エンコーダ及び駆動装置
【課題】検出精度の低下を低減すること。
【解決手段】磁気パターンを形成する磁石を有する磁場形成部と、少なくとも一部が磁性体で構成される凹部を有し、当該凹部の側面に磁場形成部が配置され、測定対象の回転軸と一体的に回転する回転部と、凹部の側面に対向して配置され、磁気パターンによる磁場を検出する磁場検出部と、を備える。
【解決手段】磁気パターンを形成する磁石を有する磁場形成部と、少なくとも一部が磁性体で構成される凹部を有し、当該凹部の側面に磁場形成部が配置され、測定対象の回転軸と一体的に回転する回転部と、凹部の側面に対向して配置され、磁気パターンによる磁場を検出する磁場検出部と、を備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ及び駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
駆動装置などの回転軸の位置情報（例、回転数）を検出する装置として、エンコーダが知られている（例えば、特許文献１）。エンコーダは、駆動装置の回転軸に取り付けられて用いられる。エンコーダとして、光学パターンの変化を読み取る光学式エンコーダや、磁気パターンの変化を検出する磁気式エンコーダなどが知られている。
【０００３】
近年、電気自動車などの自動車においても、高分解能を有するエンコーダが求められている。自動車に搭載される駆動装置は、振動、温度、結露、塵埃などの面で使用環境が厳しい。この点で、光学式エンコーダは結露や塵埃などに対する耐性が磁気式エンコーダより低い。そこで、このような使用環境においては、磁気式エンコーダを搭載することが検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３０８１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、磁気式エンコーダの構造上、磁気パターンの周囲に鉄などの磁性材料を含んだ磁性部材が固定されていると、当該磁性部材において、磁気パターンの回転による磁場の変化を打ち消す方向に磁場を発生させようとする作用が生じる場合がある。この作用で発生した磁場により磁気パターンによる磁場が乱されてしまうと、正確な位置情報の検出が困難となり、検出精度が低下してしまう場合がある。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、検出精度の低下を低減することが可能なエンコーダ及び駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一の態様に従えば、磁気パターンを形成する磁石を有する磁場形成部と、少なくとも一部が磁性体で構成される凹部を有し、当該凹部の側面に磁場形成部が配置され、測定対象の回転軸と一体的に回転する回転部と、凹部の側面に対向して配置され、磁気パターンによる磁場を検出する磁場検出部と、を備えるエンコーダが提供される。
【０００８】
本発明の第二の態様に従えば、本発明の第一の態様に従うエンコーダと、回転軸を回転させる駆動部と、を備える駆動装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の態様によれば、検出精度の低下を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態に係る駆動装置の構成を示す図。
【図２】本実施形態に係るエンコーダの構成を示す図。
【図３】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す図。
【図４】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す図。
【図５】本実施形態に係るエンコーダによる検出結果の一例を示すグラフ。
【図６】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図７】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図８】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図９】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図１０】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図１１】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図１２】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本実施形態に係る駆動装置１００の全体構成を示す図である。
図１に示すように、駆動装置１００は、回転軸ＳＦ、駆動部ＡＣ、エンコーダＥＣ及びコネクタＣＮを有する。
【００１２】
以下、各図の説明においてはＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態では、回転軸ＳＦの中心軸Ｃの延在方向をＺ方向として設定している。なお、Ｚ軸周りの方向については、θＺ方向と表記する。また、図２以降において、Ｚ軸に垂直な平面をＸＹ平面とし、ＸＹ平面上の一方向をＸ方向とし、ＸＹ平面上で当該Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とする。
【００１３】
図１に示すように、回転軸ＳＦは、円筒状又は円柱状に形成されている。駆動部ＡＣは、回転軸ＳＦをθＺ方向に回転させる。回転軸ＳＦは、ベアリング部ＢＧ（図２等参照）を介して駆動部ＡＣに取り付けられている。回転軸ＳＦは、駆動部ＡＣをＺ方向に貫通して設けられている。回転軸ＳＦは、駆動部ＡＣに対して−Ｚ側に突出する第一部分ＳＦａと、駆動部ＡＣに対して＋Ｚ側に突出する第二部分ＳＦｂとを有する。回転軸ＳＦは、第一部分ＳＦａが駆動装置１００において回転力を伝達する負荷側となっており、第二部分ＳＦｂが反負荷側となっている。
【００１４】
エンコーダＥＣは、回転軸ＳＦの反負荷側である第二部分ＳＦｂに固定されている。エンコーダＥＣは、例えば回転軸ＳＦの回転角度や回転速度など、回転軸ＳＦのθＺ方向における位置情報を検出する。本実施形態では、エンコーダＥＣとして、磁場の変化によって上記の位置情報を検出する磁気式エンコーダが用いられている。
【００１５】
図２は、駆動部ＡＣ及びエンコーダＥＣの内部構成を示す断面図である。
図２に示すように、エンコーダＥＣは、磁場形成部１０、回転部２０、磁場検出部３０及び固定部４０を有している。
【００１６】
磁場形成部１０は、円筒状に形成された磁石１１を有している。磁石１１は、回転部２０に保持されている。Ｚ軸方向視において、磁石１１は、当該磁石１１の中心軸が回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致するように配置されている。
【００１７】
図３は、エンコーダＥＣを＋Ｚ側から見たときの構成を示す図である。
図３に示すように、磁石１１は、例えば半分（図３の−Ｘ側半分）の領域がＮ極に着磁されており、他の半分（図３の＋Ｘ側半分）の領域がＳ極に着磁されている。このように、磁石１１には、Ｎ極及びＳ極の磁気パターン１１ｐが円筒面である内周面１１ｂに沿って形成されている。
【００１８】
また、図２に示すように、回転部２０は、ネジなどの固定部材５０によって回転軸ＳＦに固定されている。回転部２０は、回転軸ＳＦと一体的に回転する。回転部２０は、装着部２１、鍔部２２、第一磁気回路部２３、第二磁気回路部２４、第一ラビリンス形成部２５及び第二ラビリンス形成部２６を有している。
【００１９】
回転部２０は、上記の各部が一体的に形成されている。本実施形態では、例えば回転部２０は磁性体を用いて一部材として形成されている。なお、回転部２０は、各部が一体的に形成されていれば良く、一部材に形成された構成に限られるものでは無い。したがって、例えば複数の部材を一体化させた構成であっても構わない。また、上記磁気回路部（例、第一磁気回路部２３、第二磁気回路部２４）は、磁性体であるため、磁石１１と磁気回路部とで磁気回路を形成することによって磁力を向上させることができる。
【００２０】
図４は、エンコーダＥＣの一部を拡大して示す図である。
装着部２１は、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂに装着される部分である。装着部２１は、底部２１ａ及び壁部２１ｂを有している。
【００２１】
底部２１ａは、円板状に形成されており、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂの＋Ｚ側端面に当接される。壁部２１ｂは、円筒状に形成されており、第二部分ＳＦｂの外周を保持する。壁部２１ｂの内径は、第二部分ＳＦｂの外径とほぼ等しくなっている。このため、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂは、底部２１ａと壁部２１ｂとで形成される凹部に嵌め込まれた状態で装着部２１に装着される。底部２１ａには、固定部材５０を貫通させる貫通部２１ｃが設けられている。
【００２２】
鍔部２２は、壁部２１ｂの外周面に設けられている。鍔部２２は、当該壁部２１ｂの外周面に沿って円環状に形成されている。鍔部２２は、回転軸ＳＦの回転面（ＸＹ平面）に平行に形成されている。
【００２３】
第一磁気回路部２３は、鍔部２２の＋Ｚ側の面に設けられており、当該鍔部２２の外周に沿って円筒状に形成されている。第一磁気回路部２３には、磁石１１の磁気回路の一部が形成されている。第一磁気回路部２３の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。
【００２４】
第一磁気回路部２３の内径は、磁石１１の外径にほぼ一致する寸法に設定されている。上記の磁石１１は、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに取り付けられている。当該磁石１１は、不図示の接着剤などを介して第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに接着されている。磁石１１が第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに配置されていることにより、磁石１１が例えば高速で回転し、遠心力などにより磁石１１と内周面２３ｂとの間の接着剤が剥離した場合でも、磁石１１が回転部２０の外部（例、エンコーダ本体内、等）に飛散しない構成になっている。
【００２５】
第二磁気回路部２４は、鍔部２２の＋Ｚ側の面に設けられている。第二磁気回路部２４は、第一磁気回路部２３及び磁石１１の内側に配置されており、装着部２１及び固定部材５０を囲うように円筒状に形成されている。第二磁気回路部２４には、磁石１１の磁気回路の一部が形成されている。第二磁気回路部２４は、鍔部２２を介して第一磁気回路部２３に接続されている。したがって、鍔部２２は、第一磁気回路部２３と第二磁気回路部２４とを接続する接続部となっている。
【００２６】
第二磁気回路部２４の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。第二磁気回路部２４の外周面２４ａは、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂの一部及び磁石１１の内周面１１ｂに対向している。第二磁気回路部２４は、外周面２４ａと磁石１１の内周面１１ｂとの間に所定のスペースが設けられるように形成されている。当該スペースには、磁場検出部３０の少なくとも一部が配置される。
【００２７】
図２〜図４に示すように、回転部２０の＋Ｚ側には、鍔部２２と、第一磁気回路部２３と、第二磁気回路部２４とによって囲まれた凹部２７（例、凹状の部分）が形成されている。凹部２７は、Ｚ方向視で円環状に形成されている（図３参照）。当該凹部２７は、回転部２０の＋Ｚ側から−Ｚ側へ向けて凹んでいる。すなわち、凹部２７は、回転部２０の＋Ｚ側に開口部を有する構成である。鍔部２２の＋Ｚ側の面は、凹部２７の底面に相当する。第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ及び第二磁気回路部２４の外周面２４ａは、それぞれ凹部２７の側面に相当する。したがって、上記の磁石１１は、凹部２７の側面に接着されている。なお、本実施形態における凹部２７は、くぼみ、へこみ、溝、等であって、凹状、Ｖ字状、等の形状を有する。また、本実施形態における凹部２７は、例えば、凹状の形状の場合、凹部２７の側面は回転軸ＳＦの外周面と平行方向の面で構成され、Ｖ字状の形状の場合、凹部２７の側面は回転軸ＳＦの外周面と異なる方向の面で構成される。
【００２８】
第一ラビリンス形成部２５は、鍔部２２の−Ｚ側に設けられている。第一ラビリンス形成部２５は、回転軸ＳＦの外周面を囲うように、鍔部２２の外周に沿って円筒状に形成されている。第一ラビリンス形成部２５の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。したがって、第一ラビリンス形成部２５及び上記の第一磁気回路部２３は、同一の円筒面上に形成されている。
【００２９】
第二ラビリンス形成部２６は、鍔部２２の−Ｚ側に設けられている。第二ラビリンス形成部２６は、回転軸ＳＦの外周面に沿って円筒状に形成されている。第二ラビリンス形成部２６の内径は、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂの外径とほぼ等しくなっている。第二ラビリンス形成部２６の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。このように、第二ラビリンス形成部２６及び上記の装着部２１の壁部２１ｂは、同一の円筒面に沿って形成されている。
【００３０】
回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂの一部は、第二ラビリンス形成部２６の一部によって保持されている。このため、第二ラビリンス形成部２６は、回転軸ＳＦを嵌め込ませる装着部２１の一部としての機能を有する。
【００３１】
磁場検出部３０は、図２及び図４に示すように、基板３１、磁気センサ３２及び処理回路３３を有する。磁場検出部３０は、磁石１１の磁気パターン１１ｐによる磁場を検出する。
【００３２】
基板３１は、回転部２０の＋Ｚ側に設けられている。基板３１は、ＸＹ平面に平行に配置されている。基板３１は、磁気センサ３２及び処理回路３３を保持する。基板３１には、不図示の配線や端子などが形成されている。基板３１は、固定部材３１ｃによって固定部４０に固定されている。
【００３３】
磁気センサ３２は、基板３１の第一面３１ａに固定されている。磁気センサ３２は、例えばホール素子や磁気抵抗素子などの検出素子（不図示）を有している。磁気センサ３２は、磁気パターン１１ｐによる磁場を検出し、電気信号に変換する。磁気センサ３２において生成された電気信号は、基板３１の不図示の配線を介して処理回路３３に送信される。
【００３４】
磁気センサ３２は、センサ本体３２ａ及び支持部３２ｂを有する。センサ本体３２ａは、凹部２７のうち、第二磁気回路部２４の外周面２４ａと磁石１１の内周面１１ｂとの間に形成された隙間２７ａ（図４参照）に挿入される。センサ本体３２ａには、上記ホール素子や磁気抵抗素子などの検出素子が設けられている。支持部３２ｂは、センサ本体３２ａと基板３１とを接続する。支持部３２ｂには、センサ本体３２ａに設けられた検出素子と基板３１とを電気的に接続する配線（不図示）が設けられている。
【００３５】
図３に示すように、磁気センサ３２は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃを中心としてθＺ方向に９０°ずれた位置に１つずつ配置されている。センサ本体３２ａは、磁場形成部１０（磁石１１）及び回転部２０に接触しないように、第二磁気回路部２４や磁石１１との間に隙間を空けて配置されている。
【００３６】
センサ本体３２ａは、板状に形成されている。センサ本体３２ａは、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ、第二磁気回路部２４の外周面２４ａ及び磁石１１の内周面１１ｂに対向して配置されている。すなわち、センサ本体３２ａは、回転部２０の上記凹部２７の側面に対向して配置されている。
【００３７】
磁石１１の内周面１１ｂは回転軸ＳＦの延在方向に沿って形成されているため、当該内周面１１ｂとセンサ本体３２ａとは、回転軸ＳＦの延在方向に直交する方向に対向する。この構成により、磁石１１とセンサ本体３２ａとがＺ方向（回転軸ＳＦの軸方向）に相対的に位置ずれを起こしても、磁気センサ３２の検出精度にはほとんど影響を及ぼさずに済む。
【００３８】
処理回路３３は、基板３１の＋Ｚ側の第二面３１ｂ上に配置されている。処理回路３３は、磁気センサ３２からの電気信号の波形を整形する処理を含む所定の処理を行う。処理回路３３を経由した電気信号は、基板３１に形成された不図示の配線や端子などを介して駆動装置１００のコネクタＣＮに送信され、当該コネクタＣＮを介して外部の不図示の制御装置などに送信される。
【００３９】
固定部４０は、図２に示すように、基材４１、カバー部材４２及び固定部材４３を有している。基材４１は、円盤状に形成されており、駆動部ＡＣの＋Ｚ側端面及びベアリング部ＢＧを覆っている。カバー部材４２は、上記磁場形成部１０、回転部２０及び磁場検出部３０を覆うように設けられている。カバー部材４２は、固定部材４３によって基材４１と共に駆動部ＡＣに固定されている。基材４１とカバー部材４２との間には、Ｏリング４４が設けられている。当該Ｏリング４４は、カバー部材４２の外部から内部への異物の進入を防ぐ機能を有する。
【００４０】
図２及び図４に示すように、基材４１には、回転軸ＳＦの外周を囲うように＋Ｚ側に突出した突出部（凸部）４１ａが形成されている。突出部４１ａは、回転軸ＳＦの外周に沿って円筒状に形成されている。突出部４１ａは、回転部２０が装着された状態において、第一ラビリンス形成部２５と第二ラビリンス形成部２６との間に挿入されている。
【００４１】
突出部４１ａは、上記第一ラビリンス形成部２５及び第二ラビリンス形成部２６に対して隙間を空けて配置されている。このため、第一ラビリンス形成部２５と、突出部４１ａと、第二ラビリンス形成部２６とにより、断面視Ｕ字状のラビリンス部６０が形成されている。また、本実施形態における凹部２７の側面と突出部４１ａの側面とは、互いに平行に構成されている。
【００４２】
ラビリンス部６０は、回転軸ＳＦから磁場形成部１０への流体の移動を規制する規制部の一つである。ラビリンス部６０は、当該回転軸ＳＦの断面視Ｕ字状に形成されており、回転軸ＳＦの延在方向に直交する部分を有するため、回転軸ＳＦから流れてくる流体（駆動部ＡＣの潤滑油など）の移動が妨げられることになる。このように、ラビリンス部６０は、磁場形成部１０の磁石１１へ向けて流体が移動するのを規制（又は低減）している。
【００４３】
なお、回転部２０の凹部２７を構成する第一磁気回路部２３及び第二磁気回路部２４と、磁気センサ３２とで形成される隙間についても、ラビリンス部６０と同様の形状を含んでいる。すなわち、当該隙間は、回転軸ＳＦの延在方向に沿った部分と当該回転軸ＳＦの延在方向に直交する部分とを含んでいる。このため、凹部２７に上記の流体が到達する場合であっても、凹部２７において流体の移動が規制（又は低減）されることになる。
【００４４】
次に、上記のように構成された駆動装置１００の動作を説明する。
駆動装置１００の回転軸ＳＦのうち負荷側である第一部分ＳＦａに駆動対象を取り付けた後、駆動部ＡＣが回転軸ＳＦをθＺ方向に回転させる。この動作により、回転軸ＳＦの回転が駆動対象に伝達される。
【００４５】
一方、上記回転軸ＳＦの回転動作により、回転軸ＳＦの回転が第二部分ＳＦｂを介してエンコーダＥＣの回転部２０に伝達され、回転部２０が回転する。回転部２０の回転により、当該回転部２０に保持された磁石１１がθＺ方向に回転する。磁石１１の回転により、磁気パターン１１ｐがθＺ方向に移動する。
【００４６】
磁気センサ３２では、磁気パターン１１ｐの移動による磁場の変化を検出する。図５は、磁気センサ３２における検出結果の一例を示すグラフである。グラフの縦軸は検出信号の大きさであり、グラフの横軸は位相である。なお、図５では、回転軸ＳＦが一回転（３６０°回転）したときの検出結果を示している。
【００４７】
図５に示すように、θＺ方向に９０°ずれて配置された２つの磁気センサ３２において、位相が９０°ずれた２つの正弦波信号として磁場の変化が検出されている。この検出信号により、１回転以内の回転角度と回転軸の回転方向を検出することができる。
【００４８】
本実施形態では、高精度な検出を可能とするため、磁気センサ３２による検出結果が正弦波信号となるように、磁石１１の磁気パターン１１ｐが形成されている。一例として、隙間２７ａにおける磁束分布が平行分布となるように磁石１１を予め着磁しておくことにより、上記のような正弦波信号の検出結果を得ることができる。
【００４９】
なお、エンコーダＥＣの構成として、仮に、磁石１１が第一磁気回路部２３や第二磁気回路部２４などの磁気回路部から分離され、磁性体で構成された磁気回路部を固定して磁石１１のみを単独で回転させる構成とした場合、磁性体によって形成された磁気回路部においては、磁石１１の回転（特に、高速回転）による磁場の変化を打ち消す方向に磁場を発生させようとする作用が生じる。このため、磁気回路部の内部には渦電流が生じる。この渦電流により発生した起磁力により、磁石１１による磁場が乱されてしまう。
【００５０】
したがって、磁石１１と磁気回路部とを分離させ、磁気回路部を固定させて磁石１１のみを回転させる構成では、磁石１１と磁気回路部との間に磁気センサ３２を配置させて磁場を検出する場合において、正確な検出が困難となるおそれがある。
【００５１】
これに対して、本実施形態に係るエンコーダＥＣは、回転部２０に設けられる凹部２７の側面に磁石１１が配置され、磁性体を用いて一部材として形成された回転部２０と磁石１１とが回転軸ＳＦと共に一体的に回転する構成となっているため、回転部２０に渦電流が生じることが無い。したがって、磁石１１による磁場が乱されることが無い。これにより、磁気センサ３２を凹部２７の側面に対向させて磁石１１による磁場を検出する構成において、検出精度の低下を抑制（又は低減）することが可能となる。したがって、本実施形態によれば、高精度を有するエンコーダＥＣを提供することができる。
【００５２】
また、本実施形態に係るエンコーダＥＣは、磁性体で形成された回転部２０に磁石１１が取り付けられているため、当該回転部２０が磁石１１に対して磁気シールドとして機能することになる。これにより、外部からの磁気変化の影響に対して検出信号が影響を受けにくくなるため、検出精度の低下を抑制（又は低減）することができる。
【００５３】
また、駆動装置１００においては、回転軸ＳＦの回転に伴い、回転軸ＳＦの潤滑油がミスト状又は飛沫となって回転軸ＳＦを＋Ｚ方向に流れてくる場合がある。このような流体がエンコーダＥＣの内部に浸入し、磁場形成部１０に到達すると、磁場が乱され検出精度の低下を引き起こす場合がある。これに対して、本実施形態では、回転部２０の−Ｚ側にラビリンス部６０が形成されているため、当該流体の移動を規制（又は低減）することができる。これにより、本実施形態のエンコーダＥＣは、検出精度の低下を防ぐことができる。
【００５４】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
上記実施形態では、第一ラビリンス形成部２５、第二ラビリンス形成部２６及び突出部４１ａによってラビリンス部６０が形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図６に示すように、第一磁気回路部２３及び第一ラビリンス形成部２５を囲う第一円筒部３２ｃが設けられた構成であっても構わない。
【００５５】
第一円筒部３２ｃは、磁気センサ３２の支持部３２ｂの外周部分に接続されており、第一磁気回路部２３及び第一ラビリンス形成部２５との間に隙間を空けて設けられている。この構成により、第一円筒部３２ｃと第一磁気回路部２３及び第一ラビリンス形成部２５との間にラビリンス部６１が形成されることになる。
【００５６】
また、上記実施形態では、磁場形成部１０の磁気回路部として、第一磁気回路部２３及び第二磁気回路部２４が設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、第一磁気回路部２３及び第二磁気回路部２４のうち、磁石１１が配置される第一磁気回路部２３のみが設けられ、第二磁気回路部２４が省略された構成であっても構わない。この場合、第一磁気回路部２３によって形成される円筒の内部が凹部２７となり、第一磁気回路部２３の内周面が凹部２７の側面となる。
【００５７】
また、図６に示すように、第二磁気回路部２４の内側に第二円筒部３２ｄが設けられた構成であっても構わない。第二円筒部３２ｄは、磁気センサ３２の支持部３２ｂの内周部分に接続されており、第二磁気回路部２４との間に隙間を空けて設けられている。この構成により、第二円筒部３２ｄと第二磁気回路部２４との間にラビリンス部６２が形成されることになる。
【００５８】
上記実施形態に記載のラビリンス部６０と共に、ラビリンス部６１及び６２が設けられることにより、回転軸ＳＦからの流体が磁気形成部１０（磁石１１）に到達するのを防ぐことが可能となる。なお、図６では第一円筒部３２ｃ及び第二円筒部３２ｄの両方が設けられた構成が示されているが、第一円筒部３２ｃ及び第二円筒部３２ｄのうちいずれか一方のみが形成された構成であっても構わない。
【００５９】
また、上記実施形態においては、磁石１１が凹部２７の側面として第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに接着された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図７に示すように、磁石１１が凹部２７の側面として第二磁気回路部２４の外周面２４ａに取り付けられた構成であっても構わない。
【００６０】
図７に示すように、第二磁気回路部２４の外周面２４ａには、磁石１１の内周面１１ｂが不図示の接着剤を介して接着されている。また、磁気センサ３２のセンサ本体３２ａは、磁石１１の外周面１１ａと第一磁気回路部２３の内周面２３ｂとの間に挿入されている。したがって、磁気センサ３２のセンサ本体３２ａは、磁石１１と対向して配置される。
【００６１】
この場合であっても、上記実施形態と同様、回転部２０と磁石１１とが回転軸ＳＦと共に一体的に回転する構成となるため、回転部２０に渦電流が生じることが無い。したがって、磁石１１による磁場が乱されることが無い。これにより、本実施形態におけるエンコーダＥＣは、磁気センサ３２を凹部２７の側面に対向させて磁石１１による磁場を検出する構成において、検出精度の低下を防ぐことが可能となる。
【００６２】
また、上記実施形態では、磁場形成部１０が１つの磁石１１を有する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図８及び図９に示すように、磁場形成部１０が２つの磁石（磁石１１及び磁石１２）を有する構成であっても構わない。
【００６３】
図８及び図９に示すように、磁場形成部１０は、凹部２７の側面として第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに磁石１１が取り付けられると共に、凹部２７の側面として第二磁気回路部２４の外周面２４ａに磁石１２が取り付けられている。この場合、磁石１１については上記実施形態と同様の配置である。また、磁石１２については、第二磁気回路部２４の外周面２４ａには、磁石１２の内周面１２ｂが不図示の接着剤を介して接着されている。磁気センサ３２のセンサ本体３２ａは、磁石１１の内周面１１ｂと磁石１２の外周面１２ａとの間に挿入されている。
【００６４】
図９に示すように、磁石１１は、上記実施形態と同様、例えば図９の−Ｘ側半分の領域がＮ極に着磁されており、図９の＋Ｘ側半分の領域がＳ極に着磁されている。この場合、磁石１１には、Ｎ極及びＳ極の磁気パターン１１ｐが円筒面である内周面１１ｂに沿って形成されている。また、磁石１２は、例えば図９の＋Ｘ側半分の領域がＮ極に着磁されており、図９の−Ｘ側半分の領域がＳ極に着磁されている。この場合、磁石１２には、Ｎ極及びＳ極の磁気パターン１２ｐが円筒面である外周面１２ａに沿って形成されている。
【００６５】
この場合であっても、上記実施形態と同様、回転部２０と磁石１１及び１２とが回転軸ＳＦと共に一体的に回転する構成となるため、回転部２０に渦電流が生じることが無い。したがって、磁石１１及び１２による磁場が乱されることが無い。これにより、本実施形態のエンコーダＥＣは、磁気センサ３２を凹部２７の側面に対向させて磁石１１及び１２による磁場を検出する構成において、検出精度の低下を低減することが可能となる。また、磁石１１及び磁石１２のいずれか一方に対して回転軸ＳＦからの流体が到達する場合であっても、他方の磁場を検出することができるため、検出精度が低下しにくい構成となる。
【００６６】
また、上記実施形態においては、磁石１１が一部材として形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図１０に示すように、凹部２７の側面（第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ）に配列された複数の単位磁石１３を組み合わせて形成される磁石１４が用いられた構成であっても構わない。
【００６７】
図１０に示すように、単位磁石１３は、一の円筒が周方向に八等分された形状に形成されている。このような円弧状の単位磁石１３が第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに沿って配置されている。しかしながら、上記した一体形の円筒形状の磁石（例、磁石１１及び１２）は、製造コストが高く、同心寸法や真円寸法の確保が難しい場合がある。
【００６８】
これに対して、図１０に示す磁石１４は、分割された形状の単位磁石１３が複数配置されることで一体型の円筒形状の磁石１１と同様の磁気パターンが形成される。このため、製造コストを抑えることができ、容易に製造することができる。なお、一体型の円筒形状の磁石１１と同様の磁気パターンを形成するためには、単位磁石１３を組み合わせた磁石１４と第二磁気回路部２４との隙間における磁束分布が平行分布となるように個々の単位磁石１３を着磁させるようにする。
【００６９】
また、上記実施形態では、回転軸ＳＦからの流体の移動を規制する規制部として、ラビリンス部６０などが形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図１１に示すように、流体（例、グリース等）に含まれる磁性体（例、鉄粉等）の移動を規制（又は低減）する磁石が設けられた構成であっても構わない。
【００７０】
図１１に示すように、第二ラビリンス形成部２６の外周面２６ａには、磁石１５が設けられている。磁石１５は、第二ラビリンス形成部２６の外周面２６ａに沿って円筒状に形成されている。磁石１５の内周面は、不図示の接着剤を介して当該外周面２６ａに接着されている。当該磁石１５は、ラビリンス部６０に配置されている。
【００７１】
磁石１５が設けられることにより、鉄粉などの磁性粉を含む流体がラビリンス部６０に進入しようとする場合であっても、当該流体に含まれる磁性粉を磁石１５に吸着させることができる。このため、磁性粉が磁石１１に到達するのを防ぐことができるので、磁気検出部の検出精度が低下するのを防ぐことができる。これにより、鉄粉などの磁性粉を含む流体（例、油や冷却水）の中でもエンコーダＥＣを用いることが可能となる。このように、鉄粉などの磁性粉を含む流体（例、油や冷却水）の中においてエンコーダＥＣを用いる場合、上記した検出部（例、磁場検出部３０）や制御部は、防水加工、防油加工やモールド加工が行われる。
【００７２】
このように流体に含まれる磁性粉を吸着させる磁石は、ラビリンス部６０もしくはラビリンス構造を有する部分のどの部分に設けられていても構わない。例えば、図１１に示すように、基材４１の突出部４１ａの外周面４１ｂに磁石１６が設けられた構成であっても構わない。磁石１６は、外周面４１ｂに沿って円筒状に形成されている。磁石１６の内周面は、不図示の接着剤などを介して突出部４１ａの外周面４１ｂに接着されている。磁石１６が設けられることにより、ラビリンス部６０を通過する流体に含まれる磁性粉が吸着される。
【００７３】
また、図１１に示すように、磁場検出部３０の磁気センサ３２に設けられた構成であっても構わない。磁気センサ３２の支持部３２ｂのうちセンサ本体３２ａの外側には磁石１７が設けられている。また、支持部３２ｂのうちセンサ本体３２ａの内側には磁石１８が設けられている。このように、磁気センサ３２と回転部２０との間でラビリンス構造が形成されている部分に磁石１７及び１８を配置させることで、当該ラビリンス構造に進入しようとする流体に含まれる磁性粉を吸着させることができる。
【００７４】
また、上記実施形態において、ラビリンス部６０や回転部２０と磁気センサ３２との間のラビリンス構造を得るための寸法は、例えば０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度とすることができる。このような寸法のラビリンス部６０等を実現するため、エンコーダＥＣを組み立てる際に、所期の寸法が確保されているかどうか確認することが必要となる。
【００７５】
そこで、上記実施形態の構成に加えて、例えば図１２に示すように、当該寸法が確保されているかどうか確認するため、基板３１に貫通孔３５を設けておく構成としても構わない。図１２では、回転部２０と磁気センサ３２との間で形成されるラビリンス構造を確認するための貫通孔３５を例に挙げて説明する。
【００７６】
貫通孔３５は、磁場形成部１０（磁石１１）の支持位置を露出する位置に設けられている。図１２では、例えば第一磁気回路部２３、磁石１１、第二磁気回路部２４の＋Ｚ側の端面を露出する位置に形成されている。なお、図１２では、磁気センサ３２のセンサ本体３２ａを露出する位置に設けられた構成となっているが、センサ本体３２ａについては露出していなくても構わない。
【００７７】
貫通孔３５からは、磁石１１とセンサ本体３２ａとの隙間Ｇ１と、センサ本体３２ａと第二磁気回路部２４との隙間Ｇ２の寸法を確認することができる。センサ本体３２ａが露出していない場合については、隙間Ｇ１及びＧ２の寸法を計算で求めるようにしても構わない。
【００７８】
貫通孔３５は１個に限られず、磁石１１の周方向に沿って複数設けられた構成であっても構わない。なお、基板３１には、光を透過可能な材料（樹脂、ガラスなど）を用いて形成され貫通孔３５を塞ぐ閉塞部３６が設けられた構成であっても構わない。この場合、塵埃や、油、オイルミストの侵入を防ぐことができる。
【００７９】
なお、上記実施形態においては、磁石１１として、等方性磁石や異方性磁石などを使用することができる。また、磁石１１の材料としては、例えばＮｅＦｅＢ磁石をナイロンで成型した磁石を用いることができる。また、磁石１１の材料として、ＮｅＦｅＢ系磁石の他、ＳｍＣｏ系磁石やフェライト系磁石などを用いることができる。また、回転部２０を構成する磁性体として、例えばＳＳ４００、ＳＳ４１やＳＳ４５Ｃなどの磁性体を用いることができる。
【００８０】
また、本実施形態におけるエンコーダＥＣは、磁性体で構成される凹部２７の内側（例、内周面）の側面に磁石１１を配置し、その側面に対向して磁気センサ３２が配置された突出部４１ａを設けることによって、上記した渦電流を低減させることやラビリンス効果による流体の移動を規制することができる。このように、本実施形態におけるエンコーダＥＣは、凹部２７のうち磁石１１が配置される部分と突出部４１ａのうち磁気センサ３２が配置される部分とによってラビリンスを構成している。また、本実施形態における凹部２７の開口方向と突出部４１ａの突出方向とは、回転軸ＳＦの軸方向と平行である。そして、磁石１１は該凹部２７の側面に配置され、磁気センサ３２は突出部４１ａに配置されるので、本実施形態のエンコーダＥＣは、回転軸ＳＦの軸方向のギャップ変動が生じた場合であっても、検出精度の低下を低減することができる。また、ラビリンス部６０や回転部２０と磁気センサ３２との間のラビリンス構造の形状は、上記実施形態のような断面視Ｕ字状に限られず、他の形状であっても構わない。このような他の構成としては、例えば、上記のＵ字状の形状が組み合わされた構成などが挙げられる。また、本実施形態によれば、電気自動車などに使用される高速回転用駆動装置の角度検出器や回転速度検出器として、高精度、高応答性、や高信頼性を有するエンコーダＥＣを提供できる。
【符号の説明】
【００８１】
ＥＣ…エンコーダ ＳＦ…回転軸 ＡＣ…駆動部 １０…磁場形成部 １１…磁石 １１ｐ…磁気パターン １１ａ…外周面 １１ｂ…内周面 １３…単位磁石 １４〜１８…磁石（第二磁石、第三磁石、第四磁石） ２０…回転部 ２３…第一磁気回路部 ２３ａ…内周面 ２３ｂ…内周面 ２４…第二磁気回路部 ２４ａ…外周面 ２５…第一ラビリンス形成部 ２６…第二ラビリンス形成部 ２７…凹部 ３０…磁場検出部 ３２…磁気センサ ３５…貫通孔 ３６…閉塞部 ４０…固定部 ６０〜６２…ラビリンス部 １００…駆動装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ及び駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
駆動装置などの回転軸の位置情報（例、回転数）を検出する装置として、エンコーダが知られている（例えば、特許文献１）。エンコーダは、駆動装置の回転軸に取り付けられて用いられる。エンコーダとして、光学パターンの変化を読み取る光学式エンコーダや、磁気パターンの変化を検出する磁気式エンコーダなどが知られている。
【０００３】
近年、電気自動車などの自動車においても、高分解能を有するエンコーダが求められている。自動車に搭載される駆動装置は、振動、温度、結露、塵埃などの面で使用環境が厳しい。この点で、光学式エンコーダは結露や塵埃などに対する耐性が磁気式エンコーダより低い。そこで、このような使用環境においては、磁気式エンコーダを搭載することが検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３０８１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、磁気式エンコーダの構造上、磁気パターンの周囲に鉄などの磁性材料を含んだ磁性部材が固定されていると、当該磁性部材において、磁気パターンの回転による磁場の変化を打ち消す方向に磁場を発生させようとする作用が生じる場合がある。この作用で発生した磁場により磁気パターンによる磁場が乱されてしまうと、正確な位置情報の検出が困難となり、検出精度が低下してしまう場合がある。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、検出精度の低下を低減することが可能なエンコーダ及び駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一の態様に従えば、磁気パターンを形成する磁石を有する磁場形成部と、少なくとも一部が磁性体で構成される凹部を有し、当該凹部の側面に磁場形成部が配置され、測定対象の回転軸と一体的に回転する回転部と、凹部の側面に対向して配置され、磁気パターンによる磁場を検出する磁場検出部と、を備えるエンコーダが提供される。
【０００８】
本発明の第二の態様に従えば、本発明の第一の態様に従うエンコーダと、回転軸を回転させる駆動部と、を備える駆動装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の態様によれば、検出精度の低下を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態に係る駆動装置の構成を示す図。
【図２】本実施形態に係るエンコーダの構成を示す図。
【図３】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す図。
【図４】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す図。
【図５】本実施形態に係るエンコーダによる検出結果の一例を示すグラフ。
【図６】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図７】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図８】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図９】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図１０】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図１１】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【図１２】本実施形態に係るエンコーダの他の構成を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本実施形態に係る駆動装置１００の全体構成を示す図である。
図１に示すように、駆動装置１００は、回転軸ＳＦ、駆動部ＡＣ、エンコーダＥＣ及びコネクタＣＮを有する。
【００１２】
以下、各図の説明においてはＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。本実施形態では、回転軸ＳＦの中心軸Ｃの延在方向をＺ方向として設定している。なお、Ｚ軸周りの方向については、θＺ方向と表記する。また、図２以降において、Ｚ軸に垂直な平面をＸＹ平面とし、ＸＹ平面上の一方向をＸ方向とし、ＸＹ平面上で当該Ｘ方向に直交する方向をＹ方向とする。
【００１３】
図１に示すように、回転軸ＳＦは、円筒状又は円柱状に形成されている。駆動部ＡＣは、回転軸ＳＦをθＺ方向に回転させる。回転軸ＳＦは、ベアリング部ＢＧ（図２等参照）を介して駆動部ＡＣに取り付けられている。回転軸ＳＦは、駆動部ＡＣをＺ方向に貫通して設けられている。回転軸ＳＦは、駆動部ＡＣに対して−Ｚ側に突出する第一部分ＳＦａと、駆動部ＡＣに対して＋Ｚ側に突出する第二部分ＳＦｂとを有する。回転軸ＳＦは、第一部分ＳＦａが駆動装置１００において回転力を伝達する負荷側となっており、第二部分ＳＦｂが反負荷側となっている。
【００１４】
エンコーダＥＣは、回転軸ＳＦの反負荷側である第二部分ＳＦｂに固定されている。エンコーダＥＣは、例えば回転軸ＳＦの回転角度や回転速度など、回転軸ＳＦのθＺ方向における位置情報を検出する。本実施形態では、エンコーダＥＣとして、磁場の変化によって上記の位置情報を検出する磁気式エンコーダが用いられている。
【００１５】
図２は、駆動部ＡＣ及びエンコーダＥＣの内部構成を示す断面図である。
図２に示すように、エンコーダＥＣは、磁場形成部１０、回転部２０、磁場検出部３０及び固定部４０を有している。
【００１６】
磁場形成部１０は、円筒状に形成された磁石１１を有している。磁石１１は、回転部２０に保持されている。Ｚ軸方向視において、磁石１１は、当該磁石１１の中心軸が回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致するように配置されている。
【００１７】
図３は、エンコーダＥＣを＋Ｚ側から見たときの構成を示す図である。
図３に示すように、磁石１１は、例えば半分（図３の−Ｘ側半分）の領域がＮ極に着磁されており、他の半分（図３の＋Ｘ側半分）の領域がＳ極に着磁されている。このように、磁石１１には、Ｎ極及びＳ極の磁気パターン１１ｐが円筒面である内周面１１ｂに沿って形成されている。
【００１８】
また、図２に示すように、回転部２０は、ネジなどの固定部材５０によって回転軸ＳＦに固定されている。回転部２０は、回転軸ＳＦと一体的に回転する。回転部２０は、装着部２１、鍔部２２、第一磁気回路部２３、第二磁気回路部２４、第一ラビリンス形成部２５及び第二ラビリンス形成部２６を有している。
【００１９】
回転部２０は、上記の各部が一体的に形成されている。本実施形態では、例えば回転部２０は磁性体を用いて一部材として形成されている。なお、回転部２０は、各部が一体的に形成されていれば良く、一部材に形成された構成に限られるものでは無い。したがって、例えば複数の部材を一体化させた構成であっても構わない。また、上記磁気回路部（例、第一磁気回路部２３、第二磁気回路部２４）は、磁性体であるため、磁石１１と磁気回路部とで磁気回路を形成することによって磁力を向上させることができる。
【００２０】
図４は、エンコーダＥＣの一部を拡大して示す図である。
装着部２１は、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂに装着される部分である。装着部２１は、底部２１ａ及び壁部２１ｂを有している。
【００２１】
底部２１ａは、円板状に形成されており、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂの＋Ｚ側端面に当接される。壁部２１ｂは、円筒状に形成されており、第二部分ＳＦｂの外周を保持する。壁部２１ｂの内径は、第二部分ＳＦｂの外径とほぼ等しくなっている。このため、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂは、底部２１ａと壁部２１ｂとで形成される凹部に嵌め込まれた状態で装着部２１に装着される。底部２１ａには、固定部材５０を貫通させる貫通部２１ｃが設けられている。
【００２２】
鍔部２２は、壁部２１ｂの外周面に設けられている。鍔部２２は、当該壁部２１ｂの外周面に沿って円環状に形成されている。鍔部２２は、回転軸ＳＦの回転面（ＸＹ平面）に平行に形成されている。
【００２３】
第一磁気回路部２３は、鍔部２２の＋Ｚ側の面に設けられており、当該鍔部２２の外周に沿って円筒状に形成されている。第一磁気回路部２３には、磁石１１の磁気回路の一部が形成されている。第一磁気回路部２３の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。
【００２４】
第一磁気回路部２３の内径は、磁石１１の外径にほぼ一致する寸法に設定されている。上記の磁石１１は、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに取り付けられている。当該磁石１１は、不図示の接着剤などを介して第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに接着されている。磁石１１が第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに配置されていることにより、磁石１１が例えば高速で回転し、遠心力などにより磁石１１と内周面２３ｂとの間の接着剤が剥離した場合でも、磁石１１が回転部２０の外部（例、エンコーダ本体内、等）に飛散しない構成になっている。
【００２５】
第二磁気回路部２４は、鍔部２２の＋Ｚ側の面に設けられている。第二磁気回路部２４は、第一磁気回路部２３及び磁石１１の内側に配置されており、装着部２１及び固定部材５０を囲うように円筒状に形成されている。第二磁気回路部２４には、磁石１１の磁気回路の一部が形成されている。第二磁気回路部２４は、鍔部２２を介して第一磁気回路部２３に接続されている。したがって、鍔部２２は、第一磁気回路部２３と第二磁気回路部２４とを接続する接続部となっている。
【００２６】
第二磁気回路部２４の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。第二磁気回路部２４の外周面２４ａは、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂの一部及び磁石１１の内周面１１ｂに対向している。第二磁気回路部２４は、外周面２４ａと磁石１１の内周面１１ｂとの間に所定のスペースが設けられるように形成されている。当該スペースには、磁場検出部３０の少なくとも一部が配置される。
【００２７】
図２〜図４に示すように、回転部２０の＋Ｚ側には、鍔部２２と、第一磁気回路部２３と、第二磁気回路部２４とによって囲まれた凹部２７（例、凹状の部分）が形成されている。凹部２７は、Ｚ方向視で円環状に形成されている（図３参照）。当該凹部２７は、回転部２０の＋Ｚ側から−Ｚ側へ向けて凹んでいる。すなわち、凹部２７は、回転部２０の＋Ｚ側に開口部を有する構成である。鍔部２２の＋Ｚ側の面は、凹部２７の底面に相当する。第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ及び第二磁気回路部２４の外周面２４ａは、それぞれ凹部２７の側面に相当する。したがって、上記の磁石１１は、凹部２７の側面に接着されている。なお、本実施形態における凹部２７は、くぼみ、へこみ、溝、等であって、凹状、Ｖ字状、等の形状を有する。また、本実施形態における凹部２７は、例えば、凹状の形状の場合、凹部２７の側面は回転軸ＳＦの外周面と平行方向の面で構成され、Ｖ字状の形状の場合、凹部２７の側面は回転軸ＳＦの外周面と異なる方向の面で構成される。
【００２８】
第一ラビリンス形成部２５は、鍔部２２の−Ｚ側に設けられている。第一ラビリンス形成部２５は、回転軸ＳＦの外周面を囲うように、鍔部２２の外周に沿って円筒状に形成されている。第一ラビリンス形成部２５の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。したがって、第一ラビリンス形成部２５及び上記の第一磁気回路部２３は、同一の円筒面上に形成されている。
【００２９】
第二ラビリンス形成部２６は、鍔部２２の−Ｚ側に設けられている。第二ラビリンス形成部２６は、回転軸ＳＦの外周面に沿って円筒状に形成されている。第二ラビリンス形成部２６の内径は、回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂの外径とほぼ等しくなっている。第二ラビリンス形成部２６の中心軸は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃに一致している。このように、第二ラビリンス形成部２６及び上記の装着部２１の壁部２１ｂは、同一の円筒面に沿って形成されている。
【００３０】
回転軸ＳＦの第二部分ＳＦｂの一部は、第二ラビリンス形成部２６の一部によって保持されている。このため、第二ラビリンス形成部２６は、回転軸ＳＦを嵌め込ませる装着部２１の一部としての機能を有する。
【００３１】
磁場検出部３０は、図２及び図４に示すように、基板３１、磁気センサ３２及び処理回路３３を有する。磁場検出部３０は、磁石１１の磁気パターン１１ｐによる磁場を検出する。
【００３２】
基板３１は、回転部２０の＋Ｚ側に設けられている。基板３１は、ＸＹ平面に平行に配置されている。基板３１は、磁気センサ３２及び処理回路３３を保持する。基板３１には、不図示の配線や端子などが形成されている。基板３１は、固定部材３１ｃによって固定部４０に固定されている。
【００３３】
磁気センサ３２は、基板３１の第一面３１ａに固定されている。磁気センサ３２は、例えばホール素子や磁気抵抗素子などの検出素子（不図示）を有している。磁気センサ３２は、磁気パターン１１ｐによる磁場を検出し、電気信号に変換する。磁気センサ３２において生成された電気信号は、基板３１の不図示の配線を介して処理回路３３に送信される。
【００３４】
磁気センサ３２は、センサ本体３２ａ及び支持部３２ｂを有する。センサ本体３２ａは、凹部２７のうち、第二磁気回路部２４の外周面２４ａと磁石１１の内周面１１ｂとの間に形成された隙間２７ａ（図４参照）に挿入される。センサ本体３２ａには、上記ホール素子や磁気抵抗素子などの検出素子が設けられている。支持部３２ｂは、センサ本体３２ａと基板３１とを接続する。支持部３２ｂには、センサ本体３２ａに設けられた検出素子と基板３１とを電気的に接続する配線（不図示）が設けられている。
【００３５】
図３に示すように、磁気センサ３２は、回転軸ＳＦの中心軸Ｃを中心としてθＺ方向に９０°ずれた位置に１つずつ配置されている。センサ本体３２ａは、磁場形成部１０（磁石１１）及び回転部２０に接触しないように、第二磁気回路部２４や磁石１１との間に隙間を空けて配置されている。
【００３６】
センサ本体３２ａは、板状に形成されている。センサ本体３２ａは、第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ、第二磁気回路部２４の外周面２４ａ及び磁石１１の内周面１１ｂに対向して配置されている。すなわち、センサ本体３２ａは、回転部２０の上記凹部２７の側面に対向して配置されている。
【００３７】
磁石１１の内周面１１ｂは回転軸ＳＦの延在方向に沿って形成されているため、当該内周面１１ｂとセンサ本体３２ａとは、回転軸ＳＦの延在方向に直交する方向に対向する。この構成により、磁石１１とセンサ本体３２ａとがＺ方向（回転軸ＳＦの軸方向）に相対的に位置ずれを起こしても、磁気センサ３２の検出精度にはほとんど影響を及ぼさずに済む。
【００３８】
処理回路３３は、基板３１の＋Ｚ側の第二面３１ｂ上に配置されている。処理回路３３は、磁気センサ３２からの電気信号の波形を整形する処理を含む所定の処理を行う。処理回路３３を経由した電気信号は、基板３１に形成された不図示の配線や端子などを介して駆動装置１００のコネクタＣＮに送信され、当該コネクタＣＮを介して外部の不図示の制御装置などに送信される。
【００３９】
固定部４０は、図２に示すように、基材４１、カバー部材４２及び固定部材４３を有している。基材４１は、円盤状に形成されており、駆動部ＡＣの＋Ｚ側端面及びベアリング部ＢＧを覆っている。カバー部材４２は、上記磁場形成部１０、回転部２０及び磁場検出部３０を覆うように設けられている。カバー部材４２は、固定部材４３によって基材４１と共に駆動部ＡＣに固定されている。基材４１とカバー部材４２との間には、Ｏリング４４が設けられている。当該Ｏリング４４は、カバー部材４２の外部から内部への異物の進入を防ぐ機能を有する。
【００４０】
図２及び図４に示すように、基材４１には、回転軸ＳＦの外周を囲うように＋Ｚ側に突出した突出部（凸部）４１ａが形成されている。突出部４１ａは、回転軸ＳＦの外周に沿って円筒状に形成されている。突出部４１ａは、回転部２０が装着された状態において、第一ラビリンス形成部２５と第二ラビリンス形成部２６との間に挿入されている。
【００４１】
突出部４１ａは、上記第一ラビリンス形成部２５及び第二ラビリンス形成部２６に対して隙間を空けて配置されている。このため、第一ラビリンス形成部２５と、突出部４１ａと、第二ラビリンス形成部２６とにより、断面視Ｕ字状のラビリンス部６０が形成されている。また、本実施形態における凹部２７の側面と突出部４１ａの側面とは、互いに平行に構成されている。
【００４２】
ラビリンス部６０は、回転軸ＳＦから磁場形成部１０への流体の移動を規制する規制部の一つである。ラビリンス部６０は、当該回転軸ＳＦの断面視Ｕ字状に形成されており、回転軸ＳＦの延在方向に直交する部分を有するため、回転軸ＳＦから流れてくる流体（駆動部ＡＣの潤滑油など）の移動が妨げられることになる。このように、ラビリンス部６０は、磁場形成部１０の磁石１１へ向けて流体が移動するのを規制（又は低減）している。
【００４３】
なお、回転部２０の凹部２７を構成する第一磁気回路部２３及び第二磁気回路部２４と、磁気センサ３２とで形成される隙間についても、ラビリンス部６０と同様の形状を含んでいる。すなわち、当該隙間は、回転軸ＳＦの延在方向に沿った部分と当該回転軸ＳＦの延在方向に直交する部分とを含んでいる。このため、凹部２７に上記の流体が到達する場合であっても、凹部２７において流体の移動が規制（又は低減）されることになる。
【００４４】
次に、上記のように構成された駆動装置１００の動作を説明する。
駆動装置１００の回転軸ＳＦのうち負荷側である第一部分ＳＦａに駆動対象を取り付けた後、駆動部ＡＣが回転軸ＳＦをθＺ方向に回転させる。この動作により、回転軸ＳＦの回転が駆動対象に伝達される。
【００４５】
一方、上記回転軸ＳＦの回転動作により、回転軸ＳＦの回転が第二部分ＳＦｂを介してエンコーダＥＣの回転部２０に伝達され、回転部２０が回転する。回転部２０の回転により、当該回転部２０に保持された磁石１１がθＺ方向に回転する。磁石１１の回転により、磁気パターン１１ｐがθＺ方向に移動する。
【００４６】
磁気センサ３２では、磁気パターン１１ｐの移動による磁場の変化を検出する。図５は、磁気センサ３２における検出結果の一例を示すグラフである。グラフの縦軸は検出信号の大きさであり、グラフの横軸は位相である。なお、図５では、回転軸ＳＦが一回転（３６０°回転）したときの検出結果を示している。
【００４７】
図５に示すように、θＺ方向に９０°ずれて配置された２つの磁気センサ３２において、位相が９０°ずれた２つの正弦波信号として磁場の変化が検出されている。この検出信号により、１回転以内の回転角度と回転軸の回転方向を検出することができる。
【００４８】
本実施形態では、高精度な検出を可能とするため、磁気センサ３２による検出結果が正弦波信号となるように、磁石１１の磁気パターン１１ｐが形成されている。一例として、隙間２７ａにおける磁束分布が平行分布となるように磁石１１を予め着磁しておくことにより、上記のような正弦波信号の検出結果を得ることができる。
【００４９】
なお、エンコーダＥＣの構成として、仮に、磁石１１が第一磁気回路部２３や第二磁気回路部２４などの磁気回路部から分離され、磁性体で構成された磁気回路部を固定して磁石１１のみを単独で回転させる構成とした場合、磁性体によって形成された磁気回路部においては、磁石１１の回転（特に、高速回転）による磁場の変化を打ち消す方向に磁場を発生させようとする作用が生じる。このため、磁気回路部の内部には渦電流が生じる。この渦電流により発生した起磁力により、磁石１１による磁場が乱されてしまう。
【００５０】
したがって、磁石１１と磁気回路部とを分離させ、磁気回路部を固定させて磁石１１のみを回転させる構成では、磁石１１と磁気回路部との間に磁気センサ３２を配置させて磁場を検出する場合において、正確な検出が困難となるおそれがある。
【００５１】
これに対して、本実施形態に係るエンコーダＥＣは、回転部２０に設けられる凹部２７の側面に磁石１１が配置され、磁性体を用いて一部材として形成された回転部２０と磁石１１とが回転軸ＳＦと共に一体的に回転する構成となっているため、回転部２０に渦電流が生じることが無い。したがって、磁石１１による磁場が乱されることが無い。これにより、磁気センサ３２を凹部２７の側面に対向させて磁石１１による磁場を検出する構成において、検出精度の低下を抑制（又は低減）することが可能となる。したがって、本実施形態によれば、高精度を有するエンコーダＥＣを提供することができる。
【００５２】
また、本実施形態に係るエンコーダＥＣは、磁性体で形成された回転部２０に磁石１１が取り付けられているため、当該回転部２０が磁石１１に対して磁気シールドとして機能することになる。これにより、外部からの磁気変化の影響に対して検出信号が影響を受けにくくなるため、検出精度の低下を抑制（又は低減）することができる。
【００５３】
また、駆動装置１００においては、回転軸ＳＦの回転に伴い、回転軸ＳＦの潤滑油がミスト状又は飛沫となって回転軸ＳＦを＋Ｚ方向に流れてくる場合がある。このような流体がエンコーダＥＣの内部に浸入し、磁場形成部１０に到達すると、磁場が乱され検出精度の低下を引き起こす場合がある。これに対して、本実施形態では、回転部２０の−Ｚ側にラビリンス部６０が形成されているため、当該流体の移動を規制（又は低減）することができる。これにより、本実施形態のエンコーダＥＣは、検出精度の低下を防ぐことができる。
【００５４】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
上記実施形態では、第一ラビリンス形成部２５、第二ラビリンス形成部２６及び突出部４１ａによってラビリンス部６０が形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図６に示すように、第一磁気回路部２３及び第一ラビリンス形成部２５を囲う第一円筒部３２ｃが設けられた構成であっても構わない。
【００５５】
第一円筒部３２ｃは、磁気センサ３２の支持部３２ｂの外周部分に接続されており、第一磁気回路部２３及び第一ラビリンス形成部２５との間に隙間を空けて設けられている。この構成により、第一円筒部３２ｃと第一磁気回路部２３及び第一ラビリンス形成部２５との間にラビリンス部６１が形成されることになる。
【００５６】
また、上記実施形態では、磁場形成部１０の磁気回路部として、第一磁気回路部２３及び第二磁気回路部２４が設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、第一磁気回路部２３及び第二磁気回路部２４のうち、磁石１１が配置される第一磁気回路部２３のみが設けられ、第二磁気回路部２４が省略された構成であっても構わない。この場合、第一磁気回路部２３によって形成される円筒の内部が凹部２７となり、第一磁気回路部２３の内周面が凹部２７の側面となる。
【００５７】
また、図６に示すように、第二磁気回路部２４の内側に第二円筒部３２ｄが設けられた構成であっても構わない。第二円筒部３２ｄは、磁気センサ３２の支持部３２ｂの内周部分に接続されており、第二磁気回路部２４との間に隙間を空けて設けられている。この構成により、第二円筒部３２ｄと第二磁気回路部２４との間にラビリンス部６２が形成されることになる。
【００５８】
上記実施形態に記載のラビリンス部６０と共に、ラビリンス部６１及び６２が設けられることにより、回転軸ＳＦからの流体が磁気形成部１０（磁石１１）に到達するのを防ぐことが可能となる。なお、図６では第一円筒部３２ｃ及び第二円筒部３２ｄの両方が設けられた構成が示されているが、第一円筒部３２ｃ及び第二円筒部３２ｄのうちいずれか一方のみが形成された構成であっても構わない。
【００５９】
また、上記実施形態においては、磁石１１が凹部２７の側面として第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに接着された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図７に示すように、磁石１１が凹部２７の側面として第二磁気回路部２４の外周面２４ａに取り付けられた構成であっても構わない。
【００６０】
図７に示すように、第二磁気回路部２４の外周面２４ａには、磁石１１の内周面１１ｂが不図示の接着剤を介して接着されている。また、磁気センサ３２のセンサ本体３２ａは、磁石１１の外周面１１ａと第一磁気回路部２３の内周面２３ｂとの間に挿入されている。したがって、磁気センサ３２のセンサ本体３２ａは、磁石１１と対向して配置される。
【００６１】
この場合であっても、上記実施形態と同様、回転部２０と磁石１１とが回転軸ＳＦと共に一体的に回転する構成となるため、回転部２０に渦電流が生じることが無い。したがって、磁石１１による磁場が乱されることが無い。これにより、本実施形態におけるエンコーダＥＣは、磁気センサ３２を凹部２７の側面に対向させて磁石１１による磁場を検出する構成において、検出精度の低下を防ぐことが可能となる。
【００６２】
また、上記実施形態では、磁場形成部１０が１つの磁石１１を有する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図８及び図９に示すように、磁場形成部１０が２つの磁石（磁石１１及び磁石１２）を有する構成であっても構わない。
【００６３】
図８及び図９に示すように、磁場形成部１０は、凹部２７の側面として第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに磁石１１が取り付けられると共に、凹部２７の側面として第二磁気回路部２４の外周面２４ａに磁石１２が取り付けられている。この場合、磁石１１については上記実施形態と同様の配置である。また、磁石１２については、第二磁気回路部２４の外周面２４ａには、磁石１２の内周面１２ｂが不図示の接着剤を介して接着されている。磁気センサ３２のセンサ本体３２ａは、磁石１１の内周面１１ｂと磁石１２の外周面１２ａとの間に挿入されている。
【００６４】
図９に示すように、磁石１１は、上記実施形態と同様、例えば図９の−Ｘ側半分の領域がＮ極に着磁されており、図９の＋Ｘ側半分の領域がＳ極に着磁されている。この場合、磁石１１には、Ｎ極及びＳ極の磁気パターン１１ｐが円筒面である内周面１１ｂに沿って形成されている。また、磁石１２は、例えば図９の＋Ｘ側半分の領域がＮ極に着磁されており、図９の−Ｘ側半分の領域がＳ極に着磁されている。この場合、磁石１２には、Ｎ極及びＳ極の磁気パターン１２ｐが円筒面である外周面１２ａに沿って形成されている。
【００６５】
この場合であっても、上記実施形態と同様、回転部２０と磁石１１及び１２とが回転軸ＳＦと共に一体的に回転する構成となるため、回転部２０に渦電流が生じることが無い。したがって、磁石１１及び１２による磁場が乱されることが無い。これにより、本実施形態のエンコーダＥＣは、磁気センサ３２を凹部２７の側面に対向させて磁石１１及び１２による磁場を検出する構成において、検出精度の低下を低減することが可能となる。また、磁石１１及び磁石１２のいずれか一方に対して回転軸ＳＦからの流体が到達する場合であっても、他方の磁場を検出することができるため、検出精度が低下しにくい構成となる。
【００６６】
また、上記実施形態においては、磁石１１が一部材として形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図１０に示すように、凹部２７の側面（第一磁気回路部２３の内周面２３ｂ）に配列された複数の単位磁石１３を組み合わせて形成される磁石１４が用いられた構成であっても構わない。
【００６７】
図１０に示すように、単位磁石１３は、一の円筒が周方向に八等分された形状に形成されている。このような円弧状の単位磁石１３が第一磁気回路部２３の内周面２３ｂに沿って配置されている。しかしながら、上記した一体形の円筒形状の磁石（例、磁石１１及び１２）は、製造コストが高く、同心寸法や真円寸法の確保が難しい場合がある。
【００６８】
これに対して、図１０に示す磁石１４は、分割された形状の単位磁石１３が複数配置されることで一体型の円筒形状の磁石１１と同様の磁気パターンが形成される。このため、製造コストを抑えることができ、容易に製造することができる。なお、一体型の円筒形状の磁石１１と同様の磁気パターンを形成するためには、単位磁石１３を組み合わせた磁石１４と第二磁気回路部２４との隙間における磁束分布が平行分布となるように個々の単位磁石１３を着磁させるようにする。
【００６９】
また、上記実施形態では、回転軸ＳＦからの流体の移動を規制する規制部として、ラビリンス部６０などが形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図１１に示すように、流体（例、グリース等）に含まれる磁性体（例、鉄粉等）の移動を規制（又は低減）する磁石が設けられた構成であっても構わない。
【００７０】
図１１に示すように、第二ラビリンス形成部２６の外周面２６ａには、磁石１５が設けられている。磁石１５は、第二ラビリンス形成部２６の外周面２６ａに沿って円筒状に形成されている。磁石１５の内周面は、不図示の接着剤を介して当該外周面２６ａに接着されている。当該磁石１５は、ラビリンス部６０に配置されている。
【００７１】
磁石１５が設けられることにより、鉄粉などの磁性粉を含む流体がラビリンス部６０に進入しようとする場合であっても、当該流体に含まれる磁性粉を磁石１５に吸着させることができる。このため、磁性粉が磁石１１に到達するのを防ぐことができるので、磁気検出部の検出精度が低下するのを防ぐことができる。これにより、鉄粉などの磁性粉を含む流体（例、油や冷却水）の中でもエンコーダＥＣを用いることが可能となる。このように、鉄粉などの磁性粉を含む流体（例、油や冷却水）の中においてエンコーダＥＣを用いる場合、上記した検出部（例、磁場検出部３０）や制御部は、防水加工、防油加工やモールド加工が行われる。
【００７２】
このように流体に含まれる磁性粉を吸着させる磁石は、ラビリンス部６０もしくはラビリンス構造を有する部分のどの部分に設けられていても構わない。例えば、図１１に示すように、基材４１の突出部４１ａの外周面４１ｂに磁石１６が設けられた構成であっても構わない。磁石１６は、外周面４１ｂに沿って円筒状に形成されている。磁石１６の内周面は、不図示の接着剤などを介して突出部４１ａの外周面４１ｂに接着されている。磁石１６が設けられることにより、ラビリンス部６０を通過する流体に含まれる磁性粉が吸着される。
【００７３】
また、図１１に示すように、磁場検出部３０の磁気センサ３２に設けられた構成であっても構わない。磁気センサ３２の支持部３２ｂのうちセンサ本体３２ａの外側には磁石１７が設けられている。また、支持部３２ｂのうちセンサ本体３２ａの内側には磁石１８が設けられている。このように、磁気センサ３２と回転部２０との間でラビリンス構造が形成されている部分に磁石１７及び１８を配置させることで、当該ラビリンス構造に進入しようとする流体に含まれる磁性粉を吸着させることができる。
【００７４】
また、上記実施形態において、ラビリンス部６０や回転部２０と磁気センサ３２との間のラビリンス構造を得るための寸法は、例えば０．１ｍｍ〜０．３ｍｍ程度とすることができる。このような寸法のラビリンス部６０等を実現するため、エンコーダＥＣを組み立てる際に、所期の寸法が確保されているかどうか確認することが必要となる。
【００７５】
そこで、上記実施形態の構成に加えて、例えば図１２に示すように、当該寸法が確保されているかどうか確認するため、基板３１に貫通孔３５を設けておく構成としても構わない。図１２では、回転部２０と磁気センサ３２との間で形成されるラビリンス構造を確認するための貫通孔３５を例に挙げて説明する。
【００７６】
貫通孔３５は、磁場形成部１０（磁石１１）の支持位置を露出する位置に設けられている。図１２では、例えば第一磁気回路部２３、磁石１１、第二磁気回路部２４の＋Ｚ側の端面を露出する位置に形成されている。なお、図１２では、磁気センサ３２のセンサ本体３２ａを露出する位置に設けられた構成となっているが、センサ本体３２ａについては露出していなくても構わない。
【００７７】
貫通孔３５からは、磁石１１とセンサ本体３２ａとの隙間Ｇ１と、センサ本体３２ａと第二磁気回路部２４との隙間Ｇ２の寸法を確認することができる。センサ本体３２ａが露出していない場合については、隙間Ｇ１及びＧ２の寸法を計算で求めるようにしても構わない。
【００７８】
貫通孔３５は１個に限られず、磁石１１の周方向に沿って複数設けられた構成であっても構わない。なお、基板３１には、光を透過可能な材料（樹脂、ガラスなど）を用いて形成され貫通孔３５を塞ぐ閉塞部３６が設けられた構成であっても構わない。この場合、塵埃や、油、オイルミストの侵入を防ぐことができる。
【００７９】
なお、上記実施形態においては、磁石１１として、等方性磁石や異方性磁石などを使用することができる。また、磁石１１の材料としては、例えばＮｅＦｅＢ磁石をナイロンで成型した磁石を用いることができる。また、磁石１１の材料として、ＮｅＦｅＢ系磁石の他、ＳｍＣｏ系磁石やフェライト系磁石などを用いることができる。また、回転部２０を構成する磁性体として、例えばＳＳ４００、ＳＳ４１やＳＳ４５Ｃなどの磁性体を用いることができる。
【００８０】
また、本実施形態におけるエンコーダＥＣは、磁性体で構成される凹部２７の内側（例、内周面）の側面に磁石１１を配置し、その側面に対向して磁気センサ３２が配置された突出部４１ａを設けることによって、上記した渦電流を低減させることやラビリンス効果による流体の移動を規制することができる。このように、本実施形態におけるエンコーダＥＣは、凹部２７のうち磁石１１が配置される部分と突出部４１ａのうち磁気センサ３２が配置される部分とによってラビリンスを構成している。また、本実施形態における凹部２７の開口方向と突出部４１ａの突出方向とは、回転軸ＳＦの軸方向と平行である。そして、磁石１１は該凹部２７の側面に配置され、磁気センサ３２は突出部４１ａに配置されるので、本実施形態のエンコーダＥＣは、回転軸ＳＦの軸方向のギャップ変動が生じた場合であっても、検出精度の低下を低減することができる。また、ラビリンス部６０や回転部２０と磁気センサ３２との間のラビリンス構造の形状は、上記実施形態のような断面視Ｕ字状に限られず、他の形状であっても構わない。このような他の構成としては、例えば、上記のＵ字状の形状が組み合わされた構成などが挙げられる。また、本実施形態によれば、電気自動車などに使用される高速回転用駆動装置の角度検出器や回転速度検出器として、高精度、高応答性、や高信頼性を有するエンコーダＥＣを提供できる。
【符号の説明】
【００８１】
ＥＣ…エンコーダ ＳＦ…回転軸 ＡＣ…駆動部 １０…磁場形成部 １１…磁石 １１ｐ…磁気パターン １１ａ…外周面 １１ｂ…内周面 １３…単位磁石 １４〜１８…磁石（第二磁石、第三磁石、第四磁石） ２０…回転部 ２３…第一磁気回路部 ２３ａ…内周面 ２３ｂ…内周面 ２４…第二磁気回路部 ２４ａ…外周面 ２５…第一ラビリンス形成部 ２６…第二ラビリンス形成部 ２７…凹部 ３０…磁場検出部 ３２…磁気センサ ３５…貫通孔 ３６…閉塞部 ４０…固定部 ６０〜６２…ラビリンス部 １００…駆動装置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気パターンを形成する磁石を有する磁場形成部と、
少なくとも一部が磁性体で構成される凹部を有し、前記凹部の側面に前記磁場形成部が配置され、測定対象の回転軸と一体的に回転する回転部と、
前記凹部の側面に対向して配置され、前記磁気パターンによる磁場を検出する磁場検出部と、
を備えるエンコーダ。
【請求項２】
前記凹部は、前記回転軸の軸方向に開口部を有する、
請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記磁石と前記磁場検出部とは、前記回転軸の軸方向と直交する方向に対向させて配置される、
請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
前記凹部は、前記磁性体で構成される第一磁気回路部を有する、
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項５】
前記凹部は、前記第一磁気回路部と対向して形成され、前記磁性体で構成される第二磁気回路部を有する
請求項４に記載のエンコーダ。
【請求項６】
前記磁場検出部は、前記第一磁気回路部と前記第二磁気回路部との間に配置される、
請求項５に記載のエンコーダ。
【請求項７】
前記磁石と対向するように前記回転軸の軸方向に延伸した突出部を備え、
前記磁場検出部は、前記突出部の側面に配置される、
請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項８】
前記凹部の側面と前記突出部の側面とは、互いに平行である、
請求項７に記載のエンコーダ。
【請求項９】
前記回転部に設けられ、前記回転軸から前記磁場形成部への流体の移動を規制する規制部を備える
請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１０】
前記規制部は、前記回転軸の周面を囲う第一ラビリンス形成部を有する
請求項９に記載のエンコーダ。
【請求項１１】
前記規制部は、前記流体に含まれる磁性体を吸着させる第二磁石を有する、
請求項９又は請求項１０に記載のエンコーダ。
【請求項１２】
前記磁場検出部を前記測定対象に固定する固定部を備え、
前記固定部は、前記固定部と前記回転部とでラビリンス構造を形成する第二ラビリンス形成部を有する、
請求項１から請求項１１のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１３】
前記第二ラビリンス形成部は、前記流体に含まれる磁性体を吸着させる第三磁石を有する、
請求項１２に記載のエンコーダ。
【請求項１４】
前記磁場検出部は、前記流体に含まれる磁性体を吸着させる第四磁石を有する、
請求項１から請求項１３のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１５】
前記磁石は、前記凹部の側面に配列された複数の単位磁石を有する、
請求項１から請求項１４のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１６】
前記測定対象との間で前記磁場形成部及び前記回転部を挟む位置に配置された基板を備え、
前記基板は、前記磁場形成部の支持位置を露出する貫通孔を有する、
請求項１から請求項１５のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１７】
前記基板は、光を透過可能な材料を用いて形成され前記貫通孔を塞ぐ閉塞部を有する、
請求項１６に記載のエンコーダ。
【請求項１８】
請求項１から請求項１７のうちいずれか一項に記載のエンコーダと、
前記回転軸を回転させる駆動部と、
を備える駆動装置。
【請求項１】
磁気パターンを形成する磁石を有する磁場形成部と、
少なくとも一部が磁性体で構成される凹部を有し、前記凹部の側面に前記磁場形成部が配置され、測定対象の回転軸と一体的に回転する回転部と、
前記凹部の側面に対向して配置され、前記磁気パターンによる磁場を検出する磁場検出部と、
を備えるエンコーダ。
【請求項２】
前記凹部は、前記回転軸の軸方向に開口部を有する、
請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記磁石と前記磁場検出部とは、前記回転軸の軸方向と直交する方向に対向させて配置される、
請求項１又は請求項２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
前記凹部は、前記磁性体で構成される第一磁気回路部を有する、
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項５】
前記凹部は、前記第一磁気回路部と対向して形成され、前記磁性体で構成される第二磁気回路部を有する
請求項４に記載のエンコーダ。
【請求項６】
前記磁場検出部は、前記第一磁気回路部と前記第二磁気回路部との間に配置される、
請求項５に記載のエンコーダ。
【請求項７】
前記磁石と対向するように前記回転軸の軸方向に延伸した突出部を備え、
前記磁場検出部は、前記突出部の側面に配置される、
請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項８】
前記凹部の側面と前記突出部の側面とは、互いに平行である、
請求項７に記載のエンコーダ。
【請求項９】
前記回転部に設けられ、前記回転軸から前記磁場形成部への流体の移動を規制する規制部を備える
請求項１から請求項８のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１０】
前記規制部は、前記回転軸の周面を囲う第一ラビリンス形成部を有する
請求項９に記載のエンコーダ。
【請求項１１】
前記規制部は、前記流体に含まれる磁性体を吸着させる第二磁石を有する、
請求項９又は請求項１０に記載のエンコーダ。
【請求項１２】
前記磁場検出部を前記測定対象に固定する固定部を備え、
前記固定部は、前記固定部と前記回転部とでラビリンス構造を形成する第二ラビリンス形成部を有する、
請求項１から請求項１１のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１３】
前記第二ラビリンス形成部は、前記流体に含まれる磁性体を吸着させる第三磁石を有する、
請求項１２に記載のエンコーダ。
【請求項１４】
前記磁場検出部は、前記流体に含まれる磁性体を吸着させる第四磁石を有する、
請求項１から請求項１３のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１５】
前記磁石は、前記凹部の側面に配列された複数の単位磁石を有する、
請求項１から請求項１４のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１６】
前記測定対象との間で前記磁場形成部及び前記回転部を挟む位置に配置された基板を備え、
前記基板は、前記磁場形成部の支持位置を露出する貫通孔を有する、
請求項１から請求項１５のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項１７】
前記基板は、光を透過可能な材料を用いて形成され前記貫通孔を塞ぐ閉塞部を有する、
請求項１６に記載のエンコーダ。
【請求項１８】
請求項１から請求項１７のうちいずれか一項に記載のエンコーダと、
前記回転軸を回転させる駆動部と、
を備える駆動装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１２−２３００８３（Ｐ２０１２−２３００８３Ａ）
【公開日】平成２４年１１月２２日（２０１２．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１００１３９（Ｐ２０１１−１００１３９）
【出願日】平成２３年４月２７日（２０１１．４．２７）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１１月２２日（２０１２．１１．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年４月２７日（２０１１．４．２７）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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