【課題】 通常のＬＳＩ製造プロセスに用いられる材料で製造が可能であって、微細な間隔を有する表面の凹凸を検出可能な静電容量式センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 被検出物の表面に近接或いは接触する検出面上に複数配列されたセンサ部２０を備えてなり、各センサ部２０が、検出面より下方に後退して形成された第１センサ電極１０と、上端面が前記検出面に露出して形成された第２センサ電極１３と、第１センサ電極１０の上層、並びに第１センサ電極１０と第２センサ電極１３の間に形成されると共に、前記検出面の一部を構成する第１絶縁膜１２と、を有し、第１センサ電極１０の側面と第２センサ電極１３の側面とが第１絶縁膜１２を介して対向する。 （もっと読む）

【課題】半田等の接合部材を容易にかつ短時間で検査することができる検査方法を提供する。
【解決手段】測定対象物までの距離を非接触に測定する非接触式変位計１０を、電子部品搭載基板に対し基板のマウント表面と平行を成すように相対的に移動させて、前記基板のマウント表面までの距離と前記電子部品の表面までの距離を測定する工程と、前記測定した基板のマウント表面までの距離から、前記測定した電子部品の表面までの距離と電子部品の厚さとを減算して、基板と電子部品の間に介在した接合材の厚さを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】屈曲方向が互いに異なる、複数態様の基材の屈曲変形をそれぞれ検出することが可能な、屈曲検出装置を提供すること。
【解決手段】入力装置１４は、可撓性を有するシート状の基材２０と、基材２０の表面の異なる領域にそれぞれ配置され、基材２０の屈曲変形を検出する２つの屈曲検出部２１，２２とを備えている。各々の屈曲検出部２１，２２は、基材２０の表面に設けられた圧電層２３と、圧電層２３の一方の面においてそれぞれ一方向に沿って延在するとともに、互いに導通した複数の第１電極２４と、同じく圧電層２３の一方の面において、それぞれ複数の第１電極２４と平行に延在するとともに互いに導通し、複数の第１電極２４と互い違いに配置された複数の第２電極２５とを有する。さらに、２つの屈曲検出部２１，２２の間で、電極の延在方向が互いに異なっている。 （もっと読む）

【課題】検出対象物についての検出処理を行う新たなセンサ装置を提供する。
【解決手段】アレイ状に配置された複数の電極を有する電極アレイと；第１の周波数を有する第１の信号を生成し、前記電極アレイを構成する前記複数の電極に前記第１の信号を印加する信号生成部と；前記第１の信号が前記電極アレイを構成する前記複数の電極に印加され、第２の周波数を有する第２の信号が検出対象物に印加される場合において、前記電極アレイを構成する各電極と前記検出対象物の表面との距離を、各電極に印加された前記第１の信号と前記検出対象物に印加された前記第２の信号との干渉波を利用して検出する、または、前記検出対象物の表面の凹凸を、一の電極から出力された前記干渉波と他の電極から出力された前記干渉波とを利用して生成された信号を利用して検出する、検出部と；を備えることを特徴とするセンサ装置。 （もっと読む）

【課題】使用中の導電材料製構造物に生じる損傷を非破壊的に、しかも装置等の操業を停止することなく、簡便に検出できる、導電材料製構造物の損傷検出方法を提供する。
【解決手段】複数の電位差測定用端子を所定の間隔で隔離して、構造物の被測定領域を囲んで配置し、複数の電位差測定用端子を挟んで設けられた一対の電極を介して構造物の特定方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第一の工程と、前記一対の電極とは別に複数の電位差測定用端子を挟んで設けられる他の一対の電極を介し、構造物の特定方向とは異なる方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する各電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第二の工程とを順次行い、各電位差測定用端子間の電位差を測定する。得られた異なる二方向の各電位差測定用端子間の電位差から、被測定領域における電位差分布、電位差変化率分布を求め、被測定領域における損傷状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】交換時期を容易且つ正確に判断することのできるマリンホースを提供する。
【解決手段】コントロールユニット４０の変形量検出部４４はホース本体１０の各軸方向所定範囲ＡＲ１，ＡＲ２，ＡＲ３における曲率（ホース曲げ方向の変形量）をそれぞれ検出可能であり、コントロールユニット４０の換算処理部４６は変形量検出部４４によって検出された各軸方向所定範囲ＡＲ１，ＡＲ２，ＡＲ３の曲率をそれぞれ耐久性影響数値に換算処理可能であることから、ホース本体１０の各軸方向所定範囲ＡＲ１，ＡＲ２，ＡＲ３にそれぞれ複数回の曲げ方向の変形が生じ、各変形の大きさが様々である場合でも、各変形ごとに耐久性影響数値が得られる。即ち、各変形ごとに得られた耐久性影響数値を累積した累積結果に基づき、マリンホースの交換時期を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】配線数を減少させることでコストを削減し、信頼性を向上させ、さらには検出領域以外の余分な領域を減らすことが可能な電磁結合を利用する圧力分布検出装置を提供する。
【解決手段】圧力分布検出装置は、複数の駆動側ループ状配線２０と、これに直交する方向に配置される複数の検出側ループ状配線３０と、これらがそれぞれ電磁結合するように構成される複数の電磁結合部３６と、複数の駆動側ループ状配線を駆動する駆動部４０と、電磁結合部３６の電磁結合の度合いの変化を複数の検出側ループ状配線３０から検出する検出部５０とからなる。そして、複数の駆動側ループ状配線２０及び複数の検出側ループ状配線３０が、隣り合うループ状配線間の隣り合う線をグラウンド線として共通化する共通グラウンド線２５，３５を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面形状（真直度）をナノレベルで精密に測定する方法およびその測定に用いる表面形状校正装置の提供。
【解決手段】ｘ軸方向およびｙ軸方向に移動可能なｘｙステージに搭載された３対の変位センサを保持する変位センサ保持具３組の各組変位センサを用い、前記３対の変位センサ保持具の凹字状アームの凹字空間に挿まれる状態で、かつ、前記ｘｙステージとは独立して１８０度反転可能に保持される基準直定規の被測定面（表面および裏面）と変位センサ間距離、固定テーブル上に載置された加工ワークの被測定面と変位センサ間距離を測定し、その距離値をコントローラより電気信号としてデータ解析装置に送信し、それら送信された距離電気信号値から被校正測定物のｘ座標およびｙ座標の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】プローブを接触させて摺擦することにより被測定物表面の表面性を識別する際のプローブによるジャム発生防止及びプローブ破損防止性を改善した表面性識別装置、シート材識別装置及び画像形成装置の提供。
【解決手段】Ｓ字型プローブ１５ａの固定端部を取り付けるネジ穴１５ｃ”と、ネジ穴１５ｃ”に取り付けられたＳ字型プローブ１５ａが回転軸１５ｅに回転可能となるよう固定する軸受け部１５”と、Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部の左右側面に所定の距離を隔てて設けられるプローブ先端保護リブ（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ）とを有し、Ｓ字型プローブ１５ａを保持するプローブ先端保護リブ付きプローブホルダー１８を備え、Ｓ字型プローブ１５ａの先端当接部は、走査方向の側面から見たとき、プローブ先端保護リブ（１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ）からシート材７の側に所定の長さ露出しシート材７の表面に当接する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が維持された表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された検出電極膜４４ａ及び静電気放電電極膜４４ｂと、検出電極膜４４ａ及び静電気放電電極膜４４ｂの上に形成され、該静電気放電電極膜４４ｂの上に第１開口５１ａを備えたパッシベーション膜５１と、パッシベーション膜５１の上に形成され、第１開口５１ａが露出する第１窓５５ａを備えたテトラヘドラルアモルファスカーボンよりなる最上層の保護絶縁膜５５とを有し、静電気放電電極膜４４ｂの最上層に第１導電性酸化金属膜４５が形成された表面形状センサによる。 （もっと読む）