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国際特許分類[C23C16/26]の内容

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【課題】容器の膨張を抑制してガスバリア被膜が容器の膨張により損傷を受けることを防止することができる安価な炭酸飲料用ポリエステル樹脂製容器を提供する。
【解決手段】炭酸飲料用ポリエステル樹脂製容器1は、少なくとも胴部5を含む容器外面側の領域を被覆する熱収縮ラベル9を備える。熱収縮ラベル9は、37℃の温度下、引張速度1mm/分で測定した、0〜2%の伸張範囲における横方向引張弾性率E(MPa)とラベルの膜厚d(mm)との積E×dで表される復元定数F(N/mm)が、F>1150−4000t(tは容器の胴部平均肉厚)の範囲にある。 (もっと読む)


【課題】ピンホールによる流体の浸入が少ない耐久性に優れたダイヤモンド被覆電極を提供する。
【解決手段】1層のダイヤモンド層24a・・の膜厚Tcが30〜40nmの超微結晶であるため、ピンホールそのものが小さくなるとともに表面の撥水効果が高くなって電解液等の流体の浸入が抑制される。また、核付け処理を繰り返して超微結晶ダイヤモンド多層コーティング処理を実施し、所定膜厚Tdのダイヤモンド多層膜22a・・を所定の積層数N(≧3)だけ形成するため、ダイヤモンド多層膜22a・・の密着性が向上し、単に種結晶生成処理および結晶成長処理を繰り返すだけで目的とする総膜厚Ttとする場合に比較して被膜強度が高くなり、ピンホールによる流体の浸入が抑制されることと相まって剥離に対して優れた耐久性が得られるようになる。ダイヤモンド多層膜22a・・の間にグラファイト層を設けることも、剥離に対する耐久性向上に有効である。 (もっと読む)


本発明は、シリコン含有ダイヤモンド状炭素薄膜、その製造方法、及びその用途に関し、シリコン含有ダイヤモンド状炭素薄膜は、内部及び表面にシリコンを含有するダイヤモンド状炭素薄膜の表面に、その薄膜の表面に存在する炭素及びシリコン原子とその薄膜の表面に親水性を付与する原子(A)間の化学結合を有することを特徴とする。
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【課題】フィラメント状のカソード電極の寿命を高めると共に、高硬度で緻密な炭素膜を形成することを可能とした炭素膜の形成方法を提供する。
【解決手段】減圧した成膜室101内に炭素を含む原料の気体Gを導入し、この気体Gを通電により加熱されたフィラメント状のカソード電極104と、その周囲に設けられたアノード電極105との間で放電によりイオン化し、このイオン化した気体Gを加速して基板Dの表面に照射することによって、基板Dの表面に炭素膜を形成する炭素膜の形成方法であって、カソード電極104を回転させながら炭化処理した後に、この炭化処理されたカソード電極104を用いて、炭素膜の形成を行う。 (もっと読む)


【課題】高硬度で緻密な炭素膜を均一な厚みで形成することが可能な炭素膜の形成方法を提供する。
【解決手段】減圧された成膜室101内に炭素を含む原料の気体Gを導入し、この原料の気体Gを、通電により加熱されたフィラメント状のカソード電極104と、その周囲に設けられたアノード電極105との間で放電によりイオン化し、このイオン化した気体を基板Dの表面に加速照射するときに、マグネット109によって成膜室101内の励起空間に磁場を印加すると共に、この励起空間の周囲に配置されたマグネット109を周方向に回転させながら、炭素膜の形成を行う。 (もっと読む)


【課題】炭化ケイ素上のグラフェン・バッファ層の活性化のための方法およびデバイスを提供する。
【解決手段】炭化ケイ素層上に形成された1つ以上のグラフェン層を有する構造を電気的に活性化させる方法は、炭化ケイ素層と1つ以上のグラフェン層の最下層との間に配置された酸化シリコン層を形成するように構造に酸化プロセスを行うことによって最下層グラフェン層を電気的に活性化するステップを含む。 (もっと読む)


【課題】カーボンナノチューブを大面積の基板上に高速に形成する化学気相成長装置等を提供する。
【解決手段】化学気相成長装置101において、ノズル102は、炭素源ガスを供給し、ヘッド103は、表面に触媒を配置した基板106の一部を覆うスカート123を有し、ノズル102から供給された炭素源ガスを基板106の対向する領域に供給し、移動部104は、基板106に対してヘッド103を所定の方向へ所定の速度で相対的に移動させ、加熱部105は、基板106に対してヘッド103が移動される間、基板106の表面のうち、ヘッド103に対向し、かつ、触媒が配置された導電性部材を加熱する。 (もっと読む)


【課題】ベーパライザーなしでソースガスを供給できるとともに、成膜レートを安定させ、良質なカーボン膜を形成して、アニール炉内清浄化の妨げとなる炉内低温部でのタール成分の発生を抑制し、炭化珪素半導体装置の品質の安定と歩留まりの向上を実現する炭化珪素半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ソースガスとして一酸化炭素を使用し、化学気相成長法によって炭化珪素ウエハWFの全表面にカーボン保護膜6を形成する。具体的には、成膜装置内を真空ポンプにより真空排気し、残存する酸素を極力除去した後、ArやHeなどの不活性ガスを流しながら、減圧下で成膜装置内の温度を500℃から1000℃の範囲に加熱する。この温度に達したら、不活性ガスの流入を停止し、成膜装置内にソースガスとして一酸化炭素を流入させることで、炭化珪素ウエハWFの全表面にカーボン保護膜6を形成する。 (もっと読む)


絶縁層上にアモルファスカーボン層を形成する方法は、プラズマ反応プロセスを用いることによってアモルファスカーボン層を形成する工程を有する。前記アモルファスカーボン層は、プラズマ励起ガス、一連のCxHyガス、シリコン含有ガス、及び酸素含有ガスを含む雰囲気中で形成される。
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カーボンナノチューブの成長を促進するのに十分な第1の温度まで加熱する成長チャンバーを準備するステップと、基材を成長チャンバーに通すステップと、少なくとも一部の原料ガスを少なくとも遊離炭素ラジカルに解離するのに十分な第2の温度まで予熱した成長チャンバーに導入し、これによって基材上でカーボンナノチューブの形成を開始するステップと、を含んで構成されたカーボンナノチューブ(CNT)合成方法。 (もっと読む)


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