【課題】 遮光位置のずれを低減する技術の提供。
【解決手段】 原版を光で照明する照明系、前記原版のパターンの像を基板に投影する投影系を有する光学系を備える露光装置で、前記光学系の光路上の前記投影系の物体面と共役な面かその近傍に配置され、前記像が前記基板上に投影される領域の外縁の一部を円弧状に規定する円弧状部を有する遮光板と、前記光学系の光路に沿った回転軸まわりに前記遮光板を回転駆動する回転駆動部と、前記回転軸と交わる方向に前記遮光板をシフトするシフト駆動部と、前記回転駆動部により前記遮光板を回転駆動させ、前記光学系により前記像を前記基板に投影する際の基準となる基準軸と前記回転軸との相対位置の情報を取得する取得部と、前記基板の周辺部に対して前記像を投影する場合、取得した前記相対位置に関する情報に基づき、前記遮光板が所定の位置になるように前記回転駆動部と前記シフト駆動部を制御する制御部を有する。 （もっと読む）

【課題】研磨部及び再研磨部の仕上がり具合を簡単な手法で定量的に評価できる金属板の外観評価方法を提供する。
【解決手段】この金属板の外観評価方法では、金属板１の表面のデジタル画像１０をスキャナ４によって取得し、デジタル画像１０の一部画像１１に含まれる各ピクセルのＲＧＢ値をグレースケール変換して得られるＡｃ値の波形パターンに基づいて研磨部２及び再研磨部３の外観の可否を判断する。波形パターンを用いることで、研磨部２及び再研磨部３の外観を容易かつ定量的に判断できる。また、この方法では、波形パターンに基づいて、研磨部２及び再研磨部３の研磨方向がスキャナ４の走査方向と一致しているデジタル画像１０を判断対象として選別する。この前処理により、外観判断工程で用いる波形パターンのＳ／Ｎ比が向上し、判断精度が高められる。 （もっと読む）

【課題】部品９１の三次元認識を正確に実行する。
【解決手段】互いに異なる場所から部品９１を撮像した２枚の撮像画像Ｉ1、Ｉ2に対してステレオマッチング処理が実行されて、２枚の撮像画像Ｉ1、Ｉ2間の視差ｐを示す視差画像Ｉsが取得される。また、撮像画像Ｉ1からエッジＥが抽出されて、部品９１のエッジＥを示すエッジ画像Ｉeが取得される。そして、エッジ画像Ｉeが示す部品９１のエッジＥ上の位置での視差ｐが、視差画像Ｉsに含まれる視差ｐから抽出されるとともに、こうして抽出された視差ｐに基づいて、三次元における部品９１の位置および姿勢が認識される。これにより、部品９１のエッジＥ部分の視差ｐに基づいて、三次元における部品９１の位置および姿勢を認識することが可能となり、その結果、この三次元認識を正確に実行することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、チャックのθ方向の傾きを精度良く検出して、基板のθ方向の位置決めを精度良く行う。
【解決手段】第１のステージに搭載されＹ方向（又はＸ方向）へ移動する第２のステージに第２の反射手段（３５）を取り付け、第２の反射手段（３５）のθ方向の位置ずれを検出する。チャック（１０ａ，１０ｂ）に複数の光学式変位計（４１）を設け、複数の光学式変位計（４１）により、第２のステージに取り付けた第２の反射手段（３５）までの距離を複数箇所で測定する。第２の反射手段のθ方向の位置ずれの検出結果に基づき、複数の光学式変位計（４１）の測定結果から、チャック（１０ａ，１０ｂ）のθ方向の傾きを検出し、検出結果に基づき、第３のステージによりチャック（１０ａ，１０ｂ）をθ方向へ回転して、基板（１）のθ方向の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図れる導膜製造装置、製造した電気機械変換素子、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１のアライメント調整工程では着弾位置２５１をカメラ２０５で捕捉し着弾位置２５１がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又は液滴吐出ヘッド２０１を相対的に移動する。第２のアライメント調整工程ではレーザレッドによってレーザ光を照射して照射跡を形成し照射跡をカメラ２０５で捕捉し照射跡がカメラ２０５の撮影撮影基準位置２５２に一致するように基板又はレーザヘッドを相対的に移動する。第３のアライメント調整工程では基板上に予め形成されているアライメントマークを撮像手段２０５で撮影したアライメントマークの形状に基づいて基板の向きを検知して基板の向きの調整を行いアライメントマークを撮像手段２０５の撮影基準位置に一致するように基板を移動することで基板の組付け位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】複数のＺヘッドを切り換えながら、移動体の高さと傾斜を継続的に計測することにより、移動体を高精度で駆動する。
【解決手段】制御装置は、テーブルＷＴＢの±Ｘ端部に設置された反射面３９Ｙ₁，３９Ｙ₂上に位置する２つのＺヘッドＺｓＲ，ＺｓＬを用いて、テーブルＷＴＢの高さと傾斜を計測する。テーブルＷＴＢのＸＹ位置に従って、使用するＺヘッドをＺｓＲ，ＺｓＬからＺｓＲ’，ＺｓＬ（あるいはＺｓＲ，ＺｓＬ’）に切り換える。制御装置は、切り換えの際、座標つなぎ法を適用して、新たに使用するＺヘッドＺｓＲ’（あるいはＺｓＬ’）の初期値を設定する。これにより、テーブルのＸＹ位置に応じて使用するＺヘッドが逐次切り換えられるにもかかわらず、切り換えの前後でテーブルの高さと傾斜の計測結果が保存され、テーブルを高精度で駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】エゴモーション概算システムおよび方法の提供。
【解決手段】エゴモーション概算システムを利用してエゴモーションパラメータを決定するためのコンピュータ実施方法であって、第１の画像フレームおよび第２の画像フレームを取得することと、第１の画像フレームの第１の部分を選択して第１のサブ画像を取得し、かつ第２の画像フレームの第２の部分を選択して第２のサブ画像を取得することと、第１のサブ画像および第２のサブ画像に変換を実行して、それぞれ、第１の透視画像および第２の透視画像を取得することと、第２の透視画像を反復的に調整して複数の調整した透視画像を取得することと、第１の透視画像と複数の調整した透視画像との個々の差異それぞれに対応する複数の差分値を決定することと、複数の差分値のうちの１つに対応する、エゴモーションパラメータに関する並進ベクトルを決定することと、を含む、方法。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ素子の共振端面の角度を容易に且つ精度良く測定することができる方法を提供する。
【解決手段】光導波路の光導波方向と交差する方向に並んだ複数の半導体レーザ素子を含む半導体レーザバー２を、共振端面２ａが所定の基準線２１ｂに沿うようにステージ２１の基準面２１ａ上に固定し、半導体レーザバー２の複数の半導体レーザ素子の共振端面からレーザ光Ｌａを出射させ、レーザ光ＬａのＦＦＰを測定し、ＦＦＰのピーク位置により定まるレーザ光Ｌａの出射方向と、所定の基準線２１ｂ及び基準面２１ａとの相対角度から、半導体レーザ素子の共振端面の角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】複数人で構成されるグループが移動する経路上に設けられた１個以上の機器を到着に先立って制御することができる機器制御装置を提供する。
【解決手段】注視方向検出部２は、グループ内の各人が注視している方向を検出する。方向関係特定部３は、各人が注視している向きと照明機器が存在する方向との関係を特定する。グループ希望方向推定部４は、グループ内の全員について特定した関係に基づいて、グループ全体として照明機器が存在する方向への移動の希望を推定する。制御部５は、グループ希望方向推定部４による推定結果に基づいて、照明機器１０＿１〜１０＿Ｎを制御する。 （もっと読む）

【課題】３次元辞書データから、対象物に関して測定されない領域に該当するデータを除去することで、高精度・高速な照合・認識を実現する。
【解決手段】概要姿勢の推定を行い（Ｓ３）、３次元辞書データを概要姿勢に応じて姿勢変換して、「概要変換後の３次元辞書データＰ’」を作成する（Ｓ４）。続いて「概要変換後の３次元辞書データＰ’」の点群を、測定器から対象物への距離方向と垂直な仮想平面へ投影する（Ｓ５）。そして、仮想平面を多数の矩形領域に分割し、各矩形領域毎に、その矩形領域に属する（投影された）複数の点のなかから測定器に最も近い点のみを選択し、選択された点のみから構成される３次元辞書データを再構築することにより、３次元辞書データから対象物に関して測定されない領域に該当するデータを除去する（Ｓ６）。 （もっと読む）