【課題】複数の蓄熱タンクおよび循環ポンプを備えた温調ユニットの並設と、タンク内の液体を循環させる循環路を形成した、より安定した温度制御が可能な温度制御システムを提供する。
【解決手段】第１温度の液体を貯蔵する低温温調ユニット７４、第１温度より高い第２温度の液体を貯蔵する高温温調ユニット７５、低温温調ユニットからの流体を流す低温流路７６、高温温調ユニットからの流体を流す高温流路７７、流体を循環させるバイパス流路７３、合流部ＰＡにて低温流路、高温流路及びバイパス流路の３流路から合流した流体を流す結合流路７１、結合流路から流体を流し、半導体製造装置１００に用いられる部材を冷却又は加熱する調温部７０、合流部の上流側にて前記３流路に取り付けられた可変バルブ７９の弁開度を制御し、前記３流路の流量分配比率を調整する制御装置９０を有する温度制御システム１が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、電池パックの温度制御を精度良く行なうことができる温度制御装置及び温度制御方法を提供する。
【解決手段】温度計測部１３により電池パック１１の温度を計測して制御部２０に常に出力する。制御部２０は、温度計測部１３から入力された電池パック１１の温度と、予め設定された目標温度を比較する。そして、制御部２０は、電池パック１１の温度が目標温度よりも高い場合には、熱電素子１２に電池パック１１を冷却するための電流を供給するように電流供給部１４を制御する。また、電池パック１１の温度が目標温度よりも低い場合には、熱電素子１２に電池パック１１を加熱するための電流を供給するように電流供給部１４を制御する。 （もっと読む）

【課題】電池パックの温度を制御する温度制御装置において、電池パックの温度を制限時間以内に設定温度にする。
【解決手段】温度計測部６により電池パック５の温度を計測して制御部２に出力する。制御部２は、温度計測部６から入力された電池パック５の温度と、予め設定された設定温度との温度差を算出する。また、制御部２は、算出した温度差と電池パック５の熱容量とを乗算することにより、電池パック５を設定温度にするのに必要な熱量を算出する。さらに、制御部２は、電池パック５に必要な熱量を予め設定されている制限時間で除算し、熱電素子４に要求される単位時間あたりの発熱量を算出する。そして、熱電素子４の電流熱量特性を参照して、算出された単位時間あたりの発熱量に対応する電流値の電流を熱電素子４へ供給する。 （もっと読む）

【課題】 装置に要求される最悪環境下で必要な空冷風量を確保し、かつ平均的な環境温度下で過剰な風量とならない空冷を実施可能な空冷通信装置を得る。
【解決手段】 内部を強制空冷する空冷通信装置において、強制空冷に使用する風を装置内部へ送出するＦＡＮ部と、ＦＡＮ部の空気温度を観測し、温度情報として出力する温度検出部と、前記温度情報と予め設定された目標温度とを比較し、比較結果に基づいて前記ＦＡＮ部の風の送出状態を制御するＦＡＮ制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】運転の安定を正確かつ迅速に判断し、ブース内の空気温度を短い時間で且つハンチングを防止しつつ空気用目標設定温度に収束させ、省エネを実現する温調装置の提供。
【解決手段】空気温度Ｐ１の温度制御範囲の異なるレベルが相互にオーバーラップして設定され、レベル間を移動可能なステップサーモ方式で温調手段の温調出力をＰＩＤ制御する温調装置で、制御手段が、流体温度Ｑ１を流体用目標設定温度Ｑ２にＰＩＤ制御する構成で、各レベルに異なる流体用目標設定温度Ｑ２を設定し各レベルに制御の基準点を夫々設定し各基準点に該各基準点に所定温度を加算又は減算した基準点変更用閾温度Ｃを夫々設定し、現在の基準点を制御基準とした制御状態にて、空気温度Ｐ１が現在の基準点での現在のレベルから新たなレベルに移動後、現在の基準点の基準点変更用閾温度Ｃに初めて到達した場合に、現在の基準点を新たなレベルの新たな基準点に変更しＰＩＤ制御する。 （もっと読む）

【課題】電気システムまたはデバイス（例えば、変圧器、サーキットブレーカなど）内の温度変更流体（例えば、油）の温度を効果的調節する。
【解決手段】システム２は、電気デバイス２０内の絶縁流体に熱的に結合するように構成された熱伝達体８と、周囲温度センサ４と、熱伝達体８および周囲温度センサ４に結合された制御システム６とを含み、制御システム６は、熱伝達体８に周囲温度センサ４からの温度指標に基づいて絶縁流体の温度を調節するように指令する。 （もっと読む）

【課題】装置内における柔軟な温度制御を実現可能な温度制御装置を提供する。
【解決手段】複数の温度制御部１００を具備する。複数の温度制御部１００の各々は、冷却ファン１０９と、温度を測定する温度測定部１０２と、測定済みの複数の温度の値を時系列に記憶する温度履歴部１０３と、測定済みの複数の温度の値の中から読み出された第１温度を、再現閾値温度として設定し、第１温度を設定した後に温度計測部１０２で測定される第１測定温度が第１温度に一致するように冷却ファンを制御する制御部１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】装置内の部品を温度変動から保護し、装置の性能を保証する。
【解決手段】温度制御装置は、温度変動からの保護対象となる保護部１１と、前記保護部を収容する筐体内の温度を測定する装置内温度測定部１３と、前記筐体内の温度を調整する温度調整部１と、天候情報を取得する天候情報取得部１４と、前記天候情報を解析し、保護部１１が保証する温度変動を超える温度変動が生じると予測した場合には、天候の変化が生じるよりも早いタイミングで温度調整部１２を制御して、前記筐体内の温度勾配が緩やかになるように制御する制御部１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】低温環境で起動可能な電子装置と、低温環境における安定な動作温度を提供する電子装置起動方法とを提供する。
【解決手段】本電子装置は温度検出ユニットと、複数の電子素子と、記憶ユニットと、制御ユニットとを備える。該複数の電子素子は該温度検出ユニットに接続され、該記憶ユニットは温度監視プロセスとオペレーティングシステムとを格納する。制御ユニットは該温度検出ユニットと該複数の電子素子と該記憶ユニットとに電気的に接続されている。該制御ユニットは該各電子素子の動作温度を該温度検出ユニットを介して取得し、該温度監視プロセスを実行して該複数の電子素子を駆動し、該複数の電子素子の動作温度を上昇させ、該電子装置の使用温度が第１定格温度より高くなると、該オペレーティングシステムを実行する。 （もっと読む）

【課題】鋼板等の加熱対象物が低放射率である等の理由により温度計による所望精度での温度測定が見込めず、かつ所望精度でのモデル化も困難な加熱プロセスにおいても高精度な温度制御を行うことが可能な温度制御方法および温度制御装置の提供。
【解決手段】鋼板１の必要昇温量ΔＴからモデル計算によりヒータ３の出力値を推定するための所要パワー計算モデル１０と、ヒータ３による鋼板１の加熱後の温度を放射温度計４により測定し、この測定結果と温度目標値との偏差からヒータ３の出力値を算出する温度ＦＢ制御手段１１と、モデル計算値をヒータ３へ出力指令するに際し、モデル計算値を温度ＦＢ制御出力値により補正する補正手段とを含む温度制御装置５である。 （もっと読む）

プラズマ処理チャンバ内の温度を、短いコントローラ応答時間及び高い安定性で制御する方法及びシステムが提供される。温度制御は、処理チャンバへのプラズマ電力入力から導かれたフィードフォワード制御信号に少なくとも部分的に基づく。フィードフォワード制御信号は、プラズマ電力に起因する温度の擾乱を補償するものであり、計測温度と所望の温度との間の誤差を打ち消すフィードバック制御信号と組み合せることができる。 （もっと読む）

【課題】集積回路の温度の変化を緩やかにすべく調整すること。
【解決手段】集積回路において回路が配置されていない空きエリアに配置される複数の発熱部と、空きエリアに配置され、集積回路の温度の変化に応じて各発熱部が発熱又は発熱を停止するよう個別に制御する制御部とを備え、制御部は、集積回路の温度を取得する温度取得部と、発熱部が発熱又は発熱を停止すべき閾値となる集積回路の温度の設定を受け付ける制御温度設定受付部と、温度取得部が取得した取得温度と、制御温度設定受付部が受け付けた設定温度とを比較する制御温度比較部と、制御温度比較部が比較した結果に基づいて、各発熱部が発熱又は発熱を停止するよう個別に制御する制御信号を生成する制御信号生成部と、制御信号生成部が生成した制御信号を、各発熱部に個別に出力する制御信号出力部とを有する。 （もっと読む）

【課題】発熱する電子機器を備えた装置の温度を適切に制御することができる温度制御装置を提供すること。
【解決手段】発熱する電子機器を備えた基地局装置１０の温度を制御するＣＰＵ１６と、電子機器が発する熱を電磁波に変換する変換部１２と、変換部１１によって変換された電磁波を透過する透過部１１とを備え、透過部１１は、電磁波の透過度を調節可能であり、ＣＰＵ１６は、基地局装置１０の温度または電子機器の温度に応じて透過部１１の透過度を調整するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】温度上昇の原因を特定することができる監視装置、監視プログラムおよび監視方法を提供すること。
【解決手段】複数の情報処理装置を搭載する１ないし複数のラックに設けられた複数の温度センサが計測する温度に基づいてラックに対する空調の状況を監視する監視装置１０は、複数の温度センサにそれぞれに対応付けて、所定の位置と温度センサの距離に応じた重みを記憶する記憶部１３０と、複数の温度センサと対応付けて記憶部１３０に記憶されている重みを用いて、複数の温度センサによって計測された温度の加重平均を算出する平均温度算出部１４１と、平均温度算出部１４１によって算出された加重平均と閾値とを比較することによって、情報処理装置の排気の回り込みによる温度上昇が発生しているか否かを判定する判定部１４３を備える。 （もっと読む）

【課題】精密温調システムにおいて、非定常外乱が生じた場合でも温調対象空間の空気温度の変動を最小限に抑える。
【解決手段】外乱推定部１１、ノミナルプラント１４を備える外乱オブザーバ部１０を設ける。ノミナルプラント１４は制御対象４を模擬するモデルである。制御対象４のモデル化は、温調対象空間（チャンバ等）やエアダクトにおける空気の熱量、流れを考慮して行う。外乱推定部１１は、このノミナルプラント１４のモデルに応じた伝達関数を用いて、制御対象５の出力ｙとノミナルプラント１４の出力ｙ_Ｎとの偏差（ｙ_Ｎ−ｙ）に基づいて外乱推定値ｄｍを生成・出力する。この外乱推定値ｄｍに対して所定のゲインＫ_ＡＤＤ（≦１；例えば０．７程度）を乗じた値を、操作量ＭＶ（ｓ）に加える。 （もっと読む）

【課題】コンピュータが有する冷却用のファンの制御において、ファン以外の冷却装置を設けなくとも、コンピュータの低負荷時にファンが過剰な回転することを防止する。
【解決手段】計算機の設置されている環境の温度である「環境温度」を受け付ける、前記計算機内が備える第１のデバイスの温度である「第１のデバイス温度」を受け付ける、前記計算機内が備える第２のデバイスの温度である「第２のデバイス温度」を受け付ける、前記受け付けた前記環境温度、前記第１のデバイス温度及び前記第２のデバイス温度と、前記各温度とファン回転数の関係が記入されたファン回転数記述テーブルとを比較することにより、ファンの回転数を決定し、当該決定したファンの回転数で回転をするように、前記ファンに指示する。 （もっと読む）

【課題】熟練作業者がいなくても、目標温度で熱処理すべきウェーハ領域の全領域に渡って、短時間かつ正確に誤差の少ない均熱調整を行うことができ、コンピュータシステムにより自動化も可能な温度制御方法を提供する。
【解決手段】所定位置での検出温度をその目標温度とするよう、少なくとも２つの加熱ゾーンを有する加熱装置を制御する温度制御方法であって、前記加熱ゾーンの数よりも多く、且つ各加熱ゾーンにおいて少なくとも一つの所定位置での温度を検出し、検出された複数の所定位置における検出温度と、前記目標温度との差を、縮小するように前記加熱装置を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ペルティエ素子を用いて熱交換を行う際に、温度制御モジュールから発生する全熱量を下げることなく、半導体モジュールからの熱出力を抑制することによってペルティエ素子両端の温度を減少させ、接合部寿命の大幅な伸長を図る。
【解決手段】温度制御モジュールが少なくとも吸熱面１と放熱面２とによってペルティエ素子を用いた熱電変換素子７を挟持した構造を有し、前記放熱面に供給熱を印加する回路９を配線することによって、放熱面に熱電変換素子からのペルティエ効果及びジュール熱によって発生した熱に加えて前記回路からの供給熱を印加することが可能な構造を有することを特徴とする温度制御モジュールである。 （もっと読む）

【解決手段】温度制御機能付フィールド機器（１０）は、ハウジング（１２）、温度センサ（１６）、コントローラ（１４）、及び端子ブロック（１５）を備える。前記ハウジング（１２）は、前記フィールド機器の内部部品を封入する。前記温度センサ（１６）及び前記コントローラ（１４）は前記ハウジング（１２）内に設けられる。前記温度センサ（１６）は、前記フィールド機器の内部温度を検出し、前記コントローラ（１４）は、前記フィールド機器に供給される熱を調節することにより前記内部温度を制御する。前記端子ブロック（１５）は、前記コントローラ（１４）に接続され、前記内部温度に応じて前記ヒータの熱出力を調節する。
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【課題】反応プロセスにおいて、反応状態の変化など不測な外乱が生じた場合でも良好な温度制御性を確保できる温度制御方法、温度制御装置および温度制御用プログラムを提供する。
【解決手段】反応塔のように反応容器内に温度分布を持ち、反応容器内を流体が入口方向から出口方向に向かって流れる反応プロセスの多点温度制御において、操作量と制御量の関係を表した予測モデルに、流動による温度検出部位間の熱伝達を考慮したモデルを設けて予測制御することで、反応状態の変化など不測な外乱が生じた場合でも良好な温度制御性を得ることができる。 （もっと読む）