【課題】ウェハ上の回折構造体の格子型パラメータを決める。
【解決手段】半導体ウェハ１２ａ上の回折構造体１２ｃからの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計６０または分光エリプソメータ３４を使って構造体の下に位置する膜１２ｂの膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックなパラメータを計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体１２ｃを測定して回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックなパラメータを得る。これらパラメータと参照データベースを用いて格子型パラメータを決める。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上の回折構造体の格子型パラメータを決める。
【解決手段】半導体ウェハ１２ａ上の回折構造体１２ｃからの回折の前に、必要な場合は、分光反射率計６０または分光エリプソメータ３４を使って構造体の下に位置する膜１２ｂの膜厚と屈折率とをまず測定する。そして、厳密なモデルを使って回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックな特徴的パラメータを計算する。次に、偏光放射線および広帯域放射線を用いた分光散乱計を使って回折構造体１２ｃを測定して回折構造体１２ｃの強度またはエリプソメトリックな特徴的パラメータを得る。この特徴的パラメータをデータベース内の特徴的パラメータと適合させて構造体の格子型パラメータを判定する。 （もっと読む）

【課題】コンタミネーションの影響を最大限排除して、正確な屈折率測定を行うことが可能な屈折率測定装置を提供する。
【解決手段】プリズム上の試料に集光レンズを介して照射光を照射する光源と、この光の反射光を受光する受光素子と、この受光素子の出力に基づいて上記試料の屈折率を測定する測定回路とを備える屈折率測定装置を前提としている。そして、このような屈折率測定装置において、上記照射光の結像位置が上記プリズムの上底開口部中央の近傍であるように構成する。特に、上記結像位置を上記近傍に設定するために、上記集光レンズを上記プリズムに近接させる。これにより、プリズム中央部からの反射光のみを測定に用いることができるため、コンタミネーションを排除することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、単純な構成でアルコール混合ガソリン燃料の燃料性状を検出でき、耐久性に優れた燃料性状検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の１つの実施形態に係る燃料性状検出装置は、被測定媒体であるエタノール混合ガソリン燃料８の燃料性状を検出する。当該燃料性状検出装置は、複数の波長帯での被測定媒体の屈折率を測定する屈折率測定部と、屈折率測定部で測定された屈折率の値から、被測定媒体に含まれるエタノールの濃度及びガソリンの重軽質を推定する性状推定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】透過光を利用可能とするとともに、光共振器内部への物質の出し入れを容易にすること。
【解決手段】複数の波長を含む入射光ＩＮから選択波長の光を共振させて出射光ＯＵＴを生じる光共振器１０において、第１主面１２ａと、第１主面に対向する第２主面１２ｂとを備えていて、厚みＤが出射光の波長の整数倍である基板１２と、第１及び第２主面にそれぞれ形成された第１及び第２高反射膜１４ａ及び１４ｂと、第１及び第２高反射膜を貫通して設けられた貫通孔１６，１６Ａ，１６Ｂ，・・・とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造を持った安価な装置で、薄い油膜を含む油の漏液を検出することができる漏液センサの提供。
【解決手段】光を照射する発光器１１と照射された光が入射するようになっているプリズム１とプリズム１を透過した光を受光するプリズム２とプリズム２から出射した光を受光するための受光器１４と受光器での受光量から油の有無を判定する受光処理部１５とを具備し、プリズム１の面Ａとプリズム２の面Ｂは互いに向かい合っており、両面の間隙部３では間隙部の下部を水、油又は油が浸入した水に浸けたとき毛細管現象によって液面が上昇するようになっており、プリズム１に入射した光は面Ａに入射角αで入射するようになっており、入射した光が面Ａに入射する位置において面Ａが空気又は水と接しているときプリズム１に入射した光が面Ａで全反射、面Ａが油と接しているときプリズム１に入射した光が面Ａを透過してプリズム２に入射し受光器に受光される。 （もっと読む）

【課題】 ブライス型示差屈折率計において、アパーチャの幅を必要以上に狭めることなく、かつフローセルの断面積を必要以上に大きくしない条件で、幅広い屈折率の溶媒に対応可能な示差屈折率計を提供すること。
【解決の手段】 ブライス型示差屈折率計のうち、アパーチャ及び／またはフローセルを、溶媒の屈折率に応じて、フローセルの高さ方向に平行な軸を中心に回転させることで、前記課題を解決することができた。 （もっと読む）

【課題】細胞毒性のあるＨ₂Ｏ₂を産生せず、グルコースオキシダーゼの酵素力を保つ必要がなく、電流を流して電気化学回路を形成する必要がないデバイスを提供する。
【解決手段】室２２０内に光共振器たる検知エリア２４８及びリザーバエリア２４０を形成し、室２２２内に光共振器たる検知エリア２５０を形成する。室２２０，２２２内にフィルタ２２４，２２８を介し流体を出入りさせる。エリア２４０内のコンカナバリンＡ（ＣｏｎＡ）分子２３６やセファデックスビーズ２３８はメッシュ２４２を介し室２２０内エリア２４８に出入りする。その動きは流体内検体濃度に左右される。光源部２０４からの光をエリア２４８，２５０に案内し、出射光２３０，２３２を検知部２３４にて検知すると、その検体濃度を示す検知結果２３４が得られる。 （もっと読む）

【課題】細胞等の対象物の詳細な情報を得ることができる観察装置および観察方法を提供する。
【解決手段】観察装置１は、観察対象物９の表面または内部を観察するものであって、光源１１，１２、レンズ２１〜２５、アパーチャ３１、光合波器４１、光分波器４２、ハーフミラー４３、撮像部５１、解析部５２、表示部５３、受光部６１、変位検出部６２、ピエゾアクチュエータ７１、駆動部７２、ミラー７３、ステージ８１、駆動部８２および制御部９０を備える。解析部５２は、位相シフト法により光路長差が各目標値に順次に設定されて撮像部５１により撮像された干渉光像の複素振幅を求め、この求めた複素振幅の一定時間当りの変化量の絶対値と該複素振幅の絶対値とに基づいて、観察対象物９の表面または内部で生じた反射光の位相成分の一定時間当りの変化量を求める。 （もっと読む）

【課題】 ブライス型示差屈折率計において、ポンプの脈動による圧力変動や温度変動により溶媒の屈折率が変化した場合にも位置検出光センサへの照射位置のシフトの影響を受けず、かつ不感帯も生じない示差屈折率計を提供すること。
【解決の手段】 ブライス型示差屈折率計のうち、位置検出光センサを分割されていない位置検出素子とし、フローセルを通過した透過光の偏向を前記位置検出素子で検出することで前記課題を解決することができた。 （もっと読む）