【課題】圧電基板の厚さを薄くしてラム波の高周波化を可能にする、ラム波型デバイスを提供する。
【解決手段】ラム波型デバイスであるラム波型共振子１は、水晶基板２と、水晶基板２の一方の面にアルミニウム（Ａｌ）で形成された櫛歯状電極３、反射器４および電極パッド５と、水晶基板２の他方の面に金（Ａｕ）で形成された金属膜６と、金属膜６に接合されたシリコン基板である支持基板７と、支持基板７に形成され水晶基板２および金属膜６を介して櫛歯状電極３、反射器４および電極パッド５と対向して位置するキャビティー部８と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】周波数の経時的変化を抑制できるＳＡＷデバイスの製造方法の提供。
【解決手段】圧電基板１１にすだれ状電極１２を形成するＳＡＷ素子片形成工程Ｓ１と、（１）すだれ状電極１２の電極指１２ａ，１２ｂの質量を変化させる工程、（２）すだれ状電極１２に質量体を付加する工程、（３）電極指１２ａ，１２ｂ間に露出している圧電基板１１をエッチングする工程の少なくとも１つの工程を行い、ＳＡＷ素子片１０の周波数を調整する第１周波数調整工程Ｓ２と、第１周波数調整工程Ｓ２後、ＳＡＷ素子片１０を２００℃以上５００℃以下の雰囲気中で５分以上加熱するアニール工程Ｓ３と、上記各工程を終了後、ＳＡＷ素子片１０に設けられたボンディングパッド１４ａ，１４ｂと、パッケージベース３２に設けられたボンディングパッド３３ａ，３３ｂとを、Ａｕワイヤー５０にて接続するボンディング工程Ｓ６とを有する。 （もっと読む）

圧電共振器装置は５つの層を備える。第１層及び第５層は１つまたは複数の金属電極を含む。第２層及び第４層は圧電材料を含む。第３層は金属層を含む。第１層の第１領域において、第１層金属電極は、１つまたは複数の第１層金属電極の１つと第１層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第１層周期的構造を含む。第５層の第２領域において、第５層金属電極は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つと第５層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第５層周期的構造を含む。第１層周期的構造及び第５層周期的構造は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の無い空間の下に中心が置かれ、１つまたは複数の第１層金属電極の１つが第５層金属電極の無い空間上に中心が置かれるように配列されるか、または１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の下に中心が置かれるように配列される。
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【課題】通過特性においてリップルの小さい弾性表面波共振子及びこれを用いた弾性表面波フィルタを提供することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために、本発明は、圧電基板１１と、この圧電基板の表面に設けた複数個の電極指で構成されるＩＤＴ１３と、前記ＩＤＴの両端部に近接して設けた反射器１４とを備え、前記ＩＤＴは両端部において電極指ピッチを徐々に小さくしたグラデーション領域１２５０を有する構成からなる。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板やそのカット方位は従来の一般的な圧電基板を使用した状態で、低損失で広帯域な特性を有する弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】 圧電基板２上に、フィンガー３およびバスバー４を有しており、バスバー４がフィンガー３側に膜厚漸増領域５を有している、ＩＤＴ（Inter Digital Transducer）電極６および反射器電極７の少なくとも一方を有する弾性表面波素子１である。膜厚漸増領域５を有することによりバスバー４に質量分布ができ、バスバー４によって共振子内に弾性表面波を閉じ込めることができるとともに共振子内に閉じ込める弾性表面波の振幅強度をフィンガー３からバスバー４の方向に徐々に減衰させることができ、これによって弾性表面波素子が共振する周波数にも広がりができるため、低損失でかつ広帯域な弾性表面波素子１を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】フィルタ部を有する弾性境界波装置において、高次モードに起因するスプリアスを抑圧する。
【解決手段】弾性境界波装置１は、弾性境界波フィルタ部１０と、弾性境界波共振子２０とを備えている。弾性境界波フィルタ部１０は、入力端子１１と出力端子１２ａ、１２ｂとを有する。弾性境界波共振子２０は、弾性境界波フィルタ部１０に接続されている。弾性境界波共振子２０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数と、弾性境界波フィルタ部１０において発生する弾性境界波の高次モードの応答の周波数とが等しくされている。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波素子の製造工程中における反りや基板の剥がれを抑制することができる弾性表面波素子用基板及び弾性表面波素子の製造方法を提供する。
【解決手段】（ａ）圧電基板１２と、（ｂ）一方の主面１４ａが圧電基板１２の一方の主面１２ｂと貼り合わせられ、圧電基板１２の線膨張係数よりも小さい線膨張係数を有する支持基板１４とを備える。支持基板１４の一方の主面１４ａは、圧電基板１２の一方の主面１２ｂよりも大きい。支持基板１４と圧電基板１２との貼り合わせ面に垂直な方向から透視すると、支持基板１４の内側に圧電基板１２が配置され、支持基板１４は、圧電基板１２の外側を取り囲むはみ出し部分１３を有する。 （もっと読む）

本発明は、自然一方向性を有する音響表面波用変換器に関しており、
ここではインターデジタル電極構造体が圧電結晶基板に配置されており、この電極構造体は、集電電極および櫛歯からなるインターデジタル変換器によって形成されており、
これらの櫛歯のうちの少なくとも２つの櫛歯は、変換器セルを構成し、これらの変換器セルは、電位の波を励起する少なくとも１つの励起中心部と、電位の波反射する反射中心部とを有している。本発明の課題は、自然一方向性を有する変換器に対し、帯域の広い変換器の場合であっても挿入減衰が小さい材料、材料断面および伝搬方向を見つけることであり、またこの変換器の一方向特性にもかかわらず周波数位置が、基板上で電極構造体を配向する際の誤差によって影響を受けないかまたはわずかにしか影響を受けないようにすることである。本発明の重要な１特徴的構成によれば、上記の櫛歯は、向きＲに対して垂直に配向されており、ここで向きＲは、基板結晶の１回回転軸または３回回転軸に対して平行であり、またＲに対して微分ｄｖ/ｄθ＝０が成り立ち、ただしｖは表面波の位相速度であり、θは櫛歯方向に対する垂直線と、上記の向きＲとの角度偏差である。本発明の別の１特徴的構成によれば、上記の電極材料およびその層厚を選択して、各変換器セルにおける励起中心部と反射中心部との間の位相シフトΦ_sが、式sin²(Φ_s)=(ω_o2-ω_s2)(ω_s2-ω_s1)/(ω_s2-ω_s1)(ω_o1+ω_o2-ω_s1-ω_s2)により、41.4°と48.6°との間か、-48.6°と-41.4°との間か、131.4°と138.6°との間か、または-138.6°と-131.4°との間にあるようにする。本発明による変換器は、機能の仕方が音響表面に基づくものであれば、例えばセンサ、識別素子（IDタグ）、共振器、フィルタ、遅延線路および発振器などに適用可能である。 （もっと読む）

【課題】圧電基板上に異なる共振周波数のＳＡＷ素子を２個備え、ＳＡＷ素子の入力端または出力端の少なくとも一方が共通端子により接続されて共通化されたＳＡＷデバイスにおいて、寄生容量および寄生インダクタンスが大きく異なることによる発生する、周波数特性の歪み、スプリアス周波数などの異常発振を抑制することを目的とする。
【解決手段】高周波側のＳＡＷ素子６を第１幅員の第１電極指と、第１電極指から第１間隙をおいて配置された第２幅員の第２電極指と、第２電極指から第２間隙をおいて配置された第３幅員の第３電極指と、第１電極指と第３電極指との隣にそれぞれ配置された第３間隙の半分のスペースとを備えた単位区間を複数区間繰返して構成され、第１電極指と第３電極指とを同相とし、第２電極指と第１電極指および第３電極指とを逆相とし、第１幅員と第３幅員とを同値とし、第１間隙と第２間隙とを同値とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】良好なフィルター特性を実現しながらも従来より小型化することが可能なＳＡＷフィルターを提供すること。
【解決手段】ＳＡＷフィルター１は、縦結合多重モードＳＡＷフィルター２０と、縦結合多重モードＳＡＷフィルター２０に直列に接続された少なくとも１つの反射反転型電極を用いたＳＡＷ共振子１０と、を含む。ＳＡＷ共振子１０は、圧電基板６上に配置されたＩＤＴ１５と、その両側に近接配置された反射器１３、１４と、を有し、反共振周波数が縦結合多重モードＳＡＷフィルター２０の通過帯域よりも高域側の周波数に設定されている。ＩＤＴ１５は、櫛状の電極１５ａと、これと対向して近接配置された櫛状の電極１５ｂと、を含み、電極１５ａの１つの電極指１５１及び電極指１５１を挟む電極１５ｂの２つの電極指１５２、１５３の３つの電極指からなる電極指列が１つ又は一定の間隙をおいて複数個規則的に配置されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型で経年変化による周波数変動の少ない弾性波デバイス及びこの弾性波デバイスを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】圧電材料からなる弾性波導波路１０に設けられたエネルギー閉じ込めモード部２は、第１の伝播モード部４から伝播してきたＳＡＷなどの弾性波である第１の弾性波に含まれる特定の周波数成分によってエネルギー閉じ込めモードの弾性波である第２の弾性波を励振し、このエネルギー閉じ込めモード部２の周囲の領域に設けられた遮断部３は、第２の弾性波の周波数よりも高い周波数の遮断周波数を持つ。第２の伝播モード部は当該遮断部を介してリークした前記第２の弾性波を伝播モードの弾性波である第３の弾性波にモード変換して伝播させる。 （もっと読む）

【課題】平衡度の悪化、通過特性の劣化を抑制しつつ、小型化を図ることが可能なバランスフィルタを提供すること。
【解決手段】本発明は、１つの不平衡端子２２と２つの平衡端子１８ａ、１８ｂとの間にそれぞれ接続された第１の弾性波フィルタ１４ａ及び第２の弾性波フィルタ１４ｂと、第１及び第２の弾性波フィルタの両方に接続された接地端子２６と、を具備し、接地端子は、第１及び第２の弾性波フィルタの両方に接続された第１配線部２４と、第１及び第２の弾性波フィルタの間であって、第１及び第２の弾性波フィルタが配置された方向に直交する方向に延在する領域で第１配線部に接続する第２配線部３２と、を介して第１及び第２の弾性波フィルタに接続されており、第１の弾性波フィルタから第２配線部に接続するまでの第１配線部の距離と、第２の弾性波フィルタから第２配線部に接続するまでの第１配線部の距離は等しいバランスフィルタである。 （もっと読む）

【課題】膜厚変化に伴う周波数温度特性の変化を利用して従来よりも良好な周波数温度特
性を得ることのできる振動片を提供する。
【解決手段】周波数温度依存性を有する振動体１１の表面に、ヤング率または熱膨張係数
の温度特性曲線上に変曲点または極値を有する温度特性補正部２４ａ，２４ｂを設け、温
度特性補正部２４ａ，２４ｂにおけるヤング率が極値となる温度が、振動体１１の動作温
度範囲内にあることを特徴とする。ここで、前記極値となる温度は、ネール温度とするこ
とが望ましい。また、温度特性補正部２４ａ，２４ｂは、ＣｒまたはＣｒ合金により構成
すると良い。さらに、振動体１１に設けた温度特性補正部２４ａ，２４ｂは、それらのヤ
ング率が極値となる温度を互いに異ならせると良い。 （もっと読む）

【課題】完成品に近い状態で電気機械結合係数ｋ²や周波数特性などを調整可能とし、デバイスの製造歩留まりを向上させることができ、より低コストの弾性波デバイスを実現することができる。
【解決手段】圧電基板１と、圧電基板１上に配された櫛形電極２と、櫛形電極２間に配された第１の誘電体膜４と、櫛形電極２と第１の誘電体膜４を覆う第２の誘電体膜５とを備える弾性波デバイスであって、第１の誘電体膜４上に調整膜６を備え、調整膜６は第１の誘電体膜４及び第２の誘電体膜５に対して比重が大きい材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の平面上に電極を形成した平面型の弾性表面波素子において、従来よりも弾性表面波のエネルギを有効に活用できるようにする。
【解決手段】基板２の平面上に、弾性表面波の発生もしくは受信が可能なＩＤＴ３と、反射器４とが形成された弾性表面波素子において、ＩＤＴ３の構成を、曲線による閉じられた周形状の複数の電極１１が同心状に所定間隔で配置された構成とする。また、反射器４の構成を、第１電極３と同じ周形状の複数の電極１２がＩＤＴ３に対して同心状に所定間隔で配置された構成とする。これによれば、ＩＤＴ３、反射器４を閉じられた周形状として、端部が存在しない形状としているので、回折現象の発生を抑制でき、従来よりも弾性表面波のエネルギを有効に活用できる。 （もっと読む）

【課題】圧電基板上に異なる共振周波数のＳＡＷ素子を２個備え、ＳＡＷ素子の入力端または出力端の少なくとも一方が共通端子により接続されて共通化されたことにより、発振動作点における各々の寄生インピーダンスが大きく異なることにより生じ各々の周波数可変特性の差異を抑制する。
【解決手段】出力端３の長さＬ１と、出力端４の長さＬ２とを異ならせることで、ＳＡＷ素子１，２に接続されるインダクタンス値を調整できるので、ＳＡＷ共振子１０の負荷容量と高周波側共振周波数との相関、およびＳＡＷ共振子１０の負荷容量と低周波側共振周波数のとの相関を示すそれぞれの周波数可変特性を同じ傾きにすることができる。これにより、負荷容量を容量ΔＣ変更することで、高周波側共振周波数と低周波側共振周波数とを共に周波数ΔＦ調整することができ、周波数精度の良いマルチチャンネルのＳＡＷ共振子１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも微少な単位での共振周波数の設計が可能な構造とする。また、共振周波数を微小な単位で簡便に調整できるようにする。
【解決手段】圧電材料上に櫛歯電極３および反射器４が形成された弾性表面波素子において、反射器５、６に対して、複数本の電極５ａ、６ａ同士が短絡されていないオープンの領域７、８と、複数本の電極５ａ、６ａ同士が短絡されているショートの領域９、１０とを設けることで、反射効率が最大となる周波数が異なる領域を形成する。このとき、オープンの領域７、８とショートの領域９、１０との比率を変化させることで、従来よりも微小な単位で素子全体の共振周波数を設定もしくは調整することができる。 （もっと読む）

【課題】安定した周波数特性を有し、容易に製造できる弾性表面波装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る弾性表面波装置１００は、第１の面１２を有する基板１０と、第１の面１２に樹脂層２０を介して設けられたインダクタ素子３０と、インダクタ素子３０と電気的に接続された弾性表面波素子５０と、基板１０、インダクタ素子３０、および弾性表面波素子５０を収納するパッケージ６０と、を含み、基板１０は、第１の面１２に形成された第１配線４０を有し、第１配線４０は、平面的に見て、樹脂層２０の周囲を囲み、基板１０は、第１の面１２がパッケージ６０の底面６６と対向して収納され、パッケージ６０は、当該パッケージ６０の底面６６であって、第１配線４０と対向する領域に設けられた第２配線７０を有し、第１配線４０と第２配線７０とは、接合して配置され、樹脂層２０を気密封止する空間８２を形成している。 （もっと読む）

【課題】横モードスプリアスが十分に抑圧されており、挿入損失の低い弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置１は、正規型ＩＤＴ電極１０と、第１及び第２の膜２３，２４とを備えている。正規型ＩＤＴ電極１０は、第１及び第２のバスバー１０ｃ、１０ｆと、複数本の第１及び第２の電極指１０ｄ、１０ｇと、第１及び第２のダミー電極１０ｅ、１０ｈとを有する。第１及び第２の膜２３，２４は、ダミー電極１０ｅ、１０ｈの少なくとも一部と、電極指１０ｄ、１０ｇの少なくとも一部を覆うように、かつギャップに至らないように形成されている。第１の膜２３の第２のバスバー１０ｆ側の端面２３ａと、第２の膜２４の第１のバスバー１０ｃ側の端面２４ａとのそれぞれは、弾性波伝搬方向ｘに対して傾斜している。 （もっと読む）

機械共振構造体、並びに関連する機器および方法が記載される。機械共振構造体は、温度変化を補償する補償構造を有する。
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