【課題】超音波振動子の超音波を研削砥石に対して十分かつ均一に伝達させることができ、難研削材であっても効率よく研削できる研削ホイールを提供する。
【解決手段】ホイールマウントと連結するリング状の連結部５１１と、連結部５１１の内周部に連結された円盤形状の砥石装着部５１２とからなるホイール基台５１について、砥石装着部５１２が、ホイールマウント側となる上面は該ホイールマウントに対して相対的に非接触に構成され、下面側に研削砥石５２が装着され、研削砥石５２よりも内周側で研削ホイール５の中心周りに研削砥石５２と同心円をなす位置に配設された円環状の超音波振動子６を有し、連結部５１１と砥石装着部５１２との境界部に位置させて、周方向に形成された複数の円弧状スリット５１３を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】研削砥石をウェーハに接触させて研削を行う場合において、研削開始時の衝撃力や研削中における研削砥石の微振動がウェーハに伝達されないようにする。
【解決手段】ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを研削する砥石部２３０ｂがホイールベース２３０ａに固定されて構成される研削砥石２３０とホイールベース２３０ａを支持するホイールマウント２１０とを備えた研削手段１９と、研削手段１９をチャックテーブルに対して接近及び離反させる研削送り手段とを少なくとも備えた研削装置において、ホイールベース２３０ａとホイールマウント２１０との間にＪＩＳ Ｋ６２５５に規定される反発弾性が２％〜４％の制振ゴム２２０を介在させ、研削開始時の衝撃力や研削中における研削砥石２３０の微振動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】超砥粒ホイールの寿命を向上させる。
【解決手段】本発明の超砥粒ホイール１０は、台金１２と、台金１２の表面に超砥粒を固着して形成されたリング状の研磨部２０と、台金を回転させる駆動装置１８とを備えており、研磨部２０を、内周側に形成された研磨層２０ａ,２０ｂと、研磨層２０ａ,２０ｂより粒度の粗い超砥粒により形成された外周側の研磨層２０ｃ,２０ｄとで構成する。そして、研磨層２０ａ〜２０ｄを、外周側から内周側に向かうにつれて階段状に順次高くなり、かつ粗粒研磨層に向かって高くなる段差ΔＨｃが、細粒研磨層に向かって高くなる段差ΔＨｂ,ΔＨａより大きくなるよう形成する。 （もっと読む）

【課題】歯形の表面に砥粒層が形成された電着工具において、この砥粒層に研削油剤を確実に保持してワークの加工部位に供給し、加工時に発生する切粉や加工熱を効率的に除去することが可能な電着工具を提供する。
【解決手段】台金１に形成された歯形２の表面に砥粒３ａが電着されて砥粒層３が形成されてなる電着工具であって、砥粒層３の表面に多数のディンプル４を形成する。ディンプル４は、砥粒３ａの平均粒径よりも径Ｘが大きく、かつ深さＹが浅く形成されている。 （もっと読む）

【課題】高速度研削においても、研削液のキャリィ効果や速やかな切屑排出が得られると共に、研削点つまり接触円弧内への研削液の到達量を多くして十分な冷却効果が得られるダイヤモンドホイールを提供すること。
【解決手段】ダイヤモンドホイール１は、台金２の外周に、ダイヤモンド砥粒とボンド材との焼結からなる砥粒層８が周方向にセグメント状に隙間６をもって配列形成され、これら砥粒層８のセグメントとセグメントの間の上記各隙間６にボンド材の焼結からなるボンド層７Ａ、７Ｂ、７Ｃ・・・が充填され、研削作用面４が周方向において、砥粒層８とボンド層７Ａ、７Ｂ、７Ｃ・・・とが交互に配列して連続に形成されている。 （もっと読む）

【課題】金属やセラミックス等の高硬度材を軸付き砥石にて研削加工する場合、クーラント液と加工された切粉は、軸付き砥石の砥粒と砥粒の間の僅かな隙間に入り込むしかなかった。そのため、軸付き砥石の目詰まり等が発生しやすく、軸付き砥石の寿命を減少させ、また、被加工物の加工面の面粗さ等にも影響を与えていた。
【解決手段】本発明のクーラントスリット付き軸付き砥石は、軸付き砥石の外周部と底部にクーラント液と加工粉が入り込むスリットを設けることで、軸付き砥石の長寿命化と高品位な研削加工が実現できる。 （もっと読む）

コーティングされた研磨材積層ディスク（１００）が、約１４０℃〜１９０℃の範囲の溶融開始温度を有する、並びにポリアミド及び／又はポリウレタンを含む熱可塑性接着剤（１２２）で積層された、ガラス布地（１２５）と織布（１２４）を有する裏材（１２０）を有する。コーティングされた研磨材積層ディスク（１００）の製造方法も開示される。
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【課題】研削粉を十分に除去可能であり、小径柱状砥石の柱径が２ｍｍであっても強度の確保ができる研削砥石を提供する。
【解決手段】研削砥石の構造として、複数の小径柱状砥石２が平行に配列されるとともに、他の複数の小径柱状砥石が平行に配列された小径柱状砥石の上に順次積み重ね合わされて配列され、各小径柱状砥石の隣接する小径柱状砥石との接合部６で相互に接合融着されて形成された小径柱状砥石の集合成形体であって、各小径柱状砥石と隣り合う他の各小径柱状砥石との間の接合部６以外の部分に空隙４が設けられるように小径柱状砥石が配列されている。 （もっと読む）

【課題】従来の穴開け用工具は、先端面に固定された超硬質砥粒のうち一部分のみに負荷がかかり、その部分の砥粒が剥がれ工具寿命に達してしまうという問題、寿命に達した工具に残った砥粒はまだあまり摩耗していないにもかかわらず廃棄せざるを得ないという問題があった。
【解決手段】少なくとも一方端を凸曲面２０とした柱状体１６と、少なくとも前記凸曲面２０に固定した砥粒１４とを有する穴開け用工具１０であって、前記凸曲面２０は前記柱状体１６の直径Ａよりも曲率直径Ｂが大きいこと。 （もっと読む）

【課題】スラリー液分の侵入によるダイヤモンド膜等の硬質被膜の脱落を防止して、その使用寿命の延長を図ることができるとともに、パッド等の被加工材により加工・調整される半導体ウェハ等にスクラッチを生じさせることのない軟質材加工用回転工具を提供する。
【解決手段】軟質材よりなる被加工材が移動され、この被加工材に対して加工を施す軟質材加工用回転工具であって、前記被加工材に対して対向させられる基板１１の表面１１Ａに切刃凸部１４が突出するように形成されており、この切刃凸部１４の突端面１５に、気相合成ダイヤモンド膜１７が形成されており、この気相合成ダイヤモンド膜１７表面が水素終端処理されていることを特徴とする。 （もっと読む）