【課題】真空処理室において高温で処理された後に搬送されるウェハを微小異物や汚染が問題にならない温度に効率良く冷却できる真空処理装置を提供する。
【解決手段】試料を収納するカセットが設置されるカセット台と、大気搬送室と、該大気搬送室から搬送された試料を収納し大気圧雰囲気もしくは真空に切り替え可能なロードロック室と、該ロードロック室に連結された真空搬送室と、真空搬送された試料を処理する真空処理室と、を備える真空処理装置において、前記大気搬送室内に配置され、前記真空処理室で処理された後の高温の試料８を冷却する冷却部を備え、該冷却部は、試料８を載置し冷却液１７の流路が設けられた試料台１５と、試料８の搬入口側に配置され試料台１５に向かって冷却用ガス１０を吹き付けるガス吹き付け管１１と、試料台１５を境に前記搬入口の反対側に配置され、吹き付けられた冷却用ガス１０を排気する排気口１２と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】非接触式のシール機構を用いることにより、リークを起こすことなく真空槽外の動力源が生成する回転動力を真空槽内に導入する技術を提供する。
【解決手段】
真空槽２１の開口２２に筒状部材１１を設け、筒状部材１１と開口２２に挿通した動力伝達軸１２の一端を真空槽２１内に挿入し、他端を真空槽２１の外部に配置された動力源１６に取り付ける。筒状部材１１内周面の噴出装置１７からベアリングガスを噴出し、筒状部材１１と動力伝達軸１２とを非接触にする。真空槽２１内を大気圧より低い圧力にすると、動力伝達軸１２に真空槽２１内に引き込む力がかかり、第二の板状部材３２が球状部材３３を介して第一の板状部材３１に押しつけられ、動力伝達軸１２は一定の向きに維持される。動力源１６を動作させて動力伝達軸１２を回転移動させると、動力伝達軸１２は一定の向きに維持されたまま筒状部材１１と接触せずに回転移動する。 （もっと読む）

【課題】気体吸着材の劣化と、作製のコストを低減可能な気体吸着デバイスの作製方法を提供する。
【解決手段】両端に開口部８を有する金属製の管７に、一端の開口部８または両端の開口部８から気体吸着材を充填し、金属製の管７における封止材５で封止する部分の周辺に狭窄部９を形成し、狭窄部９を上にして金属製の管７を設置し、狭窄部９の上に封止材５を載せ、金属製の管７と共に気体吸着材の周囲を減圧すると共に、封止材５が融解して開口部８の狭窄部９を塞ぐように金属製の管７と封止材５を加熱した後、封止材５を冷却して固めることにより、開口部８の狭窄部９を封止することにより、気体吸着デバイスを作製する。 （もっと読む）

【課題】超臨界又は亜臨界状態でのプラスチック成形品等の分解において、流量調整開閉弁の閉塞を防止し、分解槽から分解液を効率的に取り出して回収することのできる、新しい分解装置を提供する。
【解決手段】超臨界又は亜臨界の状態において被分解物を水熱分解する分解槽１と、この分解槽１内から取り出された高温高圧状態の分解液４０を冷却する冷却器２０と、分解槽１内から分解液４０を取り出す、分解槽１と冷却器２０とを接続する排出配管２と、を備え、排出配管２は、分解液４０の排出流量を調整する流量調整開閉弁３と、分解液４０中の固形分による流量調整開閉弁３の閉塞を防止する詰まり防止手段４とを有し、詰まり防止手段４は、分解液４０の排出流量を検出する流量検出手段２１と、この流量検出手段２１で検出した流量に応じて流量調整開閉弁３の開度を調整し分解液４０の排出流量を調整する流量制御手段６とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】有機物を含有する廃水や汚染水などの被処理水に含まれる有機物を効率的に分解することにより、後流の濾過装置における負荷を軽減することができ、しかも配管等の腐蝕を回避することができる水処理装置を提供する。
【解決手段】水処理装置１２は、有機物を含有する被処理水１５ａを所定の圧力に加圧する大口径流路２２、小口径流路２３及び加圧ポンプ２４と、加圧された被処理水１５ａにレーザ光２７を照射して所定温度に加熱するレーザ光源２５及び集光レンズ２６とを有し、レーザ光源２５から照射されたレーザ光２７を集光レンズ２６によって、加圧した被処理水１５ａが流通する小口径流路２３における該流路内の流路壁から離間した領域２９に集光させ、この領域２９内の廃水１５ａを加熱して超臨界水又は亜臨界水を生成させ、生成した超臨界水又は亜臨界水を用いて被処理水１５ａ中の有機物を分解する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーの内部をクリーンな状態に保ち、且つメンテナンスの頻度を低減することが可能な真空チャンバーを提供する。
【解決手段】真空技術を用いる装置に設置される真空チャンバー１００は、真空チャンバー１００の内壁または真空チャンバー１００の内部に設置された構造物の、少なくとも１つの第一の部位１０１から液体を放出し、該液体を、真空チャンバー１００の内壁または真空チャンバー１００の内部に設置された構造物の、少なくとも１つの第二の部位１０２で回収する機構を有し、該液体の放出と回収が、真空雰囲気下で行われる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の温度まで昇温するのに必要な時間を短くすると共に、消費電力を小さくすることが可能な廃液処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】水及び有機物を含む廃液を処理する廃液処理装置は、水を亜臨界水、過熱水蒸気又は超臨界水に変化させると共に、有機物を酸化させる反応器１０と、反応器１０に廃液を供給する廃液供給部と、反応器１０に過酸化水素水を供給する過酸化水素水供給部と、反応器１０を加熱する加熱部４０を有し、加熱部４０は、反応器１０に赤外線又は可視光線を照射する光照射装置４１と、反応器１０を収容する減圧容器４２と、減圧容器４２内を減圧する真空ポンプ４３を有する。 （もっと読む）

【課題】タンク内に加圧導入される水に適切な量の空気を溶存させることができる加圧容器を提供する。
【解決手段】空気を含む水が加圧導入されるタンク３１の上端部に、水の注入口３２を形成し、タンク３１の下端部側には水の導出口を形成する。注入口３２の下側に間隔を介した下側に、タンク３１内を上下に仕切る仕切り板３４を設け、仕切り板３４の外周縁とタンク３１の内周壁との間に予め定められた設定間隔の隙間Ｓを形成する。注入口３２から注ぎ込まれる水が仕切り板３４の上に落下し絵隙間Ｓを通った後、タンク３１の内周壁の被添面に添ってタンク３１の下部側に落下して攪拌されながら貯留されることによって、水にタンク３１内の未溶存の空気を溶存し、仕切り板３４の下側に貯留される水の水面と仕切り板３４下面との間にはタンク３１内の未溶存空気の空気層を形成する。水位検出用の電極３５，３６を設ける。 （もっと読む）

【課題】有害物質の発生を低減しながら、短い時間で利用可能な材料とすることが出来る高炉徐冷スラグの処理方法およびその処理装置を提供する。
【解決手段】高炉徐冷スラグの処理方法であって、高炉徐冷スラグと水とを耐圧容器に収容後、耐圧密閉容器を加温することにより収容された水を１５０〜３００℃の高温高圧水にし、生成した前記高温高圧水と前記高炉徐冷スラグとの接触により前記高炉徐冷スラグ中の硫黄分を前記高温高圧水中に抽出する抽出工程（ステップＳ１０１〜１０３）と、前記抽出工程終了後、前記耐圧容器内の高温高圧水を排出する排出工程（ステップＳ１０４）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】水蒸気の水成分と熱を利用した水熱処理の処理期間の短縮化を図る。
【解決手段】酸化型亜臨界処理装置１００にて水蒸気の水成分と熱を利用した被処理物の水熱処理を行うに当たり、中空の処理釜１１０に被処理物を投入した後に、水蒸気を加熱および加圧した上で処理釜１１０の内部に圧送しつつ、投入済みの被処理物を高温高圧の水蒸気が導入済みの処理釜１１０で攪拌して水熱処理する。こうした水熱処理の実行中に、処理釜１１０の内部に、酸化の誘因となり得る薬剤を導入する。 （もっと読む）