【課題】 インピーダンスを大きくせずに横モードによるスプリアスを低減できるようにする。
【解決手段】 弾性表面波素子片１０は、圧電基板１２の中央部にすだれ状電極からなる入力用ＩＤＴ１４と出力用ＩＤＴ１６とが弾性表面波の伝播方向に設けてある。入力用ＩＤＴ１４を構成している櫛型電極１８ａの各電極指２２は、弾性表面波の伝播方向に直交した直線部２２ａ、２２ｂと、直線部２２ａ、２２ｂ間に「く」の字状に屈曲して形成した接続部２２ｃとからなる。各直線部２２ａ、２２ｂは、ほぼ同一の直線上に配置されている。ＩＤＴ１４、１６を形成する他の櫛型電極１８ｂ、２０ａ、２０ｂの電極指２４、２６、２８のそれぞれも同様に形成してある。 （もっと読む）

【課題】複数の周波数を用いる球状表面弾性波素子の電極を、平面型のフォトリソグラフィーを用いて形成した場合でも露光の歪みを最小限に抑えることが可能な球状表面弾性波素子が望まれていた。
【解決手段】圧電結晶球、あるいは圧電材料膜を表面に形成した球上の円環状弾性表面波経路上に第１の電極と第２の電極から交互に突出部を設けた球状表面弾性波(Surface Acoustic Wave)素子において、各第１の電極の突出部と第２の電極の突出部との間に第３の電極を設けたことを特徴とする球状表面弾性波素子を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】 従来構造よりデバイスサイズが小型で、Ｑ値が高く、周波数温度特性に優れたＳＡＷデバイスで、且つ、横高次モードスプリアスレベルを抑制することができるＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】 回転Ｙカット水晶基板のカット角θを結晶Ｚ軸より反時計方向に−６４．０°＜θ＜−４９．３°の範囲に設定した水晶基板１と、該水晶基板１上に形成されたＡｌ又はＡｌを主成分とする合金からなるＩＤＴ２とを備え、弾性表面波の伝搬方向を結晶Ｘ軸に対して直交方向、励振される弾性表面波を水晶基板１の表面付近を伝搬するＳＨ波とし、弾性表面波の波長λで基準化した電極膜厚Ｈ／λを０．０４＜Ｈ／λ＜０．１２に設定した弾性表面波デバイスにおいてＩＤＴ２にダミー電極１１を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波デバイスに関して、耐電力特性を備えた弾性表面波デバイスの挿入損失を向上させることを目的とする。
【解決手段】本発明は、特に、弾性表面波デバイスを構成する複数の弾性表面波共振器２，４のうち少なくとも一つの弾性表面波共振器２の電極構造を他の弾性表面波共振器４を構成する電極構造と積層数を異ならせた構造としたことにより、耐電力特性を備えた弾性表面波デバイスにおける挿入損失を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 通過帯域近傍の減衰量の劣化を抑制し、かつ高周波数における減衰量を増加させることが可能な弾性波フィルタおよび弾性波分波器を提供すること。
【解決手段】 弾性波共振子が直列腕と並列腕に接続したラダー型フィルタ（２１）と、ラダー型フィルタ中の並列腕共振子（Ｐ１、Ｐ２）の少なくとも１つと、グランドとの間に設けられたインダクタ（Ｌ０２）と、インダクタと並列に、ラダー型フィルタ中の並列腕共振子（Ｐ２）と、グランドとの間に設けられた共振回路（ＬＣ１、ＬＣ２）と、を具備し、共振回路の共振周波数をｆｒ、ラダー型フィルタの通過帯域周波数をｆ０としたとき、２ｆ０−１５０ＭＨｚ＜ｆｒ＜２ｆ０＋１５０ＭＨｚおよび３ｆ０−１５０ＭＨｚ＜ｆｒ＜３ｆ０＋１５０ＭＨｚの少なくとも一方であることを特徴とする弾性波フィルタおよび弾性波分波器である。 （もっと読む）

【課題】 小型化が可能で、検査の生産性を高め、且つコスト低減を実現できる弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】 ＳＡＷ共振素子１００は、圧電基板１２０と、圧電基板１２０の表面に形成され、第１櫛歯電極１４０と第２櫛歯電極１５０が交差してなるＩＤＴ電極１３０と、ＩＤＴ電極１３０の表面波が伝播する方向の両側に設けられる第１反射器１６０と第２反射器１７０と、が備えられ、隣り合う第１櫛歯電極１４０の給電導体１４２と第２反射器１７０の給電導体１７２とを連続して第１引出電極１４３を延在形成し、隣り合う第２櫛歯電極１５０の給電導体１５２と第１反射器１６０の給電導体１６３とを連続して第２引出電極１５３を延在形成し、第１引出電極１４３と第２引出電極１５３とが、それぞれプローブ接触領域を含み、第１引出電極１４３と第２引出電極１５３との距離が、標準となるプローブの端子間の距離Ａを有するよう設定されている。 （もっと読む）

【課題】重み付けが施されたＩＤＴを有し、電極指先端のギャップ部分による弾性境界波の回折現象に起因する特性の劣化が生じ難い、弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】第１の媒質１１と、第２の媒質１２とが積層されており、第１，第２の媒質１１，１２間に、ＩＤＴ１３が配置されており、ＩＤＴ１３に重み付けが施されており、かつ該ＩＤＴ１３が互いに間挿し合う複数本の電極指１３ａ，１３ｂを有し、電極指１３ａまたは１３ｂの先端と、当該電極指と異なる電位に接続されるダミー電極指とがギャップＢを隔てて対向配置されており、ギャップＢの電極指長さ方向に沿う寸法ＧＤが、電極指の周期をλとしたときに、０．０５μｍ〜０．２２λの範囲とされており、かつλが０．２３μｍよりも大きくされている、弾性境界波装置１０。 （もっと読む）

【課題】 集積回路とＳＡＷ振動子とを半導体基板上に一体化した場合においても、チップ面積の増大を抑制しつつ、ＳＡＷ振動子に直流電圧がかからないように集積回路とＳＡＷ振動子とを接続する。
【解決手段】 集積回路１２から引き出されたパッド電極１５ａ、１５ｂを半導体チップ１１に形成するとともに、半導体チップ１１上には、パッド電極１５ａ、１５ｂにかかるように配置された薄膜圧電体１３を積層し、薄膜圧電体１３上には、ＩＤＴ電極１４ａ、１４ｂからそれぞれ引き出されたパッド電極１６ａ、１６ｂをそれぞれ形成し、パッド電極１６ａ、１６ｂは、薄膜圧電体１３を介してパッド電極１５ａ、１５ｂとそれぞれ対向するように配置する。 （もっと読む）

【課題】 ＳＡＷチップとカバーとを金属接合により接合した２層構造のＳＡＷデバイスにおいて、励振部を確実に気密に封止しかつ圧電基板表面でカバーの外側に引き出したリード線と金属接合部分間の電気的絶縁性を確保する。
【解決手段】 ＳＡＷデバイス１は、ＩＤＴ電極５及び反射器６からなる励振部、励振部を囲繞する金属接合部９、その外側に配置した取出電極８、及びＩＤＴ電極から金属接合部と交差させて引き出したリード線７を圧電基板４表面に形成したＳＡＷチップ２と、ガラス薄板の下面周辺部に全周に沿って金属接合部１３を形成したカバー３とを備える。ＳＡＷチップの金属接合部は、圧電基板及びリード線の表面に成膜されたＳｉＯ_２等の絶縁層１０とその上に積層した接合金属層１１とから形成される。 （もっと読む）

【課題】低損失で急峻な減衰特性を持ち、小型化された分波器に好適な弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】圧電基板の主面上に、送信用ラダー型弾性表面波素子Ｔ１と受信用ラダー型弾性表面波素子Ｒ２とを備える。送信用ラダー型弾性表面波素子Ｔ１の弾性表面波共振子Ｓ１における電極指のピッチＰＴに対する電極指幅ＬＴの比（ＬＴ／ＰＴ）を、受信用ラダー型弾性表面波素子Ｒ２の弾性表面波共振子Ｓ２における弾性表面波共振子Ｓ２の電極指のピッチＰＲに対する電極指幅ＬＲの比（ＬＲ／ＰＲ）より小さくする。その結果、帯域内で低損失、帯域外で急峻な減衰特性を持ち、小型化された弾性表面波素子Ｄ１を提供することができる。 （もっと読む）

周波数ばらつきの低減と、反共振周波数におけるＱ値の改善の双方を図り得る１ポート型弾性表面波共振子を提供する。 回転ＹカットＬｉＴａＯ_３基板２と、該ＬｉＴａＯ_３基板２上に形成されたインターデジタル電極３と、インターデジタル電極３の表面波伝搬方向両側に設けられた反射器４，５とが形成されている１ポート型弾性表面波共振子であって、インターデジタル電極３の電極指の幅をａ、電極指間ギャップをｂとしたときに、メタライゼーション比ａ／（ａ＋ｂ）が０．５５〜０．８５の範囲とされており、かつインターデジタル電極３が交差幅重み付けを施されている、１ポート型弾性表面波共振子１。
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本発明は、弾性表面波によって動作する受信フィルタ（３）を有するデュプレクサに関し、受信フィルタはアンテナ側に配置されている、共振器（１１，１２，１３）を有している第１の部分フィルタ（３）と該部分フィルタに後置接続されている、ＤＭＳフィルタとして実現されている第２の部分フィルタ（３２）とを有している。
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【課題】低損失で急峻な減衰特性を有する小型のローパスフィルタを提供する。
【解決手段】ローパスフィルタは、第１のフィルタ１と第２のフィルタ２と第３のフィルタ３とを有する。第１のフィルタ１は、２端子対ＳＡＷ共振子１１からなる。第２のフィルタ２は、１端子対ＳＡＷ共振子２１と位相線路２２とからなる。第３のフィルタ３は、１端子対ＳＡＷ共振子３１と位相線路３２とからなる。 （もっと読む）

本発明は、無指向性の弾性波反射器(32)上の圧電膜(41)と、圧電膜の表面上に設けてあり、弾性波鏡の禁制帯内の波を励振すべく用いられる励振及び／又は受容手段(43, 44)とを備える弾性波装置に関する。
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【課題】弾性表面波素子の振動が半導体装置を有する基板上に漏れないようにでき、半導体装置の電気的動作に影響を及ぼすことの無い弾性表面波素子複合装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置２１を有する基板２３と、基板２３に設けられた圧電膜と、圧電膜に配置されたくし歯電極３０を有する弾性表面波素子２０と、を備える弾性表面波素子複合装置１０であって、弾性表面波素子２０と基板２３の間には、バイアス電圧を印加するための金属膜２００が配置されている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子の波が半導体装置に漏れないようにでき、半導体装置の電気的動作に影響を及ぼすことを防ぐ弾性表面波素子複合装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置２１を有する基板２３と、基板２３に設けられた圧電膜と、圧電膜に配置されたくし歯電極３０を有する弾性表面波素子２０と、を備える弾性表面波素子複合装置１０であって、弾性表面波素子２０と基板２３の間には、エアーギャップ部１００が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を得ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１導電層４と、
第１導電層４の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層５と、
圧電体層５に電気的に接続された第２導電層６と、を含み、
第１導電層４は，（００１）に優先配向しているランタン系層状ペロブスカイト化合物からなるバッファ層４１を１層以上含む。 （もっと読む）

【課題】アンテナ分波器において、低挿入損失を実現しつつ通過域低域での減衰量を確保する移相器を不要にする。
【解決手段】低域側ＳＡＷフィルタ２０と高域側ＳＡＷフィルタ３０によって構成するアンテナ分波器において、高域側ＳＡＷフィルタ３０は、ＳＡＷ共振子５１とこれに並列にコイル５２を接続した構成とし、低域側ＳＡＷフィルタの通過域周波数に対しては高インピーダンスを呈し、かつ高域側ＳＡＷフィルタの通過域周波数に対しては低インピーダンスを呈するＳＡＷタンク回路５０と、１つのＩＤＴと、このＩＤＴの両側で出力端を共通接続した一対のＩＤＴおよび反射器で構成され、低域側ＳＡＷフィルタの通過域周波数に対して大きな減衰量を呈し、かつ高域側ＳＡＷフィルタの通過域周波数をフィルタ処理する縦結合共振器型フィルタ６０とによって構成する。 （もっと読む）

【課題】Ｃｕを主成分とするインターデジタル電極を用いた弾性表面波装置であって、耐電力性が著しく改善された弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】圧電基板２と、圧電基板２上に形成されたインターデジタル電極３とを備え、インターデジタル電極３が、ＣｕまたはＣｕを主成分とする合金からなる主電極層３ａと、主電極層３ａと圧電基板２との間に配置されており、Ｔｉを主成分とし、膜厚が１８〜６０ｎｍの範囲にある密着層３ｂとを備える、弾性表面波装置１。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電体膜は，
ペロブスカイト型の圧電体膜であって、
擬立方晶（１００）に優先配向しており、
モノクリニック構造（図のＭで示される領域）を有し、
分極軸方向は、擬立方晶＜１１１＞方向と，擬立方晶＜１００＞方向との間である。 （もっと読む）