【課題】表面に凹凸を有するＣＭＰ用研磨パッドであっても、パッド全面を均一にコンディショニング可能で、しかも高負荷条件においてもコンディショニング中にビビリを生じずに、安定したコンディショニングが可能なものを提供することである。
【解決手段】円盤状台金の表面に超砥粒を単層固着した超砥粒層を有するパッドコンディショナーで、円盤状台金に同心円環状領域と同心円形状の領域の全面に超砥粒層が形成され、円環状領域は、その半径方向の幅の中間近傍が凸であり、円形状領域は、円盤状台金の中心軸上において最も高くなる凸形状とする。頂上間の高低差は、円環状領域の凸部の頂上よりも、円形状領域の凸部の頂上のほうが５μｍから１００μｍ高くすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】研削砥石を効果的にドレッシングすることができるとともに、安価に製作することができる研削砥石のドレッシング方法およびドレッシング工具を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブル８１と、チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段とを具備し、研削手段が回転可能なホイールマウントとホイールマウントに着脱可能に装着され被加工物を研削する研削砥石５２を備えた研削ホイール５を具備している研削装置において、研削砥石をドレッシングする研削砥石のドレッシング方法であって、シリコン基板の表面に溝１１１が形成されたドレッシングボード１１をチャックテーブルに保持し、チャックテーブルを回転するとともに研削ホイールが装着されたホイールマウントを回転しつつ研削砥石をシリコン基板の表面に接触させて研削砥石の研削面をドレッシングする。 （もっと読む）

【課題】回転砥石による加工の際に用いられる冷却効果を有する潤滑油剤の排出量を低減すること。
【解決手段】砥粒層４を有する回転砥石１であって、砥粒層４には複数の気孔５が形成されているとともに、気孔５内には潤滑油剤Ｂが充填されている。 （もっと読む）

【課題】被研磨物を高精度且つ高速で研磨できる超音波研磨装置を提供する。
【解決手段】 アルミ製のリング状の弾性体２の上下面を旋盤により切削し両面に段差を設ける。弾性体２の厚肉の外周部の両面に２個のリング状の圧電セラミック１２ａ、１２ｂを、エポキシ接着剤を用いて接合する。圧電セラミック１２ａ、１２ｂは表面に防水用の塗料を塗布している。また弾性体２の内部に４個の取付け孔２４を設ける。アルミ製の弾性体２の上下面に接合した圧電セラミック１２は、板厚方向に分極されている。 （もっと読む）

【課題】切れ味を損なわずに、寿命を向上させることが可能なツルーイング工具を提供する。
【解決手段】砥粒２１が電着により結合されて形成された砥粒層２２は、砥粒層２２よりも薄くかつ円柱状台金と一体の金属で裏打ちされて構成されている。砥粒層２２は、裏打層４０の表面に、砥粒２１の粒径の２０％以上３０％以下の厚みのメッキ層２３により固定された下層２４と、下層２４の表面上に砥粒２１の粒径の８０％以上１２０％以下の厚みのメッキ層２５を析出させて、砥粒２１が下層２４の砥粒２１よりも突き出して固定して形成された上層２６とからなっている。上層２６の砥粒２１は下層２４の砥粒２１の隙間に配置され、２つのメッキ層２３、２５全体の厚みが砥粒２１の粒径の１００％以上１５０％以下となっている。 （もっと読む）

【課題】研削ホイールが大径化してもホイールマウントへ容易に着脱することができる研削ホイールを提供する。
【解決手段】チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段を構成する回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントに取り付けられる研削ホイール５であって、複数の基台セグメント５１と、複数の基台セグメントのそれぞれ一方の面に装着された研削砥石５２とからなる複数のホイールブロック５０からなっており、複数のホイールブロックは複数の基台セグメントの他方の面がそれぞれホイールマウントに取付けられて環状に構成される。 （もっと読む）

【課題】小径のオイルホールを持つ砥石を、砥石性能にばらつきを生じさせることなく、歩止まり良く製造することができるオイルホール砥石の製造方法を提供する。
【解決手段】定法により成型・焼成された砥石本体１に、直径０．１ｍｍ〜０．５ｍｍのオイルホール３をレーザ加工機２によって穴あけ加工する。レーザ加工機２としては、ＹＡＧレーザ加工機またはＣＯ_２レーザ加工機を用いることができ、円運動させるようにレーザビームを走査しながら穴あけ加工する方法、あるいはレーザ照射点を加工孔の中心に固定して穴あけ加工する方法を取ることができる。黒鉛線材を埋め込む方法に比べ、生産性が高く、砥石品質のバラツキも生じない。 （もっと読む）

【課題】軸回転とともに偏心運動を与えて研削作業を行うノンコアドリルにおいて、硬脆材料の研削効率を向上させることができるノンコアドリルを提供する。
【解決手段】回転軸として作用するシャンク３の先端にダイヤモンド砥石部２を備え、このダイヤモンド砥石部２をシャンク３の軸心αを中心として軸回転させるとともに、ダイヤモンド砥石部２と研削対象となる硬脆材料１６との間に偏心運動を与えて研削を行うためのノンコアドリル１であって、ダイヤモンド砥石部２の先端面１３における少なくとも回転軸の軸心部αに凹部１４が形成され、この凹部１４を除くダイヤモンド砥石部２の先端面１３が、硬脆材料１６を研削する先端砥面となっている。 （もっと読む）

【課題】工具本体に働く弾発力を調整可能としてより最適な操作感を得ることができるようにする。
【解決手段】回転工具１０は、駆動軸Ｓｐにこの駆動軸Ｓｐと一体に回転するように固定される回転軸部材１２と、この回転軸部材１２に装着される工具本体１４と、ナット部材１８および皿ばね１６とを有する。回転軸部材１２は、前記工具本体１４がこの部材１２と一体に回転し、かつ当該部材１２の軸方向に変位し得る状態で装着される装着部２２と、この装着部２２よりも前側に位置して回転軸部材１２の離脱を規制するフランジ部２０と、前記装着部２２の後側に設けられ、ナット部材１８が螺合装着される雄ねじ部２４とを備える。そして、この回転軸部材１２に装着されるナット部材１８と工具本体１４との間に前記皿ばね１６が弾性圧縮状態で介在するように装着される。 （もっと読む）

【課題】研削時に研削ワークエッジ部に振動が発生することを防止することが可能な研削ヘッド、研削装置、研削方法、及び、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】研削ヘッド１０は、所定の回転軸Ｘ１を中心として回転可能な回転盤１２と、回転盤１２の回転面に環状に配列された複数の砥石１４とを備え、複数の砥石１４が、研削ワーク１００を研削する際に、前後に配列する砥石１４−１及び１４−２が共に研削ワーク１００のエッジ部に接触するように配列されている。 （もっと読む）