して流入および流出する流体の流量を制御することによって、１つ以上の区画の内部圧力を遠隔的に制御する。各区画は、導管を介して１つのエンクロージャにそれぞれ接続されている。流体の圧力を、各エンクロージャ内において測定する。各区画内における推定圧力を、エンクロージャ内の測定圧力と、導管および区画の既知の特性との関数として計算する。区画毎に、各エンクロージャの入口比例弁および出口比例弁を動作させて、それぞれのエンクロージャに流入する流体の入力流速と、エンクロージャから流出する流体の出力流速とを、圧力設定点と推定圧力との関数として制御することにより、圧力設定点に応じて区画内部の圧力を規制する。 （もっと読む）

【課題】 配管内を流れる流体の圧力制御に対する応答を早くし、流体の流量制御を安定的に行なう。
【解決手段】 流体を供給する配管に設けられた圧力制御弁７を制御する圧力制御系と、圧力制御弁７の下流側に設けられた流量制御弁２４を制御する流量制御系を備え、圧力制御系における圧力制御弁７の下流側に要求される圧力設定値Ｐ２Ｓに対し、圧力制御弁７の下流側の圧力に基づいてフィードバック制御が行なわれる流量制御装置において、圧力設定値Ｐ２Ｓ、供給先の流量要求値ＦＳ、圧力制御弁７の上流側の圧力及び温度から圧力制御弁７の所要弁流量係数を算出し、算出された所要弁流量係数に基づいて圧力制御弁７の補正開度を算出し、この補正開度信号と圧力制御系からの修正量信号を加算した信号により圧力制御弁７の開度を制御する構成とする。 （もっと読む）

【課題】チェインバを大気中に解放したときにパーティクルが流入するのを防止する。
【解決手段】入口ポート２２、出口ポート２４及びパイロット室を具えた本体２０と、ばね４８によって本体２０上部に取付けられ、滑り面２９ａ，２９ｂに対して軸方向に摺動可能に保持されたスプールと、入口ポート２２の気体の圧力を検知する絶対圧センサＳＡ及び入口ポート２２の気体の圧力と大気圧との差を検知する差圧センサＳＢと、パイロット室に圧力調整用ガスを供給する制御バルブＶと、各センサＳＡ，ＳＢの切換信号を送り、各センサＳＡ又はＳＢの出力に基づいて制御バルブＶを駆動する制御回路からなる。成膜時には、絶対圧センサＳＡで検知した入口ポート２２の圧力Ｐ１を用いて入口ポート２２の絶対圧が制御され、チェインバ解放時には、差圧センサＳＢの出力を用いて、チェインバ内部の圧力が大気圧に戻される。 （もっと読む）

低圧アキュムレータを介して共通の圧力保持弁と接続されたインジェクタを備えた公知の燃料噴射装置では、低圧アキュムレータは、電子制御式の比較的高価な圧力調整弁を介して充填されて、圧力保持弁を介して一定の圧力に保持される。
本発明による弁（９）では、並列接続された２つの弁が１つの弁に組み込まれており、ここでは第１の弁が、逃がし弁として形成されており、第２の弁が、低圧アキュムレータに向かって開放する逆止弁として形成されている。本発明によれば、弁（９）に、２つの弁座（３２，４０）と２つの閉鎖体（３５，３９）とが設けられており、ここでは第２の弁座（４０）が、第１の閉鎖体（３５）に配置されている。
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【課題】 閉止時のシール性を確保しながら、シール部の摩耗を防止することができるピストンのシール構造および整圧器を提供する。
【解決手段】 ケーシング２７内のピストン２８とシリンダ２９との間に設けられる隙間２５のシールは、Ｏリング３２によって行われる。Ｏリング３２の摩耗を防ぐために、隙間２５として拡大部２５ａを設ける。整圧器２３が整圧作用を行っている際には、Ｏリング３２は隙間２５の拡大部２５ａに存在し、摩耗を低減することができる。 （もっと読む）