説明

基板収納容器

【課題】取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納容器は、所定の挿入方向に前記基部を擦動可能に案内する一対のレール溝7と、ストッパーリブ8とほぼ平行に形成される係合リブ9と、基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブ9に当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部14と、前記ハンドル3の基部をレール溝7に挿入して摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブ9を超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材とを備え、前記係止部材の貫通穴への挿入により、当該係止部材と前記脚部で前記係合リブ9を挟持して、前記ハンドル3を前記容器本体1に固定する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密基板を収納し、輸送、搬送、保管に使用される基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【0002】
基板収納容器は、開口を備え1又は複数の基板を水平状態で整列させて収納する容器本体と、開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを備え、半導体ウェーハや、マスクガラス等の基板の保管や工程内搬送あるいは外部への輸送に用いられる。従来の基板収納容器の容器本体には、左右の外側壁に、一対のマニュアルハンドルが取り付けられて使用される。
【0003】
ハンドルは、板状の基部とこの基部の前後方向から基部に垂直に突出する支柱部と、前後の支柱部に架設されたグリップ部と、戻り止めとなるフック部とを有し、基部を、容器本体側面のレール溝内をスライドさせて、基部の一端に設けられるフック部を、容器本体から突出する係止凹部に係止し、固定して使用していた(特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【特許文献1】特開2000‐306988号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
しかしながら、上記従来の基板収納容器のハンドルは、基板をフル充填したときに7〜8Kgの重量となる基板収納容器を支えるために、ポリカーボネートなどの高剛性の材料から形成され、ハンドルに設けられる係止のためのフック部もハンドルと一体に形成されていたので、フック部の弾力性は殆ど無く、ハンドル取り付け時に、ハンドルのフック部を容器本体に設けられる係合凹部に大きな力を加えて無理やり係合させて使用していた。そのため一度係合させると、ハンドルを外すのが困難であり、フック部を係止凹部と逆方向に反らせて、嵌合を解除させて、取り外す必要があった。こうした作業が何回か行なわれると、取り外したハンドルは、フック部が変形してしまい、十分な係止強度を保持できずに、外れやすくなってしまう危険があった。
【0006】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みなされたものであって、取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記課題を解決するために、本発明の基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、該容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の左右の側面に設けられ、板状の基部、及び該基部上に形成されたグリップ部を含む一対のハンドルとを有する基板収納容器であって、前記左右の各側面に設けられ、所定の挿入方向に前記基部を摺動可能に案内するレール部と、前記基部の挿入方向の面とほぼ垂直な方向に伸びるように形成され、前記基部の先端部の挿入位置を規制するストッパーリブと、該ストッパーリブとほぼ平行に形成される係合リブと、前記基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブに当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部と、前記ハンドルの基部を前記レール部と係合させて摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブを超えた後に、前記貫通穴部に挿入される係止部材と、を備えている。
【0008】
好ましくは、上記発明において、前記係止部材は、先端が細くなるように形成された頭部と、該頭部から分岐され一方が開口する一対の脚部と、前記一対の脚部から外側に折れ曲がるように形成され前記頭部の他端と向き合う屈曲部とを含み、前記一対の脚部と前記屈曲部は、前記貫通穴と嵌合するよう形成されている。
【0009】
好ましくは、前記係止部材は、頭部と、該頭部から分岐される一対の脚部を含み、該頭部と前記一対の脚部で形成される中空部は前記頭部側から前記脚部にかけて拡開されている。
【0010】
好ましくは、前記係止部材は、螺刻部材であり、前記貫通穴には、螺刻溝が形成され、前記螺刻溝に前記螺刻部材が嵌合されている。
【0011】
好ましくは、上記発明において、前記ハンドルのグリップ部は、幅方向に延び、長手方向に所定の間隔で配列され形成されたリブからなる肉盗み部を含むことを特徴とする。
【0012】
好ましくは、上記発明において、前記係止部材は、前記貫通穴へ挿入されることにより、前記係止部材と前記取付部に形成された脚部で前記係合リブを挟持することを特徴とする。
【発明の効果】
【0013】
本発明によれば、取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。
【図2】ハンドルを取り付けた状態の基板収納容器の側面図である。
【図3】図2のA−A外側断面を示すレール溝の説明図である。
【図4】ハンドルの詳細とクリップ(係止)部材の関係を示す斜視図である。
【図5】ハンドルにクリップ部材を取り付けた状態を表す斜視図である。
【図6】ハンドルにクリップ部材を取り付けた状態を表す側面図である。
【図7】図2のB−B断面図である。
【図8】ハンドルのクリップ部材を表す斜視図である。
【図9】ハンドルのクリップ部材の変形例を表す斜視図である。
【図10】本発明の別の実施形態に係るハンドルの係止構造を表す側面図である。
【図11】図10に示すハンドルの係止構造の断面を表す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態(以下、実施形態)について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。
【0016】
図1は本発明の実施形態に係る基板収納容器100を示す斜視図である。基板収納容器100は、図1に示すように、内部に直径300mmの半導体ウェーハを収納し、手前側の正面に開口を有するフロントオープン型の容器本体1と、開口をシール可能に閉鎖する蓋体2と、容器本体1の左右の側壁(側面)に設けられるハンドル3とから形成される。容器本体1の天面には、搬送用のロボティックフランジ4が形成され、容器本体1の底面部には装置とのセンシングや固定を行なうボトムプレート5が設けられている。また、容器本体1の底面部には容器本体1を加工装置に位置決めするための位置決め部材が設けられている。
【0017】
容器本体1の内部の相対する側壁には、基板を水平に一定間隔で支持するための、一対の支持部材が設けられている。また、容器本体1の左右の外側壁には、基板収納容器100を手動でハンドリングするための一対のハンドル3がそれぞれ設けられている。
【0018】
蓋体2は、蓋体2の本体と表面プレートとを有し、蓋体2の本体の側面全周にはガスケット部材が備えられている。また、蓋体2の本体には、回転部材と連結バーとを備えた一対の施錠機構6が収納され、蓋体2本体の開口を閉鎖する表面プレートには、一対の貫通穴が設けられ、施錠機構6を外部から操作可能としている。
【0019】
蓋体2の容器本体1と向き合う内面側には、基板の開口部側周縁を保持するリテーナが設けられている。リテーナには、枠体と、ここから短冊状に分岐されて基板と向き合う方向に張り出す架設部とを有し、架設部には基板と接触する断面V又はU字状をした保持溝が形成されている。中心側で基板を保持する保持部をさらに設けることもできる。
【0020】
図2は、基板収納容器100の側面図であり、図3は、図2のA−A外側断面を示すレール溝7の説明図である。図2及び図3に示すように、容器本体1の側壁(側面)には、ハンドル3をリア側から収容し、ハンドル3における板状の基部10(後述する)の上下側端部、詳細には、基部10の上下端部に設けられたフランジ16と係合する上下一対のレール溝7がリア(背面)側からフロント(正面)側に掛けて、リア側の幅より正面の開口部側の幅が狭くなるように形成されている。即ち、一対のレール溝7の間隔(幅)は、ハンドル3の基部10の挿入側である背面側から、基部10をスライド(摺動)させて、正面方向に向かうに連れて嵌合がきつくなるように形成されている。蓋体2で閉鎖されている容器本体1の開口側には、挿入限度を規制するストッパーリブ8が形成されている。また、ストッパーリブ8と略平行に、係合リブ9が容器本体1の側壁と垂直に形成されている。
【0021】
図4は、容器本体1の左側壁に取り付けられるハンドル3の詳細とクリップ部材(係止部材)19の関係を示す斜視図、図5は、容器本体1の右側壁に取り付けられるハンドル3にクリップ部材19を取り付けた状態を表す斜視図、図6は、ハンドル3にクリップ部材19を取り付けた状態を表す側面図である。図7は、図2のB−B断面図である。
【0022】
ハンドル3は、図4乃至図7に示すように、容器本体1のレール溝7と係合する板状をした基部10と、この基部10の前後方向の端部周縁からそれぞれから基部10に略垂直に突出する支柱部(11、12)と、開口側支柱部(前部支柱部)11とリア側支柱部(後部支柱部)12との間に湾曲形状で架設されたグリップ部13と、基部10先端から逆L字状に立ち上がるように形成される取付部14とを有する。取付部14は、立ち上がり部分を形成する脚部14aと、脚部の端部から基部10の外側に基部とほぼ並行な方向に延びるように形成された貫通穴部14bとを含み、貫通穴部14bには、別部材として形成される弾性を有するクリップ部材19が挿入可能な貫通穴15が形成されている。貫通穴部14bは、クリップ部材19を嵌合させる枠体を形成する。
【0023】
取付部14の貫通穴15には、クリップ部材19が挿入されて、容器本体1の係合リブ9と接触して、ハンドル3が容器本体1のレール溝7から抜けないように固定される。即ち、クリップ部材19の取付部14への挿入により、取付部14の脚部と、クリップ部19とにより係合リブ9を挟持して固定している。
【0024】
グリップ部13は、容器本体1のリア側下方から容器本体1の開口側上方にかけて、斜めに伸びるように形成されており、表面及び裏面には、一定間隔で肉盗み凹部17の一部としてのリブ17a、17bが上下2列に整列されて形成されている。また、支柱部11,12との結合部にも肉盗み部の一部としてのリブ17cを形成している。この肉盗み凹部17は、成形時の変形を防止すると共に、人が握ったときの触感を向上させ、滑りを防止できる。また、支柱部11、12と基部10との間には、補強リブ18が形成されている。
【0025】
次に、クリップ部材19について説明する。図8は、ハンドル3のクリップ部材19を表す斜視図である。クリップ部材19は、頭部20と、この頭部20から分岐される一対の脚部21を有し、頭部20は先端が細くなるように形成されている。また、脚部21は連結部から外方向にL字に折れ曲がった屈曲部24を備えている。さらに、クリップ部材19は、頭部20の他端である張り出し部23と、これと向き合う脚部21とが、貫通穴部14bの貫通穴15の周縁に嵌合するように形成されている。このクリップ部材19は、逆Ω字形の形状であると言える。
【0026】
脚部21と頭部20との間に形成される中空部22は、頭部20側から脚部21側に掛けて拡開するように形成することで、クリップ部材13の弾力性を増すことができ、クリップ部材13を取り外して、繰り返し使用ができるようになる。
【0027】
図9は、本実施形態のクリップ部材19の変形例を示す図である。図9に示すように、クリップ部材25は、円形形状の頭部26と、その頭部26の一端から伸び弾性を有する脚部27とを有し、脚部27には、取付部14と係合可能な、鍔(ツバ)部28を形成して、容器本体1の係止リブ9と接触可能としている。
【0028】
図8及び図9で示したクリップ部材19、25は、例えば弾性や滑り性を備えたポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリブチレンナフタレートなどの合成樹脂や、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種の熱可塑性エラストマーから形成することができる。
【0029】
本発明の実施形態に係る基板収納容器100によれば、ハンドル3を別部材として形成されるクリップ部材19、25を使用して固定するので、取り付けが容易で、クリップ部材19、25を弾性変形させて取り外すことが出来るので、何回の取り外しを行なっても、ハンドル3が変形することは無く、繰り返し使用することが出来る。
【0030】
次に、本発明の別の実施形態について説明する。図10、図11は、ハンドルの係止構造が異なる別の実施形態について説明する図である。この実施形態では、係止部材としてボルトやビス等の螺刻部材30を用いる場合の例である。図10、図11に示すように、ハンドル29の取付部31は、先に述べたハンドル3の取り付け部14と同様に、逆L字を形成する脚部31aと貫通穴部31bとを含み、貫通穴部31bの貫通穴には、螺刻溝31が形成されていて、ここに螺刻部材30を嵌合させて固定したものである。この場合も螺刻部材30を緩めて取り外すことで、ハンドル29になんらダメージを与えずに、容器本体1からハンドル29を取り出すことができる。螺刻部材30は、PEEK、ポリカーボネート、ポリアミドなどの樹脂製のものを使用することが好ましい。
【0031】
本発明の基板収納容器を構成する容器本体と蓋体及びハンドルは、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレートなどの合成樹脂や、これらにカーボン繊維やカーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマーなどを適量添加して、導電性を付与した樹脂から形成することができる。また、上述した合成樹脂から形成した後に、基板収納容器の表面に、ポリピロールやポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性被膜を形成することもできる。
【0032】
また、基板収納容器は、自己消火性の樹脂から形成することを要求されることがあるが、その場合は、液晶ポリマーや、ポリエーテルイミドで形成することが好ましい。また、この場合は、容器本体の外側壁に取り付けられるハンドルも自己消火性の樹脂から形成する事が、保管庫に整列される基板収納容器の燃焼を防止する上で好ましい。こうした場合に、クリップ部材を弾力性のある別の部材として形成することで、ハンドルの容器本体への係合を問題なく行なうことができる。ここで、自己消火性とは、炎にさらされる間は燃えるが、炎から離されれば消火する性質と定義でき、JIS K6911にて規定するA法において、炎を取り去った後に試験片の燃焼が180秒以内に消え、かつ燃焼した長さが25mm以上100mm以下の場合に自己消火性を持つと定めることができる。
【0033】
以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。上記実施形態では、レール部は、容器本体の左右の側壁のそれぞれ上下一対のレール溝7として形成し、ハンドル3の基部10の両側部のフランジ16と摺動させることを記載したが、これに限らす、容器本体1のリア側からフロント側にかけて挿入されるハンドル3の幅方向のほぼ中心線上に伸びる断面略T字形をした溝1本を形成し、ハンドル3の基部中央部の側壁と向き合う面に上記したレール溝と係合可能な略断面T字形をした突起を形成して、ハンドルを摺動させることもでき、こうしたレール溝と突起は、複数個所に形成することもできる。また、こうしたレール部を容器本体の側壁から突出形成される突起として形成し、ハンドルの基部には、この突起と摺動可能に係合する凹部を形成することもできる。
【符号の説明】
【0034】
1…容器本体、 2…蓋体、
3、29…ハンドル、 7…レール溝、
8…ストッパーリブ、 9…係合リブ、
10…基部、 11…前部支柱部、
12…後部支柱部、 13…グリップ部、
14、31…取付部、 14b…貫通穴部、
15…貫通穴、 16…フランジ部、
17(17a、17b、17c) …肉盗み凹部(リブ)、
18…補強リブ
19、25…クリップ部材、 20、26、…頭部、
14a、21、27…脚部、 22…中空部、
23…張り出し部、 24…屈曲部
27…脚部、 28…鍔部
30…羅刻部材、 32…螺刻溝
100…基板収納容器

【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を収納する容器本体と、該容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の左右の側面に設けられ、板状の基部、及び該基部上に形成されたグリップ部を含む一対のハンドルとを有する基板収納容器であって、
前記左右の各側面に設けられ、所定の挿入方向に前記基部を摺動可能に案内するレール部と、
前記基部の挿入方向の面とほぼ垂直な方向に伸びるように形成され、前記基部の先端部の挿入位置を規制するストッパーリブと、
該ストッパーリブとほぼ平行に形成される係合リブと、
前記基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブに当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部と、
前記ハンドルの基部を前記レール部と係合させて摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブを超えた後に、前記貫通穴に挿入される係止部材と、を備えることを特徴とする基板収納容器。
【請求項2】
前記係止部材は、
先端が細くなるように形成された頭部と、
該頭部から分岐され一方が開口する一対の脚部と、
前記一対の脚部から外側に折れ曲がるように形成され前記頭部の他端と向き合う屈曲部とを含み、
前記一対の脚部と前記屈曲部は、前記貫通穴と嵌合するよう形成されていることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。
【請求項3】
前記係止部材は、頭部と、該頭部から分岐される一対の脚部を含み、該頭部と前記一対の脚部で形成される中空部は前記頭部側から前記脚部にかけて拡開されることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。
【請求項4】
前記係止部材は、螺刻部材であり、前記貫通穴部には、螺刻溝が形成され、前記螺刻溝に前記螺刻部材が嵌合されることを特徴とする請求項1記載の基板収納容器。
【請求項5】
前記ハンドルのグリップ部は、幅方向に延び、長手方向に所定の間隔で配列され形成されたリブからなる肉盗み部を含むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板収納容器。
【請求項6】
前記係止部材は、前記貫通穴へ挿入されることにより、前記係止部材と前記取付部に形成された脚部で前記係合リブを挟持することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板収納容器。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【図6】
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【図7】
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【図8】
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【図9】
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【図10】
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【図11】
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【公開番号】特開2011−129660(P2011−129660A)
【公開日】平成23年6月30日(2011.6.30)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−285940(P2009−285940)
【出願日】平成21年12月17日(2009.12.17)
【出願人】(000190116)信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Fターム(参考)】