【課題】水晶振動子、水晶ユニットとそれらの製造方法、及び水晶発振器と携帯機器を提供する。
【解決手段】水晶音叉基部３５４ａと第１水晶音叉腕３５２ａと第２水晶音叉腕３５３ａを備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子３５１ａで、第１水晶音叉腕の内側側面は第２水晶音叉腕の内側側面に対向し、第１側面と、第２側面３５５ｅ，３５６ｅを介して第１側面に接続された第３側面３５５ａ，３５６ａを備えた溝が、第１、第２水晶音叉腕の各主面に形成され、該溝は、音叉腕長さ方向で第４側面に対向する第５側面を備え、第１側面の他端部は第５側面の一端部に接続され、第３側面の他端部は第４側面の一端部に接続され、該溝の外側端部から水晶音叉腕の外側端部までの該溝の幅方向距離を部分幅で定義すると、該溝の溝幅はその部分幅より大きく、所定の関係にて、該溝の長さ寸法と、音叉型屈曲水晶振動子の全長寸法が決定されている。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性のばらつきを最小限に抑えるとともに、周波数精度の高いＳＡＷデバイスおよびＳＡＷデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイスは、パッケージ１２の底面に設けた接着剤２８とＳＡＷ素子片４０の基端５０側とを接合させて、ＳＡＷ素子片４０をパッケージ１２に片持ち搭載したものである。このとき、ＳＡＷ素子片４０は、接着剤２８が接合されている基端５０側に比べて先端５２を上方に傾けて、パッケージ１２に搭載されている。これによりＳＡＷ素子片４０の先端５２がパッケージ１２の底面に接触するのを防止でき、またＳＡＷ素子片４０に応力が加わるのを防ぐことができるので、周波数温度特性のばらつきを最小限に抑えることができ、周波数精度の高くすることができる。 （もっと読む）

【課題】第１基板の反りを低減して、歩留まりを向上させるとともに、パッケージの機械的強度を向上させることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】充填工程と第２研磨工程との間に、矯正治具によりベース基板用ウエハ４０を厚さ方向両側から挟み込んだ状態で、加熱する矯正工程を有し、矯正治具は、ベース基板用ウエハ４０とガラスフリット３８との熱膨張係数差に基づくベース基板用ウエハ４０の反りの向きと、逆向きに反っている。 （もっと読む）

【課題】高いドライブレベル特性を確保することができる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】溝部５の基端側の幅は、溝部５の先端側の幅よりも狭く形成されており、基部４は、圧電振動片１を実装するマウント電極１２，１３が外表面に形成されたマウント部４ａと、マウント部４ａと一対の振動腕部３ａ，３ｂとの間に位置するようにマウント部４ａと一対の振動腕部３ａ，３ｂとに連設され、一対の励振電極１０，１１とマウント電極１２，１３とを接続する引き出し電極１４ａ，１４ｂが外表面に形成された中間部４ｂと、を有し、マウント部４ａの幅は、中間部４ｂの幅よりも広く形成されており、マウント部４ａの側面と中間部４ｂの側面とは、マウント部４ａと中間部４ｂとの段差部において、長手方向に対して傾斜する傾斜面４ｃを介して連設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い位置精度を保ったまま、基板の所定の位置に保持された貫通電極を備えた電子回路基板および電子回路基板の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】絶縁材料からなる基板２と、該基板２を貫通して配置された導電性材料からなる一つまたは複数の貫通電極３と、該貫通電極３の前記基板２から露出した一端に設けられた凹部４と、を備えた電子回路基板１とする。 （もっと読む）

【課題】生産効率の向上及び材料ロスの低減を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】凹部形成工程では、金属ピン３７が配置される貫通孔２１，２２と、貫通孔２１，２２から第１面４０ａに向けて貫通孔２１，２２に対して漸次拡径する拡径部４１と、をベース基板用ウエハ４０の厚さ方向に沿って形成し、充填工程では、拡径部４１にもガラスフリットを充填する。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリットを凹部内に隙間なく充填して、キャビティ内の気密性の維持及び貫通電極の機械的強度の向上を図ることができるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】貫通電極形成工程は、ベース基板用ウエハ４０の第１面４０ａに貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、貫通孔内に金属ピン３７を挿入する金属ピン配置工程と、貫通孔と金属ピン３７との間にガラスフリット３８を充填する充填工程と、貫通孔内に充填されたガラスフリット３８を焼成して、硬化させる焼成工程と、ベース基板用ウエハ４０の少なくとも第２面４０ｂを研磨して金属ピン３７を第２面４０ｂに露出させる研磨工程とを有し、充填工程に先立って、ベース基板用ウエハ４０及び金属ピン３７の少なくとも一方に親油化処理を施す親油化処理工程を有している。 （もっと読む）

【課題】振動部の熱弾性損失を抑制しつつ、同相モードの振動も抑制し、高精度で信頼性の高い振動片を提供する。
【解決手段】基部１４と、基部１４から延設された連結部１５と、互いに平行に延びる複数の第１軸上に、連結部１５を基端として延設され、第１面と該第１面に対向する第２面と前記第１面および前記第２面を連結する側面とを有し、前記第１面および前記第２面に対して法線方向に屈曲する複数の振動腕１６（１６ａ，１６ｂ，１６ｃ）とを備え、複数の振動腕１６は、駆動時に互いに隣り合う振動腕１６が反対方向に屈曲振動し、屈曲方向が相反する前記振動腕１６のうちのいずれか一方の根元付近の連結部１５に配置される矯正部１８を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃特性が向上した振動片、この振動片を備えた、振動子及び発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、基部１０から延び、可撓性を有する第１保持部１２と、を備え、第１保持部１２は、振動腕１１ａの一方側に沿って振動腕１１ａの先端側に延びる第１腕部１２ａと、第１腕部１２ａから振動腕１１ａの延びる方向に対して交差する方向に沿って振動腕１１ａ，１１ｂの先端越しに延びる第２腕部１２ｂと、第２腕部１２ｂから振動腕１１ｂの他方側に沿って振動腕１１ｂの根元側に延びる第３腕部１２ｃと、を有し、第１腕部１２ａ及び第３腕部１２ｃが、平面視において、振動腕１１ａ，１１ｂが所定の変位量を超えた変位時に、振動腕１１ａ，１１ｂと接触するように、振動腕１１ａ，１１ｂとの間隔Ｗ２が設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】貫通電極の位置精度を向上できるパッケージの製造方法、パッケージ、圧電振動子、発振器を提供する。
【解決手段】成形型６０によりベース基板用ウエハ４０を厚さ方向両側から押圧しつつ、加熱し、ベース基板用ウエハ４０を鋲体３０に溶着させる溶着工程を有し、成形型６０の受型６３に芯材部２８の先端を収容可能な鋲体収容部６７を形成し、鋲体収容部６７の内面を底部側から開口側にかけて広がるテーパ形状に形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動部の熱弾性損失を抑制しつつ、ねじれ方向の力も抑制し、振動特性、およびＱ値の良好な振動片を提供する。
【解決手段】基部１４と、基部１４から延設され、振動面の法線方向に屈曲振動を成す複数の振動腕１６（１６ａ〜１６ｃ）とを有する振動片１０であって、複数の振動腕１６のうちの少なくとも最外側に配置された振動腕１６には、振動腕１６における主振動と異なる特性の振動を抑制する突起部１８が形成されていることを特徴とする。また、振動腕１６は、屈曲方向と交差する方向に沿った第１面と、前記第１面に対向する第２面とを有し、前記第１面に励振電極（第１層励振電極２２および第２層励振電極４０）を備え、第２面に突起部１８を備えるようにすることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】振動腕を振動させる振動変位エネルギーの損失を抑制し、安定した振動特性を維持することが可能な屈曲振動片を提供する。
【解決手段】屈曲振動片である水晶振動片１は、基部２と、基部２から延長して形成された振動腕３と、積層構造体９と、を備え、積層構造体９は、第１電極である励振電極１２と、第２電極である励振電極２２と、励振電極１２および励振電極２２との間に配置された圧電体層６と、を含み、少なくとも振動腕３に形成され、圧電体層６は、基部２の側に位置する端部が傾斜部４を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることができる屈曲振動片、この屈曲振動片を備えた振動子及びこの屈曲振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、振動腕１２，１３は、互いに対向する両方の主面１０ａ，１０ｂに、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成された溝部１８を有し、振動腕１２，１３の基部１１との接続部に、平面視において、振動腕１２，１３から基部１１に近づくに連れて、溝部１８から外形までの間隔が広くなる傾斜部１９が設けられ、溝部１８は、傾斜部１９にかかる底部１８ｃの少なくとも一部に、溝部１８の長手方向に沿った第１側面１８ａとの連結部１８ｄから、底部１８ｃを挟んで第１側面１８ａと対向する第２側面１８ｂとの連結部１８ｅまでの範囲で、励振電極２０，２１が形成されない無電極領域を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させることができる振動片、この振動片を備えた、振動子及び発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、振動腕１２，１３は、機械的な共振周波数ｆが熱緩和周波数ｆ０より大きく、振動腕１２，１３は、互いに対向する主面１０ａ，１０ｂに、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成された溝部１８を有し、溝部１８は、底部１８ｃと、振動腕１２，１３の長手方向に沿って形成され、主面１０ａ，１０ｂと底部１８ｃとに接する第１側面部１８ａと、底部１８ｃを挟んで第１側面部１８ａに対向し、主面１０ａ，１０ｂと底部１８ｃとに接する第２側面部１８ｂと、を有し、溝部１８は、第１側面部１８ａの底部１８ｃ側の一部から、底部１８ｃを含んで第２側面部１８ｂの底部１８ｃ側の一部までの範囲に亘って、励振電極２０，２１が設けられていない無電極領域を有している。 （もっと読む）

【課題】内部応力の集中を回避し、信頼性の高い振動片、振動子、発振器を提供する。
【解決手段】基部１０と、前記基部から延出する腕部２０，３０，４０とを備える振動片であって、前記腕部１０の一方の主面に配置される圧電素子を備え、前記圧電素子は圧電体膜７０ａ、７０ｂ、７０ｃと、前記圧電体膜の一方の側に設けた第１電極膜５０と、前記圧電体膜の他方の側に設けた第２電極膜６０と、を備え、前記圧電素子は、前記第１電極膜を前記主面の側に配置され、前記圧電体膜の前記基部の側の端部が、前記腕部の平面内に有る振動片。 （もっと読む）

【課題】衝撃力などの外乱が負荷されても、振動片の振動腕がパッケージ内部と接触することなく安定して振動し、なお且つ薄型で小型の振動子および発振器を提供する。
【解決手段】基部と、前記基部から延出される腕部と、を備え、前記腕部は前記腕部の１対の主面の法線方向の屈曲振動する振動片１００を、内部に固定し、密封封止する蓋部３００を備える収納容器２００に収納した振動子１０００であって、前記振動片１００の屈曲振動方向が、前記収納容器２００の回路基板への接合面と略平行の方向となっている振動子１０００。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、集積回路素子の電極パッドと、金バンプと半田で形成されたボールとの接合強度の低下のない電子装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明の電子装置は、集積回路素子と、集積回路素子の回路の形成された面の電極パッド上に固着される金バンプと、金バンプを包む半田と、集積回路素子の電極パッドが金バンプと半田を介して接合される素子搭載部材と、素子搭載部材に配置された集積回路素子搭載用パターンとを備え、半田の体積に対する金バンプの体積比率を１２パーセント以上１６パーセント以下とした。 （もっと読む）

【課題】熱弾性効果に起因するＱ値の低下の防止と同時にＣＩ値を下げることを図る。
【解決手段】基部と、前記基部より延伸して形成され、屈曲振動する屈曲振動部を備える振動腕とを備える振動片であって、前記屈曲振動部は、前記振動腕の前記屈曲振動の振動面にほぼ平行な１対の主面を備え、前記主面の両面もしくはどちらか一方の面に前記振動面と交差する方向に形成された溝部を３以上備え、前記振動腕の前記振動面と交差する外平面と、前記外平面に最も近い前記溝部によって形成される１対の外壁と、隣り合う前記溝部により形成される複数の内壁とが形成され、前記複数の内壁の一部もしくは全部を電気的に屈曲振動させる振動片。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板２０と、該圧電基板面に形成した金属膜２１とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜３０によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】小型な振動片であっても静電容量を大きくし、負荷容量の変化に対して発振周波数感度の低い圧電振動片、圧電振動子、および圧電発振器を提供する。
【解決手段】基部と、前記基部より延伸して形成され屈曲振動する振動腕とを備え、圧電材料からなる振動片であって、前記振動腕の表裏面に形成された非駆動電極と、前記振動腕の先端方向に前記非駆動電極から離間して前記振動腕の前記表裏面と側面とに形成された駆動電極と、を備える圧電振動片。 （もっと読む）