スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材
【課題】スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合や、スモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりも、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させる。
【解決手段】スモーク色の見栄えを有する膜７を備えた部材において、スモーク色の見栄えを有する膜７として金属を含有するものを形成し、次いで、スモーク色の見栄えを有する膜７に含まれる金属であって、その膜７の表面に位置する金属を酸化させることにより、スモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８を形成し、次いで、酸化膜８上に保護膜９を形成した。
【解決手段】スモーク色の見栄えを有する膜７を備えた部材において、スモーク色の見栄えを有する膜７として金属を含有するものを形成し、次いで、スモーク色の見栄えを有する膜７に含まれる金属であって、その膜７の表面に位置する金属を酸化させることにより、スモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８を形成し、次いで、酸化膜８上に保護膜９を形成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材に関し、特には、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、スモーク色の見栄えを有する膜を備えた車両用インナーパネルが知られている。この種の車両用インナーパネルの例としては、例えば特開平１０−２３６２２３号公報に記載されたものがある。
【０００３】
特開平１０−２３６２２３号公報の図１に記載された車両用インナーパネルでは、スモーク色の見栄えを有する膜として、スモーク色のプラズマ重合膜の保護膜が形成されている。また、特開平１０−２３６２２３号公報の図４に記載された車両用インナーパネルでは、スモーク色の見栄えを有する膜として、スモークトップコート（スモーク色のトップコート）が形成されている。
【０００４】
ところで、特開平１０−２３６２２３号公報の図１および図４に記載されたような車両用インナーパネルには、車両が使用される環境に応じて、例えば耐アルカリ性のような耐久性が必要とされる。また、スモーク色の見栄えを有する膜に金属光沢を付加する場合には、そのスモーク色の見栄えを有する膜に金属が含められる場合がある。
【０００５】
ところが、スモーク色の見栄えを有する膜に金属が含められている場合には、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属がアルカリ性水溶液にさらされると、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属が、アルカリ性水溶液によって溶解し、それに伴って、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属以外の組成物が密着力を失ってしまうおそれがある。このように、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属が溶解し、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属以外の組成物が密着力を失ってしまうと、スモーク色の見栄えを有する膜を構成していたものが剥離し、その結果、スモーク色の見栄えを有する膜が消失してしまうおそれがある。
【０００６】
特に、特開平１０−２３６２２３号公報の図１および図４に記載された車両用インナーパネルのように、スモーク色の見栄えを有する膜が最表面に配置され、スモーク色の見栄えを有する膜の表面が露出せしめられていると、スモーク色の見栄えを有する膜が消失してしまうおそれが大きくなる。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２３６２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
また、特開平１０−２３６２２３号公報の図５に記載された車両用インナーパネルでは、スモーク色の見栄えを有する膜として、スモーク色を出すためのカーボン膜が形成されている。更に、スモーク色を出すためのカーボン膜を覆うようにプラズマ重合膜の保護膜が形成されている。
【０００９】
本発明者らは、特開平１０−２３６２２３号公報の図５に記載された車両用インナーパネルのように、スモーク色の見栄えを有する膜を覆うように保護膜が形成されている部材であって、スモーク色の見栄えを有する膜にＡｌが含められている部材について、耐アルカリ性の研究を行った。
【００１０】
詳細には、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に、保護膜として数百〜数千ÅのＳｉＯｘ膜を形成し、そのスモーク色の見栄えを有する膜と保護膜とが形成された基板を用いてアルカリ試験（１ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１０分間浸漬）を行った。
【００１１】
Ａｌとの密着性が良いＳｉＯｘ膜はＡｌを保護する膜として従来から車両用灯具などで広く採用されており、また、Ａｌ上に形成された数百Å以上の膜厚のＳｉＯｘ膜によってＡｌへのアルカリ性水溶液の侵入が防止されることが従来から知られているため、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に形成された数百〜数千ÅのＳｉＯｘ膜は、十分な耐アルカリ性を有していると予想された。
【００１２】
ところが、アルカリ試験の結果、数百〜数千Åのいずれの膜厚においても、スモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認された。つまり、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上にＳｉＯｘ膜を形成しただけでは、十分な耐アルカリ性がないことが確認されたのである。
【００１３】
詳細には、ＳｉＯｘ膜の膜厚が厚いほど、スモーク色の見栄えを有する膜の消失量が減少する傾向が認められたが、ＳｉＯｘ膜の膜厚が厚過ぎると、ＳｉＯｘ膜の内部応力によってＳｉＯｘ膜が破壊し、その結果、Ａｌへのアルカリ性水溶液の侵入を防止できないことが確認された。
【００１４】
換言すれば、本発明者らのアルカリ試験の結果、ＳｉＯｘ膜のみによっては、Ａｌ以外に不純物が混在しているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できないことが確認された。Ａｌ以外に不純物が混在しているスモーク色の見栄えを有する膜とＳｉＯｘ膜との密着性は、ＡｌとＳｉＯｘ膜との密着性よりも低くなり、その結果、Ａｌ以外に不純物が混在しているスモーク色の見栄えを有する膜にはアルカリ性水溶液が侵入しやすくなっていると思われる。
【００１５】
また、Ａｌを酸化膜で覆うことによってＡｌの耐アルカリ性を向上させることができることも従来から知られている。そこで、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、そのスモーク色の見栄えを有する膜と酸化膜とが形成された基板についても、アルカリ試験（１ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１０分間浸漬）を行った。
【００１６】
アルカリ試験の結果、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成することによって、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性が向上することが確認されたものの、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成しただけでは、十分な耐アルカリ性がないことが確認された。つまり、酸化膜のみによっては、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できないことが確認された。更に、酸化膜の酸化を進めすぎると、酸化膜が白濁してしまい、その結果、スモーク色の見栄えが損なわれてしまうことも確認された。
【００１７】
このように、本発明者らの耐アルカリ性の研究により、ＳｉＯｘ膜のみによっては、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できず、また、酸化膜のみによっても、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できないことが確認された。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
そこで、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性の研究を更に進めた。詳細には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、更に、その酸化膜上に保護膜として数百〜数千ÅのＳｉＯｘ膜を形成し、そのスモーク色の見栄えを有する膜と酸化膜と保護膜とが形成された基板を用いてアルカリ試験（１ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１０分間浸漬）を行った。
【００１９】
アルカリ試験の結果、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、更に、その酸化膜上に保護膜が形成されている場合には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合、および、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりも、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性が飛躍的に向上することが確認されたのである。
【００２０】
詳細には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合、および、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合には、アルカリ試験後に、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認されたのに対し、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、更に、その酸化膜上に保護膜が形成されている場合には、アルカリ試験後に、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認されなかった。
【００２１】
このように、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、更に、その酸化膜上に保護膜が形成されている場合に、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認されなかった理由としては、保護膜を通過して侵入してきたアルカリ性水溶液に対して酸化膜が補助的に機能したためと思われる。
【００２２】
詳細には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜と保護膜との密着性よりも、酸化膜と保護膜との密着性が高くなっているため、保護膜から酸化膜にアルカリ性水溶液が侵入しづらくなっており、その結果、その酸化膜によって覆われているＡｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜が消失しなかったと思われる。
【００２３】
以上のように、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、更に、その酸化膜上に保護膜を形成することにより、すなわち、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜および保護膜を隣接させて形成することにより、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができることを見出したのである。
【００２４】
本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜および保護膜が隣接して形成されたものについてアルカリ試験を行ったが、Ａｌの代わりに、例えばＡｇのような他の任意の金属が含められているスモーク色の見栄えを有する膜についても、その膜上に酸化膜および保護膜を隣接させて形成することにより、耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができると思われる。
【００２５】
すなわち、本発明は、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができるスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材を提供することを目的とする。
【００２６】
詳細には、本発明は、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合や、スモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりも、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができるスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材を提供することを目的とする。
【００２７】
請求項１に記載の発明によれば、スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材において、前記スモーク色の見栄えを有する膜として金属を含有するものを形成し、次いで、前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、前記酸化膜上に保護膜を形成したことを特徴とする部材が提供される。
【００２８】
請求項２に記載の発明によれば、前記酸化膜と前記保護膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項１に記載の部材が提供される。
【００２９】
請求項３に記載の発明によれば、前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれるＡｌであって、その膜の表面に位置するＡｌを酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、その酸化膜上に前記保護膜を形成したことを特徴とする請求項２に記載の部材が提供される。
【００３０】
請求項４に記載の発明によれば、Ａｌの酸化物からなる酸化膜と前記保護膜としてのＳｉＯｘ膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項３に記載の部材が提供される。
【発明の効果】
【００３１】
請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜として金属を含有するものが形成され、次いで、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることによって、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。
【００３２】
すなわち、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。詳細には、酸化膜と保護膜とが、隣接せしめられてスモーク色の見栄えを有する膜上に形成されている。
【００３３】
そのため、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合や、スモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりもスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００３４】
また、仮に、スモーク色の見栄えを有する膜上に先に保護膜が形成され、次いで、その保護膜上に酸化膜が形成されると、保護膜上に金属酸化物からなる酸化膜を形成するために、保護膜上に金属を別途供給しなければならなくなる。
【００３５】
この点に鑑み、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることにより、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。
【００３６】
つまり、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属を用いることにより、その金属酸化物からなる酸化膜が、スモーク色の見栄えを有する膜上に形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。
【００３７】
そのため、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、酸化膜を形成するための金属を別途供給する必要性を排除することができる。
【００３８】
更に、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、好ましくは、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれるＡｌであって、その膜の表面に位置するＡｌを酸化させることにより、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。また、Ａｌの酸化物からなる酸化膜と保護膜としてのＳｉＯｘ膜とが、隣接せしめられてスモーク色の見栄えを有する膜上に形成されている。そのため、スモーク色の見栄えを有する膜と酸化膜との密着性より高く、かつ、スモーク色の見栄えを有する膜と保護膜との密着性より高い、Ａｌの酸化物からなる酸化膜とＳｉＯｘ膜との密着性によって、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００３９】
請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属として、Ａｌ以外にも、例えばＡｇのような任意の金属を用いることが可能である。また、酸化膜を覆うための保護膜として、ＳｉＯｘ膜以外の任意の保護膜を用いることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の第１の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材としての自動車用ヘッドランプのエクステンションの一部の断面図である。図１において、１は例えばＰＥＴ、ＰＢＴなどのような樹脂により形成されたエクステンションの基材を示しており、２は基材１の表面に鏡面出しを施すために塗布された例えばアクリル系樹脂からなるアンダーコートを示している。７は図２に示す真空蒸着装置によってアンダーコート２上に形成された金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜を示している。８は金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成された酸化膜を示しており、９は酸化膜８上に形成された例えばＳｉＯｘ膜のような保護膜を示している。
【００４１】
本明細書において、「スモーク色」には、例えば黒色が含まれる。
【００４２】
図２は図１に示した金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成するために用いられる真空蒸着装置の概略構成図である。図２において、３１は真空蒸着装置のチャンバー内に導入されるキャリアガスを示しており、３２はプラズマ３３を発生させるための電源を示している。３４は真空蒸着装置のチャンバー内に導入される反応ガスを示している。第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、反応ガス３４としてヘキサメチルジシロキ酸が用いられているが、代わりに、Ｃ、Ｓｉ、Ｏ、Ｈを含むヘキサメチルジシロキ酸以外のガスを反応ガス３４として用いることも可能である。
【００４３】
また、図２において、３５はプラズマ３３によって加熱溶解して蒸発せしめられるＡｌを収容するためにチャンバー内に配置されたるつぼを示している。図２に示す基材１の表面には、図示しない前工程において、アンダーコート２（図１参照）が塗布されている。
【００４４】
第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、図２に示す真空蒸着装置によってＡｌと反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸に由来する生成物とがアンダーコート２（図１参照）上に成膜される。詳細には、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、まず、図示しない前工程においてアンダーコート２が塗布された基材１が図２に示す真空蒸着装置のチャンバー内にセットされる。次いで、Ａｌがるつぼ３５内に充填される。
【００４５】
次いで、Ａｌがプラズマ３３によって加熱溶解せしめられ、蒸発せしめられる。これと同時に、反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸が真空蒸着装置のチャンバー内に導入され、プラズマ３３によって分解せしめられる。それにより、ヘキサメチルジシロキ酸由来のＣ、Ｓｉ、Ｏ、ＨとＡｌとの化合物または混合物であると推定される金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７（図１参照）がアンダーコート２上に形成される。
【００４６】
第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、プラズマ３３によって、Ａｌが蒸着せしめられ、かつ、反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応が促進せしめられているが、代わりに、他の任意の蒸着方法によってＡｌを蒸着させ、かつ、反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応を促進させることも可能である。詳細には、例えばスパッタによってＡｌを蒸着させることが可能である。あるいは、例えば抵抗加熱蒸着によってＡｌを蒸着させることが可能である。また、例えばＥＢ蒸着によってＡｌを蒸着させることが可能である。更に、例えば熱によって反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応を促進させることが可能である。また、例えば光によって反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応を促進させることが可能である。
【００４７】
上述したように、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、Ａｌの蒸着とヘキサメチルジシロキ酸の蒸着とが同時に行われる。そのため、Ａｌを含む膜を形成する工程と、ヘキサメチルジシロキ酸のプラズマ重合膜を形成する工程とが別個に設けられている場合よりも、工程数を低減し、製造コストを抑えつつ、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７（図１参照）を形成することができる。
【００４８】
換言すれば、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、Ａｌの蒸着とヘキサメチルジシロキ酸の蒸着とを同時に行うことにより、Ａｌ、Ｃ、Ｓｉ、ＯおよびＨのすべてを含む膜７が形成される。詳細には、Ａｌ、Ｃ、Ｓｉ、ＯおよびＨのすべてが単一の膜７に含められる。そのため、Ａｌを含む膜と、ヘキサメチルジシロキ酸に由来するＣ、Ｓｉ、ＯおよびＨ原子を含む膜とが別個の膜として形成される場合よりも、工程数を低減し、製造コストを抑えつつ、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成することができる。
【００４９】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７（図１参照）に要求されるスモーク色の濃淡に応じて、真空蒸着装置のチャンバー内に導入されるヘキサメチルジシロキ酸の反応ガス３４の流量が変化せしめられる。例えば反応ガス３４の流量を増加させることによりスモーク色が濃くされ、反応ガス３４の流量を減少させることによりスモーク色が淡くされる。そのため、例えば黒色顔料を含む膜の厚さを変更することによりスモーク色の濃淡を変更する場合よりも容易にスモーク色の濃淡を変更することができる。つまり、コストの上昇を招くことなく自動車用ヘッドランプのデザイン性の幅を広げることができる。
【００５０】
また、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７が形成されると、次いで、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれるＡｌであって、その膜７の表面（図１の上側の面）に位置するＡｌを酸化させることによって、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８が形成される。詳細には、アルカリ性水溶液に不溶なＡｌ２Ｏ３が形成される。第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、例えば酸素プラズマ暴露によって酸化膜８が形成されるが、代わりに、例えば熱酸化のような他の任意の方法によって酸化膜８を形成することも可能である。
【００５１】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、次いで、酸化膜８上に例えばＳｉＯｘ膜のような保護膜９が形成される。第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、例えばＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシロキ酸）のプラズマ重合によって保護膜９としてのＳｉＯｘ膜が形成されるが、代わりに、例えばスパッタなどの真空蒸着のような他の任意の方法によって保護膜９を形成することも可能である。
【００５２】
すなわち、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、図１に示すように、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８が形成され、次いで、その酸化膜８上に保護膜９が形成されている。詳細には、酸化膜８と保護膜９とが、隣接せしめられて金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成されている。
【００５３】
そのため、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８のみが形成されている場合や、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に保護膜９のみが形成されている場合よりも、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００５４】
つまり、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８のみが形成されている場合や、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に保護膜９のみが形成されている場合よりも、酸化膜８と保護膜９との２重構造によって、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７の経時的な外観の変化を抑制することができる。
【００５５】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、上述したように、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれるＡｌであって、その膜７の表面（図１の上側の面）に位置するＡｌを酸化させることにより、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８が形成され、次いで、その酸化膜８上に保護膜９が形成されている。
【００５６】
つまり、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれるＡｌを用いることにより、そのＡｌの酸化物からなる酸化膜８が、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成され、次いで、その酸化膜８上に保護膜９が形成されている。
【００５７】
そのため、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成するための工程とは別個に、酸化膜８を形成するためにＡｌを供給する工程を設ける必要性を排除することができる。
【００５８】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、図１に示すように、Ａｌの酸化物からなる酸化膜８と保護膜９としてのＳｉＯｘ膜とが、隣接せしめられて金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成されている。そのため、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７と酸化膜８との密着性より高く、かつ、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７と保護膜９との密着性より高い、Ａｌの酸化物からなる酸化膜８とＳｉＯｘ膜（保護膜９）との密着性によって、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００５９】
第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれる金属としてＡｌが用いられているが、第２の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、代わりに、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれる金属として、例えばＡｇのようなＡｌ以外の任意の金属を用いることが可能である。
【００６０】
また、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、酸化膜８を覆うための保護膜９としてＳｉＯｘ膜が用いられているが、第３の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、代わりに、酸化膜８を覆うための保護膜９としてＳｉＯｘ膜以外の任意の保護膜を用いることが可能である。
【００６１】
第１から第３の実施形態では、本発明のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材が自動車用ヘッドランプのエクステンションに適用されているが、第４の実施形態では、金属光沢のあるスモーク色の見栄えが要求される他の任意の部材に対して本発明を適用することができる。
【００６２】
第５の実施形態では、上述した第１から第４の実施形態を適宜組合わせることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、例えば自動車用ヘッドランプエクステンション、自動車用リアコンビエクステンション、自動二輪車用ヘッドランプエクステンション、例えば操作パネル、スイッチなどのような家電製品の部品、携帯電話のボディー、例えば操作パネル、スイッチなどのようなオーディオ製品の部品、例えばパーソナルコンピュータ、電子手帳などのようなモバイル製品のボディー等に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材としての自動車用ヘッドランプのエクステンションの一部の断面図である。
【図２】図１に示した金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成するために用いられる真空蒸着装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６５】
１ 基材
２ アンダーコート
７ 膜
８ 酸化膜
９ 保護膜
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材に関し、特には、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、スモーク色の見栄えを有する膜を備えた車両用インナーパネルが知られている。この種の車両用インナーパネルの例としては、例えば特開平１０−２３６２２３号公報に記載されたものがある。
【０００３】
特開平１０−２３６２２３号公報の図１に記載された車両用インナーパネルでは、スモーク色の見栄えを有する膜として、スモーク色のプラズマ重合膜の保護膜が形成されている。また、特開平１０−２３６２２３号公報の図４に記載された車両用インナーパネルでは、スモーク色の見栄えを有する膜として、スモークトップコート（スモーク色のトップコート）が形成されている。
【０００４】
ところで、特開平１０−２３６２２３号公報の図１および図４に記載されたような車両用インナーパネルには、車両が使用される環境に応じて、例えば耐アルカリ性のような耐久性が必要とされる。また、スモーク色の見栄えを有する膜に金属光沢を付加する場合には、そのスモーク色の見栄えを有する膜に金属が含められる場合がある。
【０００５】
ところが、スモーク色の見栄えを有する膜に金属が含められている場合には、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属がアルカリ性水溶液にさらされると、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属が、アルカリ性水溶液によって溶解し、それに伴って、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属以外の組成物が密着力を失ってしまうおそれがある。このように、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属が溶解し、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属以外の組成物が密着力を失ってしまうと、スモーク色の見栄えを有する膜を構成していたものが剥離し、その結果、スモーク色の見栄えを有する膜が消失してしまうおそれがある。
【０００６】
特に、特開平１０−２３６２２３号公報の図１および図４に記載された車両用インナーパネルのように、スモーク色の見栄えを有する膜が最表面に配置され、スモーク色の見栄えを有する膜の表面が露出せしめられていると、スモーク色の見栄えを有する膜が消失してしまうおそれが大きくなる。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−２３６２２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
また、特開平１０−２３６２２３号公報の図５に記載された車両用インナーパネルでは、スモーク色の見栄えを有する膜として、スモーク色を出すためのカーボン膜が形成されている。更に、スモーク色を出すためのカーボン膜を覆うようにプラズマ重合膜の保護膜が形成されている。
【０００９】
本発明者らは、特開平１０−２３６２２３号公報の図５に記載された車両用インナーパネルのように、スモーク色の見栄えを有する膜を覆うように保護膜が形成されている部材であって、スモーク色の見栄えを有する膜にＡｌが含められている部材について、耐アルカリ性の研究を行った。
【００１０】
詳細には、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に、保護膜として数百〜数千ÅのＳｉＯｘ膜を形成し、そのスモーク色の見栄えを有する膜と保護膜とが形成された基板を用いてアルカリ試験（１ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１０分間浸漬）を行った。
【００１１】
Ａｌとの密着性が良いＳｉＯｘ膜はＡｌを保護する膜として従来から車両用灯具などで広く採用されており、また、Ａｌ上に形成された数百Å以上の膜厚のＳｉＯｘ膜によってＡｌへのアルカリ性水溶液の侵入が防止されることが従来から知られているため、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に形成された数百〜数千ÅのＳｉＯｘ膜は、十分な耐アルカリ性を有していると予想された。
【００１２】
ところが、アルカリ試験の結果、数百〜数千Åのいずれの膜厚においても、スモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認された。つまり、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上にＳｉＯｘ膜を形成しただけでは、十分な耐アルカリ性がないことが確認されたのである。
【００１３】
詳細には、ＳｉＯｘ膜の膜厚が厚いほど、スモーク色の見栄えを有する膜の消失量が減少する傾向が認められたが、ＳｉＯｘ膜の膜厚が厚過ぎると、ＳｉＯｘ膜の内部応力によってＳｉＯｘ膜が破壊し、その結果、Ａｌへのアルカリ性水溶液の侵入を防止できないことが確認された。
【００１４】
換言すれば、本発明者らのアルカリ試験の結果、ＳｉＯｘ膜のみによっては、Ａｌ以外に不純物が混在しているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できないことが確認された。Ａｌ以外に不純物が混在しているスモーク色の見栄えを有する膜とＳｉＯｘ膜との密着性は、ＡｌとＳｉＯｘ膜との密着性よりも低くなり、その結果、Ａｌ以外に不純物が混在しているスモーク色の見栄えを有する膜にはアルカリ性水溶液が侵入しやすくなっていると思われる。
【００１５】
また、Ａｌを酸化膜で覆うことによってＡｌの耐アルカリ性を向上させることができることも従来から知られている。そこで、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、そのスモーク色の見栄えを有する膜と酸化膜とが形成された基板についても、アルカリ試験（１ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１０分間浸漬）を行った。
【００１６】
アルカリ試験の結果、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成することによって、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性が向上することが確認されたものの、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成しただけでは、十分な耐アルカリ性がないことが確認された。つまり、酸化膜のみによっては、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できないことが確認された。更に、酸化膜の酸化を進めすぎると、酸化膜が白濁してしまい、その結果、スモーク色の見栄えが損なわれてしまうことも確認された。
【００１７】
このように、本発明者らの耐アルカリ性の研究により、ＳｉＯｘ膜のみによっては、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できず、また、酸化膜のみによっても、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜をアルカリ性水溶液から十分に保護できないことが確認された。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
そこで、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性の研究を更に進めた。詳細には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、更に、その酸化膜上に保護膜として数百〜数千ÅのＳｉＯｘ膜を形成し、そのスモーク色の見栄えを有する膜と酸化膜と保護膜とが形成された基板を用いてアルカリ試験（１ｗｔ％ＫＯＨ水溶液に１０分間浸漬）を行った。
【００１９】
アルカリ試験の結果、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、更に、その酸化膜上に保護膜が形成されている場合には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合、および、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりも、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性が飛躍的に向上することが確認されたのである。
【００２０】
詳細には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合、および、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合には、アルカリ試験後に、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認されたのに対し、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、更に、その酸化膜上に保護膜が形成されている場合には、アルカリ試験後に、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認されなかった。
【００２１】
このように、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、更に、その酸化膜上に保護膜が形成されている場合に、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の消失が確認されなかった理由としては、保護膜を通過して侵入してきたアルカリ性水溶液に対して酸化膜が補助的に機能したためと思われる。
【００２２】
詳細には、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜と保護膜との密着性よりも、酸化膜と保護膜との密着性が高くなっているため、保護膜から酸化膜にアルカリ性水溶液が侵入しづらくなっており、その結果、その酸化膜によって覆われているＡｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜が消失しなかったと思われる。
【００２３】
以上のように、本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、更に、その酸化膜上に保護膜を形成することにより、すなわち、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜および保護膜を隣接させて形成することにより、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができることを見出したのである。
【００２４】
本発明者らは、Ａｌが含められているスモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜および保護膜が隣接して形成されたものについてアルカリ試験を行ったが、Ａｌの代わりに、例えばＡｇのような他の任意の金属が含められているスモーク色の見栄えを有する膜についても、その膜上に酸化膜および保護膜を隣接させて形成することにより、耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができると思われる。
【００２５】
すなわち、本発明は、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができるスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材を提供することを目的とする。
【００２６】
詳細には、本発明は、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合や、スモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりも、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができるスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材を提供することを目的とする。
【００２７】
請求項１に記載の発明によれば、スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材において、前記スモーク色の見栄えを有する膜として金属を含有するものを形成し、次いで、前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、前記酸化膜上に保護膜を形成したことを特徴とする部材が提供される。
【００２８】
請求項２に記載の発明によれば、前記酸化膜と前記保護膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項１に記載の部材が提供される。
【００２９】
請求項３に記載の発明によれば、前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれるＡｌであって、その膜の表面に位置するＡｌを酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、その酸化膜上に前記保護膜を形成したことを特徴とする請求項２に記載の部材が提供される。
【００３０】
請求項４に記載の発明によれば、Ａｌの酸化物からなる酸化膜と前記保護膜としてのＳｉＯｘ膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項３に記載の部材が提供される。
【発明の効果】
【００３１】
請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜として金属を含有するものが形成され、次いで、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることによって、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。
【００３２】
すなわち、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。詳細には、酸化膜と保護膜とが、隣接せしめられてスモーク色の見栄えを有する膜上に形成されている。
【００３３】
そのため、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜のみが形成されている場合や、スモーク色の見栄えを有する膜上に保護膜のみが形成されている場合よりもスモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００３４】
また、仮に、スモーク色の見栄えを有する膜上に先に保護膜が形成され、次いで、その保護膜上に酸化膜が形成されると、保護膜上に金属酸化物からなる酸化膜を形成するために、保護膜上に金属を別途供給しなければならなくなる。
【００３５】
この点に鑑み、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることにより、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。
【００３６】
つまり、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属を用いることにより、その金属酸化物からなる酸化膜が、スモーク色の見栄えを有する膜上に形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。
【００３７】
そのため、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、酸化膜を形成するための金属を別途供給する必要性を排除することができる。
【００３８】
更に、請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、好ましくは、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれるＡｌであって、その膜の表面に位置するＡｌを酸化させることにより、スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜が形成され、次いで、その酸化膜上に保護膜が形成されている。また、Ａｌの酸化物からなる酸化膜と保護膜としてのＳｉＯｘ膜とが、隣接せしめられてスモーク色の見栄えを有する膜上に形成されている。そのため、スモーク色の見栄えを有する膜と酸化膜との密着性より高く、かつ、スモーク色の見栄えを有する膜と保護膜との密着性より高い、Ａｌの酸化物からなる酸化膜とＳｉＯｘ膜との密着性によって、スモーク色の見栄えを有する膜の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００３９】
請求項１〜４に記載のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属として、Ａｌ以外にも、例えばＡｇのような任意の金属を用いることが可能である。また、酸化膜を覆うための保護膜として、ＳｉＯｘ膜以外の任意の保護膜を用いることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下、本発明のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の第１の実施形態について説明する。図１は第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材としての自動車用ヘッドランプのエクステンションの一部の断面図である。図１において、１は例えばＰＥＴ、ＰＢＴなどのような樹脂により形成されたエクステンションの基材を示しており、２は基材１の表面に鏡面出しを施すために塗布された例えばアクリル系樹脂からなるアンダーコートを示している。７は図２に示す真空蒸着装置によってアンダーコート２上に形成された金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜を示している。８は金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成された酸化膜を示しており、９は酸化膜８上に形成された例えばＳｉＯｘ膜のような保護膜を示している。
【００４１】
本明細書において、「スモーク色」には、例えば黒色が含まれる。
【００４２】
図２は図１に示した金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成するために用いられる真空蒸着装置の概略構成図である。図２において、３１は真空蒸着装置のチャンバー内に導入されるキャリアガスを示しており、３２はプラズマ３３を発生させるための電源を示している。３４は真空蒸着装置のチャンバー内に導入される反応ガスを示している。第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、反応ガス３４としてヘキサメチルジシロキ酸が用いられているが、代わりに、Ｃ、Ｓｉ、Ｏ、Ｈを含むヘキサメチルジシロキ酸以外のガスを反応ガス３４として用いることも可能である。
【００４３】
また、図２において、３５はプラズマ３３によって加熱溶解して蒸発せしめられるＡｌを収容するためにチャンバー内に配置されたるつぼを示している。図２に示す基材１の表面には、図示しない前工程において、アンダーコート２（図１参照）が塗布されている。
【００４４】
第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、図２に示す真空蒸着装置によってＡｌと反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸に由来する生成物とがアンダーコート２（図１参照）上に成膜される。詳細には、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、まず、図示しない前工程においてアンダーコート２が塗布された基材１が図２に示す真空蒸着装置のチャンバー内にセットされる。次いで、Ａｌがるつぼ３５内に充填される。
【００４５】
次いで、Ａｌがプラズマ３３によって加熱溶解せしめられ、蒸発せしめられる。これと同時に、反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸が真空蒸着装置のチャンバー内に導入され、プラズマ３３によって分解せしめられる。それにより、ヘキサメチルジシロキ酸由来のＣ、Ｓｉ、Ｏ、ＨとＡｌとの化合物または混合物であると推定される金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７（図１参照）がアンダーコート２上に形成される。
【００４６】
第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、プラズマ３３によって、Ａｌが蒸着せしめられ、かつ、反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応が促進せしめられているが、代わりに、他の任意の蒸着方法によってＡｌを蒸着させ、かつ、反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応を促進させることも可能である。詳細には、例えばスパッタによってＡｌを蒸着させることが可能である。あるいは、例えば抵抗加熱蒸着によってＡｌを蒸着させることが可能である。また、例えばＥＢ蒸着によってＡｌを蒸着させることが可能である。更に、例えば熱によって反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応を促進させることが可能である。また、例えば光によって反応ガス３４としてのヘキサメチルジシロキ酸の化学反応を促進させることが可能である。
【００４７】
上述したように、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、Ａｌの蒸着とヘキサメチルジシロキ酸の蒸着とが同時に行われる。そのため、Ａｌを含む膜を形成する工程と、ヘキサメチルジシロキ酸のプラズマ重合膜を形成する工程とが別個に設けられている場合よりも、工程数を低減し、製造コストを抑えつつ、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７（図１参照）を形成することができる。
【００４８】
換言すれば、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、Ａｌの蒸着とヘキサメチルジシロキ酸の蒸着とを同時に行うことにより、Ａｌ、Ｃ、Ｓｉ、ＯおよびＨのすべてを含む膜７が形成される。詳細には、Ａｌ、Ｃ、Ｓｉ、ＯおよびＨのすべてが単一の膜７に含められる。そのため、Ａｌを含む膜と、ヘキサメチルジシロキ酸に由来するＣ、Ｓｉ、ＯおよびＨ原子を含む膜とが別個の膜として形成される場合よりも、工程数を低減し、製造コストを抑えつつ、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成することができる。
【００４９】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７（図１参照）に要求されるスモーク色の濃淡に応じて、真空蒸着装置のチャンバー内に導入されるヘキサメチルジシロキ酸の反応ガス３４の流量が変化せしめられる。例えば反応ガス３４の流量を増加させることによりスモーク色が濃くされ、反応ガス３４の流量を減少させることによりスモーク色が淡くされる。そのため、例えば黒色顔料を含む膜の厚さを変更することによりスモーク色の濃淡を変更する場合よりも容易にスモーク色の濃淡を変更することができる。つまり、コストの上昇を招くことなく自動車用ヘッドランプのデザイン性の幅を広げることができる。
【００５０】
また、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７が形成されると、次いで、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれるＡｌであって、その膜７の表面（図１の上側の面）に位置するＡｌを酸化させることによって、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８が形成される。詳細には、アルカリ性水溶液に不溶なＡｌ２Ｏ３が形成される。第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、例えば酸素プラズマ暴露によって酸化膜８が形成されるが、代わりに、例えば熱酸化のような他の任意の方法によって酸化膜８を形成することも可能である。
【００５１】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、次いで、酸化膜８上に例えばＳｉＯｘ膜のような保護膜９が形成される。第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材の製造時には、例えばＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシロキ酸）のプラズマ重合によって保護膜９としてのＳｉＯｘ膜が形成されるが、代わりに、例えばスパッタなどの真空蒸着のような他の任意の方法によって保護膜９を形成することも可能である。
【００５２】
すなわち、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、図１に示すように、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８が形成され、次いで、その酸化膜８上に保護膜９が形成されている。詳細には、酸化膜８と保護膜９とが、隣接せしめられて金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成されている。
【００５３】
そのため、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８のみが形成されている場合や、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に保護膜９のみが形成されている場合よりも、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００５４】
つまり、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８のみが形成されている場合や、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に保護膜９のみが形成されている場合よりも、酸化膜８と保護膜９との２重構造によって、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７の経時的な外観の変化を抑制することができる。
【００５５】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、上述したように、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれるＡｌであって、その膜７の表面（図１の上側の面）に位置するＡｌを酸化させることにより、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に酸化膜８が形成され、次いで、その酸化膜８上に保護膜９が形成されている。
【００５６】
つまり、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれるＡｌを用いることにより、そのＡｌの酸化物からなる酸化膜８が、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成され、次いで、その酸化膜８上に保護膜９が形成されている。
【００５７】
そのため、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材によれば、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成するための工程とは別個に、酸化膜８を形成するためにＡｌを供給する工程を設ける必要性を排除することができる。
【００５８】
更に、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、図１に示すように、Ａｌの酸化物からなる酸化膜８と保護膜９としてのＳｉＯｘ膜とが、隣接せしめられて金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７上に形成されている。そのため、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７と酸化膜８との密着性より高く、かつ、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７と保護膜９との密着性より高い、Ａｌの酸化物からなる酸化膜８とＳｉＯｘ膜（保護膜９）との密着性によって、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７の耐アルカリ性を飛躍的に向上させることができる。
【００５９】
第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれる金属としてＡｌが用いられているが、第２の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、代わりに、金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７に含まれる金属として、例えばＡｇのようなＡｌ以外の任意の金属を用いることが可能である。
【００６０】
また、第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、酸化膜８を覆うための保護膜９としてＳｉＯｘ膜が用いられているが、第３の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材では、代わりに、酸化膜８を覆うための保護膜９としてＳｉＯｘ膜以外の任意の保護膜を用いることが可能である。
【００６１】
第１から第３の実施形態では、本発明のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材が自動車用ヘッドランプのエクステンションに適用されているが、第４の実施形態では、金属光沢のあるスモーク色の見栄えが要求される他の任意の部材に対して本発明を適用することができる。
【００６２】
第５の実施形態では、上述した第１から第４の実施形態を適宜組合わせることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、例えば自動車用ヘッドランプエクステンション、自動車用リアコンビエクステンション、自動二輪車用ヘッドランプエクステンション、例えば操作パネル、スイッチなどのような家電製品の部品、携帯電話のボディー、例えば操作パネル、スイッチなどのようなオーディオ製品の部品、例えばパーソナルコンピュータ、電子手帳などのようなモバイル製品のボディー等に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】第１の実施形態のスモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材としての自動車用ヘッドランプのエクステンションの一部の断面図である。
【図２】図１に示した金属光沢のあるスモーク色の見栄えを有する膜７を形成するために用いられる真空蒸着装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６５】
１ 基材
２ アンダーコート
７ 膜
８ 酸化膜
９ 保護膜
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材において、前記スモーク色の見栄えを有する膜として金属を含有するものを形成し、次いで、前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、前記酸化膜上に保護膜を形成したことを特徴とする部材。
【請求項２】
前記酸化膜と前記保護膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項１に記載の部材。
【請求項３】
前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれるＡｌであって、その膜の表面に位置するＡｌを酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、その酸化膜上に前記保護膜を形成したことを特徴とする請求項２に記載の部材。
【請求項４】
Ａｌの酸化物からなる酸化膜と前記保護膜としてのＳｉＯｘ膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項３に記載の部材。
【請求項１】
スモーク色の見栄えを有する膜を備えた部材において、前記スモーク色の見栄えを有する膜として金属を含有するものを形成し、次いで、前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれる金属であって、その膜の表面に位置する金属を酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、前記酸化膜上に保護膜を形成したことを特徴とする部材。
【請求項２】
前記酸化膜と前記保護膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項１に記載の部材。
【請求項３】
前記スモーク色の見栄えを有する膜に含まれるＡｌであって、その膜の表面に位置するＡｌを酸化させることにより、前記スモーク色の見栄えを有する膜上に酸化膜を形成し、次いで、その酸化膜上に前記保護膜を形成したことを特徴とする請求項２に記載の部材。
【請求項４】
Ａｌの酸化物からなる酸化膜と前記保護膜としてのＳｉＯｘ膜とを隣接させて前記スモーク色の見栄えを有する膜上に形成したことを特徴とする請求項３に記載の部材。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２００７−１６５１００（Ｐ２００７−１６５１００Ａ）
【公開日】平成１９年６月２８日（２００７．６．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−３５９３４７（Ｐ２００５−３５９３４７）
【出願日】平成１７年１２月１３日（２００５．１２．１３）
【出願人】（０００００２３０３）スタンレー電気株式会社 (2,684)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年６月２８日（２００７．６．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１２月１３日（２００５．１２．１３）
【出願人】（０００００２３０３）スタンレー電気株式会社 (2,684)
【Ｆターム（参考）】
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