【課題】ソルダーレジストのような永久パターンの形成を目的として、露光感度に優れ、得られるレジスト面形状が良好で、かつ、より高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】バインダーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、増感剤として蛍光増白剤と、を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有し、かつ、該感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが０．１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２であることを特徴とするパターン形成材料、並びにパターン形成装置及び永久パターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】ケイ素含有無機膜をレジスト中間層膜として使用する場合において、この膜をより薄くすることができ、かつ反射防止膜とケイ素含有無機膜のエッチング加工においてフォトレジスト膜への負荷を従来の方法よりも下げることのできるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】レジスト下層膜・第１のレジスト中間層膜・ケイ素樹脂を含有するケイ素樹脂膜である第２のレジスト中間層膜・レジスト上層膜を含む多層レジスト膜を形成し、該多層レジスト膜のパターン回路領域を露光した後、現像液で現像してレジスト上層膜にレジストパターンを形成し、レジスト上層膜をマスクにして第１および第２のレジスト中間層膜をエッチングし、第１および第２のレジスト中間層膜をマスクにしてレジスト下層膜をエッチングし、さらに、レジスト下層膜をマスクにして基板をエッチングして基板にパターンを形成することを特徴とするパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】多層の感光・感熱層を設けることなく、単一の感光・感熱層でカラー画像を得ることができ、プロセスが簡単で小型・安価な記録システムを提供。
【解決手段】発色成分Ａを内包するカプセルと、該カプセル外に、該発色成分Ａと反応して発色させる部位を有する発色成分Ｂと、光重合性組成物とを少なくとも含有し、更にこれらが同一カプセル中に内包されているマイクロカプセル内包カプセル。このカプセルは、中心波長λ1 の光に感光する第１のマイクロカプセル内包カプセル、中心波長λ2 の光に感光し第１の記録層と異なる色に発色する第２のマイクロカプセル内包カプセル、・・・、中心波長λi の光に感光し第１、第２、・・・、及び第ｉ−１のマイクロカプセル内包カプセルと異なる色に発色する第ｉのマイクロカプセル内包カプセルを含む構成によってカラー画像形成が容易である。 （もっと読む）

【課題】半透過型カラーフィルタの着色画素層の形成において、フォトマスクを用いず、また、工程を簡略化し、廉価なカラーフィルタの製造に適した感光性着色樹脂組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタを提供すること。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）エチレン性不飽和化合物、（Ｃ）光重合開始剤、および（Ｄ）着色剤からなる感光性着色樹脂組成物であって、これを用いて形成した着色樹脂層への露光量に高低差を設けることにより、現像後の低露光量部の膜厚（ｔ２）と、高露光量部の膜厚（ｔ１）との比の値〔ｔ２／ｔ１〕が、０．０５以上０．７以下の範囲となること。フォトブリーチングする光重合開始剤とフォトブリーチングしない光重合開始剤が〔１：１０〕〜〔２：１〕重量比で含有する。 （もっと読む）

【課題】 １回の焼成であっても、所定の凹凸パターンを有する無機物層を十分に高い精度で形成することができる無機物層の形成方法を提供すること。
【解決手段】 基板４０上に、反応性二重結合を有するポリマー、熱硬化剤及び無機物粒子を含有する第１の樹脂組成物からなる第１層２１を形成する第１層形成工程と、第１層２１の基板４０と反対側の面上に、無機物粒子を含有する感光性の第２の樹脂組成物からなる第２層６１を形成する第２層形成工程と、第２層６１を所定のパターンで露光する露光工程と、露光工程の後に第２層６１を現像して、上記パターンを有するレジスト層６２を形成するレジスト層形成工程と、レジスト層６２を第１層２１とともに焼成して無機物層７０を形成する焼成工程と、を備えることを特徴とする無機物層の形成方法。 （もっと読む）

【課題】 経時での感度変動が小さく、現像液展開性に優れたポジ型レジスト組
成物の製造方法を提供する。
【解決手段】 単環又は多環の脂環式炭化水素構造を有し、酸の作用によりアル
カリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型レジスト組成物の製
造方法に於いて、単環又は多環の脂環式炭化水素構造を有し、酸の作用によりア
ルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂をイオン交換フィルターにより濾過
する濾過工程を含み、好ましくは、更に、単環又は多環の脂環式炭化水素構造を
有し、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を不溶コロ
イド除去フィルターで濾過する濾過工程を含むポジ型レジスト組成物の製造方法
。 （もっと読む）

【課題】 複数レーザー光源に対応可能であり、レーザー波長変化による性能の変動が少なく、高感度であり、かつ高精細なパターンが形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】 バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤を少なくとも含む感光性組成物からなる感光層を少なくとも有してなり、前記感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーの３５０〜４１５ｎｍの波長における下記数式１で表される感度変動率が、５０％以下であるパターン形成材料である。
＜数式１＞
感度変動率（％）＝〔１−（Ｅ_ｍｉｎ／Ｅ_ｍａｘ）〕×１００
ただし、前記数式１中、Ｅ_ｍｉｎは、感度の最大値（ｍＪ／ｃｍ^２）、Ｅ_ｍａｘは、感度の最小値（ｍＪ／ｃｍ^２）を表す。 （もっと読む）

【課題】 フォトマスクを用いることなく、高感度でかつ露光パワーの変動による線幅変動が極めて少なく、高精細に形成可能であり、低コスト、かつ表示特性に優れカラーフィルタを形成することができるマスクレス露光用カラーフィルタ形成材料などの提供。
【解決手段】 少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤、及び着色剤を含む感光性組成物からなる感光層を有してなり、前記感光層の感度が０．１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２であり、前記感光層における感度の１００％での露光量（Ｐ１００）乃至該感光層における感度の５５％での露光量（Ｐ５５）では、前記感光層の現像後厚みが該感光層の初期厚みの９０〜１１０％であり、かつ前記感光層における感度の４５％での露光量（Ｐ４５）では、該感光層の現像後厚みが該感光層の初期厚みの１０％以下であるマスクレス露光用カラーフィルタ形成材料である。 （もっと読む）

【課題】 ブリッジ系ディフェクトおよび再析出系ディフェクトの両方が低減されたレジストパターンが形成できるポジ型レジスト組成物の製造方法、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が増大する樹脂成分（Ａ）および露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）を有機溶剤（Ｓ）に溶解してなるポジ型レジスト組成物を、ナイロン製の膜を備えたフィルタ（ｆ１）を通過させる工程（Ｉ）を有し、前記樹脂成分（Ａ）が、少なくとも１種の単量体を重合させて製造する際に酸を存在させることにより得られる少なくとも２種の構成単位を有する共重合体であることを特徴とするポジ型レジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 ソルダーレジストのような永久パターンの形成を目的として、露光感度に優れ、得られるレジスト面形状が良好で、かつ、より高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法の提供。
【解決手段】 バインダーと、重合性化合物と、光重合開始剤と、熱架橋剤と、増感剤として塩基性核を有する色素と、を少なくとも含む感光性組成物を用いて得られた感光層を少なくとも有し、かつ、該感光層を露光し現像する場合において、該感光層の露光する部分の厚みを該露光及び現像後において変化させない前記露光に用いる光の最小エネルギーが０．１〜１００ｍＪ／ｃｍ^２であることを特徴とするパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いた永久パターン形成方法である。 （もっと読む）