【課題】生産性に優れる球状弾性表面波素子を提供すること。
【解決手段】本発明の第１の態様に係る球状弾性表面波素子１００は、球状の基体１１１と、基体１１１の表面を周回する弾性表面波を励起するとともに周回した当該弾性表面波を受信する一対の櫛形電極１１２と、基体１１１の中心を通る光学軸の両極点近傍に形成され、一対の櫛形電極１１２の各々に接続された第１及び第２の入出力用電極１１４と、第１の入出力電極１１４上に形成された外部端子１１５と、第２の入出力電極１１４に対向して非接触で形成された外部電極１１６とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷデバイスの圧電基板上に設けたヒータ電極による熱応力の影響を解消して周波数安定性を向上させる。
【解決手段】
ＳＡＷデバイスは、圧電基板１２の主面にＩＤＴ１３及び反射器１４，１５を有しかつその裏面にヒータ電極１６を有するＳＡＷ素子１１を、ＳＡＷ伝搬方向の一方の端部１２ａで接着剤１７により片持ちに支持する。ヒータ電極１６は、ＳＡＷ素子の平面においてＩＤＴの位置よりもＳＡＷ伝搬方向の端部１２ａ側に配置される。ＳＡＷ伝搬方向の端部１２ａ側の反射器１５を、接着剤で浮かせたＳＡＷ素子の部分に配置することにより、ＩＤＴからより離すようにヒータ電極を配置することができる。 （もっと読む）

【課題】通過帯域の劣化を抑制することができ、また小型化を図ることができる弾性波フィルタを提供する。
【解決手段】第１の直列腕２、第２の直列腕３及び並列腕３の弾性波共振子が共通の接続点に接続された回路を備えた弾性波フィルタにおいて、第１の直列腕２と、第２の直列腕３又は並列腕４の一方と、を左右方向に隣接して位置させ、これらの並びの後方側に第２の直列腕３又は並列腕４の他方を位置させ、更に第１の直列腕２、第２の直列腕３、並列腕４内の所定のバスバー２２ｂ、３２ｂ、４２ａを共通の接続点側に位置させる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波共振子の素子基板の切断位置、端面形状によって共振周波数が左右されず、小型化された弾性表面波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板１０上に弾性表面波のＳＨ波が励振される弾性表面波共振子１において、水晶基板１０にＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に略直交して極性の異なる電極指１２ａ，１２ｂが交互に配置されたＩＤＴ１２が形成されたＩＤＴ形成領域１３と、水晶基板１０に、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’におけるＩＤＴ形成領域１３の両側に電極指１２ａ，１２ｂの交差幅以上の幅寸法で、ＳＨ波の位相伝搬方向Ｘ’に長さ寸法を有する付加膜１４が形成された付加膜形成領域１５とを備え、付加膜形成領域１５の全体が有する反射係数が０．８７５以上１．０００以下である。 （もっと読む）

【課題】振動片チップ、圧電振動子、および振動片チップの製造方法を提供する。
【解決手段】振動素子基板用ウェハに電極パターンを形成し、前記振動素子基板用ウェハと前記振動素子基板用ウェハの台座となる保持基板用ウェハとに固相接合１８の接合膜を形成し、前記振動素子基板用ウェハと前記保持基板用ウェハとを前記接合膜にて固相接合１８を行って一体化し、その後に前記格子状の固相接合１８部と少なくとも振動素子基板１２ａを片持ち状態にする領域を残してダイシングして振動片チップ１２を個片化させてなる。 （もっと読む）

【課題】すだれ状電極が外方に向いていなくても周波数調整を行える弾性表面波デバイスの製造方法、弾性表面波デバイスおよび電子機器を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、圧電基板１２の一方の主面１２ａにすだれ状電極１４を形成した弾性表面波（ＳＡＷ）チップ１０を備えた弾性表面波デバイスに係るものである。そして弾性表面波デバイスの製造方法は、一方の主面１２ａとは反対側の他方の主面１２ｂにおけるすだれ状電極（ＩＤＴ）１４に対向する位置に周波数調整膜３０を形成し、この形成により生じる応力によって前記圧電基板を歪ませて、周波数を調整している。 （もっと読む）

【課題】デッドスペースのない効率的に小型化された弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】圧電基板１６の一方の主面１４にすだれ状電極１１が形成された弾性表面波素子片１０と、弾性表面波素子片１０を励振する発振回路が形成されたＩＣチップ２０と、ＩＣチップ２０の一方の面２２または他方の面２３から厚み方向に突出するようにＩＣチップ２０に形成された突出部３０と、を備え、弾性表面波素子片１０は、平面視において、弾性表面波素子片１０がＩＣチップ２０の外形内に収まり、且つすだれ状電極１１が形成された領域と突出部３０とが重ならない位置で、圧電基板１６の他方の主面１５が突出部３０に固定され、すだれ状電極１１とＩＣチップ２０とが電気的に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数Ｋ²が大きくスプリアスが少ないＳＨ型バルク波共振子を提供する。
【解決手段】水晶基板のカット面および弾性波伝搬方向をオイラー角表示で（０°，θ，ψ）とするとき、ψが約＋９０度または約−９０度である前記水晶基板に少なくとも一つのＩＤＴ電極を配置してなるＳＨ型バルク波共振子であって、前記ＩＤＴ電極がアルミニウムであって、オイラー角表示の前記角度θが０°≦θ≦９５°または１５１°≦θ≦１８０°であり、前記水晶基板の厚みをｔ、前記弾性波の波長をλとしたとき、規格化基板厚みｔ／λがｔ／λ≦４とする。 （もっと読む）

【課題】圧電基板・カット方位及び電極膜厚を変えずに、急峻な減衰特性を有する弾性表面波装置の電極構造を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電基板上に、入力端子電極５と、出力端子電極６と、弾性表面波を発生させる励振電極とを形成し弾性表面波装置であって、前記励振電極は、櫛歯状浮き電極３の電極指に、入力端子電極５に接続された入力用櫛歯状電極１の電極指、及び出力端子電極６に接続された出力用櫛歯状電極２の電極指のそれぞれが噛み合うように配設されているものとする。 （もっと読む）

【課題】球状弾性表面波素子を速やかにセンサーホルダに装着し、薬液や気体中の成分の分析を速やかに行える弾性表面波装置を得る。
【解決手段】球状の圧電体基材の球面における周回領域で、前記圧電体基材の中心を通る結晶のＺ軸に垂直な平面で前記圧電体基材の中心を通る平面との交線に添った前記周回領域の部分に一対の櫛型電極を有し、前記櫛型電極が前記周回領域に弾性表面波を発生させて周回させ、前記圧電体基材の球面に前記櫛型電極に接続する素子電極を有する球状弾性表面波素子を備え、前記素子電極に接した導体バンプを備え、前記圧電体基材の球面における前記結晶のＺ軸から垂直に測った距離が前記圧電体基材の球の半径の３割から８割の範囲の１つの円環状の領域に接して前記導体バンプを設置し、前記導体バンプをセンサーホルダの基板電極に接させる。 （もっと読む）

【課題】表面閉じ込め型のＳＨ波を利用するＳＡＷ共振子において、ドライブ特性の良好なＳＡＷ共振子を提供する。
【解決手段】表面閉じ込め型のＳＨ波を利用するＳＡＷ共振子１において、水晶基板１０と、水晶基板１０表面に線状で周期的に連続するように形成された複数の溝部２３と、溝部２３に挟まれた水晶基板１０表面にＡｌ膜からなる交差指電極２１，２２が正極と負極とを交互に配置されるように形成された櫛歯電極２５と、を備え、溝部２３に挟まれた水晶基板１０表面の線幅Ｌｇに対して、交差指電極２１，２２の線幅Ｌｍが狭くなるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 高周波化を図った場合であっても、導体抵抗の増大を抑制でき、十分大きな電気機械結合係数Ｋ²を可能とする弾性境界波装置を提供する。
【解決手段】 第１の媒質１１と、第２の媒質１２との間にＩＤＴ１３が配置されており、ＩＤＴ１３を厚み方向に２等分した面を境界面とし、該境界面から第１の媒質１１側の弾性境界波のエネルギーをＥ１、該境界面から第２の媒質１２側のエネルギーをＥ２とし、ＩＤＴ１３を構成したときの弾性境界波の音速と、ＩＤＴ１３を構成する最も密度の大きな導体層のみを用いてＩＤＴ１３を構成したときの弾性境界波の音速とが同一となるように、密度が最も大きい導体層単独でＩＤＴ１３を構成した条件において、前記境界面から第１の媒質１１側の弾性境界波のエネルギーをＥ１′、前記境界面から第２の媒質１２側のエネルギーをＥ２′としたときに、Ｅ１／Ｅ２＞Ｅ１′／Ｅ２′とされている、弾性境界波装置１０。 （もっと読む）

【課題】検出感度が高く、取り扱いが容易なラム波型高周波センサデバイスを提供する。
【解決手段】表裏に主面１４，１５を有する圧電基板１１と、圧電基板１１の一方の主面１４に形成されたラム波を励振するＩＤＴ電極１２と、を備え、圧電基板１１の一方の主面１４に対向する他方の主面１５が物理量を検出する検出面であるように構成した。このように、ラム波を利用することで、従来方式のバルク波を用いた共振子または弾性表面波を用いた共振子より高い周波数で動作させることが可能となり、検出感度が高いラム波型高周波センサデバイス１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、スプリアスを抑圧し、共振のＱ値の劣化や、挿入損失の劣化を抑え、優れた特性の弾性表面波共振子を得ることを目的とするものである。
【解決手段】櫛型電極１３は、中央部から外側に向かって徐々に交差長が短くなるようにアポダイズされており、最大交差長の幅（Ｈｔ）からなるトラックＡ領域１６と、一対のバスバー１２とトラックＡ領域１６の間に配置されるトラックＢ領域１７とから構成され、トラックＢ領域１７の少なくとも一部の領域において、交差電極１４と交差電極１４に弾性表面波の伝播方向に隣接するダミー電極１５とで形成されている間隙部に電極を形成することにより重み付けパターン１８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電体ＳＡＷ共振子分野において、１個のＳＡＷ共振素子で複数の周波数が提供できる多重モードＳＡＷ共振子を実現する。
【解決手段】アルミで形成された電極指１１６をそれぞれ有するゲイトＩＤＴ１０３と主ＩＤＴ１０２および副ＩＤＴ１０４と、アルミ電極導体１１９を有する反射器１０１，１０５とを備えるＳＡＷ共振素子１２０を有しており、電極指は、膜厚比Ｈ／λが０．０５以上０．０６以下の範囲、電極指１本の有する反射係数ｒが約０．０６であり、主ＩＤＴおよび副ＩＤＴの電極指の対数が４０以上６０以下、ゲイトＩＤＴの電極指の対数が２０±２、反射器のアルミ電極導体の本数が７０以上８０以下であり、且つ主ＩＤＴおよび副ＩＤＴの電極指周期長ＰＴに対して、ゲイトＩＤＴの電極指周期長ＰＧの比をＰＧ／ＰＴ＝１．０１程度に設定し、主ＩＤＴと副ＩＤＴの極性をＳＷ回路にて切り換えて、複数の発振周波数を使用する。 （もっと読む）

【課題】ＡＳＫ通信のとき、ＦＳＫ通信に用いる搬送波を用いると、変調信号の一部が帯域濾波器により欠落することがあった。
【解決手段】送信すべきデータに応じて、第１の周波数を有する第１の搬送波、第２の周波数を有する第２の搬送波、又は、前記第１の周波数及び前記第２の周波数の間に位置する第３の周波数を有する第３の搬送波を発生させる発振回路と、前記第１及び第２の搬送波を送信する周波数変調、又は、前記送受信すべきデータに応じて前記第３の搬送波の振幅を変化させる振幅変調を行う変調回路と、を含む。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減らしたＡＳＫ送受信装置を提供する。
【解決手段】圧電体平板上に形成されたＳＡＷデバイスと、増幅器とＳＷ回路と復調器と
を少なくとも備えるＡＳＫ送受信装置であって、ＳＡＷデバイスは、少なくとも主ＩＤＴ
とゲイトＩＤＴと副ＩＤＴと一対の反射器とを配置した２モード型ＳＡＷ素子であり、か
つ主ＩＤＴをＳＷ回路にて増幅器に接続して発振回路を構成し、かつ副ＩＤＴ側の端子を
開放状態として、第３の周波数で発振させ、かつＡＳＫデータ信号に対応して断続する発
振信号を出力して送信系を構成し、また、主ＩＤＴの端子を前記ＳＷ回路にて受信信号入
力側に接続し、かつ副ＩＤＴ側の端子を復調器に接続して、第１の周波数と第２の周波数
との周波数間を通過帯域幅とする二重モード型ＳＡＷフィルタとなして、発振信号を受信
して盧波する受信系を構成し、第３の周波数を第１の周波数と第２の周波数との間に配設
した。 （もっと読む）

【課題】
異方性を示す方向を精度良く決定することができ、特定の好適な位置に薄膜構造を形成することを可能とする。
【解決手段】
異方性を有する球状材料の大円に沿って伝搬する弾性表面波を発生させる弾性波発生工程と、大円に沿って周回した弾性表面波の所定の物理量を測定する測定工程と、球状材料に対し、弾性波発生工程および測定工程を行う弾性表面波発生状況測定工程と、弾性表面波発生状況測定工程で測定された物理量に基づいて、異方性を示す方向を決定する決定工程とを有する異方性球状材料の方向測定方法において、弾性波発生工程は、球状材料をすだれ状電極を有する露光マスクに接近または接触させて電気信号を印加して弾性表面波を発生させ、測定工程は露光マスクにより物理量を測定する異方性球状材料の方向測定方法等を提供する。 （もっと読む）

【課題】電極指からバスバー方向への弾性波の漏れを抑制すること。
【解決手段】本発明は、弾性波を反射する弾性波反射領域（２０）を有する圧電基板（１０）と、圧電基板（１０）上に設けられ、弾性波を励振する複数の電極指（１２）と、圧電基板（１０）上に設けられ、複数の電極指（１２）を互いに接続するバスバー（１３）と、バスバー（１３）の少なくとも一部上に接して設けられた第１媒質層（１６ａ）と、を有する。弾性波反射領域（２０）は、複数の電極指（１２）のバスバー（１３）方向にバスバー（１３）に接するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、弾性表面波共振子におけるエネルギーの閉じ込み効率を向上させることを目的とする。
【解決手段】弾性表面波共振子の構成を、回転ＹカットＸ伝播ＬｉＴａＯ₃からなる圧電基板８上と、この圧電基板８上に形成された櫛型電極９を有し、櫛型電極９は一対のバスバー１０ａ，１０ｂと、それぞれのバスバー１０ａ（１０ｂ）から対向するバスバー１０ｂ（１０ａ）側に交互に延出された複数の電極指１１とから構成し、バスバー１０ａ，１０ｂは伝播方向にその厚みが厚い領域１２と薄い領域１３が周期性を持って形成したグレーティング領域１４を設けた構成とした。 （もっと読む）