【課題】その工具に関連する情報を認識し易くすることができる工具及び砥粒層チップを提供する。
【解決手段】ラップ定盤１は、砥粒層チップ７を備える工具であって、砥粒層チップ７は、所定の標章の形状をなしている。そして、当該ラップ定盤１に関連する情報である工具情報が、上記標章によって示される。従って、このラップ定盤１の使用者は砥粒層チップ７の形状を見て、視覚的に当該ラップ定盤１に関連する情報を認識することができる。 （もっと読む）

【課題】クーラント中に分散した研削屑や脱落砥粒を外部に効率良く排出することができ、砥石表面での目詰まりの発生を回避することのできる湿式研削装置を提供する。
【解決手段】本発明の湿式研削装置は、第１面を有し、第1方向に回転軸まわりに回転可能な、第１定盤、該第１定盤は該第１面に連通し、クーラントを供給可能な少なくとも１つの第１孔を有する；該第１面に対向する第２面を有し、該第１方向と反対向きの第２方向に該回転軸まわりに回転可能な、第２定盤；各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第1面に取り付けられる、第１研削砥石セグメント；そして、各々が略扇状を有し、円盤状に配置され、そして該第２面に取り付けられる、第２研削砥石セグメント；を有し、各該２砥石セグメントには、該第１孔に対向する位置を含む該回転軸を中心とした円に沿って、該第２方向両端縁間に延設される、少なくとも１つの溝が形成される。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの外周部分を高精度に外周研削することができるウェーハエッジ研削方法、ウェーハエッジ研削ユニット及びウェーハ裏面研削装置を提供する。
【解決手段】回路パターンが形成された表面にＢＧテープ１３が貼り付けられているウェーハのエッジを研削するウェーハエッジ研削方法であって、表面が上向きになるようにウェーハ１０をテーブル５に保持することと、鉛直方向ないしこの鉛直方向に対して所定角度傾けた方向に回転軸Ｇを有するカップ砥石８をウェーハ１０の周囲に配置することと、ＢＧテープ１３から露出しているウェーハ１０の外周部分に沿って段部１４を形成するように、カップ砥石８を回転させながらウェーハ１０の外周部分に接触させてウェーハ１０の外周部分を外周研削することと、を備える。 （もっと読む）

【課題】内径部を有する円板状の研磨材を備えた研磨工具でガラス基板を研磨後、研磨材の内周の摩耗量が極端に小さかったり、大きかったりすることがあり、研磨材の表面を修正加工する必要が生じ、またガラス基板を目的形状に研磨できない場合がある。
【解決手段】中心に内径穴１５ｃが形成された円板状の研磨材１５ｄを工具保持円盤１５ｂの片面側に固定し、工具保持円盤１５ｂを研磨装置により回転させて研磨材１５ｄに当接する被研磨部材の表面を研磨する研磨装置用の研磨工具において、円板状の研磨材１５ｄは、前記内径穴１５ｃの内径に対する外径の比である内外径比を１０％以上、２０％以下とした。 （もっと読む）

【課題】より容易に、且つより短時間に、幅が狭く且つ深さが浅い浅溝を回転砥石の研削端面に形成することができる、カップ型回転砥石のドレッシング方法、及び当該ドレッシング方法を行うためのドレッサを提供する。
【解決手段】砥石回転軸と所定距離離れてほぼ平行なドレッサ回転軸回りに回転するとともにドレッサ回転軸に直交する平面状のドレッサ端面Ｄｓと、ドレッサ回転軸から離れてドレッサ端面Ｄｓ上の任意の位置に突き出すように設けられた針状の溝加工ツルアＤｔと、を備えたドレッサＤＲを用い、カップ型回転砥石Ｔを砥石回転軸回りに回転させて、研削端面Ｔｓをドレッサ端面Ｄｓに接触させてドレッシングするとともに、ドレッサＤＲをドレッサ回転軸回りに回転させて、溝加工ツルアＤｔにて、研削端面Ｔｓの内壁側と外壁側とを連通する複数の溝を形成することで、研削端面Ｔｓのドレッシングと研削端面Ｔｓへの溝の形成とを同時に行う。 （もっと読む）

【課題】穴部を研削する際のチッピングの発生を有効に防止するとともに、簡便且つ安価に穴あきハニカム構造体を製造することが可能な製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の穴あきハニカム構造体の製造方法は、その表面に加工方向に沿った溝が形成された軸付砥石、又はその先端に砥粒２２が配置されたボールエンドミル２４を用いて、ハニカム構造体１０の外壁２の表面から、この外壁２及び隔壁３の一部を研削して穴部５を形成する工程を備えた製造方法である。 （もっと読む）

本発明は、研磨用品と補助工具との間に使用される接合パッドに関する。特定の一実施形態において、孔あき研磨用品と補助工具との間に使用される接合パッドが提供される。一般に、本明細書に記載される接合パッドは、特定の構成の開口を有する研磨用品と、異なる構成の集塵開口を有する補助工具との間に接合パッドを使用することができるように構成された、開口及び少なくとも１本のチャネルを含む。一実施形態において、本明細書に記載される接合パッドは、任意の孔あき研磨用品と、除塵が可能な任意の補助工具との間に接合パッドを使用することができるように構成された、開口及び少なくとも１本のチャネルを含む。接合パッドを備える研磨工具及び接合パッドの使用方法もまた記載される。
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【課題】ワークの外周面に溝と、溝に隣接する突出部を砥石により研削する場合に、加工時間の短い研削装置を提供する。
【解決手段】コア６に砥粒７を接着した砥石５を、砥石回転軸Ｘ１を中心に回転させながらワーク２０に対し相対移動させることにより、ワーク２０の外周面を研削する研削装置において、コア６は、砥石回転軸Ｘ１と平行なコア内平行部６ａと、コア内平行部６ａの軸線方向両端に連続し、コア内平行部６ａより大径のコア突出部６ｂと、を有し、コア内平行部６ａ及びコア突出部６ｂの表面に砥粒７が接着されている。 （もっと読む）

【課題】研削速度が速く、研削工程中に砥石を交換する作業が不用で、仕上がり時の面を高品質にして、ポリシング工程を短縮する。
【解決手段】電子材料用ウエハ１２の裏面を目的の厚みまで研削するためのものであって、複数相の環状研削面を備え、外相から内相に至る各相が、ダイヤモンド砥粒をそれぞれ異なる結合材で固定し、最外相のダイヤモンド砥粒の結合剤として、ガラス系の結合剤を使用した。また、最外相以外の内相には樹脂系の結合剤を使用した。規格表示上の粒径が同一のダイヤモンド砥粒を使用したり、それぞれ異なるものを使用して、ウエハ１２の裏面研削に最適な特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
ＣＭＰパッドのコンディショニングにおいて、パッド表面に、充分に制御された表面精度を効率的に達成可能なコンディショナーを提供すること。
【解決手段】
本発明のコンディショナーは、剛性材製で平らな円形基板と焼結ダイヤモンド層とで構成される全体として円形で平らな研磨体を有し、該研磨体は、超硬合金面を接合面として該基板の一方の円形又は円環状面と接合され、上記焼結ダイヤモンド層に線状溝群が形成され、かつ該溝群に沿って一様な高さの複数個の研磨突起が整列配置されたコンディショナーであって、該研磨突起は軸に垂直な断面において四辺形の柱状を呈し、研磨突起頂部において外方側面は基板に垂直な基準面に対して0乃至30°の裾広がり状を呈する補強部を有し、また各背面は基板に平行な基準面に対し5°〜45°で下方に傾斜した逃げ面を有し、かつ外方側面と背面との為す面角が90°よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）