【課題】 製造条件等の砥石の特性を使用後に確認したり、砥石の使用経歴を記録することができる砥石工具を提供する。
【解決手段】 被加工物に所定の加工を施す砥石工具であって、砥石工具には非接触で情報を読み出しおよび書き込み可能な無線ICタグ３が埋設されている。 （もっと読む）

【課題】 ガラス等の脆性材料に対して、表面粗さが小さく高品質な加工面を効率良く得るための研削用砥石および研削加工方法を提供する。
【解決手段】 砥粒とバインダから成る研削砥石において、砥粒として粒径が０．２μｍから１０μｍのタングステンカーバイトを用い、バインダとしてコバルト、ニッケル、鉄、アルミ、およびクロムからなる群より選ばれた少なくとも１種を用いる。砥石は略円柱状であり、砥石の先端部は曲面であり、溝が設けられている。前記砥石を被加工物に対して斜めに傾け、砥石の軸線を中心として回転させながら研削を行う。 （もっと読む）

【課題】スクラッチの発生を抑制しつつ、ポリッシングパッドの目立てを促進することが可能なＣＭＰパッドコンディショナーを提供する。
【解決手段】コンディショニングディスク１の外周側に研削部２が設けられ、研削部２は、基台３に砥粒４が電着によって固定されて形成されている。砥粒４は、結晶形状が整ったダイヤモンドが用いられている。基台３の表面には、凸部と凹部とが径方向に交互に形成され、凸部と凹部とは所定の曲率半径を有する滑らかな曲線によって形成されている。凸部の曲率半径Ｒ１と凹部の曲率半径Ｒ２とは、Ｒ２＝（１／１０〜１０）×Ｒ１を満たす範囲となるようにコントロールされている。また、凸部と凹部のピッチは０．１ｍｍ以上であり、凸部の最高点と凹部の最低点との段差Ｔは０．００５ｍｍ〜０．０５ｍｍの範囲でコントロールされている。 （もっと読む）

【課題】研磨パッド調整装置及び製造方法及びそのリサイクル方法を提供する。
【解決手段】基底板２８と元の構成から裏返した反転研磨材ディスク２４を備え、この反転ディスクは、研磨材粒子５２を備える未使用の研磨面５０を有する露出した研磨面を備える。ディスクの接合面は基底板に取り付けられ、この接合面は研磨パッドを調整するために以前使用した使用済み研磨面を備える。またパッド調整装置は研磨材粒子の露出部分を備えた研磨面を有し、これらの研磨粒子の内の少なくとも約６０％は実質的に同一の結晶対称性を有する結晶構造を有する。 （もっと読む）

【課題】 複数の砥石セグメントの角度を微小量で正確に、しかもすべての砥石セグメントについて規則的に変更することが容易であるシリコンウエハー加工用カップ状セグメント型砥石を提供する。
【手段】 本発明は、台金の周縁部２ａに複数の砥石セグメント３が配置されるシリコンウエハー加工用のカップ状セグメント型砥石であって、砥石セグメント３がその研削面を回転面とする各々の自転方向Ｘにおける所定の角度ピッチで台金上に位置決めされる位置決め機構（凹凸形状５ａ，５ｂ）を有するシリコンウエハー加工用カップ状セグメント型砥石に関する。 （もっと読む）

【課題】 新たに生じるパッド表面までも確実に加工・調整して、効率的に精度良くパッド表面の加工・調整を行うことができる軟質材加工用切削工具を提供する。
【解決手段】 基材１０の表面１１に、主台座２０を上方に突出させて形成するとともに、この主台座２０の上面２１に、主切刃稜線２５を有する主切刃凸部２３を上方に突出させて形成する。基材１０の表面１１に、補助台座３０を上方に突出させて形成するとともに、この補助台座３０の上面３１に、補助切刃稜線３５を有する補助切刃凸部３３を上方に突出させて形成する。 （もっと読む）

多結晶ダイアモンド研磨要素、特に切削要素は、非平面の界面に沿って支持体、特に超硬合金支持体に結合された多結晶ダイアモンドのテーブルを有する。非平面の界面は通常、十字形の構成を有する。多結晶ダイアモンドは、高い耐摩耗性を有し、作業表面に隣接して触媒材料が希薄な領域、および触媒材料が豊富な領域を有する。触媒が希薄な領域は４０から９０ミクロンの深さまで延在し、これは先行技術よりはるかに浅い。触媒材料が希薄な領域が薄いにもかかわらず、多結晶ダイアモンド・カッタは、先行技術のそれと匹敵する耐摩耗性、衝撃強さおよびカッタ寿命を有するが、２０％の処理しか必要としない。
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【課題】主として無機粒子からなる研磨用成形体を用いた研磨用定盤により被研磨材料を研磨するにあたり、その面状態を適正に修正する方法及びそのための面修正材を提供する。
【解決の手段】面修正に用いられる修正材の修正に携わる面の一部または全面に、所定の材質からなる部材を配し、かつ当該研磨用定盤及び／または面修正材を互いに摺擦運動させながら修正液を加えつつ研磨用定盤を面修正する方法及びそのための面修正材を用いる。 （もっと読む）

【課題】 加工効率に優れる。
【解決手段】 基板１０の表面１１に、切刃稜線１４を有する複数の凸部１２を設ける。切刃稜線１４が軸線Ｏを中心とした放射方向に延びるように、凸部１２を配置する。凸部１２に、切刃稜線１４を複数に分断して、この切刃稜線１４にて生じる切屑を逃がすための空隙１５を形成する。凸部１２の上面１３を平坦面とする。複数の凸部１２の上面１３の合計面積Ｓ１と、基板１０の表面１１の面積Ｓ２との比Ｓ１／Ｓ２を、０．０００１〜０．０１の範囲に設定する。気相合成ダイヤモンド１６のコーティング層の層厚ｔを、０．５〜２０μｍの範囲に設定する。基板１０の表面１１の全面を、気相合成ダイヤモンド１６でコーティングする。 （もっと読む）

【課題】 研削時に目詰まりしない立軸平面研削用セグメント形砥石を提供する。
【解決手段】 回転中心軸２の周りに配設される立軸平面研削用セグメント形砥石１であって、砥石１の硬度Ｈ，ｈを外周部７より内周部６へ次第に低く形成する。内周部６に回転方向Ａと交差して小幅な筋９を複数形成する。筋９は開口幅を０．５〜３ｍｍ、奥行きを０．２〜２ｍｍに形成し、その断面はほぼ湾曲して凹状に形成されると共に、波形に複数並設している。また凸円弧状の面取り部10を設ける。研削面たる先端面４における内周部６と外周部７との間において、周速度に対応した最適な硬度を確保でき、目詰まりを防止できる。研削油供給及び研削切粉排除を良好に行うことができると共に、精密に研削できる。 （もっと読む）