本発明は、金属材料、炭素ベースの材料、および、シリコンベースの材料のような、マイクロスケールおよびナノスケールの膜または多層膜の、機械的特性および／または電気的特性の測定用、例えば、牽引力測定、圧縮力測定、または、剪断力測定用の内部応力を作動させるマイクロまたはナノマシンを提供する。本発明の装置は、材料製造産業、および、マイクロエレクトロニクスにおけるアプリケーション、並びに、表面加工および機能化のためのアプリケーションを有している。
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【課題】 剥離した膜の盛り上がり量を計測し、その形状から膜内に残留している応力を演算により求めることにより、極めて簡単なモーメントのつりあい条件から膜の残留応力を求めることができる残留応力測定装置とその方法を提供する。
【解決手段】 本実施形態に係る残留応力測定装置１は、パルスレーザを発射するパルスレーザ装置２と、パルスレーザ光を集光する光学系３と、衝撃波を生成する衝撃波生成部４と、表面改質膜の形状を検出する検出部５と、検出部５の形状から残留応力を演算するＰＣ６と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱弾性応力計測装置における画像視野内での被測定物の変位・変形を高精度に補正できる赤外線熱弾性応力計測における位置補正法を提供する。
【解決手段】自動位置補正機能付き赤外線応力計測装置１００は、被測定物に繰り返し負荷をかける負荷発生部１０１、負荷のタイミングに同期を取りながら被測定物の温度を測定する赤外線サーモグラフィ１０２、被測定物の時系列的な強度分布データを取得する時系列強度分布データ取得部１０３、被測定物の移動・変形による変位量分布データの算出を、時系列強度分布データを用いたデジタル画像相関法により算出する変位算出部１０４、時系列強度分布データから被測定物の応力データを測定する応力測定部１０５、変位量データに基づいて被測定物の変位・変形後の応力データの位置補正を行う位置補正部１０６、及び位置補正後の赤外線画像を表示する画像表示部１０７を備える。 （もっと読む）

【課題】光弾性測定法で測定できる物理量は主応力差（σ₁−σ₂）と主応力方向であり、それぞれの主応力成分値はわからないという原理的な限界を有する。
【解決手段】物体の応力状態を測定するに際して、光弾性測定法だけでなく、応力発光物質を適用した応力測定（応力発光測定）を併用することによって、光弾性測定の原理的な限界を超えて、例えば主応力の成分値であるσ_１とσ_２をそれぞれ知ることを実現し、詳細な応力測定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】電柱の全体の応力を適切に評価する。
【解決手段】電線を支持するコンクリート柱と、前記コンクリート柱の長手方向に向けて、前記コンクリート柱のコンクリート内部に配設した連続する一本の光ファイバケーブルと、前記光ファイバケーブルの一方の端を取り出すための取り出し口と、を有した電柱に対して、前記取り出し口より取り出された前記光ファイバケーブルの一方の端から他方の端に向けてパルス光を入射させた結果、当該一方の端から当該他方の端までの間の当該パルス光に応じた反射光を受光し、当該受光した反射光の受光パワーに基づいて前記コンクリート柱の応力を評価する。 （もっと読む）

【課題】基板と重畳する薄膜との間の界面等の２つの材料の間の界面の特性を調べる改善された超高速光技術を提供する。
【解決手段】機械的特性及び熱特性の測定による薄膜と薄膜間の界面との特性調査のためのシステムにおいて、レーザ１３６からの光は、薄膜や、複数の薄膜で作製された構造物に吸収され、光の透過あるいは反射の変化が測定されて、解析器１３４を使用して分析される。反射や透過の変化が使用されて、構造物で生成される超音波に関する情報を与える。この測定方法及び装置の使用から得られる情報は、（ａ）初期の方法と比較して改善された速度および精度での薄膜の厚さの測定、（ｂ）薄膜の熱特性、弾性特性、光特性の測定、（ｃ）薄膜内の応力の測定、（ｄ）粗さと欠陥との存在を含む、界面の特性の特性調査、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は複数の親機が他の親機によって監視されるべき子機を自己の子機として誤認する問題を確実に解決するＳＡＷセンサー監視システムを提供する。
【解決手段】複数の親機Ａ１乃至Ａｎで監視する複数の子機群Ｂ１乃至Ｂｎの各子機ｂ１乃至ｂｎにＳＡＷ素子で構成したＳＡＷセンサー兼発信器ＴＳを所有せしめ、各子機ｂ１乃至ｂｎに各子機固有の発信周期を予め記憶せしめておき、該各子機のＳＡＷセンサー兼発信器ＴＳは各子機ｂ１乃至ｂｎが記憶している発信周期Ｔ１乃至Ｔｎで固有周波数Ｆ１乃至Ｆｎの信号Ｓ１乃至Ｓｎを発信し、各親機Ａ１乃至Ａｎは受信した固有周波数Ｆ１乃至Ｆｎの信号Ｓ１乃至Ｓｎが各子機ｂ１乃至ｂｎが記憶せる固有発信周期Ｔ１乃至Ｔｎであると判断した時にその固有周波数Ｆ１乃至Ｆｎの信号Ｓ１乃至Ｓｎを自己の子機ｂ１乃至ｂｎから発信されたものであることを認識するＳＡＷセンサー監視システム。 （もっと読む）

【課題】衝撃や応力を受けた部材の表面はもちろん、その部材の内部へ伝わった衝撃や応力についても検証可能な感圧発色樹脂材料、感圧部材、および緩衝材を提供すること。
【解決手段】本発明の感圧発色樹脂材料は、例えば、スチレン系エラストマーにトルエンを加えて溶液状態とし、そこに、平均粒径２０〜３０μｍのメラミン樹脂製マイクロカプセルに発色剤を封入して水性分散媒に分散させたもの、顕色剤、界面活性剤を加えて均一に攪拌し、その液状組成物から加熱乾燥により溶媒を除去したものである。このような感圧発色樹脂材料は、例えば、鋳込成形により所望の形状に成形することができ、この成形品は、衝撃や応力が作用したことを検出するための感圧部材として利用でき、しかも、作用した衝撃や応力を緩和する緩衝材として利用することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の応力を非破壊で測定する。
【解決手段】希土類元素を含有した被測定物にレーザーまたは電子線を照射して、発生した蛍光スペクトルのピーク波数が応力によってシフトする量を測定することによって応力を測定する。凹凸のある被測定物の蛍光スペクトルのピーク強度ができるだけ高く安定するように、被測定物を揺動させて向きを調節する。これによって被測定物の形状、種類等に影響されずに、製品あるいは製品を構成する部材、素子などの応力や歪を非破壊で測定することが可能となる。また、本発明は、希土類元素の発する蛍光を利用するので、高温で変性することがなく、セラミックスなどの、高温で形成する固体物質にも適用可能である。 （もっと読む）

本願発明は、基板（１２，１２’）のコーティングにおける機械的応力を決定するための方法及び装置に関する。ここで、この方法は、少なくとも１つのホルダ（１０）上および前記ホルダ（１０）に対して少なくとも部分的に移動できる少なくとも１つの作動要素（１４）上に基板（１２，１２’）を配置するステップであって、前記作動要素（１４）が圧電アクチュエータ（１６）を備えるステップと、前記圧電アクチュエータ（１６）が前記作動要素（１４）を前記ホルダ（１０）に対して所定の及び／又は決定できる開始変位（Ｌ_０）だけ部分的に移動させるように電気的開始電圧（Ｖ_０）を前記圧電アクチュエータ（１６）に対して印加することにより、前記作動要素（１４）を使用して、前記基板（１２，１２’）に対して機械的にプレストレスをかけるステップと、前記コーティングの少なくとも一部を前記基板（１２’）の少なくとも１つの堆積領域（１３’）に対して塗布するステップと、センサ素子（２０）を使用して前記作動要素（１４）の変位の変化（ΔＬ）を決定するステップと、を含む。
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