【課題】研磨加工面の一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物でも、研磨加工面の全体を安定して精度良く均一に研磨加工することが可能な研磨加工技術を提供する。
【解決手段】円環形状の弾性体６ａからなる加工作用部６ｂを備えた研磨工具６を用い、被加工物１の主軸回転軸Ａと、研磨工具６の工具回転軸Ｂとが、被加工物１の研磨加工面１ａの研磨加工点ｋにおける傾斜角α（ｘ）（接線の傾き）から所定の角度β（ｘ）を減算して得られる研磨角度θとなるように制御し、円環形状の加工作用部６ｂが三日月形状の領域で部分的に研磨加工面１ａに接触するようにして、研磨加工面１ａの一部に曲率半径が小さな凹部を有する被加工物１でも、研磨加工面１ａの全体を安定して均一に研磨加工することを可能にした。 （もっと読む）

【課題】研削時の摩擦熱による砥石の温度上昇を抑制すると共に、安全性及び耐久性が高く、研削効率の高い回転砥石を提供する。
【解決手段】軸孔２を介して回転工具に取り付けられるオフセット型の回転砥石１であって、盤面に材料密度が高く厚みの薄い空気流通溝１１を、オフセット部５の周縁８から接線方向に延びるように設けた。高密度で高強度な空気流通溝が芯材となってブリッジ的な効果を発揮するので、研磨作業において盤面を被研削体に押し付けた際に生ずる応力を吸収することができる。また、空気流通溝によって摩擦熱や研削屑の排出が促されるので、高速回転用の砥石としての安全性及び耐久性を向上させることができ、研削効率を高めることができる。 （もっと読む）

第１の主表面と、第１の主表面に対向する第２の主表面とを有する裏材を備える研磨物品。三次元研磨層が第１の主表面に取り付けられ、三次元研磨層は複数の成形された研磨複合体を含み、複数の成形研磨複合体は成形研磨複合体の間の複数のランド領域によって離間され、成形研磨複合体のそれぞれは上面と側壁とを含み、複数の成形研磨複合体及び複数のランド領域は共に、有機結合剤内に分散された研磨粒子から形成される。予備処理指標は、複数の成形研磨複合体の少なくともいくつかの上面上に位置付けられ、持続的指標は、複数のランド領域の少なくとも一部の上に位置付けられる。 （もっと読む）

【課題】デバイスの抗折強度を低下させることなく、ゲッタリング効果を維持することができるとともに、ウエーハの厚みが薄くなっても破損させることなく研削することができる研削ホイールを提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブルに保持された被加工物の被研削面を研削する研削ホイール５であって、中心部に研削水供給穴４４０を備えた円形状のホイール基台５１と、ホイール基台の下面に装着され中心部に該研削水供給穴と連通する連通穴５２１を備えた円形状の研削砥石５２とからなり、研削砥石は粒径が５μm以下のダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで結合して焼成し円形状に形成され、連通穴の内周から外周までの径方向長さがチャックテーブルに保持される被加工物の半径より長い値に設定されている。 （もっと読む）

【課題】
簡単な構造で外周面の初期偏芯を抑制できる超砥粒ホイールを提供する。
【解決手段】
中心穴が形成されたストレート状又はカップ状の基板１ａの外周に超砥粒を含む砥粒層１ｂを接合した超砥粒ホイール１であって、基板１ａに複数の偏芯調整機構（６、７、９）を設けた。偏芯調整機構は中心穴１ｄに通じた放射状に伸びる複数のキー溝１ｆと、キー溝１ｆに嵌め込むスライド手段６から構成される。キー溝１ｆの外周側には、ネジ７がスライド部材６の一端に当接するように配置され、ネジ７の締め付け具合を調整する事によって基板の中心穴１ｄの位置を移動させることができ、超砥粒ホイール１の外周面の初期偏芯を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、パッドの表面を削ることによりパッドの平坦性を維持するとともに、コンディショナの砥粒がパッドの変形に追従しつつ、長い製品寿命を有するパッドコンディショナを提供する。
【解決手段】本発明に記載のパッドコンディショナは、パッドに当接して研磨するための砥粒面を有する砥粒基盤と、砥粒基盤を支持する円盤状の台金と、円盤状の台金と砥粒基盤との間の外周部に配置され、且つ環状に形成された外側弾性部材と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で外周部のダレの発生を防止することができる砥石及びこれを用いた研削装置を提供する。
【解決手段】片側に被研削物を研削する研削面２を有する円環状の砥石１であって、前記研削面２の内周部４における前記被研削物と当接する研削面積が、前記研削面２の外周部５における研削面積よりも狭い。これにより、内周部４の単位面積当たりの仕事量を増加させるので、両頭平面研削装置に適用した場合に、外周部５と内周部４の摩耗を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】振動並びに騒音を一様に低減することが出来、かつ軽量化も図ることが出来、しかも鉄材を研削したとき火花の発生を抑えることが出来る画期的な研削工具を提供する。
【解決手段】表面に砥粒が固着された円盤状の台金１の裏面に、台金とは異なる材料からなりかつ比重が台金の比重の１／２以下とされた低弾性振動減衰材２が接着または焼付けによって取り付けられている。台金は直径と厚みとの比率が１００以上とされている。また、台金の表面には、所定領域に砥粒を固着された複数の砥粒群３が互いに０．２〜１０ｍｍの間隔をあけて配置されている。 （もっと読む）

【課題】加工精度を確保しつつ、工具寿命を延長でき、被削材の切屑による目詰まりを防止し研削性能を安定して確保できる研削加工用ホイール、研削加工用ホイールの製造方法及び研削・研磨装置を提供する。
【解決手段】基材１と、前記基材１に成膜されたダイヤモンド膜４とを備え、この基材１の前記ダイヤモンド膜４側に対向配置された被削材に研削加工を施す研削加工用ホイールであって、前記基材１は、前記被削材に対向するように配された多孔質状のポーラス領域３を有し、前記ポーラス領域３の前記被削材側を向く表面３Ｂが、前記ダイヤモンド膜４で被覆され、前記ダイヤモンド膜４には、前記表面３Ｂに露出する気孔３Ａの部分に対応するように孔４Ａが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドとの接触部において面接触となるようにして使用時の摩耗を軽減すると共に、研磨パッドを研磨する際に発生する研磨粉等がベース部材の内側部分から外部に排出し易くする。
【解決手段】回転する円形平盤状のベース部材２９の外周部を所定幅で円周方向に盛り上げた凸形の円弧状曲面の表面に研磨グリッド３４を略均一に分布させて固着した研磨面３１を、研磨盤の研磨パッドの表面に上方から押し付けて該研磨パッドを上記研磨面の凸形の円弧状曲面に倣った形で弾性変形させ、上記研磨面と研磨パッドとの接触において面接触の状態として研磨し、上記円周方向に盛り上げられた研磨面に等間隔で形成され、上記ベース部材の中心Ｏから外方に延びる半径方向に対して該ベース部材の回転方向Ｒと反対側に傾斜して延びる複数の凹溝３３により、上記研磨パッドを研磨する際に発生する研磨粉等がベース部材の内側部分２９ａから外部に排出し易くしたものである。 （もっと読む）