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国際特許分類[H01J49/16]の内容

電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 電子管または放電ランプ (32,215) | 粒子分光器または粒子分離管 (1,755) | 細部 (827) | イオン源;イオン銃 (433) | 表面電離を利用するもの,例.電界放出,熱放出または光放出 (53)

国際特許分類[H01J49/16]に分類される特許

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【課題】 中赤外光と紫外光を一緒に発生させることが可能で、中赤外光の波長と中赤外光と紫外光のタイミングを調整することができるコンパクトで低コストな中赤外光−紫外光発生装置を提供する。特に、マトリックス支援脱離イオン化飛行時間型質量分析法(MALDI−TOFMS)において中赤外光と紫外光を一緒に照射することにより光質量物質、特に不溶性たんぱく質試料の質量分析を可能にする方法に利用できる簡便な中赤外光−紫外光発生装置を提供する。
【解決手段】 Nd:YAGレーザ1とCr:forsteriteレーザ2の差周波発生により中赤外光を発生させる波長可変赤外光発生装置において、差周波発生用非線形光学結晶3に向かうNd:YAGレーザのエネルギーの一部を分岐し、この分岐Nd:YAGレーザまたはこの高調波紫外光と波長可変な中赤外光を同時に出力することができるようにした。 (もっと読む)


【課題】 レーザーをイオン化に用いる質量分析において、レーザーの照射領域や照射位置を、試料設置後の試行錯誤等によるのではなく、容易に設定すること、データの再現性を向上させること及び測定時間を短縮することを可能とする方法及びそのための装置を提供する。
【解決手段】 レーザーイオン化質量分析方法を、サンプル台上の試料の厚さや厚さ分布を求め、その結果からパルスレーザーの照射場所を設定するものとする。試料の厚さや厚さ分布を顕微鏡での測定により求めるのが好ましい。パルスレーザーの照射場所の設定は顕微鏡によって求められる厚さ分布データに対して閾値を設定し、当該閾値以上の厚さを有するサンプル台上の試料領域をイオン化領域として設定することにより行うか、或いは試料の厚さとレーザー照射で生じるイオンの質量スペクトルとの関係を示す検量線と照合することにより行うのが好ましい。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、従来のらせん型飛行時間型質量分析装置の総飛行距離を伸ばし、質量分解能を大幅に向上させた飛行時間型質量分析装置を提供する。
【解決手段】試料をイオン化するイオン源と、イオンをパルス的に加速するための手段と、複数のセクター電場で構成され、イオンをらせん軌道で飛行させるらせん軌道型飛行時間型分光部と、らせん軌道型飛行時間型分光部にイオンを入出射させる機構と、らせん軌道型飛行時間型分光部の出射部近傍でイオン軌道を折り返す反射電場と、イオンを検出する検出器とを備えた飛行時間型質量分析装置であって、らせん軌道型飛行時間型分光部を出射したイオンを前記反射電場で反射させて再びらせん軌道型飛行時間型分光部内に戻し、該らせん軌道型飛行時間型分光部内を往復飛行させることによって飛行時間を計測するようにした。 (もっと読む)


【課題】 ナノレベル構造組成観察装置に関し、レーザ光の反射光による測定誤差の発生を防止する。
【解決手段】 針状試料4の表面より、少なくとも外部エネルギー3により原子1つ1つ或いは複数の元素からなるクラスター1集団1集団が外部空間に離脱することにより針状試料4のナノレベルの構造組成を観察するためのナノレベル構造組成観察装置を構成する観察室1の内部の少なくとも一部に黒色光吸収体5を設ける。 (もっと読む)


【課題】
従来の針状サンプルのイオン化には、針先にパルス高電圧を印加するか、あるいはナノ秒レーザーを照射していた。このようなイオン化の方法では3次元アトムプローブ電界顕微鏡においては、針状サンプルの破壊を招くか、あるいは加熱による温度上昇のため分解能の低下を招いていた。また、半導体や絶縁体の分析は極めて困難であった。
【解決手段】
電界蒸発が生じる閾値以下の高電圧を印加した波長より充分小さな曲率半径をもつ針状サンプルに対して、その針先に超短パルスレーザー光を集光することにより、針状サンプルの表層の原子をイオン化により順次除去し、内部に残留応力を有する針状サンプルを破壊することなく元素の3次元分布の分析を可能とし、さらに分解能を高めるだけでなく半導体や絶縁体の分析を可能とするイオン化の方法。 (もっと読む)


【課題】 試料が破壊されることなくスムーズな元素の離脱を可能とし、試料中の3次元的原子分布を容易且つ正確に再構成することができる。
【解決手段】 3DAPにおいて、試料11の元素の電界蒸発をアシストするための吸着ガスをチャンバー1内に導入する吸着ガス導入機構6が設けられる。吸着ガスとしては、試料11の元素に吸着し易い(吸着率の高い)ガス種、例えば窒素ガスが選ばれる。 (もっと読む)


【課題】 半導体プロセスや半導体デバイス開発などで用いられる平板状・薄膜状の試料のAPFIM分析を高い再現性・信頼性で効率よく可能にするような針状体を提供する。
【解決手段】 本発明は、基板11と、前記基板上に形成された被分析領域17とを具備する試料10の表面に導電材16を接合して複合体18を得る接合工程と、前記複合体18を、前記被分析領域17の少なくとも一部を備える尖状部と、前記導電材16の少なくとも一部を備え、前記尖状部に接合した支柱部とを具備する針状体に加工する加工工程と、を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


イオン源、イオンを形成する方法、および質量分析計システムが提供される。本教示はさまざまな実施例において、イオン源、イオン源からイオンを集束させる方法、および飛行時間型質量分析計を操作する方法を提供する。本教示はさまざまな実施例において、質量分析計とともに使用する場合の、マトリックス支援レーザー脱離イオン化(MALDI)イオン源およびMALDIイオン源の操作方法に関連する。さまざまな側面において、複数の操作モードが構成されるTOF質量分析計の感度と分解能のうち1つ以上の向上を促進するイオン源およびその操作方法が提供される。
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【課題】 MALDIイオントラップ型質量分析装置において、1回の測定でより広い質量範囲をカバーすることのできる方法及び装置構成を提供する。
【解決手段】 MALDI部におけるパルスレーザの照射時刻t0とイオントラップ部におけるリング電極へのRF電圧印加時刻t1の間の時間を少しずつ変化させつつ、試料への複数回のパルスレーザ照射を行い、それらにより得られたマススペクトルを加算又は加算平均する。t0とt1の間の時間が短いほど、より小さな質量電荷比を持つイオンがイオントラップ空間122にトラップされるようになるため、このように時間をずらせて多数回の測定を行うことにより、広い質量範囲をカバーしたマススペクトルを得ることができる。 (もっと読む)


【課題】 サンプルプレート1上に塗布される試料aにレーザー光を照射してイオン化し、これを電極2により形成した電場勾配で引き出して自由飛行させた後、イオン検出器(マイクロチャンネルプレート)dで検出するタイプの飛行時間型質量分析装置に関する。電極2と検出器dとの距離が装置を大型化させていたが、電極2と検出器dとを近づけると検出器dの微小領域にイオンが集中入射してしまい、放電破壊などを引き起こすので小型化ができなかった。
【解決手段】 本願発明に係る飛行時間型質量分析装置では、サンプルプレート1または電極2の少なくとも一方が、分析室に向けて凸形状を有する構成とした。イオンが分析室内を飛行する際、イオンの飛行方向に垂直な方向に拡散しつつ飛行させることができ、したがって電極2と検出器dとの距離を短くした場合でもイオンが検出器の一部に集中入射することを防止し、分析装置全体の小型化を実現することができる。 (もっと読む)


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