【課題】圧電薄膜デバイスの特性を向上する。
【解決手段】４個の圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４を含む圧電薄膜フィルタ１は、単独で自重に耐え得ない圧電体薄膜１１１を含むフィルタ部１１と、フィルタ部１１を機械的に支持する平坦なベース基板１３とを接着層１２を介して接着した構造を有している。圧電体薄膜１１１を構成する圧電材料としては、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム、酸化亜鉛、ニオブ酸カリウム及びランガサイトから選択された、粒界を含まない単結晶材料が望ましい。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜デバイスにおいて、圧電体薄膜の輪郭の影響を受けにくくする。
【解決手段】４個の圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４を含む圧電薄膜フィルタ１では、励振領域Ｅ１１〜Ｅ１４において対向する上部電極１１２１〜１１２４及び下部電極１１３１〜１１３２が両面に形成された圧電体薄膜１１１は、ベース基板１３に支持されている。圧電薄膜フィルタ１では、圧電体薄膜１１１がベース基板１３の全面に渡って拡がっており、圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４の共振特性が圧電体薄膜１１１の輪郭の影響を受けにくくなっている。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜デバイスの特性を向上する。
【解決手段】４個の圧電薄膜共振子Ｒ１１〜Ｒ１４を含む圧電薄膜フィルタ１は、圧電薄膜フィルタ１のフィルタ機能を提供するフィルタ部１１と、フィルタ部１１を機械的に支持する平坦なベース基板１３とを接着層１２を介して接着した構造を有している。圧電薄膜フィルタ１では、圧電体薄膜１１１の非励振領域Ｅ１Ｘに形成されたキャビティ形成膜１１４を介して圧電体薄膜１１９をベース基板１３に接着することにより、圧電体薄膜１１１の励振領域Ｅ１１〜Ｅ１４を無規制の状態で空中に保持し、励振領域Ｅ１１〜Ｅ１４の上面及び下面が他の部分と接することがないようにしている。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で共振周波数を高くすることが可能な薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】基板１の中央部に矩形状の凹部２が形成され、この凹部２上に圧電膜３が形成される。圧電膜３は、円盤部４と、支持部５とを有する。円盤部４と支持部５は一体に形成されている。圧電膜３の上には上部電極６が形成され、圧電膜３の下には下部電極７が形成される。上部電極６は、それぞれ等しい幅を持ち同じ間隔で配置される同心状の複数の円環部８と、これら円環部８を相互に接続するバスバー９とを有する。下部電極７は、圧電膜３の裏面全体に形成されている。幅と間隔が等しい同心状の複数の円環部８を有する上部電極６を備えるため、共振時のＱ値を高くでき、面積も削減でき、共振周波数の精度も高くでき、高周波動作も可能な薄膜圧電共振器を実現できる。 （もっと読む）

【課題】振動子の設計や製造を容易なものとしつつ、所望の特性を発揮することができる振動子を提供すること、また、振動子の製造時における歩留まりを低減して、低コスト化を図ることができる振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子（マイクロレゾネータ）は、基部２と、基部２に対し間隙を隔てて対向しつつ変位可能な可動部とを有し、可動部の駆動により振動するものであって、可動部は、その基部２側の端面の縁部の少なくとも一部に、オーバーエッチングにより除去された除去部を有する。基部２には、複数の電極指３２１を複数並設して櫛歯状をなす固定電極が固定され、可動部には、固定電極に噛み合うように、複数の電極指４２１を複数並設して櫛歯状をなす可動電極が形成され、可動電極の各電極指４２１の少なくとも一部に除去部４２１ａが形成されているのが好ましい。 （もっと読む）

路上安全性を高めるために、タイヤの走行条件、特に物理的パラメータの制御が推奨される。本発明は、種々の要因、例えばタイヤの温度及び圧力を測定するセンサに関する。センサは、車両の地面接触手段、特に製造中、タイヤのゴム中に組み込み可能な受動式のハイブリッド共振構造体である。
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【課題】 小型化された圧電デバイスであっても、精度のよい周波数を有する圧電デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】 内部空間内に圧電振動片を接合したパッケージに、レーザ光を透過できる蓋体を接合する蓋封止工程（ＳＴ３）と、内部空間内のガスをパッケージに設けられた開口部から抜き出した後に、開口部を加熱溶融した封止材により塞ぐようにした孔封止工程（ＳＴ５）と、孔封止工程（ＳＴ５）で密封した後に、レーザ光を圧電振動片に設けた錘に照射して、周波数を調整する密封下調整工程と（ＳＴ６）を備えた圧電デバイスの製造方法であって、孔封止工程（ＳＴ５）の前に、レーザ光を圧電振動片に設けた錘に照射して、完成品として要求される周波数に略合わせるように調整する封止前調整工程（ＳＴ４）を行い、孔封止工程（ＳＴ５）では、封止材だけではなく圧電振動片も加熱する。 （もっと読む）

【課題】余分な電極形成の必要がなく小型化が可能で、周波数調整に要する時間を短縮できると共に正確に調整できる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】周波数調整工程は、測定した周波数と調整すべき設定周波数との差が所定値以下となるまで電極の励起部分にレーザ光を照射して周波数を粗調整し（ステップＳＴ４〜ステップＳＴ６）、粗調整をした後に、電極の引出線部分にレーザ光を照射して周波数の微調整を行う（ステップＳＴ７〜ステップＳＴ９）。これによれば、周波数調整に要する時間を短縮できると共に正確に調整できる （もっと読む）

【課題】 電気機械結合係数が大きく、音速、ＳＡＷ速度が小さい圧電単結晶組成物を用いることにより、圧電振動子、弾性表面波デバイスを提供すること。
【解決手段】 ランガサイト型構造を有する化学式（Ｓｒ_1-xＢａ_x)₃ＴａＧａ₃Ｓｉ₂Ｏ₁₄（０＜ｘ≦０．７）で表される圧電単結晶組成物を提供することにより、圧電フィルター、圧電共振子、圧電ジャイロ等の体積弾性波を利用した圧電振動子及び圧電フィルター、センサー等の弾性表面波デバイスの小型化を可能にする。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを防止可能な圧電共振素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上に、空気層１２を介して、下部電極１３と、圧電体層１４と、上部電極１５とがこの順に設けられ、下部電極１３、圧電体層１４および上部電極１５の積層構造を少なくとも一部に有する圧電共振素子において、圧電体層１４の内部応力が、−３００ＭＰａ以上９０ＭＰａ以下であることを特徴とする圧電共振素子およびその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】振動電極と容量電極との接触によるショートを防止し、信頼性を向上させた容量内蔵型圧電共振部品を提供する。
【解決手段】保護カバー３は、容量素子２の第２容量主面２２側に配置され、絶縁性のエポキシ樹脂からなり、細長い板状をなしている。保護カバー３の長手方向の長さ及び短手方向の幅は、容量素子２の長手方向の長さ及び短手方向の幅とほぼ等しく構成されている。保護カバー３は、容量素子２に熱圧着され、第２容量電極２６の全体を覆っている。圧電共振子６と保護カバー３との間には、第１接着層４及び第１空間形成層５によって空間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片を小型化した場合であっても、電極間の短絡を防止しつつ電極の断線を防止し、さらにＣＩ値を低く抑えることができる圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された基部５１と、基部５１と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と、この各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝３３，３４と、この長溝の内面に配置された内面電極４４，４５、及びこの内面電極に対向する側面に配置された側面電極４６，４７により形成された励振電極とを備えており、各振動腕３５，３６の幅寸法が、振動腕３５，３６の基部５１に対する付け根の箇所で、基部５１側に向かって拡幅する拡幅部６０を有し、この拡幅部６０の側面６０ｃおよび主面６０ｄに側面電極４６が引き回されている圧電振動片。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下でも使用が可能であり、カット面加工の誤差による共振周波数の温度特性の影響が小さいバルク波を用いた共振子を提供すること。
【解決手段】 ランガテイト単結晶で構成された圧電体２と、一対の電極３、４とを備え、圧電体のカット角が（１１．７°、３９．９°）（１１．７°、６６．５°）（５１．２°、６６．５°）（５１．２°、３９．９°）で囲まれる領域、（６８．８°、３９．９°）（６８．８°、６６．５°）（１０８．３°、６６．５°）（１０８．３°、３９．９°）で囲まれる領域、（８．８°、１１３．５°）（８．８°、１４０．１°）（４８．３°、１４０．１°）（４８．３°、１１３．５°）で囲まれる領域、（７１．７°、１１３．５°）（７１．７°、１４０．１°）（１１１．２°、１４０．１°）（１１１．２°、１１３．５°）で囲まれる領域、または対称性によりこれらの領域と等価な領域のいずれかである。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子のクリスタルインピーダンス（ＣＩ）値を変更せず、可変感度等の発振特性を維持したまま、回路母基板の搭載面積を縮小することができる圧電デバイスを提供することにある。
【解決手段】矩形状の容器体の凹部に圧電振動素子を収容し、該容器体の側壁頂部には該容器体を覆う蓋体が配置されており、該蓋体と該側壁頂部に設けた導体パターンとを固着し、該容器体内の該圧電振動素子を気密封止した圧電デバイスにおいて、この容器体の凹部内に、表裏主面が凹部内の長さ方向の側壁面にそれぞれ対向する形態で圧電振動素子が収容され、且つ素子接続用電極パッドと導通固着されている圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】 小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６とを備えており、さらに、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる一対の支持用アーム６１，６２とを備える圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】 圧電体のばらつきが少なく、性能ばらつきが少なく、分極処理工程を必要とすることなく製造することができる、高周波帯に適した圧電共振子を提供する。
【解決手段】 （０，１，−１，２）結晶面を有し、該結晶面が基板表面に平行なＲ面サファイア基板の上記表面に対し、（１，１，−２，０）結晶面が平行となるようにエピタキシャル成長されたウルツ鉱構造の化合物結晶からなる圧電体３が形成されており、板状の圧電体３の（１，１，−２，０）結晶面に垂直な（０，０，０，１）結晶面であるＣ面を挟むように圧電体３の厚み方向において対向し合う一対の主面３ａ，３ｂに一対の励振電極４，５が形成されている、圧電共振子１。 （もっと読む）

本発明は、電気的機械的共振器に関するものであって、振動ボディ（４）と、少なくとも１つの励起電極（１４，１６）と、少なくとも１つの検出電極（１０，１２）と、を具備してなる共振器において、振動ボディが、第１ヤング率を有した第１材料から形成された第１部分（２０）と、第１ヤング率よりも小さな第２ヤング率を有した第２材料から形成された第２部分（２２）と、を備え、この第２部分が、少なくとも部分的に、検出電極（１０，１２）に対向して配置されていることを特徴としている。
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圧電薄膜共振器は、主表面を有する基板上で形成される。圧電薄膜共振器は細長いスタックを有する。細長いスタックは圧電材料の層を有し、圧電材料の層は、圧電材料の層の第１表面に堆積した第１導電層と、圧電材料の層の第２表面に堆積した第２導電層との間に位置する。細長いスタックは、基板の主表面に関して略垂直に位置する。第１および第２導電層は、圧電材料の層に略同時に単一の加工ステップによって配置される。基板の主表面は水平面内に存在する。また、圧電薄膜共振器のスタックは略垂直の表面である。形成された共振器構造は、共振器またはフィルタのいずれかとして使用されて良い。
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圧電薄膜共振器は基板上で形成される。圧電薄膜共振器は、基板に近接した第１表面と基板から離間した第２表面を有する圧電材料の層を備える。圧電材料の第１表面に残された第１導電層は第１部分を備え、第１部分が備える表面の属する平面は、第２部分に関する表面が属する平面とは異なる。デバイスを形成する方法は、第１電極の第１部分と圧電層とを基板上へ堆積するステップを備える。本方法は、圧電層の下部の、および第１電極の一部分の下部の基板の一部分を除去するステップと、圧電薄膜層の上に、および第１電極の第１部分の上に第１電極の第２部分を堆積するステップを更に備える。
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【課題】 圧電デバイス用のパッケージを短くしても、圧電振動片の長さを確保すると共に、圧電振動片を精度よく載置して、優れた所定の振動特性を得ることができる圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動片２０を収容するための内部空間Ｓ１を備えた圧電デバイス用のパッケージ３７であって、内部空間Ｓ１に露出した内側底面３７ａは、圧電振動片２０の固定端２０ａ側で低く、固定端２０ａと反対側で高くなる傾斜面を有しており、この傾斜面は圧電振動片２０の振動領域を避けるように設けられている圧電デバイス用のパッケージ。 （もっと読む）