【課題】液状樹脂の廃棄を少なくして、樹脂膜の形成コストを低減すること。
【解決手段】本発明の樹脂膜形成装置（２）は、ウェーハ（Ｗ）を保持する吸着面（６１）を囲むように環状凸部（６５）が設けられた成膜用テーブル（２２）と、成膜用テーブル（２２）の環状凸部（６５）に当接して、ウェーハ（Ｗ）上方に液密な空間（Ｓ）を形成する塗布部（２３）とを備え、塗布部（２３）には、液密な空間に液状樹脂を供給する供給口（７４）と、ウェーハ（Ｗ）の外周側に対向する位置において液密な空間（Ｓ）内を吸引する吸引溝（７６）とが形成され、成膜用テーブル（２２）と塗布部（２３）とを相対的にスライドさせる構成にした。 （もっと読む）

【課題】不良ノズルを確実に検出する液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】基材に向けてノズルから機能液を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定する着弾径測定部と、制御部と、を備え、前記制御部では、前記ノズルから基材に向けて吐出された液滴の吐出量と前記基材に着弾した前記吐出量に対応する前記液滴の基準着弾径との関係を示す関係データを取得し、前記ノズルから前記基材に向けて前記関係データに含まれる所定の液滴量を吐出させて、前記基材に着弾した前記液滴の着弾径を測定させ、測定された検査着弾径と前記所定の液滴量に対応する前記基準着弾径とを比較し、前記ノズルの合否を判断する。 （もっと読む）

【課題】基板上に塗布されたインクの乾燥ムラを抑制する。
【解決手段】本発明の一形態に係るインクジェット塗布装置は、第１のヘッド群１２Ａと第２のヘッド群１２Ｂとを有するインクヘッドモジュール１２を備える。第１のヘッド群１２Ａは、基板Ｓの表面全域をＸ軸方向に沿って配列された複数列の領域Ｒ１〜Ｒ６で区画したときに、所定の第１の領域群（Ｒ１，Ｒ３，Ｒ５）にインクの液滴を塗布する。第２のヘッド群１２Ｂは、第１のヘッド群１２Ａに対してＹ軸方向に所定距離（Ｈ）オフセットした位置に配置され、上記複数列の領域のうち残余の第２の領域群（Ｒ２，Ｒ４，Ｒ６）にインクの液滴を塗布する。このとき、第１のヘッド群１２Ａからの液滴が基板Ｓ上に着弾してから、第２のヘッド群１２Ｂからの液滴が基板上に着弾するまでの時間が所定時間以内となるように、基板Ｓを支持するステージ１１の移動が制御される。 （もっと読む）

【課題】マニホールド内のエアを十分に排出可能なダイヘッド及びこれを備えたダイコーターを提供する。
【解決手段】レジスト液Ｒを第１及び第２スリット２４、２５に供給するマニホールド２３が長手方向に延びて形成され、マニホールド２３の上端にはレジスト液Ｒを導入する導入口１５が設けられ、マニホールド２３の下端と連結される第１及び第２スリット２４、２５からレジスト液Ｒが吐出されるダイヘッド３において、マニホールド２３を形成する上壁面２２ｅが、導入口１５を下端として長手方向に勾配を有し、その上端にはエアを排出するエア排出口１６ａ、１６ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】キラキラとした輝きを有する堆積物を製造する。
【解決手段】本発明は、堆積物製造方法であって、基板上に散乱粒子を供給する工程と、基板上に供給された散乱粒子の上で、金属イオンを含有する第１の液体と、金属イオンを還元させることができる還元剤を含有する第２の液体とを接触させることによって、散乱粒子の上に金属を析出させる工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、基板に所定パターンの薄膜を精細に塗布することができる薄膜塗布装置を提供することにある。
【解決手段】
ｘｙｚ直交座標系を定義したとき、ｚ方向に向けて薄膜材料を吐出する複数のノズルがｙ方向に配列するノズル列を含む複数のノズルヘッドと、前記複数のノズルヘッドを保持するホルダと、を含み、前記ホルダは、前記複数のノズルヘッドを取り付ける際に、前記複数のノズルヘッド各々のｙ方向に対する配置位置を規定することができる位置決め機構を有する。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出精度の低下を抑制することができる液体噴射ヘッドモジュールの製造方法及び液体噴射ヘッドモジュール並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】インクを吐出する複数のヘッド１０と、複数の液体噴射ヘッド１０を保持する保持部材５０とを具備し、保持部材５０の一方面に、複数のヘッド１０が載置される載置面５４、及び保持部材５０を支持する位置決め治具７０の位置決めピン７８が当接される治具受け面５６が設けられたヘッドモジュール１の製造方法であって、保持部材５０の一方面に、載置面５４と治具受け面５６とを分断させるとともに面一に形成し、保持部材５０を治具受け面５６で位置決めピン７８に当接させ、保持部材５０の載置面５４に複数のヘッド１０を接着剤で仮固定し、締結部材６０で本固定する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、出口幅に渡る塗布媒体を均一に分配することを確保するカーテンコーターを提案することである。
【解決手段】
液体またはペースト状の塗布媒体を重力下においてに移動するカーテンの形で、移動する紙または板状織物上に吐出するためのカーテンコーターであって、吐出幅に沿って延びており、少なくとも１つの供給ラインを経て前記塗布媒体が供給される第１の分配チャンバー、および流出方向において、前記塗布媒体を区分された流れに分断する流出チャネルを有し、かつ出口スロットを経てカーテンとして塗布媒体を吐出する第２の分配チャンバーを有するノズル本体から構成され、前記流出方向において、前記第２の分配チャンバーは、調整点および拡張チャンバーを通過する複数の方向変更する流路を有するカーテンコーター。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを精度よくアライメントすることのできるインクジェットヘッドの組立方法を提供する。
【解決手段】基準座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けたヘッドユニットを、姿勢変更して使用状態としたときのインクジェットヘッドの使用状態座標データを取得する使用状態データ取得工程Ｓ０７と、基準座標データと使用状態座標データとを比較し、インクジェットヘッドの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程Ｓ１１と、基準座標データを位置ズレ量により補正した実装座標データを取得する実装データ取得工程Ｓ１１と、実装座標データに基づいて、インクジェットヘッドをヘッドプレートに組み付けるヘッド組付け工程Ｓ１３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄の必要性を減らし、衛星形成及び霧化を減らし、また、液体吐出出口からの液体の漏れを防止することができるディスペンサーを提供する。
【解決手段】
少量の液体を基材へ塗布するディスペンサー。ディスペンサー１０は、ディスペンサー本体１２と、ディスペンサー本体内のアクチュエーター１０ｂと、ディスペンサー本体に取り外し可能に連結される吐出要素本体５２を含む吐出要素５０とを含む。弁棒６０は、吐出要素本体内で往復移動するように取り付けられている。更なる態様は、変形可能な弁座と、変形可能かつ弾性的な弁棒の先端部と、個別量の液体を基材へ塗布する方法とを含む。 （もっと読む）