【課題】 汎用性が大で簡単な構造で球体を満遍なく回転させることができるようにする。
【解決手段】 球体１を回転自在に受持する一対のローラ３，４と、この一対のローラ３，４をそれぞれ回転駆動するサーボモータ２７，２８と、前記両サーボモータ２７，２８を制御して前記球体１の１回転中に一対のローラ３，４の角速度を高低変化させながら一方のローラ３，４が高角速度のときに他方が低角速度となるように回転させる制御手段７とを備えている。また、前記制御手段７は、一対のローラ３，４を角速度高低変化させながら回転する途中に、球体１の少なくとも１回転における高角速度の時間長さを長短変更する回動制御機能４３を有している。 （もっと読む）

【課題】マルチスポットウエハ検査用照射サブシステムを提供する。
【解決手段】照射光ビーム３４を複数の光ビームに分離する回折光学素子３２と、前記複数の光ビームの光路に配置された補償回折光学素子４０であって、前記補償回折光学素子は、前記回折光学素子と同じ回折角度で符号が反転した回折次数を有する、補償回折光学素子と、前記補償回折光学素子から出る前記複数の光ビーム３６の光路に配置され、前記複数の光ビームのそれぞれの焦点を検査用ウエハ４６に個別におよび同時に合わせる、１つまたは複数の屈折光学素子４４と、を含む照射サブシステム。 （もっと読む）

【課題】 画像処理等に精通したオペレータを必要とすることなく、検査対象物の検査面の性状を簡単且つ正確に検査することができ、コスト低減を図ることができる外観検査装置および外観検査方法を提供する。
【解決手段】 外観検査装置は、照明装置１と、撮像装置２と、表示装置３とを有する。照明装置１は、検査面Ｗａに入射する光の濃淡の形態に対して、検査対象物Ｗの検査面Ｗａでの反射光による生じる濃淡の形態が、検査面Ｗａの性状により異なるように、検査面Ｗａに濃淡の光を照射する。検査面Ｗａの加工目の状態そのものを撮像して検査するものではなく、濃淡の光を照射によって検査面Ｗａに映り込む形態で検査する。 （もっと読む）

【課題】 通常の印刷用紙に印刷された絵柄の品質の検査と蒸着紙に印刷された絵柄の品質の検査の両方を同じ構成で行うことができ、コストダウンを図るとともに、オペレータの負担を軽減させ、かつ印刷資材の無駄の発生を防止する。
【解決手段】 被印刷部材が蒸着紙２Ａの場合は、光源２２から出射され、拡散反射板２４の反射点２４ａで反射した光が被検査点２ａに照射された後、鏡面反射されて入射経路３２を経てカメラ２３に入射する。被印刷部材が通常の紙の場合は、被印刷部材の拡散反射面で反射された光がカメラ２３に入射する。 （もっと読む）

【課題】プロテクタのどこから凝縮水が侵入したかや、プロテクタ内に侵入した凝縮水の状態を確実に把握することができるプロテクタ内への水侵入確認方法を提供すること。
【解決手段】エンジン５３を作動させて排気管５５内の凝縮水を飛散させ、プロテクタ１内に侵入する凝縮水の状態を調べるプロテクタ１内への水侵入確認方法である。この方法では、環状の可視化装置用治具６７と環状のプロテクタ用治具６９とを軸方向を合わせて着脱可能に接続した観測装置５９を用いる。この観測装置５９は、プロテクタ１を備えており、観測装置５９の中心孔にプロテクタ１の内部を観察可能なようにファイバースコープ７３を挿入する。そして、観測装置５９を排気管５５のガスセンサ２の取付位置に配置し、エンジン５３を作動させて、ファイバースコープ７３によってプロテクタ１内に侵入する凝縮水の状態を観測する。 （もっと読む）

【課題】正事例および負事例の実物のワークを入手することなく、広範囲の色斑を有する負事例のワークを容易に再現して評価する視覚検査装置の評価システムを提供する。
【解決手段】色斑データ生成部２３は、既存の視覚検査装置１００で負事例と判断されたワークから色斑データを生成する。これにより、色斑データは、設計者などが作成しなくても、既存の視覚検査装置１００の判断結果から入手される。負事例画像合成部２５は、ワークデータに基づいて作成したワークの疑似３Ｄ画像に色斑データに基づく色斑テクスチャ画像を貼り付け、３Ｄ負事例画像を擬似的に合成する。視覚検査プログラムの実行によって実現される視覚検査装置は、この任意に生成した３Ｄ負事例画像を用いて評価される。これにより、視覚検査装置は、幅広い種類の色斑が付された負事例のワークについて評価される。 （もっと読む）

【課題】装置が大掛かりになるのを抑えつつ、対象物の被検査面を所定の範囲にわたって検査する。
【解決手段】光線Ｌを放射する光源１１と、光源１１からの光線Ｌを反射させて対象物Ｗの被検査面に照射させるハーフミラー１２と、ハーフミラー１２を挟んだ対象物Ｗの反対側に配置され、光源１１からハーフミラー１２を介して光線Ｌが照射された対象物Ｗの被検査面を撮像する撮像手段１３と、撮像手段１３からの撮像データに基づいて対象物Ｗを検査する処理部１４と、を備える検査装置１であって、光源１１は、光軸方向に沿って該光源１１から離間するに従い漸次拡径する円環状の光線Ｌを放射し、光源１１をハーフミラー１２に対して光軸方向に沿って接離可能に支持する駆動手段１５を備える。 （もっと読む）

【課題】目視検査に必要な視点から撮影した映像を得、撮像装置が撮影した映像の手振れ感を除去し、及び高解像度画像を用いて映像を表示装置にリアルタイムに映し出すための、遠隔目視検査装置を提供する。
【解決手段】遠隔目視検査装置は、移動しながら検査対象の表面の映像を撮影する撮像部３０と、映像を構成する少なくとも２つの画像データの特徴量の差に基づいて、撮像部３０の位置及び姿勢の変化量である移動量を計算する移動量計算部１１と、移動量の履歴を格納する移動量メモリ１２と、移動量の履歴に基づいて、検査員にとって目視検査に好適な撮像部３０の位置及び姿勢の好適位置を推定する位置推定部１３と、好適位置に基づいて画像データに幾何変換を施すことにより、好適位置に対応する処理画像データを生成する画像変換部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】充分な照明強度が得られるとともに照度分布の均一性を実現できる照明装置を提供する。
【解決手段】本発明の照明装置は、複数のＬＥＤチップが面上に配列されてなるＬＥＤ光源１５と、該ＬＥＤ光源と対向する側に凹曲面状の光入射面２１ａ−１、２１ｂ−１を備えるとともに前記ＬＥＤ光源とは反対側に凸曲面状の光出射面２１ａ−２、２１ｂ−２を備えた、１の、又は、直列に配置された複数の入射側レンズ２１Ａ、２１Ｂと、該入射側レンズに対して前記ＬＥＤ光源とは反対側に配置された集光レンズ２２とを具備し、前記１又は複数の入射側レンズの前記光入射面と前記光出射面のうち少なくとも一つ２１ａ−１が粗面であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ光を光源として用いた場合、照射密度が高い細いビームが第一平面鏡及び第二平面鏡の同じ個所に長時間照射されると平面鏡の表面が劣化、反射率が低下し十分な光量が確保出来ない為、光軸自体を変えないで、平面鏡の長寿命化を行う点である。
【解決手段】レーザ光源３から発振するレーザ光Ｌ１は、第一，第二平面鏡４ａ，４ｂによって軌道を偏向され、ビームエキスパンダ５に入光する。この第一，第二平面鏡４ａ，４ｂは、レーザ光Ｌ１を照射されていると表面が劣化し、反射率が低下する。この低下によりビームエキスパンダ５に入光される光量が基準値以下にならないようにレーザ光Ｌ１の照射が一定時間を越えたところで光軸自体が変わらない様、レーザ光源３が照射する第一平面鏡４ａ上及び第二平面鏡４ｂ上の位置を、各々平面鏡４ａ，４ｂを含むその面上にて鏡面を回転させられる構造、または鏡面を回転ではなく平行移動させられる構造とする。 （もっと読む）