【課題】円柱形物体１を，その軸線１ｂの回りに回転しながら搬送する搬送装置において，その装置の小型化等を図る。
【解決手段】平行に延びるように配設した少なくとも二本の搬送コンベア４，５を備え，この各搬送コンベア４，５を，同じ方向に速度を変えて駆動することにより，前記円柱形物体１を，その軸線１ｂの回りに回転しながら搬送する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に対して、可視観察のみならず、近赤外観察や蛍光観察といった特殊観察を行うことを可能とした光学式測定装置を提供する。
【解決手段】白色光を出射する白色光源と、白色光源と測定対象物との間に配され、白色光源から出射された白色光と、測定対象物からの戻り光と、を通過させる第１対物レンズと、第１対物レンズを通過した戻り光を所定の倍率に変倍する複数のチューブレンズと、複数のチューブレンズのうち戻り光上に配置させる一のチューブレンズを選択的に切り替え可能なレンズ切替機構と、を備える可視観察部と、特殊光を出射する特殊光源と、特殊光源と測定対象物との間に配され、特殊光源から出射された特殊光と、測定対象物からの戻り光と、を通過させる第２対物レンズと、を備える特殊観察部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面の状態によって、使い分けが可能な渦流探傷装置を提供すること。
【解決手段】ＣＣＤカメラ２０は、対象物の撮影を行う撮影装置２０ａと、撮影によって得た映像を外部に出力する映像出力装置２０ｂからなり、渦流探傷プローブ１１は、対象物における欠陥の検知を行う検知装置１２と、検知によって得たデータを目視で欠陥の認識が可能な形式に画像処理を行う画像処理装置１３と、画像処理によって画像処理データを外部に出力する画像処理データ出力装置１４と、からなり、ＣＣＤカメラ２０の周囲に複数台設置されている。 （もっと読む）

【課題】構造の簡素化を図ることができる円筒体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の検査装置は、取込位置Ａにおいて円筒体Ｗをチャックするチャック手段が、メインローラ２０と、メインローラに接離する方向に移動可能なサブローラ３０とをそれぞれ有する一対の挿入支持部１２を備える。円筒体Ｗをチャック際に、一対の挿入支持部１２を、そのサブローラ３０をメインローラ２０に対し上側に配置したサブローラ上向き姿勢として円筒体の両側部内側に挿入し、その挿入状態で、サブローラ３０を上側に移動させて円筒体Ｗの内周面上側に接触させそのサブローラ３０によって円筒体Ｗを搬入側載置具から持ち上げるとともに、メインローラ２０を円筒体Ｗの内周面下側に接触させる。 （もっと読む）

【課題】被検査面の点検を行う際に、作業員によるセッティングの手間を省き、また、反射光による映り込みを抑える形で点検が可能な水中移動装置を提供すること。
【解決手段】被検査面を撮影するＣＣＤカメラ１１と、被検査面を照射する照明装置１３と、ＣＣＤカメラ１１と照明装置１３を収納するケース１６と、ケース１６と被検査面側の一端において密着した透明の防水窓１２と、を備える水中目視検査装置であって、照明装置１３からの照射光が防水窓１２に反射して、被検査面の映像と混同することを防ぐために、防水窓１２のＣＣＤカメラ１１側に偏光フィルタ１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】被検査物を治具などで掴んだり吸着することなく、円筒状の被検査物を、決まったセンサ位置にて、中心軸の周りで回転させ、全周面にわたって、また必要に応じて端部も同時に、欠陥検査が行えるようにする。
【解決手段】磁性材料からなる被検査物に磁界を印加し、その表面の欠陥部に生じた漏洩磁界の乱れを磁気センサを用いて検出する磁気探傷方法である。被検査物１０は円筒状であって、その外周面が回転用ベルト１２に接触しており、回転用ベルトを介して被検査物に対向している永久磁石１４によって被検査物に磁界が印加されると共にその磁力により被検査物が回転用ベルトに引き付けられ、磁石をセンサ位置に停滞させた状態で回転用ベルトを動かすことにより、被検査物がセンサ位置に止まったままで回転用ベルトとの摩擦力で中心軸の周りに回転し、磁気１６センサによって被検査物の周面を検査する。 （もっと読む）

【課題】物体と結像レンズとの間にビームスプリッターを配置したことに起因する非点収差あるいは球面収差を小さくすることのできる同軸落射照明方法及び同軸落射照明装置を提供する。
【解決手段】同軸落射照明装置１０は、光源１２から発せられた光を、検査対象物Ｗと結像レンズ１８との間に配置されたハーフミラー１６を介して検査対象物Ｗに対して結像レンズ１８の光軸２０と同軸に照射するための装置である。ハーフミラー１６の反射面は、結像レンズ１８の光軸２０に対して４５度よりも大きい角度をなしている。 （もっと読む）

【課題】従来の検査装置では、検査を効率化することが困難である。
【解決手段】ノズルプレート１１のノズル面側とは反対側からノズル孔を撮像する第１撮像装置２１ａと、第１撮像装置２１ａの光軸に対して同軸であり、第１の波長成分の光でノズルプレート１１を照明する第１照明２３ａと、ノズル面側から、ノズル面を撮像する第２撮像装置２１ｂと、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して同軸であり、第２の波長成分の光でノズル面を照明する第２照明２３ｂと、第３の波長成分の光で、第２撮像装置２１ｂの光軸に対して傾斜した方向からノズル面を照明する第３照明と、第１撮像装置２１ａでの第１の波長成分の画像と第２の波長成分の画像とを合成して第１検査画像を生成し、第２撮像装置２１ｂでの第２の波長成分の画像と第３の波長成分の画像とを合成して第２検査画像を生成する画像処理装置２６と、を有する、ことを特徴とする検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査対象のレンズ越し照明システムを提供しつつ、水銀ランプのような大型の光源をより安全な小型の光源に置き換える。
【解決手段】照明システム３８は、光学検査システムの対物系の一部を共有している。検査対象１４を照明するため、複数のビーム形成光学系４６が複数の有効光源４４からの光を集め、対物系を通過させる。対物系は、上記検査対象から散乱した光を集めこの集められた光で対象の像を形成するために、前側リレーレンズ２４と、後側リレーレンズと、前側リレーレンズと後側リレーレンズとの間に配置された対物系絞り２６とを有している。上記対物系絞りを囲む上記ビーム形成光学系は、上記検査対象を照明するために求められる角度範囲内で不均一な光を配給するために、関連する有効光源とともに配置されている。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを抑制した検査ステージを備えたマクロ検査装置を提供する。
【解決手段】基板を目視によって検査する場合に用いられるマクロ検査装置であって、基板を搬送する搬送ラインの横に配置し、少なくとも、基板の１つの基板端を吸着及び吸着解除する基板端吸着及び吸着解除手段と、前記基板端吸着及び吸着解除手段をスライドする手段と、前記基板端が吸着された基板をスライドする際には浮上させ、スライドした後には浮上を解除し吸着する浮上吸着手段と、を有する検査ステージを備えたことを特徴とする基板マクロ検査装置。 （もっと読む）