インプリント用のロール状転写フィルムの製造方法、およびインプリント用のロール状転写フィルム
【課題】従来の塗布工程とインプリント工程の両立という技術的困難性を緩和し、且つ流動性の高い塗布液を用いても幅方向の広がりを防止する。
【解決手段】微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、基材フィルム２の一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層３１を形成し、基材フィルム２の幅方向両端側に硬化性樹脂薄膜層３１の厚みｔより高いナーリング加工の高さｈを有するナーリング加工２ａを施した後、ロール体に巻き取ってインプリント用のロール状転写フィルムを製造する。
【解決手段】微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、基材フィルム２の一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層３１を形成し、基材フィルム２の幅方向両端側に硬化性樹脂薄膜層３１の厚みｔより高いナーリング加工の高さｈを有するナーリング加工２ａを施した後、ロール体に巻き取ってインプリント用のロール状転写フィルムを製造する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法、およびインプリント用のロール状転写フィルムに関するものである。
なお、本明細書での微細なパターンとは、微細凸凹形状からなる細線パターン及び図形パターンにおいて、１つの細線幅及び図形寸法が、約数十ｎｍ〜約数百μｍ程度のパターンを指す。
【背景技術】
【０００２】
インプリントは、安価に超微細凹凸形状加工が可能な技術として、近年半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ等の光学フィルム部材、記録メディア、バイオ・医療関連など様々な分野での応用展開が試みられている。特に微細凹凸形状を持つフィルム状部材を連続的に製造する方法として、従来から下記のような方法が知られている（特許文献１〜４参照）。
【０００３】
特許文献１には、流動性を有する紫外線硬化性樹脂をシート基板に塗布し、表面に微細凹凸形状を有するロール状スタンパーを用いて紫外線硬化樹脂に転写成形し、紫外線を照射して微細凹凸形状を転写した紫外線硬化樹脂を硬化させる光学情報記録媒体用基板の連続製造方法が開示されている。
特許文献２には、基材フィルム上に、紫外線硬化型樹脂又は電子線硬化型樹脂組成物をチューブ式塗布装置で塗布し、ドクターナイフで塗布面を均一に形成し、ロール状成形型を用いて樹脂に凹凸形状を形成し、凹凸形状を形成した樹脂層を硬化させた後、凹凸形状が表面に形成された樹脂成形品を前記成形型から剥離することにより、基材フィルム上に紫外線硬化型樹脂又は電子線硬化型樹脂の硬化物からなる凹凸形状が表面に形成されている樹脂成形品の製造方法が開示されている。
特許文献３には、ポリマー溶液を、シートのパターン形状に対応する微細凹凸のパターン形状が形成された走行ベルト上に塗布して該走行ベルト上に塗布膜を形成し、前記走行ベルトの水平走行中に前記塗布膜を乾燥・固化させて前記走行ベルトのパターン形状を塗布膜に転写させた後、前記走行ベルトから塗布膜を剥離することにより、シート面に微細凸凹のパターン形状が形成されたパターンシートを製造する方法が開示されている。
特許文献４には、連続走行している帯状可撓性のシート状体の表面に放射線硬化樹脂液を塗布し塗布層を形成し、回転する凹凸ローラに巻き掛け、前記塗布層に前記凹凸ローラ表面の凹凸を転写し、放射線を照射し前記塗布層を硬化させ、凹凸ローラから剥離させる剥離工程とを含む凹凸状シートの製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−３２５２７２号公報
【特許文献２】特開２００２−２１０７５８号公報
【特許文献３】特開２００４−２３０６１４号公報
【特許文献４】特開２００７−２５３５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１〜４に記載の製造方法は、紫外線硬化樹脂の塗布から微細凹凸形状転写の工程（インプリント工程）において、塗布膜には微細凹凸形状を精度良く転写させるため流動性を持たせてあることから、塗布膜の両端部では樹脂が幅方向へ流れが広がり、厚みの均一性を一定に保つことが困難であった。
【０００６】
また、流動性の高い塗布液を均一に塗布するためには、操作に熟練した技術を必要としている。このため、流動性の紫外線硬化樹脂の塗布装置と、インプリントのための型押し装置（スタンパ）とを両方同時に、運転操作するには、技術的な困難さがあり、尚且つ両方の装置を連動させて連続的に凹凸パターンを製造するものであるため、両方の製造装置のいずれかに不具合があれば製造工程が停止してしまうという不具合があった。
【０００７】
更に、塗布工程とインプリント工程が続いていることから、塗布膜単体での検査・評価が十分に行えず、例えば塗布膜に異物などが混入した場合、前記異物はそのままインプリント工程に持ち込まれることとなり、形状転写の不良や、最悪の場合スタンパ自身を傷付けてしまう不具合が生じる。スタンパが傷付いた大半の場合、そのスタンパは微細凹凸形状を安定して形成することが不可能となるため、スタンパの交換が必要となるが、スタンパは非常に高価であり、その製造も容易ではないため、使用者にとってコスト面、及び時間的な面で大きな損失となる。
【０００８】
すなわち本発明の目的は、従来の塗布工程とインプリント工程の両立という技術的困難性を緩和し、且つ流動性の高い塗布液を用いても幅方向の広がりを防止する、インプリント用のロール状転写フィルムの製造方法、およびインプリント用のロール状転写フィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では上記問題点を解決するために、流動性の高い液状の硬化性樹脂の塗布工程と、インプリント工程とを分割し、硬化性樹脂の塗布膜としての検査・評価を十分に行うことで上記不具合を防止し、且つインプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができるようロール状転写フィルムを用いる。また、前記ロール状転写フィルムには、流動性の高い硬化性樹脂を用いても幅方向への広がりを防止し、且つ均一な塗布膜厚みを保持できるよう構造的特徴を持たせる。
【００１０】
請求項１に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（３）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（２）前記基材フィルムの幅方向両端側の前記硬化性樹脂薄膜層が形成される領域にかからない位置に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（３）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記基材フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１１】
請求項２に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（４）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（２）前記基材フィルムの幅方向両端側にエネルギー線を照射して、前記硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、（３）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（４）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１２】
請求項３に係る発明は、 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射し、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記エネルギー線を透過させて、前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成した後、前記カバーフィルムを除去する工程、（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１３】
請求項４に係る発明は、前記遮蔽パターンの形成が、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項３に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項５に係る発明は、前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項３または４に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項６に係る発明は、前記基材フィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１４】
請求項７に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射して、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１５】
請求項８に係る発明は、前記遮蔽パターンの形成が、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項７に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項９に係る発明は、前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項７または８に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１６】
請求項１０に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成され、前記基材フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムである。
【００１７】
請求項１１に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、幅方向両端部においては硬化され、前記幅方向両端部の間である中央部においては未硬化とされた、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成されてなり、前記転写フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムである。
【００１８】
請求項１２に係る発明は、前記基材フィルムが、長さ１〜１００００ｍの長尺状であって、ロール体に巻かれていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
請求項１３に係る発明は、光学機能フィルム、半導体素子、精密機械部材、磁気記録媒体部材からなる群のいずれか一つを製造するのに用いられるものであることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
請求項１４に係る発明は、前記基材フィルムには、インプリント装置のスタンパに位置合わせするための合せマークが２次元配置されてなることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
【発明の効果】
【００１９】
上記本発明によれば、インプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができるよう転写フィルムをロール体で供給することができる。また、硬化性樹脂薄膜層の段階で検査・評価を行えることから、インプリント工程への異物等の混入を事前にある程度抑制することができるため、高価なスタンパが傷付くリスクを低減できる。更に、フィルム両端部に形成されたナーリング加工による凹凸形状、又は硬化性樹脂薄膜層の両端部に形成された非流動性の硬化部位による堰の効果により、流動性のある硬化性樹脂の広がりを防止し、硬化性樹脂薄膜層の厚みを均一に保つことができる。
【００２０】
請求項１に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部に施されるナーリング加工により形成される凹凸形状が、堰としての機能を有するため、硬化性樹脂薄膜層の幅方向の広がりを防止することができ、硬化性樹脂薄膜層の厚みを均一化できる。また、ナーリング加工が硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するため、ロール体に巻き取る際、空気を一緒に巻き取ることとなり、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとの密着を防止できる。
【００２１】
請求項２に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部を硬化させることで、その間の流動性部位と連続する位置に非流動性部位を形成でき、硬化性樹脂薄膜層の幅方向の広がりを防止できる。また、ロール体に巻き取る際、前述した理由により硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとの密着を防止できる。
請求項３に係る発明によれば、請求項２に係る発明の効果に加えて、カバーフィルムを貼り合わせてエネルギー線を照射することで、酸素阻害を起こすような硬化性樹脂を用いても、酸素阻害による硬化不良を防止し、硬化を十分に行うことができる。
【００２２】
請求項４に係る発明によれば、遮蔽パターンの形成方法は必要とする遮蔽性能、コスト、カバーフィルムとの相性等を満たす方法であれば、上記種々の方法を自由に選択できる。
請求項５に係る発明によれば、カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項６に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとがロール体となった時に万が一密着しても、巻き出し工程で硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
【００２３】
請求項７に係る発明によれば、請求項３に係る発明の効果に加えて、カバーフィルムを貼合したままロール体に巻き取ることで、次工程までの期間中、硬化性樹脂薄膜層の表面に異物等が付着することを防止できるため、製品のクリーン度をより高く保つことができる。
請求項８に係る発明によれば、遮蔽パターンの形成方法は必要とする遮蔽性能、コスト、カバーフィルムとの相性等を満たす方法であれば、上記種々の方法を自由に選択できる。
請求項９に係る発明によれば、カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項１０〜１４に係る発明によれば、インプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１の実施形態による製造方法の代表例を示す概略図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図２のＢ部の部分拡大断面図である。
【図４】第１の実施形態による製造方法により製造した転写フィルムの幅方向の端部付近の部分拡大断面図である。
【図５】第２の実施形態による製造方法の代表例を示す概略図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図７】図６のＤ部の部分拡大断面図である。
【図８】第２の実施形態による製造方法により製造した転写フィルムの幅方向の端部付近の部分拡大断面図である。
【図９】第３の実施形態による製造方法の代表例を示す概略図である。
【図１０】図９のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図１１】本発明により製造されるロール状転写フィルムへインプリントを施す工程の代表例を示す概略図である。
【図１２】従来のインプリント製品製造工程の代表例を示す概略図である。
【図１３】第１の実施形態による製造方法により製造した転写フィルムを巻き取る様子を説明する斜視図及び部分拡大図（丸囲みの部分）である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、好適な実施の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。すなわち透明基材２を製造装置に供給する基材供給部１と、前記透明基材２に硬化性樹脂組成物を塗布する塗布装置３と、硬化性樹脂組成物中に有機溶媒等が含まれる場合、それを揮発除去する乾燥装置４と、透明基材２の両端部へナーリング加工を施すナーリング形成装置５と、加工されたインプリント用転写フィルムを巻き取る巻取り部６とから構成される製造装置を用いてロール状転写フィルムが製造される。
【００２６】
基材供給部１はロール状に透明基材２が巻き取られたロール体と、そのロール体を保持する軸等により構成される。
【００２７】
ここで透明基材２に用いられる材質は、耐熱性、及び紫外線硬化性樹脂組成物の硬化を阻害する３５０ｎｍ〜４００ｎｍ近傍の紫外線領域に散乱・吸収が小さいものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリスチレン、ポリアクリル酸塩、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリアミド、ナイロン、ポリイミド、トリアセチルセルロース（三酢酸セルロース）、二酢酸セルロース、ポリ（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ポリ（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリメチルメタクリレート、ポリテトラフルオロエチレンやポリトリフルオロエチレン等のフッ素系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル―酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、セロファン、セルロース系フィルムなどを挙げることができる。これら材料は、１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
特に前記基材のうち、耐熱性、紫外線透過性、及び価格の面から、ポリエチレンテレフタレートを用いることが好ましい。
【００２８】
また、前記透明基材２の塗布面側、もしくは両面に易接着処理、コロナ処理、大気圧プラズマ処理などの表面処理がなされていることが好ましい。これらの表面処理は、予め透明基材２に施しておくことが好ましい。また、基材供給部１から透明基材２を繰り出して塗布装置３で硬化性樹脂組成物を塗布するまでの間にこれらの表面処理を施すこともできる。
また、前記透明基材２の裏面（硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面）に剥離処理がなされていることが好ましい。これにより、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとがロール体となった時に万が一密着しても、巻き出し工程で硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
剥離処理には、例えばシリコーン系やフッ素系の剥離剤の塗布等が挙げられる。
【００２９】
なお、透明基材２の厚みは１６μｍ〜２００μｍを有することが好ましく、５０μｍ〜１５０μｍを有することが更に好ましい。透明基材２が薄すぎるとハンドリング性が悪く、また、基材の剛性が小さいため広幅のロール体にした時に、中央部が自重で撓み、塗布膜と上部に巻かれた基材背面とが接着してしまう（ブロッキング）恐れがある。また、透明基材２が厚過ぎると、コスト面、ハンドリング性で不利である。
【００３０】
塗布装置３は、透明基材２上に硬化性樹脂組成物を均質に供給する手段を備えるものであればどういった装置でも良いが、連続的に硬化性樹脂組成物を透明基材２上に供給できるよう、硬化性樹脂組成物を貯蔵するタンク、送液ポンプ、配管、異物除去フィルター、コーターヘッドからなる構成を持つ装置が好ましい（図示なし）。コーターヘッドは、例えばダイコーターなどが好適である。
塗布装置３により、透明基材２の片面に硬化性樹脂薄膜層（塗布膜）が形成される。塗布装置３で塗布した直後の硬化性樹脂組成物は、未硬化でかつ液状であり、塗布に適した流動性を有する。
【００３１】
硬化性樹脂組成物は、インプリントに際して用いる硬化手段に応じて、紫外線硬化性樹脂組成物、電子線硬化性樹脂組成物、熱硬化性樹脂組成物等を適宜選択して用いることができる。
硬化性樹脂組成物は、紫外線、電子線、熱線等のエネルギー線により重合する重合性化合物を含有する。
例えば、３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内の紫外線に対して硬化性を有する紫外線硬化性樹脂材料としては、重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）および離型剤（Ｃ）を含有するものが好ましい。
重合性化合物（Ａ）としては、例えば、アクリル単量体、ウレタン（メタ）アクリレートやエポキシ（メタ）アクリレートのモノマーやオリゴマーを用いることができる。また、紫外線硬化性樹脂組成物の塗布液中には、反応希釈剤、光重合開始剤などを添加することが好ましい。
【００３２】
アクリル単量体としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択できるものであり、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリル酸アミド類が用いられる。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸の総称である。
（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、下記の化合物が挙げられる。
【００３３】
フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリール（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のモノ（メタ）アクリレート。
１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等のジ（メタ）アクリレート。
トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタアエリスリトールトリ（メタ）アクリレート等のトリ（メタ）アクリレート。
ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等のその他の（メタ）アクリレート。
前記（メタ）アクリルアミド類としては、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブチルアクリル（メタ）アミド、Ｎ−ｔ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（２−メトキシエチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ベンジル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、ジアセトンアクリルアミドなどが挙げられる。具体的な商品名としては、ビームセット３７１（荒川化学工業社製）等が挙げられる。
これらアクリル単量体は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３４】
ウレタン（メタ）アクリレートは、例えばヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシレンイソシアネートなどのポリイソシアネート類と、ヒドロキシ（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートを反応させることで得られる。また、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、ポリカプロラクトンポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートジオール、ポリテトラメチレングリコールなどのポリオール類と、前記イソシアネート類を反応させた、ポリマーもしくはオリゴマーと、ヒドロキシ（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートを反応させることで、多種多様なウレタン（メタ）アクリレートを得ることができる。
【００３５】
エポキシ（メタ）アクリレートは、例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型プロピレンオキサイド付加物の末端グリシジルエーテル、フルオレンエポキシ樹脂などのエポキシ樹脂類と、（メタ）アクリル酸とを反応させて得ることができる。
【００３６】
光重合開始剤（Ｂ）としては、例えば、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤等が挙げられる。
アセトフェノン系光重合開始剤：アセトフェノン、ｐ−（ｔｅｒｔ−ブチル）１’，１’，１’−トリクロロアセトフェノン、クロロアセトフェノン、２’，２’−ジエトキシアセトフェノン、ヒドロキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２’−フェニルアセトフェノン、２−アミノアセトフェノン、ジアルキルアミノアセトフェノン等。
ベンゾイン系光重合開始剤：ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール等。
ベンゾフェノン系光重合開始剤：ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、メチル−ｏ−ベンゾイルベンゾエート、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ヒドロキシプロピルベンゾフェノン、アクリルベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等。
チオキサントン系光重合開始剤：チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ジメチルチオキサントン等。
その他の光重合開始剤：α−アシルオキシムエステル、ベンジル−（ｏ−エトキシカルボニル）−α−モノオキシム、アシルホスフィンオキサイド、グリオキシエステル、３−ケトクマリン、２−エチルアンスラキノン、カンファーキノン、テトラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルペルオキシド、ジアルキルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシピバレート等。
【００３７】
紫外線硬化性樹脂材料中の重合開始剤の含有量は、重合性化合物の１００質量部に対して０．００１〜１０質量部であることが好ましく、０．０１〜１０質量部であることがより好ましく、０．１〜５質量部であることが特に好ましい。重合開始剤の含有量が０．００１質量部以上であれば、重合性化合物を短時間に重合でき、１０質量部以下であれば、重合開始剤の残渣が硬化物中に残存しにくい。
【００３８】
離型剤（Ｃ）としては、より離型性に優れる硬化物が得られることから、含フッ素界面活性剤を含むことが好ましい。さらには、フッ素含有量が１０〜７０質量％の含フッ素界面活性剤がより好ましく、フッ素含有量が１０〜４０質量％の含フッ素界面活性剤が特に好ましい。含フッ素界面活性剤は、水溶性であっても油溶性であってもよい。
含フッ素界面活性剤としては、アニオン性含フッ素界面活性剤、カチオン性含フッ素界面活性剤、両性含フッ素界面活性剤、ノニオン性含フッ素界面活性剤のいずれであってもよい。これらの中でも、硬化性樹脂材料における相溶性と、その硬化物における分散性が良好であることから、ノニオン性含フッ素界面活性剤が特に好ましい。
【００３９】
アニオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルカルボン酸塩、ポリフルオロアルキル燐酸エステル、またはポリフルオロアルキルスルホン酸塩が好ましい。カチオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１１１（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１４３（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１２０、メガファックＲ−３０（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
カチオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルカルボン酸のトリメチルアンモニウム塩、またはポリフルオロアルキルスルホン酸アミドのトリメチルアンモニウム塩が好ましい。カチオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１２１（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１３４（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１５０（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
両性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルベタインが好ましい。両性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１３２（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＸ−１７２（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１２０（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
ノニオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルアミンオキサイド、またはポリフルオロアルキル・アルキレンオキサイド付加物が好ましい。ノニオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１４５（商品名、セイミケミカル社製）、サーフロンＳ−３９３（商品名、セイミケミカル社製）、サーフロンＫＨ−２０（商品名、セイミケミカル社製）、サーフロンＫＨ−４０（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１７０（商品名、スリーエム社製）、フロラードＦＣ−４３０（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１４１（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
【００４０】
紫外線硬化性樹脂組成物材料中の含フッ素界面活性剤の含有量は、紫外線硬化性樹脂組成物の全体を１００質量％とした際の０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましい。含フッ素界面活性剤の含有量が０．０１質量％以上であれば、離型性に優れた硬化物を確実に形成でき、１０質量％以下であれば、紫外線硬化性樹脂材料を容易に調製できる。
【００４１】
硬化性樹脂材料として、熱硬化性樹脂を用いる場合には、熱硬化性樹脂としては、熱ナノインプリント法に対する適合性の点から、圧縮成形の際の加熱温度よりも高いガラス転移温度（Ｔｇ）を有する熱硬化性樹脂が好ましい。
【００４２】
なお、硬化性樹脂組成物の塗布膜厚みは、３〜５０μｍの間にあることが好ましく、更に好ましくは１５〜３５μｍである。
塗布膜が薄すぎると、形状転写性が悪くなり、また、塗布膜が厚過ぎるとコスト面やロール体での経時安定性の点で不利である。
【００４３】
乾燥装置４は、透明基材２上に形成された硬化性樹脂組成物の塗布膜を加熱する手段と、乾燥装置内に空気を送る手段と、乾燥装置内の空気を排気する手段を備えている。
乾燥装置４は、硬化性樹脂組成物を硬化させる目的のものではなく、塗布膜は乾燥後もある程度の流動性を有し、液状ないしゲル状となっている。
【００４４】
ナーリング形成装置５は、表面に凹凸形状が形成され、透明基材２を挟みこむように設置されたロールで構成される。
本形態例の場合、ナーリング形成装置５は、図２に示すように、表面に凹凸形状が形成されたナーリング加工ロール５ａと、表面が平滑な受けロール５ｂを備え、加工ロール５ａと受けロール５ｂとの間に透明基材２を挟みこむことで、透明基材２の片面をナーリング加工する。なお、図示はしないが、透明基材の両面にナーリング加工ロールを設けても良い。
図３に示すように、透明基材２の幅方向（図２の左右方向）両端側の硬化性樹脂薄膜層３１が形成される領域にかからない位置に、硬化性樹脂薄膜層３１の厚みｔより高い高さｈを有するナーリング加工２ａが施される。ナーリング加工部２ａは、透明基材２の幅方向両端縁から若干内側に形成すると、ナーリング加工が容易になるので好ましい。余分な耳の部分は、後工程で長手方向に沿って断裁除去することもできる。
なお、本形態例では、ナーリング加工を硬化性樹脂の塗布後に行なっているが、硬化性樹脂の塗布前にナーリング加工を行なうこともできる。
【００４５】
ナーリング加工ロール５ａは、その周方向に延在する凹凸が形成されている。このナーリング加工ロール５ａを回転させながら透明基材２に対し押圧することで、図１３の丸囲みの部分に示すように、ナーリング加工部２ａの高さの高い凸（山）の部分２ｂが透明基材２の長手方向に延在して形成される。この場合、凸の部分２ｂが透明基材２の長手方向に途切れることなく連続形成されるので、流動性の高い硬化性樹脂薄膜層３１の幅方向の広がりを確実に防止することができる。凸の部分２ｂの間は、高さの低い溝２ｃの部分（凹部）が形成される。
このほか、ナーリング加工ロール５ａとしては、ＪＩＳ Ｂ０９５１に規定される平目ローレット（凹凸が軸線方向に沿って形成されているもの）や綾目ローレット（凹凸が周方向に斜めに形成されているもの）、角錐状や角柱状等の微細な突起あるいは凹部が周方向及び軸線方向に離間して配列されたもの等が挙げられる。これにより、それぞれ対応する形状のナーリング加工部２ａが形成される。
【００４６】
巻取り部６は、図４に示すように、上述の硬化性樹脂薄膜層３１が形成され、かつナーリング加工２ａが施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
本形態例で製造されるロール状転写フィルムは、コア材の周囲にインプリント用転写フィルムがロール状に巻き取られたものであり、所望の長さの転写フィルムが巻き取られた後、巻き取り軸から取り外されて製品となる。
図１３に示すように、硬化性樹脂薄膜層３１は、ロールの巻き始め及び巻き終わりの部分には形成されない。巻き取りの際、透明基材２に対し硬化性樹脂薄膜層３１を内側とするか外側とするかは限定されない。いずれの場合においても、巻き始め又は巻き終わりにおいて硬化性樹脂薄膜層３１が形成されていない部分の透明基材２をフィルム端末６２からコア材６１の周囲に１周以上余分に巻き取ることにより、硬化性樹脂薄膜層３１がコア材６１に接触したり外部に露出したりすることなく、該硬化性樹脂薄膜層をロール体の中に巻き込むことができる。符号６３は、フィルム端末６２をコア材６１に貼着する接着テープ６３である。
【００４７】
図５は、本発明の第２の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。
図５に示した装置は、図１に示した基材供給部１、透明基材２、塗布装置３、乾燥装置４、ナーリング形成装置５に加え、塗布膜乾燥後に塗布膜両端部を紫外線照射し、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化装置としての紫外線照射装置７を備える。また、図５の巻取り部８は、巻き取られるインプリント用転写フィルムは相違するが、装置部分は図１の巻取り部６と同様である。
【００４８】
紫外線照射装置７は、紫外線を発生させる光源部と、光源で発生する熱を除去する冷却装置と、塗布膜両端部のみに紫外線を効果的に照射する導光手段、もしくは集光手段を備える。
光源部は、紫外線硬化性樹脂組成物を十分に硬化させる紫外線照射量を得られるものであれば高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等のランプ光源や、紫外線領域の発光ピークを持つ発光ダイオードなど自由に選択できる。
中でも紫外線硬化性樹脂組成物の硬化波長以外の波長の光を殆ど出さず、紫外線照射対象物への熱ダメージが少ない発光ダイオードタイプの光源が好適に用いられる。
【００４９】
紫外線照射装置７は、透明基材２の幅方向両端側に紫外線を照射して、硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて硬化性樹脂を硬化させる。これにより、図６に示すように硬化性樹脂薄膜層は、未硬化部３１とその幅方向両端側の硬化部３２を有するものとなる。なお、塗布装置３により塗布される硬化性樹脂が熱硬化性樹脂や電子線硬化性樹脂である場合は、硬化装置として加熱硬化装置や電子線硬化装置を用いることができる。
操作の容易性から、紫外線硬化性樹脂と紫外線照射装置を用いることが好ましい。
【００５０】
本形態例の場合、ナーリング形成装置５は、加工ロール５ａと受けロール５ｂとの間に硬化性樹脂薄膜層３２が形成された透明基材２を挟みこむことで、硬化性樹脂薄膜層の硬化部３２の上面をナーリング加工する。なお、図示はしないが、透明基材の両面にナーリング加工ロールを設けても良い。
図７に示すように、透明基材２の幅方向（図６の左右方向）両端側の硬化性樹脂薄膜層の硬化部３２に、未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１の厚みｔより高いナーリング加工の高さｈを有するナーリング加工３３が施される。
本形態例では、非流動性部位である硬化部３２にナーリング加工を施すと、透明基材２にナーリング加工を施す場合に比べて、未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１の厚みより高いナーリング加工の高さを得やすくなり、好ましい。
なお、ナーリング加工は、硬化部３２よりさらに外側の透明基材２に施すこともでき、その場合は、硬化性樹脂の塗布前にナーリング加工を施すことも可能である。
【００５１】
巻取り部８は、図８に示すように、上述の未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１が形成され、かつその幅方向両端側の硬化部３２にナーリング加工３３が施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
本形態例で製造されるロール状転写フィルムは、コア材の周囲にインプリント用転写フィルムがロール状に巻き取られたものであり、所望の長さの転写フィルムが巻き取られた後、巻き取り軸から取り外されて製品となる。
【００５２】
図９は、本発明の第３の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。
図９に示す装置は、図５に示した基材供給部１、透明基材２、塗布装置３、乾燥装置４、ナーリング形成装置５、紫外線照射装置７に加え、カバーフィルム１０と、カバーフィルム供給部９と、前記カバーフィルム１０を紫外線硬化性樹脂組成物塗布面に貼合するニップロール１１と、カバーフィルム１０を塗布面から剥離するバックロール１２と、剥離したカバーフィルム１０を巻き取る、カバーフィルム巻取り部１３からなる。また、図９の巻取り部１４は、巻き取られるインプリント用転写フィルムは相違するが、装置部分は図１の巻取り部６と同様である。
カバーフィルム供給部９は、カバーフィルム１０が巻き取られたロール体と、ロール体を保持する軸等からなる。
【００５３】
ニップロール１１は、紫外線硬化性樹脂組成物の塗布膜が形成された透明基材２と、カバーフィルム１０を挟み込む１対のロールからなり、両者を貼合する装置である。貼合のための加圧手段を備えることが好ましく、また、フィルムに対して均一な圧力をかけ易いよう、少なくとも一方のロールがゴム製であることが好ましい。
【００５４】
カバーフィルム１０は、図１０に示すように、エネルギー線を遮蔽（遮光）する遮蔽パターン（遮光パターン）１０ａと、エネルギー線（紫外線）を透過する透過パターン１０ｂを有する。すなわち、エネルギー線を透過可能な透明基材の片面または両面に遮蔽パターン１０ａを形成し、遮蔽パターン１０ａが形成されていない部分（透過部分）１０ｂは、エネルギー線を透過するように構成する。
このように、紫外線硬化性樹脂の上をカバーフィルム１０で覆って大気との接触を断った密閉状態で紫外線を照射することにより、酸素阻害を起こすような硬化性樹脂を用いても、酸素阻害による硬化不良を防止し、紫外線硬化性樹脂の硬化を十分に行うことができる。
【００５５】
カバーフィルム１０の基材に用いられる材質は、耐熱性、及び紫外線硬化性樹脂組成物の硬化を阻害する３５０ｎｍ〜４００ｎｍ近傍の紫外線領域に散乱・吸収が小さいものが好ましく、上記の透明基材２に用いられる材質として例示したものから選択することができる。カバーフィルム１０の基材に用いられる材質は、透明基材２に用いられる材質と同じでも異なっても良い。特に、耐熱性、紫外線透過性、及び価格の面から、ポリエチレンテレフタレートを用いることが好ましい。
【００５６】
また、カバーフィルム１０の硬化性樹脂薄膜層３１との貼合面に剥離処理がなされていることが好ましい。カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
剥離処理には、例えばシリコーン系やフッ素系の剥離剤の塗布等が挙げられる。
【００５７】
遮蔽パターンの形成は、エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法等が挙げられる。
【００５８】
図１０に示すように、未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１の上にカバーフィルム１０を貼り合せ、カバーフィルム１０側から紫外線を照射し、カバーフィルム１０の遮蔽パターン（遮蔽部分）１０ａが形成されていない部分（透過部分）１０ｂにおいて紫外線を透過させて、硬化性樹脂硬化部３２を形成する。
【００５９】
本形態例において、硬化させる部位は塗布膜の両端部に限らず、例えば格子状に硬化するよう遮光パターニングされたカバーフィルムを用いることで、幅方向のみならず加工流れ方向の塗膜流動も抑制することができ、より高い塗膜厚みの均一性を確保することができる。このように遮光パターンの形状は転写フィルムロールの用途等に応じて自由に選択することができる。
【００６０】
本形態例では、非流動性部位である硬化部３２にナーリング加工を施すと、透明基材２にナーリング加工を施す場合に比べて、硬化性樹脂薄膜層３１の厚みより高い高さを得やすくなり、好ましい。
なお、カバーフィルム１０を貼合したまま透明基材２にナーリング加工を施す場合には、カバーフィルム１０を剥離することなく、カバーフィルム１０を貼合したままロール体１４に巻き取ることで、次工程までの期間中、硬化性樹脂薄膜層の表面に異物等が付着することを防止できるため、製品のクリーン度をより高く保つことができる。この場合、硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつナーリング加工が施された転写フィルムが、ロール体に巻き取られる。
【００６１】
剥離装置１２は、カバーフィルム１０を紫外線硬化性樹脂組成物の塗布膜が形成された透明基材２に貼合後、紫外線照射装置７にてカバーフィルム１０側から紫外線照射し、カバーフィルム１０の透過部分１０ｂにおける硬化性樹脂薄膜層３１のみを部分硬化させ硬化性樹脂硬化部３２を形成した後、カバーフィルム１０を剥離するロールである。
カバーフィルム巻取り部１３は、前記剥離装置１２にて剥離したカバーフィルム１０をロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
巻取り部１４は、上述の実施形態３の加工が施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
【００６２】
また、図示はしていないが、第１から第３の実施形態において、塗布工程の前に透明基材２の塗布面の付着ゴミ、埃等を取り除くウェブクリーナーや、塗布面の外観検査をするオンライン検査装置や、製品の巻き取り工程を補助するタッチロール等が必要に応じて設置されていても良い。
【００６３】
上記実施形態により製造された、インプリント用ロール状転写フィルム１６は、図１１に示すようなインプリント装置により微細凹凸形状を転写することができる。
インプリント装置は、本発明により製造されたロール状転写フィルム１６を供給するロール状転写フィルム供給部１５と、表面に微細凹凸形状を持つ金属製の微細凹凸形状転写ロール１７と、微細凹凸形状転写ロール１７に転写フィルムを押しつけるニップロール１８と、バックロール１９と、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させる紫外線照射装置７と、微細凹凸形状転写フィルム巻取り部２０からなる。
【００６４】
ロール状転写フィルム供給部１５は、インプリントの原料となる転写フィルム１６が巻き取られたロール体と、ロール体を保持する軸等からなる。
【００６５】
微細凹凸形状転写ロール１７は、最終的に形成したい微細凹凸形状とは反転した形状を有する金属製ロールである。また、微細凹凸形状転写ロール１７は、形状転写後に転写フィルム１６の剥離を容易にするため、剥離処理がなされているものが好適に用いられる。
【００６６】
ニップロール１８とバックロール１９は、転写フィルム１６を微細凹凸形状転写ロール１７に押しつけ、転写ロールの形状を転写フィルム１６に写し取ることができるよう、加圧手段を備えている。
【００６７】
紫外線照射装置７は、転写フィルム１６が微細凹凸形状転写ロール１７に押しつけられている間に紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させ、転写した微細凹凸形状を安定化させるために設けられている。
【００６８】
微細凹凸形状転写フィルム巻取り部２０は、上述の微細凹凸形状が転写された転写フィルム１６をロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
【００６９】
図１２は、従来の微細凹凸形状転写フィルムを製造するための製造工程の概略を示した図である。
透明基材２の供給部１と、塗布装置３と、乾燥装置４と、微細凹凸形状転写ロール１７と、ニップロール１８と、バックロール１９と、微細凹凸形状転写フィルム巻取り部２１から構成される。
紫外線硬化性樹脂組成物の成膜工程（塗布・乾燥工程）と、微細凹凸形状転写工程とが連続して設置されており、熟練した技術を要する成膜工程、及び微細凹凸形状転写工程を同時に行う必要があり、技術的な難易度が非常に高いものであった。
【符号の説明】
【００７０】
ｈ…ナーリング加工の高さ、ｔ…硬化性樹脂薄膜層の厚み、１…基材供給部、２…透明基材（透明性を有する基材フィルム）、２ａ…透明基材のナーリング加工部、３…塗布装置、４…乾燥装置、５…ナーリング形成装置、６，８，１４…転写フィルム巻取り部、７…紫外線照射装置、９…カバーフィルム供給部、１０…カバーフィルム、１０ａ…遮蔽パターン（遮光パターン）、１０ｂ…透過部分（透過パターン）、１１，１８…ニップロール、１２…剥離装置（バックロール）、１３…カバーフィルム巻取り部、１５…ロール状転写フィルム供給部、１６…転写フィルム、１７…微細凹凸形状転写ロール、１９…バックロール、２０，２１…微細凹凸形状転写フィルム（インプリント製品）巻取り部、３０…硬化性樹脂薄膜層を部分硬化した転写フィルム、３１…硬化性樹脂薄膜層の未硬化部、３２…硬化性樹脂薄膜層の硬化部、３３…硬化性樹脂薄膜層のナーリング加工部。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法、およびインプリント用のロール状転写フィルムに関するものである。
なお、本明細書での微細なパターンとは、微細凸凹形状からなる細線パターン及び図形パターンにおいて、１つの細線幅及び図形寸法が、約数十ｎｍ〜約数百μｍ程度のパターンを指す。
【背景技術】
【０００２】
インプリントは、安価に超微細凹凸形状加工が可能な技術として、近年半導体デバイス、フラットパネルディスプレイ等の光学フィルム部材、記録メディア、バイオ・医療関連など様々な分野での応用展開が試みられている。特に微細凹凸形状を持つフィルム状部材を連続的に製造する方法として、従来から下記のような方法が知られている（特許文献１〜４参照）。
【０００３】
特許文献１には、流動性を有する紫外線硬化性樹脂をシート基板に塗布し、表面に微細凹凸形状を有するロール状スタンパーを用いて紫外線硬化樹脂に転写成形し、紫外線を照射して微細凹凸形状を転写した紫外線硬化樹脂を硬化させる光学情報記録媒体用基板の連続製造方法が開示されている。
特許文献２には、基材フィルム上に、紫外線硬化型樹脂又は電子線硬化型樹脂組成物をチューブ式塗布装置で塗布し、ドクターナイフで塗布面を均一に形成し、ロール状成形型を用いて樹脂に凹凸形状を形成し、凹凸形状を形成した樹脂層を硬化させた後、凹凸形状が表面に形成された樹脂成形品を前記成形型から剥離することにより、基材フィルム上に紫外線硬化型樹脂又は電子線硬化型樹脂の硬化物からなる凹凸形状が表面に形成されている樹脂成形品の製造方法が開示されている。
特許文献３には、ポリマー溶液を、シートのパターン形状に対応する微細凹凸のパターン形状が形成された走行ベルト上に塗布して該走行ベルト上に塗布膜を形成し、前記走行ベルトの水平走行中に前記塗布膜を乾燥・固化させて前記走行ベルトのパターン形状を塗布膜に転写させた後、前記走行ベルトから塗布膜を剥離することにより、シート面に微細凸凹のパターン形状が形成されたパターンシートを製造する方法が開示されている。
特許文献４には、連続走行している帯状可撓性のシート状体の表面に放射線硬化樹脂液を塗布し塗布層を形成し、回転する凹凸ローラに巻き掛け、前記塗布層に前記凹凸ローラ表面の凹凸を転写し、放射線を照射し前記塗布層を硬化させ、凹凸ローラから剥離させる剥離工程とを含む凹凸状シートの製造方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−３２５２７２号公報
【特許文献２】特開２００２−２１０７５８号公報
【特許文献３】特開２００４−２３０６１４号公報
【特許文献４】特開２００７−２５３５６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１〜４に記載の製造方法は、紫外線硬化樹脂の塗布から微細凹凸形状転写の工程（インプリント工程）において、塗布膜には微細凹凸形状を精度良く転写させるため流動性を持たせてあることから、塗布膜の両端部では樹脂が幅方向へ流れが広がり、厚みの均一性を一定に保つことが困難であった。
【０００６】
また、流動性の高い塗布液を均一に塗布するためには、操作に熟練した技術を必要としている。このため、流動性の紫外線硬化樹脂の塗布装置と、インプリントのための型押し装置（スタンパ）とを両方同時に、運転操作するには、技術的な困難さがあり、尚且つ両方の装置を連動させて連続的に凹凸パターンを製造するものであるため、両方の製造装置のいずれかに不具合があれば製造工程が停止してしまうという不具合があった。
【０００７】
更に、塗布工程とインプリント工程が続いていることから、塗布膜単体での検査・評価が十分に行えず、例えば塗布膜に異物などが混入した場合、前記異物はそのままインプリント工程に持ち込まれることとなり、形状転写の不良や、最悪の場合スタンパ自身を傷付けてしまう不具合が生じる。スタンパが傷付いた大半の場合、そのスタンパは微細凹凸形状を安定して形成することが不可能となるため、スタンパの交換が必要となるが、スタンパは非常に高価であり、その製造も容易ではないため、使用者にとってコスト面、及び時間的な面で大きな損失となる。
【０００８】
すなわち本発明の目的は、従来の塗布工程とインプリント工程の両立という技術的困難性を緩和し、且つ流動性の高い塗布液を用いても幅方向の広がりを防止する、インプリント用のロール状転写フィルムの製造方法、およびインプリント用のロール状転写フィルムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明では上記問題点を解決するために、流動性の高い液状の硬化性樹脂の塗布工程と、インプリント工程とを分割し、硬化性樹脂の塗布膜としての検査・評価を十分に行うことで上記不具合を防止し、且つインプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができるようロール状転写フィルムを用いる。また、前記ロール状転写フィルムには、流動性の高い硬化性樹脂を用いても幅方向への広がりを防止し、且つ均一な塗布膜厚みを保持できるよう構造的特徴を持たせる。
【００１０】
請求項１に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（３）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（２）前記基材フィルムの幅方向両端側の前記硬化性樹脂薄膜層が形成される領域にかからない位置に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（３）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記基材フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１１】
請求項２に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（４）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（２）前記基材フィルムの幅方向両端側にエネルギー線を照射して、前記硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、（３）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（４）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１２】
請求項３に係る発明は、 微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射し、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記エネルギー線を透過させて、前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成した後、前記カバーフィルムを除去する工程、（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１３】
請求項４に係る発明は、前記遮蔽パターンの形成が、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項３に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項５に係る発明は、前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項３または４に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項６に係る発明は、前記基材フィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１４】
請求項７に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射して、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１５】
請求項８に係る発明は、前記遮蔽パターンの形成が、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項７に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
請求項９に係る発明は、前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項７または８に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法である。
【００１６】
請求項１０に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成され、前記基材フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムである。
【００１７】
請求項１１に係る発明は、微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、幅方向両端部においては硬化され、前記幅方向両端部の間である中央部においては未硬化とされた、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成されてなり、前記転写フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムである。
【００１８】
請求項１２に係る発明は、前記基材フィルムが、長さ１〜１００００ｍの長尺状であって、ロール体に巻かれていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
請求項１３に係る発明は、光学機能フィルム、半導体素子、精密機械部材、磁気記録媒体部材からなる群のいずれか一つを製造するのに用いられるものであることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
請求項１４に係る発明は、前記基材フィルムには、インプリント装置のスタンパに位置合わせするための合せマークが２次元配置されてなることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムである。
【発明の効果】
【００１９】
上記本発明によれば、インプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができるよう転写フィルムをロール体で供給することができる。また、硬化性樹脂薄膜層の段階で検査・評価を行えることから、インプリント工程への異物等の混入を事前にある程度抑制することができるため、高価なスタンパが傷付くリスクを低減できる。更に、フィルム両端部に形成されたナーリング加工による凹凸形状、又は硬化性樹脂薄膜層の両端部に形成された非流動性の硬化部位による堰の効果により、流動性のある硬化性樹脂の広がりを防止し、硬化性樹脂薄膜層の厚みを均一に保つことができる。
【００２０】
請求項１に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部に施されるナーリング加工により形成される凹凸形状が、堰としての機能を有するため、硬化性樹脂薄膜層の幅方向の広がりを防止することができ、硬化性樹脂薄膜層の厚みを均一化できる。また、ナーリング加工が硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するため、ロール体に巻き取る際、空気を一緒に巻き取ることとなり、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとの密着を防止できる。
【００２１】
請求項２に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部を硬化させることで、その間の流動性部位と連続する位置に非流動性部位を形成でき、硬化性樹脂薄膜層の幅方向の広がりを防止できる。また、ロール体に巻き取る際、前述した理由により硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとの密着を防止できる。
請求項３に係る発明によれば、請求項２に係る発明の効果に加えて、カバーフィルムを貼り合わせてエネルギー線を照射することで、酸素阻害を起こすような硬化性樹脂を用いても、酸素阻害による硬化不良を防止し、硬化を十分に行うことができる。
【００２２】
請求項４に係る発明によれば、遮蔽パターンの形成方法は必要とする遮蔽性能、コスト、カバーフィルムとの相性等を満たす方法であれば、上記種々の方法を自由に選択できる。
請求項５に係る発明によれば、カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項６に係る発明によれば、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとがロール体となった時に万が一密着しても、巻き出し工程で硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
【００２３】
請求項７に係る発明によれば、請求項３に係る発明の効果に加えて、カバーフィルムを貼合したままロール体に巻き取ることで、次工程までの期間中、硬化性樹脂薄膜層の表面に異物等が付着することを防止できるため、製品のクリーン度をより高く保つことができる。
請求項８に係る発明によれば、遮蔽パターンの形成方法は必要とする遮蔽性能、コスト、カバーフィルムとの相性等を満たす方法であれば、上記種々の方法を自由に選択できる。
請求項９に係る発明によれば、カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
請求項１０〜１４に係る発明によれば、インプリント装置の運転操作者が、流動性の硬化性樹脂の塗布装置の運転に習熟しないでも、インプリントができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１の実施形態による製造方法の代表例を示す概略図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】図２のＢ部の部分拡大断面図である。
【図４】第１の実施形態による製造方法により製造した転写フィルムの幅方向の端部付近の部分拡大断面図である。
【図５】第２の実施形態による製造方法の代表例を示す概略図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図７】図６のＤ部の部分拡大断面図である。
【図８】第２の実施形態による製造方法により製造した転写フィルムの幅方向の端部付近の部分拡大断面図である。
【図９】第３の実施形態による製造方法の代表例を示す概略図である。
【図１０】図９のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図１１】本発明により製造されるロール状転写フィルムへインプリントを施す工程の代表例を示す概略図である。
【図１２】従来のインプリント製品製造工程の代表例を示す概略図である。
【図１３】第１の実施形態による製造方法により製造した転写フィルムを巻き取る様子を説明する斜視図及び部分拡大図（丸囲みの部分）である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、好適な実施の形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。すなわち透明基材２を製造装置に供給する基材供給部１と、前記透明基材２に硬化性樹脂組成物を塗布する塗布装置３と、硬化性樹脂組成物中に有機溶媒等が含まれる場合、それを揮発除去する乾燥装置４と、透明基材２の両端部へナーリング加工を施すナーリング形成装置５と、加工されたインプリント用転写フィルムを巻き取る巻取り部６とから構成される製造装置を用いてロール状転写フィルムが製造される。
【００２６】
基材供給部１はロール状に透明基材２が巻き取られたロール体と、そのロール体を保持する軸等により構成される。
【００２７】
ここで透明基材２に用いられる材質は、耐熱性、及び紫外線硬化性樹脂組成物の硬化を阻害する３５０ｎｍ〜４００ｎｍ近傍の紫外線領域に散乱・吸収が小さいものが好ましく、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリスチレン、ポリアクリル酸塩、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリアミド、ナイロン、ポリイミド、トリアセチルセルロース（三酢酸セルロース）、二酢酸セルロース、ポリ（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ポリ（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリメチルメタクリレート、ポリテトラフルオロエチレンやポリトリフルオロエチレン等のフッ素系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル―酢酸ビニル共重合体、ポリビニルアルコール、セロファン、セルロース系フィルムなどを挙げることができる。これら材料は、１種単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。
特に前記基材のうち、耐熱性、紫外線透過性、及び価格の面から、ポリエチレンテレフタレートを用いることが好ましい。
【００２８】
また、前記透明基材２の塗布面側、もしくは両面に易接着処理、コロナ処理、大気圧プラズマ処理などの表面処理がなされていることが好ましい。これらの表面処理は、予め透明基材２に施しておくことが好ましい。また、基材供給部１から透明基材２を繰り出して塗布装置３で硬化性樹脂組成物を塗布するまでの間にこれらの表面処理を施すこともできる。
また、前記透明基材２の裏面（硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面）に剥離処理がなされていることが好ましい。これにより、硬化性樹脂薄膜層と基材フィルムとがロール体となった時に万が一密着しても、巻き出し工程で硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
剥離処理には、例えばシリコーン系やフッ素系の剥離剤の塗布等が挙げられる。
【００２９】
なお、透明基材２の厚みは１６μｍ〜２００μｍを有することが好ましく、５０μｍ〜１５０μｍを有することが更に好ましい。透明基材２が薄すぎるとハンドリング性が悪く、また、基材の剛性が小さいため広幅のロール体にした時に、中央部が自重で撓み、塗布膜と上部に巻かれた基材背面とが接着してしまう（ブロッキング）恐れがある。また、透明基材２が厚過ぎると、コスト面、ハンドリング性で不利である。
【００３０】
塗布装置３は、透明基材２上に硬化性樹脂組成物を均質に供給する手段を備えるものであればどういった装置でも良いが、連続的に硬化性樹脂組成物を透明基材２上に供給できるよう、硬化性樹脂組成物を貯蔵するタンク、送液ポンプ、配管、異物除去フィルター、コーターヘッドからなる構成を持つ装置が好ましい（図示なし）。コーターヘッドは、例えばダイコーターなどが好適である。
塗布装置３により、透明基材２の片面に硬化性樹脂薄膜層（塗布膜）が形成される。塗布装置３で塗布した直後の硬化性樹脂組成物は、未硬化でかつ液状であり、塗布に適した流動性を有する。
【００３１】
硬化性樹脂組成物は、インプリントに際して用いる硬化手段に応じて、紫外線硬化性樹脂組成物、電子線硬化性樹脂組成物、熱硬化性樹脂組成物等を適宜選択して用いることができる。
硬化性樹脂組成物は、紫外線、電子線、熱線等のエネルギー線により重合する重合性化合物を含有する。
例えば、３００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内の紫外線に対して硬化性を有する紫外線硬化性樹脂材料としては、重合性化合物（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）および離型剤（Ｃ）を含有するものが好ましい。
重合性化合物（Ａ）としては、例えば、アクリル単量体、ウレタン（メタ）アクリレートやエポキシ（メタ）アクリレートのモノマーやオリゴマーを用いることができる。また、紫外線硬化性樹脂組成物の塗布液中には、反応希釈剤、光重合開始剤などを添加することが好ましい。
【００３２】
アクリル単量体としては、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜選択できるものであり、例えば、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリル酸アミド類が用いられる。なお、本明細書において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸及びメタクリル酸の総称である。
（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、下記の化合物が挙げられる。
【００３３】
フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリール（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のモノ（メタ）アクリレート。
１，３−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等のジ（メタ）アクリレート。
トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタアエリスリトールトリ（メタ）アクリレート等のトリ（メタ）アクリレート。
ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等のその他の（メタ）アクリレート。
前記（メタ）アクリルアミド類としては、例えば、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ−ブチルアクリル（メタ）アミド、Ｎ−ｔ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−（２−メトキシエチル）（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−フェニル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ベンジル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、ジアセトンアクリルアミドなどが挙げられる。具体的な商品名としては、ビームセット３７１（荒川化学工業社製）等が挙げられる。
これらアクリル単量体は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００３４】
ウレタン（メタ）アクリレートは、例えばヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、キシレンイソシアネートなどのポリイソシアネート類と、ヒドロキシ（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートを反応させることで得られる。また、エチレングリコール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、ポリカプロラクトンポリオール、ポリエステルポリオール、ポリカーボネートジオール、ポリテトラメチレングリコールなどのポリオール類と、前記イソシアネート類を反応させた、ポリマーもしくはオリゴマーと、ヒドロキシ（メタ）アクリレートなどのヒドロキシル基含有（メタ）アクリレートを反応させることで、多種多様なウレタン（メタ）アクリレートを得ることができる。
【００３５】
エポキシ（メタ）アクリレートは、例えばビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型プロピレンオキサイド付加物の末端グリシジルエーテル、フルオレンエポキシ樹脂などのエポキシ樹脂類と、（メタ）アクリル酸とを反応させて得ることができる。
【００３６】
光重合開始剤（Ｂ）としては、例えば、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤等が挙げられる。
アセトフェノン系光重合開始剤：アセトフェノン、ｐ−（ｔｅｒｔ−ブチル）１’，１’，１’−トリクロロアセトフェノン、クロロアセトフェノン、２’，２’−ジエトキシアセトフェノン、ヒドロキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２’−フェニルアセトフェノン、２−アミノアセトフェノン、ジアルキルアミノアセトフェノン等。
ベンゾイン系光重合開始剤：ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール等。
ベンゾフェノン系光重合開始剤：ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、メチル−ｏ−ベンゾイルベンゾエート、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ヒドロキシプロピルベンゾフェノン、アクリルベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン等。
チオキサントン系光重合開始剤：チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ジメチルチオキサントン等。
その他の光重合開始剤：α−アシルオキシムエステル、ベンジル−（ｏ−エトキシカルボニル）−α−モノオキシム、アシルホスフィンオキサイド、グリオキシエステル、３−ケトクマリン、２−エチルアンスラキノン、カンファーキノン、テトラメチルチウラムスルフィド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルペルオキシド、ジアルキルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシピバレート等。
【００３７】
紫外線硬化性樹脂材料中の重合開始剤の含有量は、重合性化合物の１００質量部に対して０．００１〜１０質量部であることが好ましく、０．０１〜１０質量部であることがより好ましく、０．１〜５質量部であることが特に好ましい。重合開始剤の含有量が０．００１質量部以上であれば、重合性化合物を短時間に重合でき、１０質量部以下であれば、重合開始剤の残渣が硬化物中に残存しにくい。
【００３８】
離型剤（Ｃ）としては、より離型性に優れる硬化物が得られることから、含フッ素界面活性剤を含むことが好ましい。さらには、フッ素含有量が１０〜７０質量％の含フッ素界面活性剤がより好ましく、フッ素含有量が１０〜４０質量％の含フッ素界面活性剤が特に好ましい。含フッ素界面活性剤は、水溶性であっても油溶性であってもよい。
含フッ素界面活性剤としては、アニオン性含フッ素界面活性剤、カチオン性含フッ素界面活性剤、両性含フッ素界面活性剤、ノニオン性含フッ素界面活性剤のいずれであってもよい。これらの中でも、硬化性樹脂材料における相溶性と、その硬化物における分散性が良好であることから、ノニオン性含フッ素界面活性剤が特に好ましい。
【００３９】
アニオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルカルボン酸塩、ポリフルオロアルキル燐酸エステル、またはポリフルオロアルキルスルホン酸塩が好ましい。カチオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１１１（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１４３（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１２０、メガファックＲ−３０（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
カチオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルカルボン酸のトリメチルアンモニウム塩、またはポリフルオロアルキルスルホン酸アミドのトリメチルアンモニウム塩が好ましい。カチオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１２１（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１３４（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１５０（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
両性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルベタインが好ましい。両性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１３２（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＸ−１７２（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１２０（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
ノニオン性含フッ素界面活性剤としては、ポリフルオロアルキルアミンオキサイド、またはポリフルオロアルキル・アルキレンオキサイド付加物が好ましい。ノニオン性界面活性剤の具体例としては、サーフロンＳ−１４５（商品名、セイミケミカル社製）、サーフロンＳ−３９３（商品名、セイミケミカル社製）、サーフロンＫＨ−２０（商品名、セイミケミカル社製）、サーフロンＫＨ−４０（商品名、セイミケミカル社製）、フロラードＦＣ−１７０（商品名、スリーエム社製）、フロラードＦＣ−４３０（商品名、スリーエム社製）、メガファックＦ−１４１（商品名、ＤＩＣ社製）等が挙げられる。
【００４０】
紫外線硬化性樹脂組成物材料中の含フッ素界面活性剤の含有量は、紫外線硬化性樹脂組成物の全体を１００質量％とした際の０．０１〜１０質量％が好ましく、０．１〜５質量％がより好ましい。含フッ素界面活性剤の含有量が０．０１質量％以上であれば、離型性に優れた硬化物を確実に形成でき、１０質量％以下であれば、紫外線硬化性樹脂材料を容易に調製できる。
【００４１】
硬化性樹脂材料として、熱硬化性樹脂を用いる場合には、熱硬化性樹脂としては、熱ナノインプリント法に対する適合性の点から、圧縮成形の際の加熱温度よりも高いガラス転移温度（Ｔｇ）を有する熱硬化性樹脂が好ましい。
【００４２】
なお、硬化性樹脂組成物の塗布膜厚みは、３〜５０μｍの間にあることが好ましく、更に好ましくは１５〜３５μｍである。
塗布膜が薄すぎると、形状転写性が悪くなり、また、塗布膜が厚過ぎるとコスト面やロール体での経時安定性の点で不利である。
【００４３】
乾燥装置４は、透明基材２上に形成された硬化性樹脂組成物の塗布膜を加熱する手段と、乾燥装置内に空気を送る手段と、乾燥装置内の空気を排気する手段を備えている。
乾燥装置４は、硬化性樹脂組成物を硬化させる目的のものではなく、塗布膜は乾燥後もある程度の流動性を有し、液状ないしゲル状となっている。
【００４４】
ナーリング形成装置５は、表面に凹凸形状が形成され、透明基材２を挟みこむように設置されたロールで構成される。
本形態例の場合、ナーリング形成装置５は、図２に示すように、表面に凹凸形状が形成されたナーリング加工ロール５ａと、表面が平滑な受けロール５ｂを備え、加工ロール５ａと受けロール５ｂとの間に透明基材２を挟みこむことで、透明基材２の片面をナーリング加工する。なお、図示はしないが、透明基材の両面にナーリング加工ロールを設けても良い。
図３に示すように、透明基材２の幅方向（図２の左右方向）両端側の硬化性樹脂薄膜層３１が形成される領域にかからない位置に、硬化性樹脂薄膜層３１の厚みｔより高い高さｈを有するナーリング加工２ａが施される。ナーリング加工部２ａは、透明基材２の幅方向両端縁から若干内側に形成すると、ナーリング加工が容易になるので好ましい。余分な耳の部分は、後工程で長手方向に沿って断裁除去することもできる。
なお、本形態例では、ナーリング加工を硬化性樹脂の塗布後に行なっているが、硬化性樹脂の塗布前にナーリング加工を行なうこともできる。
【００４５】
ナーリング加工ロール５ａは、その周方向に延在する凹凸が形成されている。このナーリング加工ロール５ａを回転させながら透明基材２に対し押圧することで、図１３の丸囲みの部分に示すように、ナーリング加工部２ａの高さの高い凸（山）の部分２ｂが透明基材２の長手方向に延在して形成される。この場合、凸の部分２ｂが透明基材２の長手方向に途切れることなく連続形成されるので、流動性の高い硬化性樹脂薄膜層３１の幅方向の広がりを確実に防止することができる。凸の部分２ｂの間は、高さの低い溝２ｃの部分（凹部）が形成される。
このほか、ナーリング加工ロール５ａとしては、ＪＩＳ Ｂ０９５１に規定される平目ローレット（凹凸が軸線方向に沿って形成されているもの）や綾目ローレット（凹凸が周方向に斜めに形成されているもの）、角錐状や角柱状等の微細な突起あるいは凹部が周方向及び軸線方向に離間して配列されたもの等が挙げられる。これにより、それぞれ対応する形状のナーリング加工部２ａが形成される。
【００４６】
巻取り部６は、図４に示すように、上述の硬化性樹脂薄膜層３１が形成され、かつナーリング加工２ａが施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
本形態例で製造されるロール状転写フィルムは、コア材の周囲にインプリント用転写フィルムがロール状に巻き取られたものであり、所望の長さの転写フィルムが巻き取られた後、巻き取り軸から取り外されて製品となる。
図１３に示すように、硬化性樹脂薄膜層３１は、ロールの巻き始め及び巻き終わりの部分には形成されない。巻き取りの際、透明基材２に対し硬化性樹脂薄膜層３１を内側とするか外側とするかは限定されない。いずれの場合においても、巻き始め又は巻き終わりにおいて硬化性樹脂薄膜層３１が形成されていない部分の透明基材２をフィルム端末６２からコア材６１の周囲に１周以上余分に巻き取ることにより、硬化性樹脂薄膜層３１がコア材６１に接触したり外部に露出したりすることなく、該硬化性樹脂薄膜層をロール体の中に巻き込むことができる。符号６３は、フィルム端末６２をコア材６１に貼着する接着テープ６３である。
【００４７】
図５は、本発明の第２の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。
図５に示した装置は、図１に示した基材供給部１、透明基材２、塗布装置３、乾燥装置４、ナーリング形成装置５に加え、塗布膜乾燥後に塗布膜両端部を紫外線照射し、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化装置としての紫外線照射装置７を備える。また、図５の巻取り部８は、巻き取られるインプリント用転写フィルムは相違するが、装置部分は図１の巻取り部６と同様である。
【００４８】
紫外線照射装置７は、紫外線を発生させる光源部と、光源で発生する熱を除去する冷却装置と、塗布膜両端部のみに紫外線を効果的に照射する導光手段、もしくは集光手段を備える。
光源部は、紫外線硬化性樹脂組成物を十分に硬化させる紫外線照射量を得られるものであれば高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等のランプ光源や、紫外線領域の発光ピークを持つ発光ダイオードなど自由に選択できる。
中でも紫外線硬化性樹脂組成物の硬化波長以外の波長の光を殆ど出さず、紫外線照射対象物への熱ダメージが少ない発光ダイオードタイプの光源が好適に用いられる。
【００４９】
紫外線照射装置７は、透明基材２の幅方向両端側に紫外線を照射して、硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて硬化性樹脂を硬化させる。これにより、図６に示すように硬化性樹脂薄膜層は、未硬化部３１とその幅方向両端側の硬化部３２を有するものとなる。なお、塗布装置３により塗布される硬化性樹脂が熱硬化性樹脂や電子線硬化性樹脂である場合は、硬化装置として加熱硬化装置や電子線硬化装置を用いることができる。
操作の容易性から、紫外線硬化性樹脂と紫外線照射装置を用いることが好ましい。
【００５０】
本形態例の場合、ナーリング形成装置５は、加工ロール５ａと受けロール５ｂとの間に硬化性樹脂薄膜層３２が形成された透明基材２を挟みこむことで、硬化性樹脂薄膜層の硬化部３２の上面をナーリング加工する。なお、図示はしないが、透明基材の両面にナーリング加工ロールを設けても良い。
図７に示すように、透明基材２の幅方向（図６の左右方向）両端側の硬化性樹脂薄膜層の硬化部３２に、未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１の厚みｔより高いナーリング加工の高さｈを有するナーリング加工３３が施される。
本形態例では、非流動性部位である硬化部３２にナーリング加工を施すと、透明基材２にナーリング加工を施す場合に比べて、未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１の厚みより高いナーリング加工の高さを得やすくなり、好ましい。
なお、ナーリング加工は、硬化部３２よりさらに外側の透明基材２に施すこともでき、その場合は、硬化性樹脂の塗布前にナーリング加工を施すことも可能である。
【００５１】
巻取り部８は、図８に示すように、上述の未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１が形成され、かつその幅方向両端側の硬化部３２にナーリング加工３３が施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
本形態例で製造されるロール状転写フィルムは、コア材の周囲にインプリント用転写フィルムがロール状に巻き取られたものであり、所望の長さの転写フィルムが巻き取られた後、巻き取り軸から取り外されて製品となる。
【００５２】
図９は、本発明の第３の実施形態における製造装置、及び製造工程を示すものである。
図９に示す装置は、図５に示した基材供給部１、透明基材２、塗布装置３、乾燥装置４、ナーリング形成装置５、紫外線照射装置７に加え、カバーフィルム１０と、カバーフィルム供給部９と、前記カバーフィルム１０を紫外線硬化性樹脂組成物塗布面に貼合するニップロール１１と、カバーフィルム１０を塗布面から剥離するバックロール１２と、剥離したカバーフィルム１０を巻き取る、カバーフィルム巻取り部１３からなる。また、図９の巻取り部１４は、巻き取られるインプリント用転写フィルムは相違するが、装置部分は図１の巻取り部６と同様である。
カバーフィルム供給部９は、カバーフィルム１０が巻き取られたロール体と、ロール体を保持する軸等からなる。
【００５３】
ニップロール１１は、紫外線硬化性樹脂組成物の塗布膜が形成された透明基材２と、カバーフィルム１０を挟み込む１対のロールからなり、両者を貼合する装置である。貼合のための加圧手段を備えることが好ましく、また、フィルムに対して均一な圧力をかけ易いよう、少なくとも一方のロールがゴム製であることが好ましい。
【００５４】
カバーフィルム１０は、図１０に示すように、エネルギー線を遮蔽（遮光）する遮蔽パターン（遮光パターン）１０ａと、エネルギー線（紫外線）を透過する透過パターン１０ｂを有する。すなわち、エネルギー線を透過可能な透明基材の片面または両面に遮蔽パターン１０ａを形成し、遮蔽パターン１０ａが形成されていない部分（透過部分）１０ｂは、エネルギー線を透過するように構成する。
このように、紫外線硬化性樹脂の上をカバーフィルム１０で覆って大気との接触を断った密閉状態で紫外線を照射することにより、酸素阻害を起こすような硬化性樹脂を用いても、酸素阻害による硬化不良を防止し、紫外線硬化性樹脂の硬化を十分に行うことができる。
【００５５】
カバーフィルム１０の基材に用いられる材質は、耐熱性、及び紫外線硬化性樹脂組成物の硬化を阻害する３５０ｎｍ〜４００ｎｍ近傍の紫外線領域に散乱・吸収が小さいものが好ましく、上記の透明基材２に用いられる材質として例示したものから選択することができる。カバーフィルム１０の基材に用いられる材質は、透明基材２に用いられる材質と同じでも異なっても良い。特に、耐熱性、紫外線透過性、及び価格の面から、ポリエチレンテレフタレートを用いることが好ましい。
【００５６】
また、カバーフィルム１０の硬化性樹脂薄膜層３１との貼合面に剥離処理がなされていることが好ましい。カバーフィルムの硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理を施すことで、カバーフィルムを硬化性樹脂薄膜層から剥離する際、硬化性樹脂薄膜層の表面が荒れることによる厚みの不均一化を防止できる。
剥離処理には、例えばシリコーン系やフッ素系の剥離剤の塗布等が挙げられる。
【００５７】
遮蔽パターンの形成は、エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法等が挙げられる。
【００５８】
図１０に示すように、未硬化の硬化性樹脂薄膜層３１の上にカバーフィルム１０を貼り合せ、カバーフィルム１０側から紫外線を照射し、カバーフィルム１０の遮蔽パターン（遮蔽部分）１０ａが形成されていない部分（透過部分）１０ｂにおいて紫外線を透過させて、硬化性樹脂硬化部３２を形成する。
【００５９】
本形態例において、硬化させる部位は塗布膜の両端部に限らず、例えば格子状に硬化するよう遮光パターニングされたカバーフィルムを用いることで、幅方向のみならず加工流れ方向の塗膜流動も抑制することができ、より高い塗膜厚みの均一性を確保することができる。このように遮光パターンの形状は転写フィルムロールの用途等に応じて自由に選択することができる。
【００６０】
本形態例では、非流動性部位である硬化部３２にナーリング加工を施すと、透明基材２にナーリング加工を施す場合に比べて、硬化性樹脂薄膜層３１の厚みより高い高さを得やすくなり、好ましい。
なお、カバーフィルム１０を貼合したまま透明基材２にナーリング加工を施す場合には、カバーフィルム１０を剥離することなく、カバーフィルム１０を貼合したままロール体１４に巻き取ることで、次工程までの期間中、硬化性樹脂薄膜層の表面に異物等が付着することを防止できるため、製品のクリーン度をより高く保つことができる。この場合、硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつナーリング加工が施された転写フィルムが、ロール体に巻き取られる。
【００６１】
剥離装置１２は、カバーフィルム１０を紫外線硬化性樹脂組成物の塗布膜が形成された透明基材２に貼合後、紫外線照射装置７にてカバーフィルム１０側から紫外線照射し、カバーフィルム１０の透過部分１０ｂにおける硬化性樹脂薄膜層３１のみを部分硬化させ硬化性樹脂硬化部３２を形成した後、カバーフィルム１０を剥離するロールである。
カバーフィルム巻取り部１３は、前記剥離装置１２にて剥離したカバーフィルム１０をロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
巻取り部１４は、上述の実施形態３の加工が施されたインプリント用転写フィルムをロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
【００６２】
また、図示はしていないが、第１から第３の実施形態において、塗布工程の前に透明基材２の塗布面の付着ゴミ、埃等を取り除くウェブクリーナーや、塗布面の外観検査をするオンライン検査装置や、製品の巻き取り工程を補助するタッチロール等が必要に応じて設置されていても良い。
【００６３】
上記実施形態により製造された、インプリント用ロール状転写フィルム１６は、図１１に示すようなインプリント装置により微細凹凸形状を転写することができる。
インプリント装置は、本発明により製造されたロール状転写フィルム１６を供給するロール状転写フィルム供給部１５と、表面に微細凹凸形状を持つ金属製の微細凹凸形状転写ロール１７と、微細凹凸形状転写ロール１７に転写フィルムを押しつけるニップロール１８と、バックロール１９と、紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させる紫外線照射装置７と、微細凹凸形状転写フィルム巻取り部２０からなる。
【００６４】
ロール状転写フィルム供給部１５は、インプリントの原料となる転写フィルム１６が巻き取られたロール体と、ロール体を保持する軸等からなる。
【００６５】
微細凹凸形状転写ロール１７は、最終的に形成したい微細凹凸形状とは反転した形状を有する金属製ロールである。また、微細凹凸形状転写ロール１７は、形状転写後に転写フィルム１６の剥離を容易にするため、剥離処理がなされているものが好適に用いられる。
【００６６】
ニップロール１８とバックロール１９は、転写フィルム１６を微細凹凸形状転写ロール１７に押しつけ、転写ロールの形状を転写フィルム１６に写し取ることができるよう、加圧手段を備えている。
【００６７】
紫外線照射装置７は、転写フィルム１６が微細凹凸形状転写ロール１７に押しつけられている間に紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させ、転写した微細凹凸形状を安定化させるために設けられている。
【００６８】
微細凹凸形状転写フィルム巻取り部２０は、上述の微細凹凸形状が転写された転写フィルム１６をロール体に巻き取るための巻き取り軸と、ロール体製品の中心に来るコア材とから構成される。
【００６９】
図１２は、従来の微細凹凸形状転写フィルムを製造するための製造工程の概略を示した図である。
透明基材２の供給部１と、塗布装置３と、乾燥装置４と、微細凹凸形状転写ロール１７と、ニップロール１８と、バックロール１９と、微細凹凸形状転写フィルム巻取り部２１から構成される。
紫外線硬化性樹脂組成物の成膜工程（塗布・乾燥工程）と、微細凹凸形状転写工程とが連続して設置されており、熟練した技術を要する成膜工程、及び微細凹凸形状転写工程を同時に行う必要があり、技術的な難易度が非常に高いものであった。
【符号の説明】
【００７０】
ｈ…ナーリング加工の高さ、ｔ…硬化性樹脂薄膜層の厚み、１…基材供給部、２…透明基材（透明性を有する基材フィルム）、２ａ…透明基材のナーリング加工部、３…塗布装置、４…乾燥装置、５…ナーリング形成装置、６，８，１４…転写フィルム巻取り部、７…紫外線照射装置、９…カバーフィルム供給部、１０…カバーフィルム、１０ａ…遮蔽パターン（遮光パターン）、１０ｂ…透過部分（透過パターン）、１１，１８…ニップロール、１２…剥離装置（バックロール）、１３…カバーフィルム巻取り部、１５…ロール状転写フィルム供給部、１６…転写フィルム、１７…微細凹凸形状転写ロール、１９…バックロール、２０，２１…微細凹凸形状転写フィルム（インプリント製品）巻取り部、３０…硬化性樹脂薄膜層を部分硬化した転写フィルム、３１…硬化性樹脂薄膜層の未硬化部、３２…硬化性樹脂薄膜層の硬化部、３３…硬化性樹脂薄膜層のナーリング加工部。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（３）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（２）前記基材フィルムの幅方向両端側の前記硬化性樹脂薄膜層が形成される領域にかからない位置に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（３）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記基材フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項２】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（４）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（２）前記基材フィルムの幅方向両端側にエネルギー線を照射して、前記硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、
（３）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（４）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項３】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、
（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射し、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記エネルギー線を透過させて、前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成した後、前記カバーフィルムを除去する工程、
（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記遮蔽パターンの形成は、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項３に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項３または４に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記基材フィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項７】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、
（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射して、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、
（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項８】
前記遮蔽パターンの形成は、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項７に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項９】
前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項７または８に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項１０】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、
透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成され、前記基材フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１１】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、
透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、幅方向両端部においては硬化され、前記幅方向両端部の間である中央部においては未硬化とされた、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成されてなり、前記転写フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１２】
前記基材フィルムは、長さ１〜１００００ｍの長尺状であって、ロール体に巻かれていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１３】
光学機能フィルム、半導体素子、精密機械部材、磁気記録媒体部材からなる群のいずれか一つを製造するのに用いられるものであることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１４】
前記基材フィルムには、インプリント装置のスタンパに位置合わせするための合せマークが２次元配置されてなることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（３）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（２）前記基材フィルムの幅方向両端側の前記硬化性樹脂薄膜層が形成される領域にかからない位置に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（３）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記基材フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項２】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（４）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（２）前記基材フィルムの幅方向両端側にエネルギー線を照射して、前記硬化性樹脂薄膜層の幅方向両端部のみにおいて前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、
（３）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（４）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項３】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、
（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射し、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記エネルギー線を透過させて、前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成した後、前記カバーフィルムを除去する工程、
（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項４】
前記遮蔽パターンの形成は、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項３に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項３または４に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項６】
前記基材フィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層が形成される前記一方の面とは反対側の面である他方の面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項７】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法であって、
少なくとも下記の（１）〜（５）の工程：
（１）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する合成樹脂フィルムからなるカバーフィルムの一方の面に、エネルギー線を遮蔽する遮蔽パターンを形成した、長尺のカバーフィルムを準備する工程、
（２）長さ１〜１００００ｍの長尺の透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化で液状の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層を形成する工程、
（３）前記硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムを貼り合せ、前記カバーフィルム側からエネルギー線を照射して、前記カバーフィルムの前記遮蔽パターンが形成されていない部分において前記硬化性樹脂を硬化させた転写フィルムを形成する工程、
（４）前記転写フィルムの幅方向両端側に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工を施す工程、
（５）前記硬化性樹脂薄膜層が形成され、この硬化性樹脂薄膜層の上に前記カバーフィルムが貼合され、かつ前記ナーリング加工が施された前記転写フィルムを、ロール体に巻き取る工程、
を含むことを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項８】
前記遮蔽パターンの形成は、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する塗料またはインキを印刷する方法、フォトレジストパターンまたは溶剤溶解性の印刷材料を印刷したパターンを遮蔽マスクとして用いて金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着を行った後に遮蔽マスクを除去して行なう剥離（リフトオフ）法により形成する方法、金属または金属酸化物のスパッタまたは真空蒸着により製膜された薄膜をフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、前記エネルギー線を遮蔽する機能を有する樹脂シートまたは金属箔を貼り合せた後にフォトリソ法によりエッチングして形成する方法、のいずれかの方法によるものであることを特徴とする請求項７に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項９】
前記カバーフィルムにおいて、前記硬化性樹脂薄膜層との貼合面に剥離処理がなされていることを特徴とする請求項７または８に記載のインプリント用のロール状転写フィルムの製造方法。
【請求項１０】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、
透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、未硬化の硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成され、前記基材フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１１】
微細なパターンが形成されたスタンパと貼り合せた後、エネルギー線を照射して硬化性樹脂を硬化させてスタンパのパターンを転写するための、ロール状で供給されるインプリント用のロール状転写フィルムであって、
透明性を有する基材フィルムの一方の面上に、幅方向両端部においては硬化され、前記幅方向両端部の間である中央部においては未硬化とされた、硬化性樹脂組成物からなる硬化性樹脂薄膜層が形成されてなり、前記転写フィルムの幅方向両端部に、前記硬化性樹脂薄膜層の厚みより高い高さを有するナーリング加工が施されてなることを特徴とするインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１２】
前記基材フィルムは、長さ１〜１００００ｍの長尺状であって、ロール体に巻かれていることを特徴とする請求項１０または１１に記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１３】
光学機能フィルム、半導体素子、精密機械部材、磁気記録媒体部材からなる群のいずれか一つを製造するのに用いられるものであることを特徴とする請求項１０ないし１２のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
【請求項１４】
前記基材フィルムには、インプリント装置のスタンパに位置合わせするための合せマークが２次元配置されてなることを特徴とする請求項１０ないし１３のいずれかに記載のインプリント用のロール状転写フィルム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２０１０−１７７４５７（Ｐ２０１０−１７７４５７Ａ）
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１８５４０（Ｐ２００９−１８５４０）
【出願日】平成２１年１月２９日（２００９．１．２９）
【出願人】（０００２２４１０１）藤森工業株式会社 (292)
【出願人】（０００００２００４）昭和電工株式会社 (3,251)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月１２日（２０１０．８．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１月２９日（２００９．１．２９）
【出願人】（０００２２４１０１）藤森工業株式会社 (292)
【出願人】（０００００２００４）昭和電工株式会社 (3,251)
【Ｆターム（参考）】
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