基板搬送方法及び基板搬送システム
【課題】収納スペース内に人が介入することなく、基板搬送ロボットのハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置することができる基板搬送方法及び基板搬送システムを提供する。
【解決手段】基板搬送ロボット１が収納された収納スペース３外に位置する基板載置スペース５に、基板搬送ロボット１の基板を載置するハンド部材を移動させる工程と、収納スペース３外に移動させたハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、基板を載置した状態で基板搬送ロボット１を駆動させて基板を収納するカセット２と基板を処理する基板処理装置４とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボット１を制御する制御装置に記憶する工程と、認識した位置によってカセット２と基板処理装置４とに設置された基板を基板搬送ロボット１によって搬入出するように駆動制御する工程とからなる基板搬送方法及び基板搬送システム。
【解決手段】基板搬送ロボット１が収納された収納スペース３外に位置する基板載置スペース５に、基板搬送ロボット１の基板を載置するハンド部材を移動させる工程と、収納スペース３外に移動させたハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、基板を載置した状態で基板搬送ロボット１を駆動させて基板を収納するカセット２と基板を処理する基板処理装置４とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボット１を制御する制御装置に記憶する工程と、認識した位置によってカセット２と基板処理装置４とに設置された基板を基板搬送ロボット１によって搬入出するように駆動制御する工程とからなる基板搬送方法及び基板搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの製造工程において、液晶基板（以下基板という）を搬送する基板搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造工程には、基板に、薄膜形成処理、洗浄処理、レジスト塗布等の基板処理を行なう工程がある。
【０００３】
図５は、従来の基板処理システムの配置図である。
例えば、基板に基板処理を行なう基板処理装置４と、基板処理装置４に基板を搬入したり基板処理装置４から基板を搬出するための基板搬送ロボット１と、基板搬送ロボット１を設置する収納スペース３と、基板を収納したカセット２とが配置されている。
【０００４】
収納スペース３は、基板処理装置４に隣接した位置に配置されて、基板搬送ロボット１を内部に設置している。
さらに、収納スペース３には、基板搬送ロボット１を、図５のＹ方向に移動させる機構が備えられていて、基板搬送ロボット１を基板の搬送に適した位置（通常、カセット２又は基板処理装置４の基板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることができる。また、収納スペース３は、基板搬送ロボット１を図５のＹ方向以外の方向に移動させる機構を備えてもよい。
【０００５】
図６は、基板搬送ロボット１がカセット２から基板２１を搬出するときのカセット２及び基板搬送ロボット１の斜視図である。
基板搬送ロボット１は、例えば、図６に示すように、ベース機構１１と昇降機構１２と１組のアーム機構１３とアーム機構の先端に軸支されたハンド部材１４とを備えている。
【０００６】
ベース機構１１は、内部に図示しない複数のモータを備えていて昇降機構１２を昇降させると共に昇降機構１１をＺ軸の軸心周りに回動させることができる。
アーム機構１３は、昇降機構に軸支された第１のアーム１３ａと第２のアーム１３ｂとハンド部材１４とが連結されて、そのハンド部材１４を少なくともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機構１３もベース機構１１内に備えられたモータによって駆動される。
【０００７】
また、ハンド部材１４は、図示しない真空吸着等の手段によってハンド部材１４の上面に基板４１を載せて固定させることができる。
【０００８】
なお、図６では、説明を簡略化するために、カセット２を１つだけ示し、図５に示した収納スペース３に備えられたＹ方向の移動機構等の図示を省略している。
【特許文献１】特開２００２−３５３２９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前述した従来の基板処理システムにおいて基板２１の搬送を行なう場合、カセット２に収納された基板２１を基板搬送ロボット１のハンド部材１４によって取り出し、基板処理装置４の任意の位置に収納する。このような一連の作業は予め図示を省略した制御装置によって基板搬送ロボット１が自動制御され、カセット２に収納された複数枚の基板２１を順次取り出し、基板処理装置４に収納して基板処理を行なっている。
【００１０】
しかしながら、前述したような一連の作業を行なう場合、予め基板搬送ロボット１のハンド部材１４の位置、すなわちカセット２において基板２１を載置する位置、基板処理装置４の基板２１を収納する位置等一連の動作におけるハンド部材１４の位置を予め設定しておく必要があり、特に精度の高い搬入、搬出を行なう場合はより正確に位置決めを行なう必要がある。
通常、このような作業は、システムの立ち上げ時には必ず必要となる作業であり、より正確な位置決めが必要となってくる。そのため実際に基板２１を基板搬送ロボット１のハンド部材１４に載置させて各々の基板収納位置を確認するべく、基板搬送ロボット１を動作させて基板の収納位置を決定する。この位置決め作業において使用する基板は、カセットに収納された基板を使用すると損傷、劣化等の可能性があるため、通常スタート用または再スタート用の基板を使用して位置調整を行なう。
【００１１】
このとき、前述したスタート用または再スタート用の基板を基板搬送ロボット１のハンド部材１４に載置する場合、基板搬送ロボット１は位置情報を入手する前の状態であるため、初期の状態にある基板搬送ロボット１の設置された位置に人が介入して、人力によって基板を収納スペース３内にある基板搬送ロボット１のハンド部材１４まで搬送して基板を載置した後に、位置決めのためのティーチング作業を行なっていた。
また、基板処理の工程において、基板の破損、装置の誤動作や基板収納装置４、カセット２の位置のズレが生じる等の不具合が生じた場合、装置を停止して不具合の改善を行なった後に、再び装置をスタートさせるが、このときにも前述したような人の介入による基板の載置やティーチング作業等が必要となってくる。
しかし、収納スペース内には、基板搬送ロボット１が可動するためのスペースが確保されているだけであり、人が基板を搬入するためのスペースは十分に確保されていない。そのため、人が介入して収納スペース内の基板搬送ロボット１のハンド部材１４に基板を載置することは、非常に作業性が悪く、時間もかかる。このことは、基板のサイズが大きくなるに従いより問題となり、基板重量の増加や収納スペース内の作業スペースが減少するために、さらに作業効率が悪化することとなる。
【００１２】
本発明は以上のような問題点を改善するべく収納スペース内に人が介入することなく、基板搬送ロボットのハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置することができる基板搬送システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、第１の発明は、
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
前記基板搬送ロボットの基板を載置するハンド部材を移動させる工程と、
前記収納スペース外に移動させたハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなることを特徴とする基板搬送方法である。
【００１４】
上記目的を達成するために、第２の発明は、
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
予めスタート用または再スタート用の基板を仮置きする載置ステージを設けて基板を載置する工程と、
前記基板を仮置きする載置ステージ上に前記ハンド部材を移動させる工程と、
前記載置ステージ上に移動させたハンド部材上に前記基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなることを特徴とする基板搬送方法である。
【００１５】
上記目的を達成するために、第３の発明は、
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置と
前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬入出する基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットを収納する収納スペースとを備え、
前記基板搬送ロボットがカセットと基板処理装置との間で基板を搬入出するように制御された基板搬送システムにおいて、
前記基板の搬入出作業のスタート時または搬入出作業の再スタート時に、前記基板搬送ロボットにスタート用または再スタート用の基板を載置するための基板載置スペースを前記収納スペース外に設けたことを特徴とする基板搬送システムである。
【００１６】
上記目的を達成するために、第４の発明は、
前記基板載置スペースが、前記収納スペースに隣接してなる基板載置ステージによって形成されたことを特徴とする基板搬送システムである。
【００１７】
上記目的を達成するために、第５の発明は、
前記基板載置スペースが、前記収納スペースの側壁を用いて形成された載置ステージからなることを特徴とする基板搬送システムである。
【発明の効果】
【００１８】
第１の発明及び第３の発明は、基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に基板の載置スペースを設けているため、収納スペース内に基板を搬入する必要がなく、スタート用または再スタート用の基板を基板搬送用ロボットのハンド部材上に載置する作業を基板搬送ロボットの収納されている収納スペース外で行なうことができる。そのため、基板のサイズが大きくなった場合でも基板を載置するための作業スペースを基板搬送ロボットの収納されている収納スペースよりも広く確保することができ、効率的に作業を行なうことができる。
【００１９】
第２の発明及び第４の発明は、基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に基板の載置ステージを設けて、この基板の載置ステージ上にスタート用または再スタート用の基板を予め載置して、載置ステージ上に基板搬送用ロボットのハンド部材を移動させてハンド部材上に基板を移し替えることができる。そのため、位置決め作業を行なうためにハンド部材上の正確な位置に基板を載置するための微調整は必要であるが、収納スペース内に基板を搬入する必要が無く、基板のサイズが大きくなった場合でも、人が介入して直接基板をハンド部材上に移し替える必要も無く、基板の損傷、破損等が可及的に減少する。
【００２０】
第５の発明は、基板を予め載置する載置ステージを基板搬送ロボットが収納された収納スペース外であって、かつ収納スペースの側壁を利用して形成するため、基板を載置ステージからハンド部材に移し替える作業時のみ載置スペースを使用することとなる。このため、基板搬送システムの連続運転時または停止時において、載置ステージを設置する作業スペースを必要なときのみ確保すればよく、作業スペースを効率的に使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［実施の形態１］
発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図１は本発明の基板搬送システムを示す配置図である。
同図に示すように、基板に基板処理を行なう基板処理装置４と、基板処理装置４に基板を搬入したり基板処理装置４から基板を搬出するための基板搬送ロボット１と、基板搬送ロボット１を設置する収納スペース３と、基板を収納したカセット２とが配置されている。ここで基板搬送ロボット１は図６で示した構成と同様の構成であり説明を省略する。
【００２２】
収納スペース３は、基板処理装置４に隣接した位置に配置されて、基板搬送ロボット１を内部に設置している。
さらに、収納スペース３には、基板搬送ロボット１を、Ｙ方向に移動させる機構が備えられていて、基板搬送ロボット１を基板の搬送に適した位置（通常、カセット２又は基板処理装置４の基板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることができる。また、収納スペース３は、基板搬送ロボット１を図５のＹ方向以外の方向に移動させる機構を備えてもよい。ここで収納スペースにはカセット２及び基板処理装置４から基板を搬入出するための開口部が設けられており、この開口部から基板搬送ロボットのハンド部材１４が出入りして基板の搬入出を行なう。なお、この開口部には図示を省略するがシャッタ機構が設けられており、基板の搬入出を行なわないときは閉口することができる。
【００２３】
同図において、基板搬送ロボットの基板搬送作業をスタートさせる場合、基板搬送ロボット１が、カセット２、基板処理装置４の所定の位置に基板を搬入出するために、予め基板搬送ロボットの動作位置を図示を省略した制御装置に記憶させる必要がある。
そこで、本発明は次のような作業工程によって基板搬送ロボットを動作させて、基板搬送ロボット１の各々の位置を制御装置に記憶させている。
【００２４】
すなわち、基板搬送ロボット１が収納された収納スペース３外に基板載置スペース５を設けて、基板搬送ロボット１の基板を載置するハンド部材１４を基板載置スペース５に移動させる工程と、収納スペース３外に移動させたハンド部材１４上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、基板を載置した状態で基板搬送ロボット１を移動させて基板を収納するカセット２の収納位置と基板を処理する基板処理装置４の処理位置とに移動する工程とからなる基板搬送方法である。
【００２５】
以上のような工程における基板搬送ロボット１の移動経路を図示を省略した制御装置に記憶させる。この記憶した移動経路を基板搬送ロボットが駆動することによって、基板をカセット２と基板処理装置４との間で搬入出することができる。
【００２６】
図２は図１の配置図を矢印Ａの方向から見たときの概略断面図である。
同図に示すように、収納スペース３内にある基板搬送ロボット１のハンド部材１４を基板載置スペース５に第１アーム１３ａ及び第２アーム１３ｂを駆動させることによって移動させる。ここで、収納スペース３には予めハンド部材１４が通過できる程度の開口部３ａが設けられており、この開口部３ａは必要に応じて、すなわち、ハンド部材１４が通過する際に、適宜、開口することができるように、例えばシャッタ機構などを備えた開口部３ａとなっている。この開口部３ａを開口してハンド部材１４を基板載置スペースに移動させることができる。このようにハンド部材１４が収納スペース３外に設定された状態で基板をハンド部材１４上に載置することができ、この基板を載置する作業を行なう際に人が介入して、基板をハンド部材１４上に載置する作業を行なった場合でも作業スペースを十分に確保することができ、効率的に載置作業を行なうことができる。
【００２７】
［実施の形態２］
本発明の第２の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図３は本発明の第２の実施の形態を示す概略断面図であって、図２と同様に図１の配置図を矢印Ａの方向から見たときの概略断面図であり、基板載置スペース５に基板載置ステージ５ａを設置したときの図である。その他の構成は図２と同様であり、同じ符号を付して説明を省略する。
同図に示すように、開口部３ａを開口させて収納スペース３外にハンド部材１４を移動させる。ここで、基板載置スペース内に設置された基板載置ステージ５ａ上には予めスタート用または再スタート用の基板を図示を省略する基板支持機構、例えば支持ピン等に載置しておくことができ、基板をハンド部材１４上に容易に移し替えすることができる。この基板をハンド部材１４上に移し替える方法は、通常、基板搬送ロボットを駆動させることによって行なう。すなわち、基板搬送ロボット１のアーム機構１３を図示を省略した制御装置によって駆動させる。このアーム機構１３の先端にあるハンド部材１４を基板支持機構で支持された基板の下に移動させる。この基板の下に移動させたハンド部材１４を上昇させることでハンド部材１４上に基板を移し替えることができる。このとき、ハンド部材１４上の正確な位置に基板を載置するための微調整を行なうために人が介入することは必要であるが、人が直接基板をハンド部材上に移し替える必要が無く、特に基板が大型化した場合、人が介入することによる移し替え時の基板の損傷、破損等を無くすことができ効率的に基板の移し替えを行なうことができる。
【００２８】
［実施の形態３］
本発明の第３の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図４は本発明の第３の実施の形態を示す概略断面図であって、図２と同様に図１の配置図を矢印Ａの方向から見たときの概略断面図であり、基板載置スペース５に簡易基板載置ステージ５ｂを設置したときの図である。その他の構成は図２と同様であり、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２９】
同図に示すように、収納スペース３の側壁には、予め開閉自在である簡易基板載置ステージ５ｂが収納スペース３に備えられている。この簡易基板載置ステージ５ｂは、通常、収納スペース３と一体化して収納スペースを形成している。しかし、スタート用または再スタート用の基板を載置するために、ハンド部材１４を収納スペース３外に移動させるときは、矢印Ｂに示すように簡易基板載置ステージ５ｂを開口させることができる。すなわち、簡易基板載置ステージ５ｂを開口させると、予め簡易基板載置ステージ５ｂに駆動自在に一方が取り付けられた支持棒５１の他方を収納スペースの凹部に取り付けることによって、収納スペース３外に基板を載置することができる簡易型のステージを設けることができる。
この簡易基板載置ステージ５ｂ上には、予めスタート用または再スタート用の基板を図示を省略する基板支持機構、例えば支持ピン等が備えられており、この基板支持機構に基板を載置しておくことができ、前述した図３で示した実施の形態２と同様に基板をハンド部材１４上に容易に移し替えることができる。
また、基板を載置するステージを常に設置する必要は無く、スタート用または再スタート用の基板をハンド部材１４に載置するときのみ、簡易基板載置ステージ５ｂを設置すれば良く、基板搬送システムの作業スペースをより有効に活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施の形態１の基板搬送システムを示す配置図である。
【図２】本発明の図１の配置図の概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２の概略断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３の概略断面図である。
【図５】従来の基板処理システムの配置図である。
【図６】基板搬送ロボット斜視図を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１ 基板搬送ロボット
１１ ベース機構
１２ 昇降機構
１３ アーム機構
１３ａ 第１アーム
１３ｂ 第２アーム
１４ ハンド部材
２ カセット
２１ 基板
３ 収納スペース
３ａ 開口部
４ 基板処理装置
５ 基板載置スペース
５ａ 基板載置ステージ
５ｂ 簡易基板載置ステージ
５１ 支持棒
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルの製造工程において、液晶基板（以下基板という）を搬送する基板搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルの製造工程には、基板に、薄膜形成処理、洗浄処理、レジスト塗布等の基板処理を行なう工程がある。
【０００３】
図５は、従来の基板処理システムの配置図である。
例えば、基板に基板処理を行なう基板処理装置４と、基板処理装置４に基板を搬入したり基板処理装置４から基板を搬出するための基板搬送ロボット１と、基板搬送ロボット１を設置する収納スペース３と、基板を収納したカセット２とが配置されている。
【０００４】
収納スペース３は、基板処理装置４に隣接した位置に配置されて、基板搬送ロボット１を内部に設置している。
さらに、収納スペース３には、基板搬送ロボット１を、図５のＹ方向に移動させる機構が備えられていて、基板搬送ロボット１を基板の搬送に適した位置（通常、カセット２又は基板処理装置４の基板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることができる。また、収納スペース３は、基板搬送ロボット１を図５のＹ方向以外の方向に移動させる機構を備えてもよい。
【０００５】
図６は、基板搬送ロボット１がカセット２から基板２１を搬出するときのカセット２及び基板搬送ロボット１の斜視図である。
基板搬送ロボット１は、例えば、図６に示すように、ベース機構１１と昇降機構１２と１組のアーム機構１３とアーム機構の先端に軸支されたハンド部材１４とを備えている。
【０００６】
ベース機構１１は、内部に図示しない複数のモータを備えていて昇降機構１２を昇降させると共に昇降機構１１をＺ軸の軸心周りに回動させることができる。
アーム機構１３は、昇降機構に軸支された第１のアーム１３ａと第２のアーム１３ｂとハンド部材１４とが連結されて、そのハンド部材１４を少なくともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機構１３もベース機構１１内に備えられたモータによって駆動される。
【０００７】
また、ハンド部材１４は、図示しない真空吸着等の手段によってハンド部材１４の上面に基板４１を載せて固定させることができる。
【０００８】
なお、図６では、説明を簡略化するために、カセット２を１つだけ示し、図５に示した収納スペース３に備えられたＹ方向の移動機構等の図示を省略している。
【特許文献１】特開２００２−３５３２９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前述した従来の基板処理システムにおいて基板２１の搬送を行なう場合、カセット２に収納された基板２１を基板搬送ロボット１のハンド部材１４によって取り出し、基板処理装置４の任意の位置に収納する。このような一連の作業は予め図示を省略した制御装置によって基板搬送ロボット１が自動制御され、カセット２に収納された複数枚の基板２１を順次取り出し、基板処理装置４に収納して基板処理を行なっている。
【００１０】
しかしながら、前述したような一連の作業を行なう場合、予め基板搬送ロボット１のハンド部材１４の位置、すなわちカセット２において基板２１を載置する位置、基板処理装置４の基板２１を収納する位置等一連の動作におけるハンド部材１４の位置を予め設定しておく必要があり、特に精度の高い搬入、搬出を行なう場合はより正確に位置決めを行なう必要がある。
通常、このような作業は、システムの立ち上げ時には必ず必要となる作業であり、より正確な位置決めが必要となってくる。そのため実際に基板２１を基板搬送ロボット１のハンド部材１４に載置させて各々の基板収納位置を確認するべく、基板搬送ロボット１を動作させて基板の収納位置を決定する。この位置決め作業において使用する基板は、カセットに収納された基板を使用すると損傷、劣化等の可能性があるため、通常スタート用または再スタート用の基板を使用して位置調整を行なう。
【００１１】
このとき、前述したスタート用または再スタート用の基板を基板搬送ロボット１のハンド部材１４に載置する場合、基板搬送ロボット１は位置情報を入手する前の状態であるため、初期の状態にある基板搬送ロボット１の設置された位置に人が介入して、人力によって基板を収納スペース３内にある基板搬送ロボット１のハンド部材１４まで搬送して基板を載置した後に、位置決めのためのティーチング作業を行なっていた。
また、基板処理の工程において、基板の破損、装置の誤動作や基板収納装置４、カセット２の位置のズレが生じる等の不具合が生じた場合、装置を停止して不具合の改善を行なった後に、再び装置をスタートさせるが、このときにも前述したような人の介入による基板の載置やティーチング作業等が必要となってくる。
しかし、収納スペース内には、基板搬送ロボット１が可動するためのスペースが確保されているだけであり、人が基板を搬入するためのスペースは十分に確保されていない。そのため、人が介入して収納スペース内の基板搬送ロボット１のハンド部材１４に基板を載置することは、非常に作業性が悪く、時間もかかる。このことは、基板のサイズが大きくなるに従いより問題となり、基板重量の増加や収納スペース内の作業スペースが減少するために、さらに作業効率が悪化することとなる。
【００１２】
本発明は以上のような問題点を改善するべく収納スペース内に人が介入することなく、基板搬送ロボットのハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置することができる基板搬送システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、第１の発明は、
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
前記基板搬送ロボットの基板を載置するハンド部材を移動させる工程と、
前記収納スペース外に移動させたハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなることを特徴とする基板搬送方法である。
【００１４】
上記目的を達成するために、第２の発明は、
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
予めスタート用または再スタート用の基板を仮置きする載置ステージを設けて基板を載置する工程と、
前記基板を仮置きする載置ステージ上に前記ハンド部材を移動させる工程と、
前記載置ステージ上に移動させたハンド部材上に前記基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなることを特徴とする基板搬送方法である。
【００１５】
上記目的を達成するために、第３の発明は、
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置と
前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬入出する基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットを収納する収納スペースとを備え、
前記基板搬送ロボットがカセットと基板処理装置との間で基板を搬入出するように制御された基板搬送システムにおいて、
前記基板の搬入出作業のスタート時または搬入出作業の再スタート時に、前記基板搬送ロボットにスタート用または再スタート用の基板を載置するための基板載置スペースを前記収納スペース外に設けたことを特徴とする基板搬送システムである。
【００１６】
上記目的を達成するために、第４の発明は、
前記基板載置スペースが、前記収納スペースに隣接してなる基板載置ステージによって形成されたことを特徴とする基板搬送システムである。
【００１７】
上記目的を達成するために、第５の発明は、
前記基板載置スペースが、前記収納スペースの側壁を用いて形成された載置ステージからなることを特徴とする基板搬送システムである。
【発明の効果】
【００１８】
第１の発明及び第３の発明は、基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に基板の載置スペースを設けているため、収納スペース内に基板を搬入する必要がなく、スタート用または再スタート用の基板を基板搬送用ロボットのハンド部材上に載置する作業を基板搬送ロボットの収納されている収納スペース外で行なうことができる。そのため、基板のサイズが大きくなった場合でも基板を載置するための作業スペースを基板搬送ロボットの収納されている収納スペースよりも広く確保することができ、効率的に作業を行なうことができる。
【００１９】
第２の発明及び第４の発明は、基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に基板の載置ステージを設けて、この基板の載置ステージ上にスタート用または再スタート用の基板を予め載置して、載置ステージ上に基板搬送用ロボットのハンド部材を移動させてハンド部材上に基板を移し替えることができる。そのため、位置決め作業を行なうためにハンド部材上の正確な位置に基板を載置するための微調整は必要であるが、収納スペース内に基板を搬入する必要が無く、基板のサイズが大きくなった場合でも、人が介入して直接基板をハンド部材上に移し替える必要も無く、基板の損傷、破損等が可及的に減少する。
【００２０】
第５の発明は、基板を予め載置する載置ステージを基板搬送ロボットが収納された収納スペース外であって、かつ収納スペースの側壁を利用して形成するため、基板を載置ステージからハンド部材に移し替える作業時のみ載置スペースを使用することとなる。このため、基板搬送システムの連続運転時または停止時において、載置ステージを設置する作業スペースを必要なときのみ確保すればよく、作業スペースを効率的に使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［実施の形態１］
発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図１は本発明の基板搬送システムを示す配置図である。
同図に示すように、基板に基板処理を行なう基板処理装置４と、基板処理装置４に基板を搬入したり基板処理装置４から基板を搬出するための基板搬送ロボット１と、基板搬送ロボット１を設置する収納スペース３と、基板を収納したカセット２とが配置されている。ここで基板搬送ロボット１は図６で示した構成と同様の構成であり説明を省略する。
【００２２】
収納スペース３は、基板処理装置４に隣接した位置に配置されて、基板搬送ロボット１を内部に設置している。
さらに、収納スペース３には、基板搬送ロボット１を、Ｙ方向に移動させる機構が備えられていて、基板搬送ロボット１を基板の搬送に適した位置（通常、カセット２又は基板処理装置４の基板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることができる。また、収納スペース３は、基板搬送ロボット１を図５のＹ方向以外の方向に移動させる機構を備えてもよい。ここで収納スペースにはカセット２及び基板処理装置４から基板を搬入出するための開口部が設けられており、この開口部から基板搬送ロボットのハンド部材１４が出入りして基板の搬入出を行なう。なお、この開口部には図示を省略するがシャッタ機構が設けられており、基板の搬入出を行なわないときは閉口することができる。
【００２３】
同図において、基板搬送ロボットの基板搬送作業をスタートさせる場合、基板搬送ロボット１が、カセット２、基板処理装置４の所定の位置に基板を搬入出するために、予め基板搬送ロボットの動作位置を図示を省略した制御装置に記憶させる必要がある。
そこで、本発明は次のような作業工程によって基板搬送ロボットを動作させて、基板搬送ロボット１の各々の位置を制御装置に記憶させている。
【００２４】
すなわち、基板搬送ロボット１が収納された収納スペース３外に基板載置スペース５を設けて、基板搬送ロボット１の基板を載置するハンド部材１４を基板載置スペース５に移動させる工程と、収納スペース３外に移動させたハンド部材１４上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、基板を載置した状態で基板搬送ロボット１を移動させて基板を収納するカセット２の収納位置と基板を処理する基板処理装置４の処理位置とに移動する工程とからなる基板搬送方法である。
【００２５】
以上のような工程における基板搬送ロボット１の移動経路を図示を省略した制御装置に記憶させる。この記憶した移動経路を基板搬送ロボットが駆動することによって、基板をカセット２と基板処理装置４との間で搬入出することができる。
【００２６】
図２は図１の配置図を矢印Ａの方向から見たときの概略断面図である。
同図に示すように、収納スペース３内にある基板搬送ロボット１のハンド部材１４を基板載置スペース５に第１アーム１３ａ及び第２アーム１３ｂを駆動させることによって移動させる。ここで、収納スペース３には予めハンド部材１４が通過できる程度の開口部３ａが設けられており、この開口部３ａは必要に応じて、すなわち、ハンド部材１４が通過する際に、適宜、開口することができるように、例えばシャッタ機構などを備えた開口部３ａとなっている。この開口部３ａを開口してハンド部材１４を基板載置スペースに移動させることができる。このようにハンド部材１４が収納スペース３外に設定された状態で基板をハンド部材１４上に載置することができ、この基板を載置する作業を行なう際に人が介入して、基板をハンド部材１４上に載置する作業を行なった場合でも作業スペースを十分に確保することができ、効率的に載置作業を行なうことができる。
【００２７】
［実施の形態２］
本発明の第２の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図３は本発明の第２の実施の形態を示す概略断面図であって、図２と同様に図１の配置図を矢印Ａの方向から見たときの概略断面図であり、基板載置スペース５に基板載置ステージ５ａを設置したときの図である。その他の構成は図２と同様であり、同じ符号を付して説明を省略する。
同図に示すように、開口部３ａを開口させて収納スペース３外にハンド部材１４を移動させる。ここで、基板載置スペース内に設置された基板載置ステージ５ａ上には予めスタート用または再スタート用の基板を図示を省略する基板支持機構、例えば支持ピン等に載置しておくことができ、基板をハンド部材１４上に容易に移し替えすることができる。この基板をハンド部材１４上に移し替える方法は、通常、基板搬送ロボットを駆動させることによって行なう。すなわち、基板搬送ロボット１のアーム機構１３を図示を省略した制御装置によって駆動させる。このアーム機構１３の先端にあるハンド部材１４を基板支持機構で支持された基板の下に移動させる。この基板の下に移動させたハンド部材１４を上昇させることでハンド部材１４上に基板を移し替えることができる。このとき、ハンド部材１４上の正確な位置に基板を載置するための微調整を行なうために人が介入することは必要であるが、人が直接基板をハンド部材上に移し替える必要が無く、特に基板が大型化した場合、人が介入することによる移し替え時の基板の損傷、破損等を無くすことができ効率的に基板の移し替えを行なうことができる。
【００２８】
［実施の形態３］
本発明の第３の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。
図４は本発明の第３の実施の形態を示す概略断面図であって、図２と同様に図１の配置図を矢印Ａの方向から見たときの概略断面図であり、基板載置スペース５に簡易基板載置ステージ５ｂを設置したときの図である。その他の構成は図２と同様であり、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２９】
同図に示すように、収納スペース３の側壁には、予め開閉自在である簡易基板載置ステージ５ｂが収納スペース３に備えられている。この簡易基板載置ステージ５ｂは、通常、収納スペース３と一体化して収納スペースを形成している。しかし、スタート用または再スタート用の基板を載置するために、ハンド部材１４を収納スペース３外に移動させるときは、矢印Ｂに示すように簡易基板載置ステージ５ｂを開口させることができる。すなわち、簡易基板載置ステージ５ｂを開口させると、予め簡易基板載置ステージ５ｂに駆動自在に一方が取り付けられた支持棒５１の他方を収納スペースの凹部に取り付けることによって、収納スペース３外に基板を載置することができる簡易型のステージを設けることができる。
この簡易基板載置ステージ５ｂ上には、予めスタート用または再スタート用の基板を図示を省略する基板支持機構、例えば支持ピン等が備えられており、この基板支持機構に基板を載置しておくことができ、前述した図３で示した実施の形態２と同様に基板をハンド部材１４上に容易に移し替えることができる。
また、基板を載置するステージを常に設置する必要は無く、スタート用または再スタート用の基板をハンド部材１４に載置するときのみ、簡易基板載置ステージ５ｂを設置すれば良く、基板搬送システムの作業スペースをより有効に活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の実施の形態１の基板搬送システムを示す配置図である。
【図２】本発明の図１の配置図の概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２の概略断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３の概略断面図である。
【図５】従来の基板処理システムの配置図である。
【図６】基板搬送ロボット斜視図を示す図である。
【符号の説明】
【００３１】
１ 基板搬送ロボット
１１ ベース機構
１２ 昇降機構
１３ アーム機構
１３ａ 第１アーム
１３ｂ 第２アーム
１４ ハンド部材
２ カセット
２１ 基板
３ 収納スペース
３ａ 開口部
４ 基板処理装置
５ 基板載置スペース
５ａ 基板載置ステージ
５ｂ 簡易基板載置ステージ
５１ 支持棒
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
前記基板搬送ロボットの基板を載置するハンド部材を移動させる工程と、
前記収納スペース外に移動させたハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなる基板搬送方法。
【請求項２】
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
予めスタート用または再スタート用の基板を仮置きする載置ステージを設けて基板を載置する工程と、
前記基板を仮置きする載置ステージ上に前記ハンド部材を移動させる工程と、
前記載置ステージ上に移動させたハンド部材上に前記基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなる基板搬送方法。
【請求項３】
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置と
前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬入出する基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットを収納する収納スペースとを備え、
前記基板搬送ロボットがカセットと基板処理装置との間で基板を搬入出するように制御された基板搬送システムにおいて、
前記基板の搬入出作業のスタート時または搬入出作業の再スタート時に、前記基板搬送ロボットにスタート用または再スタート用の基板を載置するための基板載置スペースを前記収納スペース外に設けた基板搬送システム。
【請求項４】
前記基板載置スペースが、前記収納スペースに隣接してなる基板載置ステージによって形成された基板搬送システム。
【請求項５】
前記基板載置スペースが、前記収納スペースの側壁を用いて形成された載置ステージからなる基板搬送システム。
【請求項１】
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
前記基板搬送ロボットの基板を載置するハンド部材を移動させる工程と、
前記収納スペース外に移動させたハンド部材上にスタート用または再スタート用の基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなる基板搬送方法。
【請求項２】
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置との間で、
基板を搬入出する基板搬送ロボットの基板搬送方法において、
前記基板搬送ロボットが収納された収納スペース外に位置する基板載置スペースに、
予めスタート用または再スタート用の基板を仮置きする載置ステージを設けて基板を載置する工程と、
前記基板を仮置きする載置ステージ上に前記ハンド部材を移動させる工程と、
前記載置ステージ上に移動させたハンド部材上に前記基板を載置する工程と、
前記基板を載置した状態で基板搬送ロボットを駆動させて前記基板を収納するカセットと前記基板を処理する基板処理装置とにおける基板を収納する位置を認識して基板搬送ロボットを制御する制御装置に記憶する工程と、
前記認識した位置によってカセットと基板処理装置とに設置された基板を基板搬送ロボットによって搬入出するように駆動制御する工程とからなる基板搬送方法。
【請求項３】
基板を収納したカセットと、
基板を処理する基板処理装置と
前記カセットと基板処理装置との間で基板を搬入出する基板搬送ロボットと、
前記基板搬送ロボットを収納する収納スペースとを備え、
前記基板搬送ロボットがカセットと基板処理装置との間で基板を搬入出するように制御された基板搬送システムにおいて、
前記基板の搬入出作業のスタート時または搬入出作業の再スタート時に、前記基板搬送ロボットにスタート用または再スタート用の基板を載置するための基板載置スペースを前記収納スペース外に設けた基板搬送システム。
【請求項４】
前記基板載置スペースが、前記収納スペースに隣接してなる基板載置ステージによって形成された基板搬送システム。
【請求項５】
前記基板載置スペースが、前記収納スペースの側壁を用いて形成された載置ステージからなる基板搬送システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００７−７６８７０（Ｐ２００７−７６８７０Ａ）
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２６９３２５（Ｐ２００５−２６９３２５）
【出願日】平成１７年９月１６日（２００５．９．１６）
【出願人】（００００００２６２）株式会社ダイヘン (990)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年３月２９日（２００７．３．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年９月１６日（２００５．９．１６）
【出願人】（００００００２６２）株式会社ダイヘン (990)
【Ｆターム（参考）】
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