【課題】熱補償単結晶シリコンから作られたテンプ輪スプリング又はヘアスプリングを含む共振子を提供すること。
【解決手段】本発明は、多角形断面のコアが単結晶シリコンで構成されるストリップを有する熱補償機械共振子に関する。本発明によれば、コアの１つ又は複数の表面が共振子を温度変化の影響を受けにくくするためのコーティングを有する。本発明は時計の分野に関する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性の向上を図った圧電薄膜素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に少なくとも下部電極、一般式 （Ｎａ_xＫ_yＬｉ_z）ＮｂＯ₃（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦０．２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）で表される圧電薄膜、及び上部電極を配した圧電薄膜素子であって、前記圧電薄膜が、擬立方晶あるいは正方晶あるいは斜方晶の結晶構造、あるいはそれら前記の少なくとも一つが共存した状態を有しており、それら結晶軸のうち２軸以下のある特定の軸に優先的に配向しており、かつ前記配向している結晶軸の成分として、（００１）成分と（１１１）成分比において、それら両者の合計を１００％としたとき、（００１）成分の体積分率が６０％以上１００％以下の範囲内にあり、（１１１）成分の体積分率が０％以上４０％以下の範囲内にあることを特徴と
する。 （もっと読む）

【課題】キャビティ内の真空度を確保可能で、かつ効率良く製造すること。
【解決手段】間にキャビティＣを形成するように重ね合わせられたベース基板２およびリッド基板３と、キャビティ内に収容されるとともにベース基板側に接合された圧電振動片４と、キャビティ内に収容されるようにベース基板に形成されたゲッター材３４と、リッド基板においてベース基板側を向く面に全面にわたって形成され、ベース基板と接する部分で両基板を接合する接合膜３５と、を備え、接合膜は、レーザ照射により活性化して周囲のガスを吸着しうる材料で形成されている圧電振動子１を提供する。 （もっと読む）

【課題】効率良く製造することができる圧電振動子の製造方法および圧電振動子の提供。
【解決手段】間にキャビティを形成するように重ね合わせられたベース基板２およびリッド基板３と、キャビティ内に収容されるとともにベース基板側に接合された圧電振動片４と、リッド基板においてベース基板側を向く面に全面にわたって形成され、ベース基板と接する部分で両基板を接合する接合膜３５と、を備え、圧電振動片は、一対の振動腕部１０，１１と、振動腕部の先端部に形成された重り金属膜２１と、を備える圧電振動子１の製造方法であって、接合膜は、レーザ照射により活性化して周囲のガスを吸着しうる材料で形成され、重り金属膜および接合膜を同時にレーザ照射するレーザ照射工程を備えている圧電振動子の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】エッチング残り量のばらつきを極力小さくでき、振動漏れによる特性への影響を非常に小さくすることができる高品質な圧電振動片を提供すること。
【解決手段】中心軸Ｃに沿って延在するように形成された振動部３と、該振動部の基端部を支持する基部４と、を有する圧電板２と、振動部の外表面上に形成され、電圧が印加された時に振動部を振動させる励振電極１０、１１と、を備え、基部が、マウント電極１２、１３が形成されたマウント部４ａと、該マウント部と振動部との間に位置するように両者に連設され、励振電極とマウント電極とを接続する引き出し電極１４が形成された中間部４ｂと、を有し、マウント部が、中間部よりも横幅が幅広とされ、マウント部の側面と中間部の側面とが、マウント部と中間部との段差部において、平面視した際に中心軸に対して傾斜する傾斜面４ｃを介して連設されている圧電振動片１を提供する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜と支持体とからなる複合圧電基板を、より簡素な工程で歩留まり良く、安価に形成する製造方法を提供する。
【解決手段】圧電単結晶基板の裏面１３からイオン注入を行い、イオン注入層を形成する。圧電単結晶基板１の裏面１３上に、下部電極２０と犠牲層３０とを順次形成する。圧電単結晶基板の裏面１３上及び犠牲層３０上に接合処理を用いることなく、スパッタ等を用いて直接的に支持体４０を形成する。支持体４０の形成は、まず、圧電単結晶基板の裏面１３上及び犠牲層３０上に第１支持層４０１を形成した後、第１支持層４０１の表面（圧電単結晶基板の反対の面）に第２支持層４０２を形成する。支持体４０が配設された圧電単結晶基板を加熱剥離することで、圧電薄膜１０と支持体４０とからなる複合圧電基板が形成される。 （もっと読む）

【課題】例えば水晶などの圧電振動片を容器内部に収納した圧電振動子において、圧電振動片の励振電極と容器側の電極との接合を導電性接着剤で行っていた従来例に対して製品の信頼性向上、及び使用温度範囲の拡大化を図る。
【解決手段】圧電振動片の励振電極と容器側の電極との接合をワイヤボンディングにより行う。これによって導電性接着剤を用いる場合のガスの発生を防止でき圧電振動子の共振周波数特性の経時変化を防止して製品の信頼性を高めることができる。また導電性接着剤を用いる場合のように使用温度範囲が溶剤の耐熱性に左右されてしまうといった問題も解消でき、使用温度範囲の拡大が図られる。 （もっと読む）

バルク音響共振器アセンブリおよびその共振器アセンブリを製造するための方法を提供する。共振器は、基板の第１の表面上にキャビティを含み、低音響損失材料のシートがキャビティに亘って懸吊される。低音響損失材料のシートは、低音響損失材料のシートの関連される基本周波数が、基板の第１の表面に平行する方向における低音響損失材料のシートの長さに応じるように構成される。トランスデューサは、低音響損失材料のシート上に電気機械層、および電気機械材料上に形成されたパターニングされた導電材料を含む。トランスデューサは、電気信号を導電パターンに付与すると、低音響損失材料において振動を誘発するように構成される。 （もっと読む）

【課題】発振子の発振特性を低下させることなく、高い接着強度で基板に発振子を接着すると共に、機器の小型化に対応した狭矮面での接続を行っても、短絡の心配なく、基板に発振子を電気的に接続可能な振動子の接続構造と、この接続構造を備えた振動子および振動子パッケージとを提供することを目的とする。
【解決手段】振動片からなる振動子を基板上に接着し、かつ、前記振動子上に設けられた電極接続部と、前記基板上に設けられた接続端子とを電気的に接続する振動子の接続構造であって、前記振動子の一方の端部表面を前記基板との接着領域とし、該接着領域内において、前記振動片の長手方向に沿って延設されてなる接着部を、該接着部の延設方向と平行になるように複数個配列し、該接着部によって前記振動子を前記基板上に接着し、前記電極接続部と前記接続端子とを接続導通部を介して電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】気密封止性や耐衝撃性に優れた電子部品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】電子部品は、２以上の被接合部材である振動基体２０、第１基板３０、第２基板４０を、互いの接合面である第１接合部５０、第２接合部６０に金属メタライズを施すと共に、当該接合面をロウ材を挟んで接合してなる電子部品であって、前記ロウ材がＩｎであり、接合部が前記金属メタライズと前記Ｉｎとの拡散により形成された共晶合金。 （もっと読む）

【課題】 安定で良好な特性を維持しつつ、小型化が可能で、ウェハ基板内に多数配置して量産化を図ることが可能な圧電音叉振動子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 矩形平板状の基部と、基部と同一の厚さで同一平面内で互いに平行に配置され、その一辺に一端を連結されたｎ本の振動アームからなる圧電音叉振動子において、振動アームの幅をＷ１、振動アームの互いの間隔をＷ２、基部の振動アームが連結された辺の幅をＷ３とするとき、Ｗ３＝２ｎ×Ｗ１＋（２ｎ−１）×Ｗ２をほぼ満たす関係にある。製造においては、基板上に振動アームの先端を直線状となるように配列した第一の列１０１と、第一の列１０１を１８０度回転した向きに配列した第二の列１０２とを互いに対向して配置し、第一の列１０１の互いに隣接する圧電音叉振動子パターンの振動アームの間に第二の列１０２の振動アームを配置する。 （もっと読む）

【課題】小型で高精度な振動型角速度センサを提供する。
【解決手段】互いに直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向において支持部に対して錘部が振動するように連結しているとともにｘ軸、ｙ軸およびｚ軸方向において前記支持部に対する前記錘部の振動に伴って撓む扁平な弾性部と、前記錘部を前記支持部に対してｚ軸方向に励振するｚ軸励振部と、ｙ軸励振部と、前記錘部のｘ軸方向の振動を検出するｘ軸検出部と、ｙ軸検出部と、が形成されている積層構造体と、前記錘部の励振方向をｙ軸とｚ軸方向との間で所定の時間間隔で交互に切り換える励振切換手段と、切り換えてから所定時間経過後に前記錘部のｘ軸方向の振動からｙ軸周りの角速度を導出し、ｙ軸方向の振動からｘ軸周りの角速度を導出し、前記錘部の励振方向をｚ軸方向からｙ軸方向に切り換えてから所定時間経過後に前記錘部の前記ｘ軸方向の振動からｚ軸周りの角速度を導出する角速度導出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高融点ハンダを用いた場合であっても、圧電振動片とパッケージとの接合性を向上させることができ、信頼性の高い圧電振動片、圧電振動子、及び圧電振動子の製造方法、並びに前記圧電振動子を有する発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】実装領域の表面に、第１クロム層１８ａ及び第１金層１８ｂを順に積層した第１積層体１８を有する圧電振動片であって、マウント電極１５，１６の第１積層体１８上に、第２クロム層３３ａ及び第２金層３３ｂを順に積層した第２積層体３３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、振動効率に優れた振動片を提供する。
【解決手段】３以上の奇数本の振動腕を有し、各振動腕が厚み方向であるＺ方向に振動し
、かつ隣り合う振動腕が互いに反対方向に振動する振動片において、振動腕１１，１２，
１３において振動腕１１，１２，１３の厚みを規定する対向する面の一方の面から少なく
とも両側の側面にまで連続して設けられた下部電極２１，２２，２３と、振動腕１１，１
２，１３の一方の面において下部電極２１，２２，２３の上に形成された圧電膜３１，３
２，３３と、圧電膜３１，３２，３３の上に形成された上部電極５１，５２，５３と、を
有する。 （もっと読む）

【課題】効率良く、局所的なプラズマ加工を行うことができるプラズマ加工装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るプラズマ加工装置１００は、凸部２２を有し、被加工物６０を載置する載置台２０と、載置台２０の上方に形成された加工電極３０と、を含み、載置台２０は、電気的に導電性であり、凸部２２と加工電極３０との間にプラズマを発生させることにより、凸部２２の上方に位置する被加工物６０の表面６２をプラズマ加工する。 （もっと読む）

【課題】弾性波デバイスに利用される複合基板であって、耐熱性の優れたものを提供する。
【解決手段】複合基板１０は、弾性波を伝搬可能なタンタル酸リチウム（ＬＴ）からなる圧電基板１２と、方位（１１１）面で圧電基板１２に接合されたシリコンからなる支持基板１４と、両基板１２，１４を接合する接着層１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、振動効率に優れた振動片を提供する。
【解決手段】３以上の奇数本の振動腕を有し、各振動腕が厚み方向であるＺ方向に振動し
、かつ隣り合う振動腕が互いに反対方向に振動する振動片において、振動腕１１，１２，
１３の厚みを規定する対向する面の一方の面に設けられた下部電極２１，２２，２３と、
下部電極２１，２２，２３を覆って形成された圧電膜３１，３２，３３と、圧電膜３１，
３２，３３を覆って形成された上部電極５１，５２，５３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ベース基板にクラックや欠けが生じることなく、ベース基板から突出した金属部材を研磨することができる。
【解決手段】圧電振動片が封止され、ベース基板に圧電振動片と外部電極を電気的に接続する貫通電極が設置されたパッケージの製造方法において、平板状の土台部３６と、土台部３６の表面に立設された芯材部３１とを有する導電性の鋲体３７の芯材部３１を、ベース基板用ウエハ４１に形成された貫通孔２１、２２に挿入し、ベース基板用ウエハ４１に土台部３６を当接させる工程と、貫通孔２１、２２内にガラスフリット３２ａを充填する工程と、ガラスフリット３２ａを焼成して硬化させる工程と、鋲体３７の土台部３６を研磨して除去し芯材部３１を露出させる工程と、を有している。土台部３６を研磨する工程は、鋲体３７が一体化したベース基板用ウエハ４１を上定盤が保持して、土台部３６を平坦な下定盤で研磨する片面研磨装置によって行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、スルーホールを封止する材料として共晶金属と樹脂材料との組合せを使用した圧電デバイス及びその圧電デバイスの封止方法を提供する。
【解決手段】 リッド（１０）とベース（４０）の間で圧電振動片（３０）が挟んでなる圧電デバイス（１００）であって、ベース（４０）に、圧電デバイスを外部（４５、４６）と導通させることに用いる、ベースを貫通するスルーホール（４１、４３）が複数形成され、スルーホールは、共晶金属（１８）と樹脂材料（１９）との組合せにより封止されている。 （もっと読む）

【課題】小型で量産性がよく、安定した共振周波数が得られる圧電振動片、その製造方法、この圧電振動片を備える圧電振動子および振動型ジャイロスコープを提供する。
【解決手段】圧電材料からなるウエハ１からフォトリソグラフィにより形成された圧電振動片１００，２００であって、圧電振動片１００，２００の一部と、これら圧電振動片の周囲に形成されているウエハの枠部１１とが連結される板状の連結部１２が形成され、連結部１２の少なくとも一方の表面に、断面形状が略Ｖ字状の凹部１４または凹部１５が前記連結部１２の幅方向に直線状に穿設されている。この凹部１４，１５で圧電振動片１００，２００をウエハ１から折り離して形成し、パッケージ内に格納する振動型ジャイロスコープ４００及び圧電振動子５００を提供する。 （もっと読む）