半導体装置およびその製造方法
【課題】接続不良と信頼性低下の解決が図られた半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、キャリア基板3と、キャリア基板3の上面上に載置された第1の半導体チップ2と、キャリア基板3の裏面上に形成された第1の金属ボール5とを有する第1の半導体パッケージ1と、上面上に第1の金属ボール5と接続する電極ランド6が形成された基板7と、第1の半導体パッケージ1と基板7の間に配置され、第1の金属ボールに合5わせた位置に設けられ、第1の金属ボール5を収納する穴が形成されたプレート9とを備えている。プレート9は熱伝導性の良好な材料で構成される。
【解決手段】半導体装置は、キャリア基板3と、キャリア基板3の上面上に載置された第1の半導体チップ2と、キャリア基板3の裏面上に形成された第1の金属ボール5とを有する第1の半導体パッケージ1と、上面上に第1の金属ボール5と接続する電極ランド6が形成された基板7と、第1の半導体パッケージ1と基板7の間に配置され、第1の金属ボールに合5わせた位置に設けられ、第1の金属ボール5を収納する穴が形成されたプレート9とを備えている。プレート9は熱伝導性の良好な材料で構成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体チップを含む半導体パッケージがマザー基板または他の半導体パッケージと電気的に接続されてなる半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
携帯情報機器等の小型化、軽量化が進むにつれて、それに搭載される半導体パッケージの高密度化、小型化、薄型化が要求され、BGA(Ball Grid Array)形態の半導体デバイスが主流になってきている。このBGA半導体パッケージは、半導体パッケージとマザー基板との間に金属ボールを配置し、これをリフロー炉装置などにより加熱、溶融することでマザー基板と半導体パッケージとを接続させたものである。
【0003】
ところで、金属ボールを溶融して、このBGA半導体装置とマザー基板とを接続させる際、従来の半導体パッケージの実装構造では、電極のピッチが微細化するにつれ、隣り合う半田バンプどうしが接触し、ショートする事がある。また、半導体パッケージをマザー基板に搭載する際に、半導体パッケージが傾く場合がある。そこで、特許文献1では、半導体パッケージと電子回路基板との間に金属ボールを個々に区切ることができる網状スペーサを設けることが提案されている。
【0004】
図10は、従来の半導体装置を模式的に示す断面図である。同図の上側に示すように、従来の半導体装置では、マザー基板107と、半導体パッケージ108とが金属ボール105により接続される場合に、マザー基板107と半導体パッケージ108との間に、金属ボール105に対応する位置に開口が形成された網状のスペーサ128を挟む。このようにして、金属ボール105間のショート、及び金属ボール105の変形を防止するとともに、半導体パッケージの傾き、設置される高さの不揃いを無くした信頼性の高い半導体パッケージの実装構造が提案されている。
【特許文献1】特開平6−232203号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、半導体パッケージ108の樹脂部、半導体チップおよび半導体パッケージ108のキャリア基板などの線膨張係数の違いにより、従来の半導体装置では図10の下側に示すように、リフロー加熱の際に半導体パッケージ108が反って一部でマザー基板107と半導体パッケージ108との接続不良が発生する場合があった。さらに、マザー基板107の表裏の配線パターンの違い等によってマザー基板107が反る場合もある。
【0006】
また、図11に示すように、金属ボール123、パッケージ基板122、半導体チップ119および電極ランド120を有する半導体パッケージと、封止樹脂125、キャリア基板115、及び金属ボール117を有する半導体パッケージとを接続して積層型半導体装置を構成する場合にも同様の接続不良が発生する。
【0007】
また、半導体パッケージをマザー基板に実装する際に、半導体装置全体がリフロー加熱されるため、半導体チップや半導体パッケージの温度が金属ボールの融点近くまで上がり、半導体チップの電気特性や半導体パッケージ強度が劣化し、信頼性が低下する場合があった。
【0008】
本発明は上記半導体装置における接続不良と信頼性低下の解決が図られた半導体装置の実装体、または積層型の半導体装置、及びこれらの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置は、キャリア基板と、前記キャリア基板の上面上に載置された第1の半導体チップと、前記キャリア基板の裏面上に形成された第1の金属ボールとを有する第1の半導体パッケージと、上面上に前記第1の金属ボールと接続する電極ランドが形成された基板と、前記半導体パッケージと前記基板の間に配置され、前記第1の金属ボールに合わせた位置に設けられ、前記第1の金属ボールを収納する穴が形成されたプレートとを備えている。
【0010】
この構成によれば、半導体パッケージと基板との間にプレートが挟まれているので、第1の金属ボール同士が短絡するのが防がれている。また、第1の電極ボールを溶融して第1の半導体パッケージと基板とを接続する際にはプレートを介して加熱することで、従来の半導体装置よりも低い温度でリフローを行うことができる。そのため、第1の半導体チップ等に熱によるダメージが入りにくくなっている。また、第1の半導体パッケージと基板とを接続させる際にあらかじめプレートを第1の半導体パッケージまたは基板に貼り付けておけば、第1の半導体パッケージまたは基板の剛性が上がるので、半導体装置の反りを抑え、接続不良の発生を抑えることができる。
【0011】
また、本発明の半導体装置の第1の製造方法は、裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、前記第1の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第1の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、前記穴内に前記第1の電極ランドと接続する第1の金属ボールを形成する工程(c)と、加熱して前記第2の電極パッドと前記第1の金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている。
【0012】
この方法によれば、工程(d)で半導体パッケージと基板とを接続する前に半導体パッケージにプレートを貼り付けておくことで、半導体パッケージの反りを抑え、接続不良の発生が抑えられた半導体装置を製造することができる。
【0013】
また、工程(d)ではプレートを介して第1の金属ボールに熱を加えることができるので、従来に比べてリフロー時の温度を低くすることができる。
【0014】
また、本発明の半導体装置の第2の製造方法は、裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、前記第2の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第2の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、前記穴内に前記第2の電極ランドと接続する金属ボールを形成する工程(c)と、加熱して前記第2の電極パッドと前記金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている。
【0015】
この方法によれば、工程(d)の前に基板にプレートを貼り付けておくことによって基板の剛性を高めることができるので、基板の反りを抑え、接続不良の発生を抑えることができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明の半導体装置及びその製造方法によれば、半導体パッケージとマザー基板、または第2の半導体パッケージとの間に穴が形成されたプレートを配置するので、金属ボール間の短絡が防がれ、基板の反りが抑えられ、接続不良の発生が抑えられる。また、金属ボールの溶融時にプレートを介して金属ボールに熱を加えることができるので、リフロー時の温度を従来よりも下げることができ、半導体チップが熱による損傷を受けにくくなっている。また、半導体パッケージ、またはマザー基板あるいは第2の半導体パッケージにプレートを貼り付けた状態で半導体パッケージとマザー基板または第2の半導体パッケージと接続させることにより、半導体パッケージ、マザー基板、または第2の半導体パッケージの剛性を高めることができ、反りを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0018】
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置(半導体実装体)を構成する半導体パッケージ及びマザー基板を示す図であり、図2は、本実施形態の半導体実装体を示す断面図である。また、図3は、本実施形態の半導体実装体に用いられるプレートを示す斜視図である。図4は、本実施形態のプレートの構造を示す断面図である。本実施形態の半導体実装体は、半導体パッケージ1とマザー基板7とが、金属ボール5を介して接合された半導体実装体である。
【0019】
図1、図2に示すように、本実施形態の半導体実装体において、半導体パッケージ1はBGA型であり、キャリア基板3と、キャリア基板3の上面上に載置された半導体チップ2と、キャリア基板3の裏面上に形成された複数の電極ランド4と、各電極ランド4上に設けられた、マザー基板7との実装用の金属ボール5と、キャリア基板3の上面上に形成され、半導体チップ2を封止する封止樹脂8とを有している。封止樹脂8はエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂などで構成され、モールド成型により形成される。
【0020】
マザー基板7の上面上の電極ランド4に対応する位置には電極6が設けられている。キャリア基板3やマザー基板7としては、ガラス布積層エポキシ基板(ガラエポ基板) やガラス布積層ポリイミド基板、アラミド不織布基板などが用いられる。半導体パッケージ1に内蔵されている半導体チップ2としては、アナログIC、ロジックIC、メモリIC等が用いられるが、特に限定されるものではない。金属ボール5の材料としては、Sn−Ag−CuやSn−Ag、Sn−Pb、Sn−Bi等が用いられる。
【0021】
また、半導体パッケージ1とマザー基板7との間には、一枚以上のプレート9が配置され、半導体パッケージ1及びマザー基板7と隙間無く接触している。プレート9には半導体パッケージ1の電極ランド4の位置に合わせて平面形状が円形の穴10が形成されており、半導体実装体においては穴10内に金属ボール5、電極ランド4、及び電極6が収まっている。
【0022】
本実施形態の半導体実装体の特徴は、プレート9がCu、Al、あるいはFeなどの熱伝導率が101325Pa下で200W・m−1・K−1以上の材料で構成されることにある。従って、プレート9内部の熱伝導率は、半導体チップ2やマザー基板7、キャリア基板3よりも大きい。さらに、プレート9の熱伝導率は、従来の半導体実装体で用いられた網状スペーサよりも大きい。なお、プレート9がCuあるいはFeなどの空気中で酸化されるもので構成される場合にはその表面はNiめっき処理される。穴10内に金属ボール5を含む接続部分を収めるために、プレート9の厚みは金属ボール5の直径以下であることが望ましい。
【0023】
プレート9の穴10を形成するための加工方法は三つある。1つ目は、鋳型により穴10を含めたプレート9全体を一体的に成型する方法である。2つ目は、金型を用いてプレス加工を行う方法である。3つ目は、化学薬品によるエッチングを用いる方法である。これらいずれかの方法を適宜用いることで本実施形態のプレート9を形成することができる。
【0024】
また、図4に示すように、プレート9のうち、少なくとも電極ランド4、金属ボール5、及び電極6と接する部分の表面には絶縁膜11が形成されており、半導体パッケージ1及びマザー基板7の電極同士がプレート9を通して短絡するのが防がれている。
【0025】
本実施形態の半導体実装体において、後述のようにリフロー等により半導体パッケージ1の電極ランド4とマザー基板7の電極6とを接続する際に、プレート9が介在することにより、隣り合う金属ボール5が潰れて金属ボール5同士が短絡するのを防ぐことができる。また、リフローの際にプレート9をあらかじめ半導体パッケージ1またはマザー基板7に貼り付けておくことで、半導体パッケージ1またはマザー基板7の剛性を高くすることができ、半導体パッケージ1またはマザー基板7の反りを低減することができる。そのため、半導体実装体での接続不良の発生を抑え、信頼性を向上させることができる。また、プレート9は熱伝導性の高い材料で構成されているため、リフローの際に加えられた熱が金属ボール5に速やかに伝達され、過剰な熱を加える必要がなくなるので、熱によるキャリア基板3やマザー基板7の反りを低減することができる。また、半導体パッケージ1とマザー基板7とを従来よりも低い温度で接続させることが可能であるので、半導体チップが熱により損傷を受けるのを防ぐことができ、半導体パッケージ1の信頼性を大きく向上させることができる。
【0026】
次に、本実施形態の半導体実装体の製造方法について説明する。図8(a)〜(g)は、本実施形態の半導体実装体の製造方法を示す断面図である。
【0027】
まず、図8(a)、(b)に示すように、所定の位置に穴10が形成され、絶縁膜11が表面に形成されたプレート9の一方の面上に導熱性ペースト27を塗布し、プレート9を半導体パッケージ1の裏面に接触させてから熱を加えて導熱性ペースト27を硬化させる。導熱性ペースト27の材料はたとえばAgペーストであってもよい。また、プレート9は半導体パッケージ1ではなくマザー基板7に接続させてもよい。なお、穴10の直径は半導体パッケージ1の電極ランド4の直径以上、金属ボール5の直径以下であることが望ましい。
【0028】
次いで、図8(c)、(d)に示すように、半導体パッケージ1の電極ランド4にフラックスを塗布してから、金属ボール5を電極ランド4上に搭載する。フラックスの塗布方式はピン転写方式であることが好ましい。本工程において、金属ボール5を一括して電極ランド4上に搭載してもよいし、例えば、プレート9の穴10に金属ボール5を一個一個入れてもよい。
【0029】
次に、図8(e)に示すように、金属ボール5が搭載された半導体パッケージ1をリフロー装置などにより加熱し、金属ボール5を溶かし、半導体パッケージ1の電極ランド4と金属ボール5とを接続させる。プレート9の穴10の直径は金属ボール5の直径より小さいので、金属ボール5溶融後、金属ボール5がプレート9の穴壁と密接する。
【0030】
次に、図8(f)、(g)に示すように、マザー基板7の電極6に、フラックス、あるいははんだペーストを塗布し、半導体パッケージ1をマザー基板7に搭載する。ここでは、電極6と金属ボール5との位置を合わせておく。この際、例えば、フラックスあるいははんだペーストを塗布する前に、マザー基板7にプレート9と同様な、穴が形成された高い熱伝導性を有するプレートを貼り付けてもよい。そうすることにより、印刷方式によりフラックスあるいは金属ペーストを塗布する際、プレート9にはマザー基板7の電極6の位置と一致している穴10が形成されているので、印刷マスクを使用する必要がなくなる。最後に、加熱装置26により、半導体パッケージ1に貼り付けているプレート9を通して金属ボール5を加熱し、金属ボール5を融点以上の温度にして半導体パッケージ1とマザー基板7とを接続する。この際、例えばマザー基板7にもプレート9が貼り付けている場合は、マザー基板7に付着しているプレートにも熱をかければよい。
【0031】
以上の方法によれば、金属ボール5を溶融させる際に熱伝導率の高いプレート9を介して金属ボール5を加熱することができるので、従来の半導体実装体に比べて加熱温度を下げることができる。そのため、半導体チップ2の損傷が抑えられ、各基板の反りが抑えられた信頼性の高い半導体実装体を形成することができる。
【0032】
(第2の実施形態)
図5 は本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を構成する第1の半導体パッケージ及び第2の半導体パッケージを示す断面図であり、図6は、本実施形態の半導体装置を示す断面図である。図7は、第1の半導体パッケージと第2の半導体パッケージの間に配置されたプレートを示す斜視図である。この半導体装置は、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とが金属ボール17を介して接合された積層型半導体装置である。
【0033】
図5、図6に示すように、第1の半導体パッケージ12は、キャリア基板15と、キャリア基板15の上面上に載置された第1の半導体チップ14と、キャリア基板15の裏面上に形成された複数の電極ランド16と、各電極ランド16上に設けられた、第2の半導体パッケージ18との接続用の金属ボール17と、キャリア基板15の上面上に形成され、第1の半導体チップを封止する封止樹脂13とを有している。封止樹脂8はエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂などで構成され、モールド成型により形成される。なお、金属ボール17は、第2の半導体チップ19の搭載領域を避けるように配置される。これと同様に、電極ランド16も第2の半導体チップ19を搭載するための領域を避けるように配置されている。
【0034】
第2の半導体パッケージ18は、上面上に複数の電極ランド20が形成され、裏面上に複数の金属ボール23が形成されたパッケージ基板22と、パッケージ基板22の上面上にフリップチップ実装され、パッケージ基板22上の配線に接続される突起電極21を有する第2の半導体チップ19とを有している。フリップチップ実装のための工法は特に制限されず、例えば、絶縁性のフィルムを介して熱圧着する工法でもよいし、半田バンプを突起電極としてアンダーフィルを行う工法であってもよい。電極ランド20は第1の半導体パッケージ12の金属ボール17に対応する位置に設けられ、平面的に見て第2の半導体チップ19の周囲に配置されている。なお、図示しないが、電極ランド20や突起電極21と導通する電極ランドがパッケージ基板22の裏面上に形成されており、金属ボール23はこの電極ランド上に設けられている。
【0035】
なお、キャリア基板15及びパッケージ基板22としては、ガラス布積層エポキシ基板(ガラエポ基板)やガラス布積層ポリイミド基板、アラミド不織布基板などが用いられる。第1の半導体チップ14および第2の半導体チップ19としては、アナログIC、ロジックIC、メモリIC等が用いられるが、特に限定されるものではない。金属ボール5としては、Sn−Ag−CuやSn−Ag、Sn−Pb、Sn−Bi等が用いられる。
【0036】
また、本実施形態の半導体装置は、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18との間に少なくとも一枚のプレート24が配置されている。図7に示すように、プレート24には金属ボール17に対応する位置に平面形状が円形の穴10が形成されている。プレート24のうち、少なくとも電極ランド16、金属ボール17、及び電極ランド20と接する部分の表面には絶縁膜が形成されており、第1の半導体パッケージ12及び第2の半導体パッケージ18の電極同士がプレート24を通して短絡するのが防がれている。プレート24は第1の実施形態のプレート9と同様にCu、Al、あるいはFeなどの熱伝導率が200W・m−1・K−1以上の材料で構成される。また、プレート24には第2の半導体チップ19を収めるための開口部25が形成されている。この開口部25の平面サイズは第2の半導体チップ19より大きくなっている。
【0037】
本実施形態の半導体実装体において、リフロー等により第1の半導体パッケージ12の電極ランド16と第2の半導体パッケージ18の電極ランド20とを接続する際に、プレート24が介在することにより、隣り合う金属ボール17が潰れて金属ボール17同士が短絡するのを防ぐことができる。また、リフローの際にプレート24をあらかじめ第1の半導体パッケージ12または第2の半導体パッケージ18に貼り付けておくことで、第1の半導体パッケージ12または第2の半導体パッケージ18の剛性を高くすることができ、第1の半導体パッケージ12または第2の半導体パッケージ18の反りを低減することができる。そのため、半導体装置での接続不良の発生を抑え、信頼性を向上させることができる。特に、プレート24は熱伝導性の高い材料で構成されているため、リフローの際に加えられた熱が金属ボール17に速やかに伝達されるので、過剰な熱を加える必要がなくなるので、熱によるキャリア基板15やパッケージ基板22などの反りを低減することができる。また、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とを従来よりも低い温度で接続させることが可能であるので、第1の半導体チップ14及び第2の半導体チップ19が熱により損傷を受けるのを防ぐことができ、半導体装置の信頼性を大きく向上させることができる。
【0038】
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。図9(a)〜(g)は、本実施形態の半導体実装体の製造方法を示す断面図である。
【0039】
まず、図9(a)、(b)に示すように、所定の位置に穴10が形成され、絶縁膜11が表面に形成されたプレート24の一方の面上に導熱性ペースト27を塗布し、プレート24を第1の半導体パッケージ12の裏面に接触させてから熱を加えて導熱性ペースト27を硬化させる。導熱性ペースト27の材料はたとえばAgペーストであってもよい。また、プレート24は第1の半導体パッケージ12ではなく第2の半導体パッケージ18に接続させてもよい。なお、穴10の直径は電極ランド16の直径以上、金属ボール17の直径以下であることが望ましい。また、第1の半導体パッケージ12は公知の方法で前もって作製しておく。プレート24の厚みは金属ボール17の直径より小さくしておく。
【0040】
次いで、図9(c)、(d)に示すように、第1の半導体パッケージ12の電極ランド16にフラックスを塗布し、電極ランド16上に金属ボール17を搭載する。フラックス塗布方式はピン転写方式であることが好ましい。また、全ての金属ボール17を一括して電極ランド16上に搭載してもよいし、例えば、プレート24の円状の穴10に一個一個入れてもよい。
【0041】
次に、図9(e)に示すように、金属ボール17が搭載された第1の半導体パッケージ12をリフロー装置などにより加熱し、金属ボール17を溶かし、電極ランド16と金属ボール17とを接続する。プレート24の穴10の直径は第1の半導体パッケージ12の電極ランド16の直径より小さく設けるとよい、結果として、金属ボール17溶融後、金属ボール17がプレートの穴壁と密接する。
【0042】
次に、第1の半導体パッケージ12と接続する第2の半導体パッケージ18の電極ランド20に、フラックス、あるいははんだペーストを塗布し、第1の半導体パッケージ12を第2の半導体パッケージ18上に搭載する。ここでは、金属ボール17と電極ランド20とが接続するように第1の半導体パッケージ12を搭載する。この際、たとえば、フラックスあるいははんだペーストを塗布する前に、第2の半導体パッケージ18にプレート24と同様のプレートを貼り付けてもよい。そうすることにより、印刷方式によってフラックスあるいははんだペースト塗布する際、プレート24には第2の半導体パッケージ18の電極ランド20の位置と一致している穴10が形成されているので、印刷マスクは使用しなくてもよくなる。最後に、加熱装置26により、第1の半導体パッケージ12に貼り付けているプレート24を通し、金属ボール17を融点以上の温度まで熱し、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とを接続する。結果として、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とを接続する際、金属ボール17付近のみ加熱されるので、半導体パッケージ同士をより低い温度で接続することが可能となり、従来の方法で作製された半導体装置に比べて半導体チップへの負担が低減し、半導体装置の信頼性が向上している。
【産業上の利用可能性】
【0043】
本発明の半導体装置は、BGA型の半導体パッケージを実装または積層してなる種々の半導体装置に利用することが可能であり、携帯機器など、種々の電子機器に有用である。
【図面の簡単な説明】
【0044】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る半導体装置(半導体実装体)を構成する半導体パッケージ及びマザー基板を示す図である。
【図2】第1の実施形態に係る半導体実装体を示す断面図である。
【図3】第1の実施形態に係る半導体実装体に用いられるプレートを示す斜視図である。
【図4】第1の実施形態に係るプレートの構造を示す断面図である。
【図5】本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を構成する第1の半導体パッケージ及び第2の半導体パッケージを示す断面図である。
【図6】第2の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
【図7】第2の実施形態に係る半導体装置において、第1の半導体パッケージと第2の半導体パッケージの間に配置されたプレートを示す斜視図である。
【図8】(a)〜(g)は、第1の実施形態に係る半導体実装体の製造方法を示す断面図である。
【図9】(a)〜(g)は、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図10】従来の半導体装置を模式的に示す断面図である。
【図11】従来の積層型半導体装置の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【0045】
1 半導体パッケージ
2 半導体チップ
3、15 キャリア基板
4、16、20 電極ランド
5、17、23 金属ボール
6 電極
7 マザー基板
8、13 封止樹脂
9、24 プレート
10 穴
11 絶縁膜
12 第1の半導体パッケージ
14 第1の半導体チップ
18 第2の半導体パッケージ
19 第2の半導体チップ
21 突起電極
22 パッケージ基板
25 開口部
26 加熱装置
27 導熱性ペースト
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体チップを含む半導体パッケージがマザー基板または他の半導体パッケージと電気的に接続されてなる半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
携帯情報機器等の小型化、軽量化が進むにつれて、それに搭載される半導体パッケージの高密度化、小型化、薄型化が要求され、BGA(Ball Grid Array)形態の半導体デバイスが主流になってきている。このBGA半導体パッケージは、半導体パッケージとマザー基板との間に金属ボールを配置し、これをリフロー炉装置などにより加熱、溶融することでマザー基板と半導体パッケージとを接続させたものである。
【0003】
ところで、金属ボールを溶融して、このBGA半導体装置とマザー基板とを接続させる際、従来の半導体パッケージの実装構造では、電極のピッチが微細化するにつれ、隣り合う半田バンプどうしが接触し、ショートする事がある。また、半導体パッケージをマザー基板に搭載する際に、半導体パッケージが傾く場合がある。そこで、特許文献1では、半導体パッケージと電子回路基板との間に金属ボールを個々に区切ることができる網状スペーサを設けることが提案されている。
【0004】
図10は、従来の半導体装置を模式的に示す断面図である。同図の上側に示すように、従来の半導体装置では、マザー基板107と、半導体パッケージ108とが金属ボール105により接続される場合に、マザー基板107と半導体パッケージ108との間に、金属ボール105に対応する位置に開口が形成された網状のスペーサ128を挟む。このようにして、金属ボール105間のショート、及び金属ボール105の変形を防止するとともに、半導体パッケージの傾き、設置される高さの不揃いを無くした信頼性の高い半導体パッケージの実装構造が提案されている。
【特許文献1】特開平6−232203号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、半導体パッケージ108の樹脂部、半導体チップおよび半導体パッケージ108のキャリア基板などの線膨張係数の違いにより、従来の半導体装置では図10の下側に示すように、リフロー加熱の際に半導体パッケージ108が反って一部でマザー基板107と半導体パッケージ108との接続不良が発生する場合があった。さらに、マザー基板107の表裏の配線パターンの違い等によってマザー基板107が反る場合もある。
【0006】
また、図11に示すように、金属ボール123、パッケージ基板122、半導体チップ119および電極ランド120を有する半導体パッケージと、封止樹脂125、キャリア基板115、及び金属ボール117を有する半導体パッケージとを接続して積層型半導体装置を構成する場合にも同様の接続不良が発生する。
【0007】
また、半導体パッケージをマザー基板に実装する際に、半導体装置全体がリフロー加熱されるため、半導体チップや半導体パッケージの温度が金属ボールの融点近くまで上がり、半導体チップの電気特性や半導体パッケージ強度が劣化し、信頼性が低下する場合があった。
【0008】
本発明は上記半導体装置における接続不良と信頼性低下の解決が図られた半導体装置の実装体、または積層型の半導体装置、及びこれらの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
上記課題を解決するために、本発明の半導体装置は、キャリア基板と、前記キャリア基板の上面上に載置された第1の半導体チップと、前記キャリア基板の裏面上に形成された第1の金属ボールとを有する第1の半導体パッケージと、上面上に前記第1の金属ボールと接続する電極ランドが形成された基板と、前記半導体パッケージと前記基板の間に配置され、前記第1の金属ボールに合わせた位置に設けられ、前記第1の金属ボールを収納する穴が形成されたプレートとを備えている。
【0010】
この構成によれば、半導体パッケージと基板との間にプレートが挟まれているので、第1の金属ボール同士が短絡するのが防がれている。また、第1の電極ボールを溶融して第1の半導体パッケージと基板とを接続する際にはプレートを介して加熱することで、従来の半導体装置よりも低い温度でリフローを行うことができる。そのため、第1の半導体チップ等に熱によるダメージが入りにくくなっている。また、第1の半導体パッケージと基板とを接続させる際にあらかじめプレートを第1の半導体パッケージまたは基板に貼り付けておけば、第1の半導体パッケージまたは基板の剛性が上がるので、半導体装置の反りを抑え、接続不良の発生を抑えることができる。
【0011】
また、本発明の半導体装置の第1の製造方法は、裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、前記第1の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第1の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、前記穴内に前記第1の電極ランドと接続する第1の金属ボールを形成する工程(c)と、加熱して前記第2の電極パッドと前記第1の金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている。
【0012】
この方法によれば、工程(d)で半導体パッケージと基板とを接続する前に半導体パッケージにプレートを貼り付けておくことで、半導体パッケージの反りを抑え、接続不良の発生が抑えられた半導体装置を製造することができる。
【0013】
また、工程(d)ではプレートを介して第1の金属ボールに熱を加えることができるので、従来に比べてリフロー時の温度を低くすることができる。
【0014】
また、本発明の半導体装置の第2の製造方法は、裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、前記第2の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第2の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、前記穴内に前記第2の電極ランドと接続する金属ボールを形成する工程(c)と、加熱して前記第2の電極パッドと前記金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている。
【0015】
この方法によれば、工程(d)の前に基板にプレートを貼り付けておくことによって基板の剛性を高めることができるので、基板の反りを抑え、接続不良の発生を抑えることができる。
【発明の効果】
【0016】
本発明の半導体装置及びその製造方法によれば、半導体パッケージとマザー基板、または第2の半導体パッケージとの間に穴が形成されたプレートを配置するので、金属ボール間の短絡が防がれ、基板の反りが抑えられ、接続不良の発生が抑えられる。また、金属ボールの溶融時にプレートを介して金属ボールに熱を加えることができるので、リフロー時の温度を従来よりも下げることができ、半導体チップが熱による損傷を受けにくくなっている。また、半導体パッケージ、またはマザー基板あるいは第2の半導体パッケージにプレートを貼り付けた状態で半導体パッケージとマザー基板または第2の半導体パッケージと接続させることにより、半導体パッケージ、マザー基板、または第2の半導体パッケージの剛性を高めることができ、反りを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0018】
(第1の実施形態)
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置(半導体実装体)を構成する半導体パッケージ及びマザー基板を示す図であり、図2は、本実施形態の半導体実装体を示す断面図である。また、図3は、本実施形態の半導体実装体に用いられるプレートを示す斜視図である。図4は、本実施形態のプレートの構造を示す断面図である。本実施形態の半導体実装体は、半導体パッケージ1とマザー基板7とが、金属ボール5を介して接合された半導体実装体である。
【0019】
図1、図2に示すように、本実施形態の半導体実装体において、半導体パッケージ1はBGA型であり、キャリア基板3と、キャリア基板3の上面上に載置された半導体チップ2と、キャリア基板3の裏面上に形成された複数の電極ランド4と、各電極ランド4上に設けられた、マザー基板7との実装用の金属ボール5と、キャリア基板3の上面上に形成され、半導体チップ2を封止する封止樹脂8とを有している。封止樹脂8はエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂などで構成され、モールド成型により形成される。
【0020】
マザー基板7の上面上の電極ランド4に対応する位置には電極6が設けられている。キャリア基板3やマザー基板7としては、ガラス布積層エポキシ基板(ガラエポ基板) やガラス布積層ポリイミド基板、アラミド不織布基板などが用いられる。半導体パッケージ1に内蔵されている半導体チップ2としては、アナログIC、ロジックIC、メモリIC等が用いられるが、特に限定されるものではない。金属ボール5の材料としては、Sn−Ag−CuやSn−Ag、Sn−Pb、Sn−Bi等が用いられる。
【0021】
また、半導体パッケージ1とマザー基板7との間には、一枚以上のプレート9が配置され、半導体パッケージ1及びマザー基板7と隙間無く接触している。プレート9には半導体パッケージ1の電極ランド4の位置に合わせて平面形状が円形の穴10が形成されており、半導体実装体においては穴10内に金属ボール5、電極ランド4、及び電極6が収まっている。
【0022】
本実施形態の半導体実装体の特徴は、プレート9がCu、Al、あるいはFeなどの熱伝導率が101325Pa下で200W・m−1・K−1以上の材料で構成されることにある。従って、プレート9内部の熱伝導率は、半導体チップ2やマザー基板7、キャリア基板3よりも大きい。さらに、プレート9の熱伝導率は、従来の半導体実装体で用いられた網状スペーサよりも大きい。なお、プレート9がCuあるいはFeなどの空気中で酸化されるもので構成される場合にはその表面はNiめっき処理される。穴10内に金属ボール5を含む接続部分を収めるために、プレート9の厚みは金属ボール5の直径以下であることが望ましい。
【0023】
プレート9の穴10を形成するための加工方法は三つある。1つ目は、鋳型により穴10を含めたプレート9全体を一体的に成型する方法である。2つ目は、金型を用いてプレス加工を行う方法である。3つ目は、化学薬品によるエッチングを用いる方法である。これらいずれかの方法を適宜用いることで本実施形態のプレート9を形成することができる。
【0024】
また、図4に示すように、プレート9のうち、少なくとも電極ランド4、金属ボール5、及び電極6と接する部分の表面には絶縁膜11が形成されており、半導体パッケージ1及びマザー基板7の電極同士がプレート9を通して短絡するのが防がれている。
【0025】
本実施形態の半導体実装体において、後述のようにリフロー等により半導体パッケージ1の電極ランド4とマザー基板7の電極6とを接続する際に、プレート9が介在することにより、隣り合う金属ボール5が潰れて金属ボール5同士が短絡するのを防ぐことができる。また、リフローの際にプレート9をあらかじめ半導体パッケージ1またはマザー基板7に貼り付けておくことで、半導体パッケージ1またはマザー基板7の剛性を高くすることができ、半導体パッケージ1またはマザー基板7の反りを低減することができる。そのため、半導体実装体での接続不良の発生を抑え、信頼性を向上させることができる。また、プレート9は熱伝導性の高い材料で構成されているため、リフローの際に加えられた熱が金属ボール5に速やかに伝達され、過剰な熱を加える必要がなくなるので、熱によるキャリア基板3やマザー基板7の反りを低減することができる。また、半導体パッケージ1とマザー基板7とを従来よりも低い温度で接続させることが可能であるので、半導体チップが熱により損傷を受けるのを防ぐことができ、半導体パッケージ1の信頼性を大きく向上させることができる。
【0026】
次に、本実施形態の半導体実装体の製造方法について説明する。図8(a)〜(g)は、本実施形態の半導体実装体の製造方法を示す断面図である。
【0027】
まず、図8(a)、(b)に示すように、所定の位置に穴10が形成され、絶縁膜11が表面に形成されたプレート9の一方の面上に導熱性ペースト27を塗布し、プレート9を半導体パッケージ1の裏面に接触させてから熱を加えて導熱性ペースト27を硬化させる。導熱性ペースト27の材料はたとえばAgペーストであってもよい。また、プレート9は半導体パッケージ1ではなくマザー基板7に接続させてもよい。なお、穴10の直径は半導体パッケージ1の電極ランド4の直径以上、金属ボール5の直径以下であることが望ましい。
【0028】
次いで、図8(c)、(d)に示すように、半導体パッケージ1の電極ランド4にフラックスを塗布してから、金属ボール5を電極ランド4上に搭載する。フラックスの塗布方式はピン転写方式であることが好ましい。本工程において、金属ボール5を一括して電極ランド4上に搭載してもよいし、例えば、プレート9の穴10に金属ボール5を一個一個入れてもよい。
【0029】
次に、図8(e)に示すように、金属ボール5が搭載された半導体パッケージ1をリフロー装置などにより加熱し、金属ボール5を溶かし、半導体パッケージ1の電極ランド4と金属ボール5とを接続させる。プレート9の穴10の直径は金属ボール5の直径より小さいので、金属ボール5溶融後、金属ボール5がプレート9の穴壁と密接する。
【0030】
次に、図8(f)、(g)に示すように、マザー基板7の電極6に、フラックス、あるいははんだペーストを塗布し、半導体パッケージ1をマザー基板7に搭載する。ここでは、電極6と金属ボール5との位置を合わせておく。この際、例えば、フラックスあるいははんだペーストを塗布する前に、マザー基板7にプレート9と同様な、穴が形成された高い熱伝導性を有するプレートを貼り付けてもよい。そうすることにより、印刷方式によりフラックスあるいは金属ペーストを塗布する際、プレート9にはマザー基板7の電極6の位置と一致している穴10が形成されているので、印刷マスクを使用する必要がなくなる。最後に、加熱装置26により、半導体パッケージ1に貼り付けているプレート9を通して金属ボール5を加熱し、金属ボール5を融点以上の温度にして半導体パッケージ1とマザー基板7とを接続する。この際、例えばマザー基板7にもプレート9が貼り付けている場合は、マザー基板7に付着しているプレートにも熱をかければよい。
【0031】
以上の方法によれば、金属ボール5を溶融させる際に熱伝導率の高いプレート9を介して金属ボール5を加熱することができるので、従来の半導体実装体に比べて加熱温度を下げることができる。そのため、半導体チップ2の損傷が抑えられ、各基板の反りが抑えられた信頼性の高い半導体実装体を形成することができる。
【0032】
(第2の実施形態)
図5 は本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を構成する第1の半導体パッケージ及び第2の半導体パッケージを示す断面図であり、図6は、本実施形態の半導体装置を示す断面図である。図7は、第1の半導体パッケージと第2の半導体パッケージの間に配置されたプレートを示す斜視図である。この半導体装置は、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とが金属ボール17を介して接合された積層型半導体装置である。
【0033】
図5、図6に示すように、第1の半導体パッケージ12は、キャリア基板15と、キャリア基板15の上面上に載置された第1の半導体チップ14と、キャリア基板15の裏面上に形成された複数の電極ランド16と、各電極ランド16上に設けられた、第2の半導体パッケージ18との接続用の金属ボール17と、キャリア基板15の上面上に形成され、第1の半導体チップを封止する封止樹脂13とを有している。封止樹脂8はエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂などで構成され、モールド成型により形成される。なお、金属ボール17は、第2の半導体チップ19の搭載領域を避けるように配置される。これと同様に、電極ランド16も第2の半導体チップ19を搭載するための領域を避けるように配置されている。
【0034】
第2の半導体パッケージ18は、上面上に複数の電極ランド20が形成され、裏面上に複数の金属ボール23が形成されたパッケージ基板22と、パッケージ基板22の上面上にフリップチップ実装され、パッケージ基板22上の配線に接続される突起電極21を有する第2の半導体チップ19とを有している。フリップチップ実装のための工法は特に制限されず、例えば、絶縁性のフィルムを介して熱圧着する工法でもよいし、半田バンプを突起電極としてアンダーフィルを行う工法であってもよい。電極ランド20は第1の半導体パッケージ12の金属ボール17に対応する位置に設けられ、平面的に見て第2の半導体チップ19の周囲に配置されている。なお、図示しないが、電極ランド20や突起電極21と導通する電極ランドがパッケージ基板22の裏面上に形成されており、金属ボール23はこの電極ランド上に設けられている。
【0035】
なお、キャリア基板15及びパッケージ基板22としては、ガラス布積層エポキシ基板(ガラエポ基板)やガラス布積層ポリイミド基板、アラミド不織布基板などが用いられる。第1の半導体チップ14および第2の半導体チップ19としては、アナログIC、ロジックIC、メモリIC等が用いられるが、特に限定されるものではない。金属ボール5としては、Sn−Ag−CuやSn−Ag、Sn−Pb、Sn−Bi等が用いられる。
【0036】
また、本実施形態の半導体装置は、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18との間に少なくとも一枚のプレート24が配置されている。図7に示すように、プレート24には金属ボール17に対応する位置に平面形状が円形の穴10が形成されている。プレート24のうち、少なくとも電極ランド16、金属ボール17、及び電極ランド20と接する部分の表面には絶縁膜が形成されており、第1の半導体パッケージ12及び第2の半導体パッケージ18の電極同士がプレート24を通して短絡するのが防がれている。プレート24は第1の実施形態のプレート9と同様にCu、Al、あるいはFeなどの熱伝導率が200W・m−1・K−1以上の材料で構成される。また、プレート24には第2の半導体チップ19を収めるための開口部25が形成されている。この開口部25の平面サイズは第2の半導体チップ19より大きくなっている。
【0037】
本実施形態の半導体実装体において、リフロー等により第1の半導体パッケージ12の電極ランド16と第2の半導体パッケージ18の電極ランド20とを接続する際に、プレート24が介在することにより、隣り合う金属ボール17が潰れて金属ボール17同士が短絡するのを防ぐことができる。また、リフローの際にプレート24をあらかじめ第1の半導体パッケージ12または第2の半導体パッケージ18に貼り付けておくことで、第1の半導体パッケージ12または第2の半導体パッケージ18の剛性を高くすることができ、第1の半導体パッケージ12または第2の半導体パッケージ18の反りを低減することができる。そのため、半導体装置での接続不良の発生を抑え、信頼性を向上させることができる。特に、プレート24は熱伝導性の高い材料で構成されているため、リフローの際に加えられた熱が金属ボール17に速やかに伝達されるので、過剰な熱を加える必要がなくなるので、熱によるキャリア基板15やパッケージ基板22などの反りを低減することができる。また、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とを従来よりも低い温度で接続させることが可能であるので、第1の半導体チップ14及び第2の半導体チップ19が熱により損傷を受けるのを防ぐことができ、半導体装置の信頼性を大きく向上させることができる。
【0038】
次に、本実施形態の半導体装置の製造方法について説明する。図9(a)〜(g)は、本実施形態の半導体実装体の製造方法を示す断面図である。
【0039】
まず、図9(a)、(b)に示すように、所定の位置に穴10が形成され、絶縁膜11が表面に形成されたプレート24の一方の面上に導熱性ペースト27を塗布し、プレート24を第1の半導体パッケージ12の裏面に接触させてから熱を加えて導熱性ペースト27を硬化させる。導熱性ペースト27の材料はたとえばAgペーストであってもよい。また、プレート24は第1の半導体パッケージ12ではなく第2の半導体パッケージ18に接続させてもよい。なお、穴10の直径は電極ランド16の直径以上、金属ボール17の直径以下であることが望ましい。また、第1の半導体パッケージ12は公知の方法で前もって作製しておく。プレート24の厚みは金属ボール17の直径より小さくしておく。
【0040】
次いで、図9(c)、(d)に示すように、第1の半導体パッケージ12の電極ランド16にフラックスを塗布し、電極ランド16上に金属ボール17を搭載する。フラックス塗布方式はピン転写方式であることが好ましい。また、全ての金属ボール17を一括して電極ランド16上に搭載してもよいし、例えば、プレート24の円状の穴10に一個一個入れてもよい。
【0041】
次に、図9(e)に示すように、金属ボール17が搭載された第1の半導体パッケージ12をリフロー装置などにより加熱し、金属ボール17を溶かし、電極ランド16と金属ボール17とを接続する。プレート24の穴10の直径は第1の半導体パッケージ12の電極ランド16の直径より小さく設けるとよい、結果として、金属ボール17溶融後、金属ボール17がプレートの穴壁と密接する。
【0042】
次に、第1の半導体パッケージ12と接続する第2の半導体パッケージ18の電極ランド20に、フラックス、あるいははんだペーストを塗布し、第1の半導体パッケージ12を第2の半導体パッケージ18上に搭載する。ここでは、金属ボール17と電極ランド20とが接続するように第1の半導体パッケージ12を搭載する。この際、たとえば、フラックスあるいははんだペーストを塗布する前に、第2の半導体パッケージ18にプレート24と同様のプレートを貼り付けてもよい。そうすることにより、印刷方式によってフラックスあるいははんだペースト塗布する際、プレート24には第2の半導体パッケージ18の電極ランド20の位置と一致している穴10が形成されているので、印刷マスクは使用しなくてもよくなる。最後に、加熱装置26により、第1の半導体パッケージ12に貼り付けているプレート24を通し、金属ボール17を融点以上の温度まで熱し、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とを接続する。結果として、第1の半導体パッケージ12と第2の半導体パッケージ18とを接続する際、金属ボール17付近のみ加熱されるので、半導体パッケージ同士をより低い温度で接続することが可能となり、従来の方法で作製された半導体装置に比べて半導体チップへの負担が低減し、半導体装置の信頼性が向上している。
【産業上の利用可能性】
【0043】
本発明の半導体装置は、BGA型の半導体パッケージを実装または積層してなる種々の半導体装置に利用することが可能であり、携帯機器など、種々の電子機器に有用である。
【図面の簡単な説明】
【0044】
【図1】本発明の第1の実施形態に係る半導体装置(半導体実装体)を構成する半導体パッケージ及びマザー基板を示す図である。
【図2】第1の実施形態に係る半導体実装体を示す断面図である。
【図3】第1の実施形態に係る半導体実装体に用いられるプレートを示す斜視図である。
【図4】第1の実施形態に係るプレートの構造を示す断面図である。
【図5】本発明の第2の実施形態に係る半導体装置を構成する第1の半導体パッケージ及び第2の半導体パッケージを示す断面図である。
【図6】第2の実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。
【図7】第2の実施形態に係る半導体装置において、第1の半導体パッケージと第2の半導体パッケージの間に配置されたプレートを示す斜視図である。
【図8】(a)〜(g)は、第1の実施形態に係る半導体実装体の製造方法を示す断面図である。
【図9】(a)〜(g)は、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図10】従来の半導体装置を模式的に示す断面図である。
【図11】従来の積層型半導体装置の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【0045】
1 半導体パッケージ
2 半導体チップ
3、15 キャリア基板
4、16、20 電極ランド
5、17、23 金属ボール
6 電極
7 マザー基板
8、13 封止樹脂
9、24 プレート
10 穴
11 絶縁膜
12 第1の半導体パッケージ
14 第1の半導体チップ
18 第2の半導体パッケージ
19 第2の半導体チップ
21 突起電極
22 パッケージ基板
25 開口部
26 加熱装置
27 導熱性ペースト
【特許請求の範囲】
【請求項1】
キャリア基板と、前記キャリア基板の上面上に載置された第1の半導体チップと、前記キャリア基板の裏面上に形成された第1の金属ボールとを有する第1の半導体パッケージと、
上面上に前記第1の金属ボールと接続する電極ランドが形成された基板と、
前記第1の半導体パッケージと前記基板の間に配置され、前記第1の金属ボールに合わせた位置に設けられ、前記第1の金属ボールを収納する穴が形成されたプレートとを備えている半導体装置。
【請求項2】
前記プレートの熱伝導率は少なくとも前記キャリア基板よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記プレートの熱伝導率は、101325Pa下で200Wm−1K−1以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記プレートのうち前記第1の金属ボールと接触する部分の表面には絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項5】
前記基板はマザー基板であり、前記第1の金属ボールは前記キャリア基板の裏面全体に形成されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項6】
前記基板の上面上に載置された第2の半導体チップと、
前記基板の裏面に形成された第2の金属ボールとをさらに備え、
前記基板と、前記第2の半導体チップと、前記第2の金属ボールは第2の半導体パッケージを構成し、
前記プレートには、前記第2の半導体チップを収納する開口部が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項7】
前記プレートの厚みは、前記第1の金属ボールの直径より小さいことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項8】
裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、
前記第1の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第1の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、
前記穴内に前記第1の電極ランドと接続する第1の金属ボールを形成する工程(c)と、
加熱して前記第2の電極パッドと前記第1の金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている半導体装置の製造方法。
【請求項9】
前記プレートの熱伝導率は101325Pa下で200Wm−1K−1以上であることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項10】
前記基板はマザー基板であり、前記第1の金属ボールは前記半導体パッケージの裏面全体に形成されていることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項11】
前記工程(d)において、前記基板の上面上には半導体チップが形成され、前記基板の裏面上には第2の金属ボールが形成されており、
前記第1の金属ボールおよび前記第1の電極ランドは前記半導体パッケージの裏面の周辺領域上に形成されており、
前記プレートには平面サイズが前記半導体チップよりも大きい開口部が形成されており、
前記工程(d)では、前記プレートの前記開口部内に前記半導体チップが納まるように前記半導体パッケージと前記基板とを接続することを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項12】
前記工程(c)で形成される前記第1の金属ボールの直径は、前記プレートの厚みよりも大きいことを特徴とする請求項8〜11のうちいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項13】
裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、
前記第2の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第2の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、
前記穴内に前記第2の電極ランドと接続する金属ボールを形成する工程(c)と、
加熱して前記第2の電極パッドと前記金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている半導体装置の製造方法。
【請求項1】
キャリア基板と、前記キャリア基板の上面上に載置された第1の半導体チップと、前記キャリア基板の裏面上に形成された第1の金属ボールとを有する第1の半導体パッケージと、
上面上に前記第1の金属ボールと接続する電極ランドが形成された基板と、
前記第1の半導体パッケージと前記基板の間に配置され、前記第1の金属ボールに合わせた位置に設けられ、前記第1の金属ボールを収納する穴が形成されたプレートとを備えている半導体装置。
【請求項2】
前記プレートの熱伝導率は少なくとも前記キャリア基板よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
【請求項3】
前記プレートの熱伝導率は、101325Pa下で200Wm−1K−1以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
【請求項4】
前記プレートのうち前記第1の金属ボールと接触する部分の表面には絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項5】
前記基板はマザー基板であり、前記第1の金属ボールは前記キャリア基板の裏面全体に形成されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項6】
前記基板の上面上に載置された第2の半導体チップと、
前記基板の裏面に形成された第2の金属ボールとをさらに備え、
前記基板と、前記第2の半導体チップと、前記第2の金属ボールは第2の半導体パッケージを構成し、
前記プレートには、前記第2の半導体チップを収納する開口部が形成されていることを特徴とする請求項1〜4のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項7】
前記プレートの厚みは、前記第1の金属ボールの直径より小さいことを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1つに記載の半導体装置。
【請求項8】
裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、
前記第1の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第1の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、
前記穴内に前記第1の電極ランドと接続する第1の金属ボールを形成する工程(c)と、
加熱して前記第2の電極パッドと前記第1の金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている半導体装置の製造方法。
【請求項9】
前記プレートの熱伝導率は101325Pa下で200Wm−1K−1以上であることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項10】
前記基板はマザー基板であり、前記第1の金属ボールは前記半導体パッケージの裏面全体に形成されていることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項11】
前記工程(d)において、前記基板の上面上には半導体チップが形成され、前記基板の裏面上には第2の金属ボールが形成されており、
前記第1の金属ボールおよび前記第1の電極ランドは前記半導体パッケージの裏面の周辺領域上に形成されており、
前記プレートには平面サイズが前記半導体チップよりも大きい開口部が形成されており、
前記工程(d)では、前記プレートの前記開口部内に前記半導体チップが納まるように前記半導体パッケージと前記基板とを接続することを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項12】
前記工程(c)で形成される前記第1の金属ボールの直径は、前記プレートの厚みよりも大きいことを特徴とする請求項8〜11のうちいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項13】
裏面に第1の電極ランドが形成された半導体パッケージと、上面上の前記第1の電極ランドと合う位置に第2の電極ランドを有する基板とを準備する工程(a)と、
前記第2の電極ランドに合う位置に穴が形成されたプレートを、前記第2の電極ランドが前記穴に入るように前記プレートを前記半導体パッケージの裏面上に載置する工程(b)と、
前記穴内に前記第2の電極ランドと接続する金属ボールを形成する工程(c)と、
加熱して前記第2の電極パッドと前記金属ボールとを接続させる工程(d)とを備えている半導体装置の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
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【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2009−253175(P2009−253175A)
【公開日】平成21年10月29日(2009.10.29)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−102040(P2008−102040)
【出願日】平成20年4月10日(2008.4.10)
【出願人】(000005821)パナソニック株式会社 (73,050)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年10月29日(2009.10.29)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年4月10日(2008.4.10)
【出願人】(000005821)パナソニック株式会社 (73,050)
【Fターム(参考)】
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