【課題】センサを構成する金属部材の形成装置の種類を少なくすること。
【解決手段】半導体基板の表面に層間絶縁膜を介して第１および第２導電配線をスパッタ法で形成し、第１および第２導電配線と層間絶縁膜を第１絶縁膜で覆い、第１絶縁膜の上に第２絶縁膜を積層し、第１導電配線上の第１および第２絶縁膜を除去し、それによって第２絶縁膜表面から第１導電配線に達する溝を形成し、第２絶縁膜と溝の側壁および底とを覆う導電膜をスパッタ法で形成し、前記導電膜の上から溝幅より広いレジスト膜で溝を覆い、レジスト膜をマスクとして前記導電膜と第２絶縁膜とを除去して第１絶縁膜を露出させ、レジスト膜を除去した後、第３絶縁膜をその表面が前記導電膜の表面と同一表面になるように第１絶縁膜上に形成する表面形状認証用センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】内視鏡の挿入部により形成されるループ形状を従来に比べて高精度に検出可能な内視鏡挿入形状解析システムを提供する。
【解決手段】本発明の内視鏡挿入形状解析システムは、被検体内に挿入された内視鏡の挿入部における複数の箇所の座標値を取得する挿入状態取得部と、前記複数の箇所の座標値に基づき、前記被検体内に挿入された前記挿入部のうち、少なくとも一部の挿入形状を検出する挿入形状検出部と、前記所定の複数の箇所の座標値及び前記挿入形状に応じて複数の座標平面を設定する座標平面設定部と、前記挿入形状を前記複数の座標平面各々に投影する挿入形状投影部と、前記複数の座標平面各々に投影された前記挿入形状に所定の形状が存在するか否かを判定する挿入形状判定部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用でもパッシベーション膜に劣化が発生し難い指紋センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に互いに間隔をおいて形成された検出電極膜４４ａ及び接地電極膜４４ｂと、層間絶縁膜４０、検出電極膜４４ａ、及び接地電極膜４４ｂのそれぞれ上に形成され、該接地電極膜４４ｂが露出する開口５１ａを備えた保護絶縁膜５１と、保護絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａと開口５１ａに重なる窓５５ａを備えたパッシベーション膜５５とを有し、窓５５ａの開口端が面取りされたことを特徴とする表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】内部処理的な手法ではなく、構造的な手法によって指紋検出性能の向上を図る。
【解決手段】筐体１２の表面１３に、指先１００の汚れを落とす第１の汚れ除去部１４と、指先１００に適度な湿気を供給する湿気供給部１５と、指紋認証用のセンサ部１６と、指先１００に付着した油分を除去する第２の汚れ除去部１７とが、指先１００をスライドさせる方向Ｘ１の上流側から、この順番で配置されている。また、筐体１２の表面１３には、第１の汚れ除去部１４、湿気供給部１５、センサ部１６、第２の汚れ除去部１７を被覆する蓋部材が配置されており、さらに、この蓋部材の下面には、センサ部１６の汚れを拭き取る拭き取り部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定対象に損傷を与えず、操作が容易で測定対象等の制約が少ない断面形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は帯状基体２と処理装置３を備える。帯状基体２は内面基体５、外面基体６、及びそれらの間に配置された誘電体膜７を備える。内面基体５は複数の電極８とそれらに接続された接地信号線１１を有する。外面基体６は複数の電極１８、これらに接続されたスイッチ１０、スイッチ１０の制御回路１３、制御回路１３に接続された制御信号線１２、及びスイッチ１０に接続されたセンス信号線１１を有する。処理装置３は、制御信号線１２によりスイッチ１０を選択的に活性化して外面基板６上のいずれかの電極１８を選択し、選択された電極１８と内面基体１５の電極８の間の静電容量を測定する。測定された静電容量から選択された電極１８近傍での内面基体５と外面基体６の長さ方向のずれ量が計測される。 （もっと読む）

【課題】水分の侵入を防止しながら、被検体の表面の凹凸を感度良く検出することが可能な表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された第１水分バリア絶縁膜４１と、第１水分バリア絶縁膜４１の上に形成された検出電極膜４４ａと、検出電極膜４４ａの上に形成された第２水分バリア絶縁膜５１と、第２水分バリア絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａの上に窓５５ａを備えた保護絶縁膜５５とを有する表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】薄片状の被測定物の厚さ分布および反り形状を同時にかつ高精度に測定できる形状測定方法およびその装置を提供する。
【解決手段】対向する一対の静電容量センサ２，２’を、被測定物Ｓを挟んで昇降可能に配置し、上部の静電容量センサ２を昇降させて被測定物Ｓとの間隙を略一定に保持するとともに、下部の静電容量センサ２’を、上部の静電容量センサ２の前記移動に追随させて移動させ、一対の静電容量センサ２，２’間の距離を一定に保持する。そして、上部の静電容量センサ２の移動量および一対の静電容量センサ２，２’で検出された被測定物Ｓとの間隙に基づいて前記被測定物の厚さおよび反り形状を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、優れた耐久性、優れた認識精度および安定した認識性能を有する表面形状認識用センサの製造工程を簡略化し、低コスト化すること。
【解決手段】認識対象物に接触して、認識対象物の表面形状を認識する本発明の表面形状認識用センサ１において、容量センサ電極５と、該容量センサ電極５を覆う容量膜２と、該容量膜２を覆う保護膜３と、該容量膜２に形成されたスルーホール７と、その開口部辺縁とを覆うように形成され、接地された電極パターンとしてのグランド電極４とを備え、該グランド電極４は、該保護膜３における認識対象物の接触面において露出し、該容量膜２の該グランド電極４に覆われた部分は、該容量膜２の該グランド電極４に覆われていない部分よりも０．１μｍ以上厚くなるよう形成されている。このため、優れた耐久性、優れた認識精度および安定した認識性能を有する表面形状認識用センサの製造工程の簡略化および低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】測定物の測定対象面の形状を高感度で検出できる形状検出装置を提供する。
【解決手段】形状検出装置１は、人間の指紋の形状を検出するものあり、指が置かれる位置に設けられた電極アレイ１１と、人が立つ位置に設けられた電極１２と、この電極１２に接続された交流の信号発生器１３と、電極アレイ１１に接続された検出器アレイ１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、確実に継手における埋設管の曲がり方向及び曲がり角度を測定することができ、埋設管全体の管路の線形を適確に把握することができる埋設管の管路線形計測装置及びこれを用いた管路線形計測方法を提供する。
【解決手段】 継手８を介して連結された埋設管９の管路を通過する円筒形状の、自在型ジョイント部材１５で連結された前パイプ６と後パイプ７で構成されたセンサパイプ３と、センサパイプ３に接続された継手８の位置を検出するための継手検出手段４とを有し、前パイプ６と後パイプ７は隣接する埋設管９の各々に沿って屈曲可能であり、上記センサパイプ３に、隣接埋設管９の曲がり方向及び曲がり角度を計測するための曲がり検出手段を備えた。 （もっと読む）