弾性波フィルタ
【課題】トランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、当該フィルタと外部との間のインピーダンスの整合を取りやすくすること。
【解決手段】各々のＩＤＴ電極１２、１３について、弾性波の発生するフィルタ本体１と、弾性波が発生しないように電極指１５が配置された緩衝領域２と、容量成分Ｃ２をなすインピーダンス調整部３と、を対向するＩＤＴ電極１３、１２側からこの順番で配置する。そして、インピーダンス調整部３において弾性波が発生しないように、且つフィルタ本体１における弾性波の発生を阻害しないように、インピーダンス調整部３の上方側と、当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の端部と、に弾性波を吸収するための吸収体４１を配置する。
【解決手段】各々のＩＤＴ電極１２、１３について、弾性波の発生するフィルタ本体１と、弾性波が発生しないように電極指１５が配置された緩衝領域２と、容量成分Ｃ２をなすインピーダンス調整部３と、を対向するＩＤＴ電極１３、１２側からこの順番で配置する。そして、インピーダンス調整部３において弾性波が発生しないように、且つフィルタ本体１における弾性波の発生を阻害しないように、インピーダンス調整部３の上方側と、当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の端部と、に弾性波を吸収するための吸収体４１を配置する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として圧電基板上に配置したトランスバーサル型の弾性波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種通信機用のバンドパスフィルタとして、弾性波例えば弾性表面波を用いると共に、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板上に配置したトランスバーサル型の弾性波フィルタが知られている。このようなフィルタでは、挿入損失をできるだけ低減することが求められており、その手法の一例としては、例えば各々のフィルタ（ＩＤＴ電極）のインピーダンス値に応じて、例えば当該フィルタが搭載（接続）される電子部品例えばミキサーなどとの間において、整合回路を用いて最適な整合を取るようにしている。具体的には、整合回路において前記電子部品と整合を取ることにより、例えばＶＳＷＲ（Ｖｏｌｔａｇｅ Ｓｔａｎｄｉｎｇ Ｗａｖｅ Ｒａｔｉｏ：電圧定在波比）と呼ばれる５０Ωからのインピーダンスのずれ量ができるだけ小さくなるようにしている。あるいは、特許文献１のように、くし歯状電極において、交差幅が一定とならないように交差幅に重み付けを行う技術が知られている。
【０００３】
ここで、既述の整合回路は、容量素子やインダクタンス素子などの電子部品を備えた装置であり、各々のフィルタのインピーダンス値に応じて、最適な常数（容量素子の容量値やインダクタンス素子のインダクタ値）を持つ素子を組み合わせて構成される。従って、このような整合回路は、様々な種別のフィルタに対応できるように、多数の品種があると言える。
【０００４】
しかし、既述の各素子は、電子部品であり、通常は各常数が連続的（な値を取るもの）ではなく各々ある特定の常数を持っている（各常数が飛び値となっている）ので、点数（品種）には限りがある。従って、各々のフィルタにおいてインピーダンスの整合をより一層最適化しようとしても、当該フィルタに対応する常数の素子がない（整合が取れない）場合がある。具体的には、例えば既述の容量素子について、容量値が夫々１０ｐＦ、１２ｐＦ、１５ｐＦ、、、となるように設計された既製品の部品では、例えば１４ｐＦの容量値で最適な整合が取られるフィルタに対しては、最適な整合状態を取ることができず、挿入損失が劣化してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１−２２５２１１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板上に配置したトランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、このフィルタと当該フィルタが接続される部品との間のインピーダンスの整合を取りやすくすることのできる弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の弾性波フィルタは、
トランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した入力側ＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上において前記入力側ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に沿って離間するように形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した出力側ＩＤＴ電極と、を備え、
前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方のＩＤＴ電極は、
前記一対のバスバーのうち一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第１の領域と、
弾性波が発生しないように、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第２の領域と、
前記一方側のバスバーから前記他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置され、インピーダンス整合用の容量成分を調整するための第３の領域と、を備え、
前記第１の領域、前記第２の領域及び前記第３の領域は、弾性波の伝搬方向に沿って他方のＩＤＴ電極側からこの順番で配置され、
前記第３の領域における弾性波の発生を抑えるために、前記第３の領域の上方側には弾性波を吸収するための吸収体が形成され、
前記第２の領域は、前記吸収体が前記第１の領域に接触しないように、当該第１の領域と前記第３の領域との間に中間領域を形成するためのものであることを特徴とする。
【０００８】
前記第３の領域は、当該領域を備えた入力側ＩＤＴ電極または出力側ＩＤＴ電極に接続された整合回路の容量成分と共に、インピーダンス整合用の容量成分をなすものであることが好ましい。
前記第３の領域における電極指は、前記組における電極指同士の交差幅が弾性波の伝搬方向において変わるように、アポタイズ型に重みづけられていても良い。
前記第２の領域は、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置されていることに代えて、電極指の形成されていないスペース領域が配置されていても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を備えたトランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、これらＩＤＴ電極うち少なくとも一方のＩＤＴ電極について、互いに隣接する電極指同士が交差するように配置された第１の領域と、互いに隣接する電極指同士が交差しないように配置された緩衝領域（中間領域）である第２の領域と、互いに隣接する電極指同士が交差するように配置された第３の領域と、を他方のＩＤＴ電極側から弾性波の伝搬方向に沿ってこの順番で配置している。そして、第３の領域において弾性波が発生しないように、第３の領域の上方側に弾性波を吸収するための吸収体を配置すると共に、この吸収体が第１の領域に接触しないようにしている。そのため、前記少なくとも一方のＩＤＴ電極において、一対のバスバー間には前記第３の領域からなる容量成分が当該ＩＤＴ電極に対して並列に接続されることになるので、フィルタと当該フィルタの搭載（接続）される部品との間においてインピーダンスの整合を取りやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の弾性波フィルタの一例を示す平面図である。
【図２】前記フィルタを示す縦断面図である。
【図３】前記フィルタを電気的に見た時の電気回路を示す模式図である。
【図４】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【図５】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【図６】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【図７】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の弾性波フィルタの実施の形態の一例について、図１〜図３を参照して説明する。この弾性波フィルタは、弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように配置された入力側ＩＤＴ（インターデジタルトランスデューサ）電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えたトランスバーサル型フィルタを構成している。これら入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３は、例えば水晶などの圧電基板１１上に形成されており、このフィルタが搭載（接続）される電子部品例えばミキサーとの間においてインピーダンスの整合を取るために、各々外部の整合器（整合回路）７、７に接続されている。これらＩＤＴ電極１２、１３は、後述するように、弾性波の送受信（弾性波と電気信号との変換）を行う第１の領域をなすフィルタ本体１と、当該フィルタ本体１のインピーダンスをフィルタ内部において（整合器７とは別個に独立して）調整するための第３の領域をなすインピーダンス調整部３と、を各々備えている。そして、これらフィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間には、第２の領域として緩衝領域（中間領域）２が配置されている。
【００１２】
弾性波の伝搬方向における一方側及び他方側を左右方向と呼ぶと、入力側ＩＤＴ電極１２は左側に配置され、出力側ＩＤＴ電極１３は右側に設けられている。図１中５は、例えば矩形の金属膜からなるシールド電極である。また、図１中１００及び１０１は、整合器７の内部において互いに組み合わされて設けられたインダクタンス素子及び容量素子であり、図１では模式的に示している。
【００１３】
入力側ＩＤＴ電極１２には、弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びると共に、互いに弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に離間するように配置された一対のバスバー１４、１４と、これらバスバー１４、１４間においてバスバー１４に対して各々直交するように配置された複数の電極指１５と、が設けられている。弾性波の伝搬方向に対して直交する方向の一方及び他方を手前側及び奥側と夫々呼ぶと、奥側のバスバー１４には、既述の整合器７に接続される入力端子２１が形成されている。他方側のバスバー１４は、接地用端子２３を介して接地されている。
【００１４】
この入力側ＩＤＴ電極１２は、既述のフィルタ本体１、緩衝領域２及びインピーダンス調整部３が右側から左側に沿ってこの順番で配置されて構成されている。フィルタ本体１は、一対のバスバー１４、１４のうち一方側のバスバー１４から互いに隣接して伸びる２本の電極指１５、１５と、これら電極指１５、１５に隣接して他方側のバスバー１４から伸びる２本の電極指１５、１５とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置されている。従って、このフィルタ本体１では、弾性波が励振（発生）するように構成されている。
【００１５】
緩衝領域２は、一対のバスバー１４、１４のうち例えば奥側のバスバー１４から複数本の電極指１５が手前側のバスバー１４に向かって互いに隣接して伸びるように配置されている。従って、この緩衝領域２では、弾性波が発生しないように構成されている。即ち、一対のバスバー１４、１４のうち一方側のバスバー１４から伸びる電極指１５と、当該電極指１５に隣接して他方側のバスバー１４から伸びる電極指１５と、の交差する交差領域において弾性波が発生するので、この緩衝領域２では、前記交差領域が形成されないように構成されている。
【００１６】
インピーダンス調整部３は、一方側のバスバー１４から伸びる２本の電極指１５、１５と、他方側のバスバー１４から伸びる２本の電極指１５、１５と、が弾性波の伝搬方向に沿って交互に配置されるように形成されている。従って、このインピーダンス調整部３では、前記交差領域が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に形成されている。
【００１７】
ここで、インピーダンス調整部３の上方側には、図２にも示すように、弾性波を吸収するために、例えば樹脂などからなる吸収体（ダンパー）４１が設けられている。具体的には、この吸収体４１は、インピーダンス調整部３における電極指１５の各々と、当該インピーダンス調整部３における一対のバスバー１４、１４とを覆うように形成されると共に、このインピーダンス調整部３に近接する緩衝領域２の上方側を覆うように配置されている。従って、この吸収体４１は、フィルタ本体１を覆わないように、フィルタ本体１の左端から、インピーダンス調整部３側（左側）に離間した位置に配置されている。尚、図１では入力側ＩＤＴ電極１２を描画するために、吸収体４１について一点鎖線で示している。また、図２は、図１におけるＡ−Ａ線で圧電基板１１を切断した縦断面図を示しており、電極指１５の数量については簡略化している。
【００１８】
このように吸収体４１がインピーダンス調整部３の上方及び当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の上方を覆うように、且つフィルタ本体１を覆わないように形成されている理由について、以下に詳述する。即ち、本発明では、フィルタ本体１のインピーダンスをフィルタ内部において整合器７とは別に独立して調整するために、インピーダンス調整部３を配置している。具体的には、インピーダンス調整部３において前記交差領域を形成すると、当該交差領域が容量性を持つことになる。そのため、図３にこれらフィルタ本体１及びインピーダンス調整部３の電気回路を概略的に示すように、フィルタ本体１の容量成分Ｃ１やインダクタンス成分Ｒに対して、インピーダンス調整部３の容量成分Ｃ２がバスバー１４、１４を介して並列に接続されると言える。
【００１９】
そのため、インピーダンス調整部３を設けることにより、フィルタ本体１（入力側ＩＤＴ電極１２）のインピーダンスが容量性を持つようになり、言い換えると当該フィルタ本体１のインピーダンスが変わることになる。また、インピーダンス調整部３の交差領域の数量、即ち電極指１５、１５の対数を増減させることにより、当該インピーダンス調整部３の容量値を変化させることができるので、フィルタ本体１（入力側ＩＤＴ電極１２）のインピーダンスを調整できると言える。このインピーダンス調整部３の容量値は、フィルタ本体１のインピーダンスを整合器７により整合させるにあたって、当該整合器７においてミスマッチ（不整合）が起こらないように、あるいは最適な整合状態となるように設定されている。
【００２０】
ここで、インピーダンス調整部３において交差領域を形成すると、当該交差領域において弾性波が発生しようとする。このフィルタでは、既述のようにフィルタ本体１におけるインピーダンスを調整するためにインピーダンス調整部３を設けており、当該インピーダンス調整部３において弾性波が発生すると、意図していない（設計から外れた）周波数特性となってしまう。そのため、この弾性波の発生を抑えるために、即ちインピーダンス調整部３によるフィルタ本体１への機械的な（弾性波の発生による）影響を抑制しつつ、電気的な（容量成分Ｃ２による）効果を得るために、インピーダンス調整部３を上方側から覆うように吸収体４１を設けている。
【００２１】
そして、吸収体４１がインピーダンス調整部３を左端から右端までに亘って覆い、且つ吸収体４１がフィルタ本体１における電極指１５に付着しない（フィルタ本体１における弾性波の発生を阻害しない）ように、これらフィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間に、中間領域として緩衝領域２を配置している。即ち、吸収体４１は、例えば液状の樹脂からなる塗膜を圧電基板１１上に塗布し、続いて前記塗膜の乾燥や加熱処理を行うことによって形成される。従って、前記塗膜は乾燥や加熱処理前には流動性を持っているので、インピーダンス調整部３だけを覆うように形成することは困難である。具体的には、フィルタ本体１とインピーダンス調整部３とが互いに隣接している（緩衝領域２を設けない）場合には、インピーダンス調整部３を左端から右端までに亘って覆うように塗膜を塗布すると、吸収体４１がフィルタ本体１の例えば左側の領域にまで形成されてしまう場合がある。一方、吸収体４１がフィルタ本体１に触れないように塗膜を形成しようとすると、例えばインピーダンス調整部３における右側の領域では吸収体４１が形成されずに不要な弾性波が発生してしまう場合がある。
【００２２】
そこで、フィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間に、吸収体４１が配置されても良い領域を設けている。つまり、インピーダンス調整部３を覆うように塗膜を塗布すると、当該塗膜が緩衝領域２に向かって流動して来る。そのため、インピーダンス調整部３と共に、緩衝領域２の左側の領域までに亘って塗膜が形成される。しかし、緩衝領域２では、予め弾性波が発生しないように、各々の電極指１５について、奥側のバスバー１４に接続すると共に手前側のバスバー１４からは離間するように配置している。従って、緩衝領域２が吸収体４１により覆われても、フィルタの周波数特性は変わらない。また、インピーダンス調整部３において弾性波が発生したとしても、この緩衝領域２を配置することによって、当該弾性波がフィルタ本体１に到達するまでに減衰するので、この弾性波によるフィルタ本体１への影響が抑えられる。
【００２３】
また、緩衝領域２に電極指１５を配置することによって、インピーダンス調整部３側からフィルタ本体１に向かって流動しようとする塗膜に対して、当該流動の障壁となるようにしている。具体的には、インピーダンス調整部３から塗膜がフィルタ本体１に向かって流動しようとすると、緩衝領域２における電極指１５を乗り越えて行くことになるので、フィルタ本体１への流動が阻害される。従って、緩衝領域２は、インピーダンス調整部３を左端から右端までに亘って吸収体４１により覆うために、且つ吸収体４１がフィルタ本体１に触れないようにするために、フィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間に配置されている。また、緩衝領域２に電極指１５を配置することにより、当該緩衝領域２において弾性波の波長や位相がずれにくくなる。
【００２４】
続いて、出力側ＩＤＴ電極１３について説明する。この出力側ＩＤＴ電極１３は、入力側ＩＤＴ電極１２を左右対称に配置した構成を採っており、フィルタ本体１、緩衝領域２及びインピーダンス調整部３が左側から右側に向かってこの順番で配置されている。この出力側ＩＤＴ電極１３においても、インピーダンス調整部３の上方領域及び当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の上方側には、弾性波の発生を抑えるための吸収体４１が形成されている。出力側ＩＤＴ電極１３では、奥側のバスバー１４には整合器７に接続される出力端子２２が形成され、手前側のバスバー１４は接地用端子２３を介して接地されている。
【００２５】
出力側ＩＤＴ電極１３におけるフィルタ本体１の電極指１５、１５の対数について、図１では入力側ＩＤＴ電極１２におけるフィルタ本体１と同じ数量で描画しているが、実際には入力側ＩＤＴ電極１２とは異なる数量に設定されている場合もある。その場合には、出力側ＩＤＴ電極１３におけるインピーダンス調整部３の容量成分Ｃ２（インピーダンス調整部３における電極指１５、１５の対数）は、この出力側ＩＤＴ電極１３に接続されている整合器７においてインピーダンスの整合が最適化するように、入力側ＩＤＴ電極１２とは別に独立して設定されている。
【００２６】
このフィルタにおいて入力端子２１に電気信号を入力すると、入力側ＩＤＴ電極１２におけるフィルタ本体１で弾性波が発生し、この弾性波は、例えば出力側ＩＤＴ電極１３に向かって伝搬して行き、当該出力側ＩＤＴ電極１３におけるフィルタ本体１で電気信号に変換されて出力端子２２から取り出される。この時、各ＩＤＴ電極１２、１３のインピーダンス調整部３、３３では弾性波が発生しようとするが、既述のように吸収体４１により当該弾性波の発生が抑えられる。また、各々のＩＤＴ電極１２、１３において、フィルタ本体１と整合器７との間に、インピーダンス調整部３からなる容量成分Ｃ２を並列に接続して、この容量値を既述のように設定していることから、既述の電子部品との間において最適な整合状態となる。
【００２７】
上述の実施の形態によれば、各々のＩＤＴ電極１２、１３について、弾性波の発生するフィルタ本体１と、弾性波が発生しないように電極指１５が配置された緩衝領域２と、容量成分Ｃ２をなすインピーダンス調整部３と、を対向するＩＤＴ電極１３、１２側からこの順番で配置している。そして、インピーダンス調整部３において弾性波が発生しないように、且つフィルタ本体１における弾性波の発生を阻害しないように、インピーダンス調整部３の上方側と、当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の端部と、に弾性波を吸収するための吸収体４１を配置している。そのため、整合器７においてＩＤＴ電極１２、１３（フィルタ本体１）と電子部品との間のインピーダンスの整合が良好に取れない場合であっても、インピーダンス調整部３の容量成分Ｃ２（電極指１５、１５の対数）を予め調整することにより、インピーダンスの整合を最適な状態にすることができる。従って、ある特定の常数（インダクタンス素子１００のインダクタ値や容量素子１０１の容量値）しか取れない（常数が連続的（な値を取るもの）ではない）既製品の素子１００、１０１を備えた整合器７を用いた場合であっても、フィルタの挿入損失を小さく抑えることができる。
【００２８】
また、緩衝領域２に電極指１５を配置しているので、インピーダンス調整部３に形成される塗膜（乾燥や加熱処理前の吸収体４１）について、フィルタ本体１への流動を阻害できるので、当該緩衝領域２の弾性波の伝搬方向における幅寸法を小さく抑えることができる。更に、緩衝領域２に電極指１５を配置することにより、電極指１５の配置されている領域から電極指１５の配置されていない領域へと弾性波が放射される時に起こるエッジ効果（不要な弾性波の発生）を抑えることができるし、弾性波の位相のずれを抑えることができる。
更にまた、インピーダンス調整部３の全体を覆うように吸収体４１を形成しているので、当該インピーダンス調整部３における不要な弾性波の発生を抑えてエネルギーロスを抑えることができる。
【００２９】
ここで、既述のインピーダンス調整部３の電極指１５について、図４のように配置しても良い。図４において、インピーダンス調整部３では、互いに交差する電極指１５、１５の交差幅Ｄは、弾性波の伝搬方向に沿って変わるようにアポタイズ型に重みづけされている。具体的には、前記交差幅Ｄは、弾性波の伝搬方向におけるインピーダンス調整部３の中央領域から左右に向かうにつれて、徐々に小さくなっている。このようにインピーダンス調整部３の電極指１５をアポタイズ型に重みづけることにより、各々の交差領域における容量値を調整できる。そのため、これら容量値の合成値である既述の容量成分Ｃ２について、既述の例よりも更に細かく調整することができるので、各々のＩＤＴ電極１２、１３のインピーダンスの整合を更に最適化できる。尚、図４では、インピーダンス調整部３における電極指１５、１５の数量や配置レイアウトについては模式的に示している。
【００３０】
また、図５に示すように、ＩＤＴ電極１２、１３の各々をテーパー型に配置して、トランスバーサル型フィルタとしても良い。具体的には、各々のＩＤＴ電極１２、１３において、奥側のバスバー１４から手前側のバスバー１４に向かって、電極指１５の幅寸法及び互いに隣接する電極指１５、１５同士の間の離間寸法が広がるように配置されている。
更に、既述の緩衝領域２について、電極指１５を配置せずに、図６に示すようにスペース領域５０を配置しても良い。この場合であっても、既述の各例と同様の効果が得られる。
【００３１】
以上の各例では、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３の双方に緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を配置したが、これらＩＤＴ電極１２、１３の一方にだけ緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を配置しても良い。図７は、入力側ＩＤＴ電極１２にこれら緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を配置して、出力側ＩＤＴ電極１３にはフィルタ本体１だけを設けて緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を設けていない例を示している。この場合には、出力側ＩＤＴ電極１３の側方側における圧電基板１１の端部領域には、当該端部領域に伝搬してくる不要な弾性波を吸収するための吸収体４２が設けられる。
【００３２】
また、各ＩＤＴ電極１２、１３のフィルタ本体１、１の少なくとも一方における電極指１５の配置について、例えばＤＡＲＴ、ＤＷＳＦ、ＦＵＥＤＴなどの一方向性電極を配置したトランスバーサル型フィルタとしても良いし、あるいは電極指１５を間引いたりアポタイズ型に重み付けしても良い。双方のフィルタ本体１、１についてアポタイズ型に重み付けする場合には、ＩＤＴ電極１２、１３を互いに弾性波の伝搬方向に離間させると共に弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に離間させ、シールド電極３に代えてマルチストリップカプラを配置しても良い。
【００３３】
更に、インピーダンス調整部３では、当該インピーダンス調整部３の各電極指１５及び一対のバスバー１４を覆うように吸収体４１を設けたが、電極指１５の形成された領域だけを覆うように吸収体４１を設けて、バスバー１４、１４には吸収体４１を設けなくても良い。更にまた、インピーダンス調整部３や緩衝領域２では、弾性波が発生しないことから、これらインピーダンス調整部３及び緩衝領域２について、フィルタ本体１とは電極指１５のピッチや幅寸法を別個に設定しても良い。
尚、既述の各例ではバスバー１４に入力端子２１、出力端子２２及び接地用端子２３のいずれかを設けたが、例えばワイヤなどを介して圧電基板１１の上方領域を介してバスバー１４と整合器７とを接続する場合には、当該バスバー１４が前記入力端子２１、出力端子２２及び接地用端子２３となる。
以上説明した各例では、インピーダンス調整部３の左側から右側に亘って吸収体４１を配置したが、緩衝領域２に隣接するインピーダンス調整部３だけに吸収体４１を配置しても良いし、あるいはインピーダンス調整部３には吸収体４１を配置せずに、緩衝領域２だけに吸収体４１を配置しても良い。即ち、インピーダンス調整部３において弾性波が発生したとしても、この弾性波がフィルタ本体１に到達しないようにしても良い。このような構成でも既に述べた効果が得られるが、既述の図１のように構成することにより、インピーダンス調整部３における弾性波の発生を良好に抑えることができるので、フィルタの弾性波の伝搬方向における寸法を小さくできる。また、樹脂を含む液状の塗膜をインピーダンス調整部３上に形成し、その後乾燥あるいは加熱を行って吸収体４１を形成したが、例えば半固形状の樹脂シートをインピーダンス調整部３上に押し当てながら加熱して固形化させて吸収体４１を形成しても良い。
【符号の説明】
【００３４】
１ フィルタ本体
２ 緩衝領域
３ インピーダンス調整部
７ 整合器
１１ 圧電基板
１２ 入力側ＩＤＴ電極
１３ 出力側ＩＤＴ電極
２１ 入力端子
２２ 出力端子
２３ 接地用端子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として圧電基板上に配置したトランスバーサル型の弾性波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種通信機用のバンドパスフィルタとして、弾性波例えば弾性表面波を用いると共に、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板上に配置したトランスバーサル型の弾性波フィルタが知られている。このようなフィルタでは、挿入損失をできるだけ低減することが求められており、その手法の一例としては、例えば各々のフィルタ（ＩＤＴ電極）のインピーダンス値に応じて、例えば当該フィルタが搭載（接続）される電子部品例えばミキサーなどとの間において、整合回路を用いて最適な整合を取るようにしている。具体的には、整合回路において前記電子部品と整合を取ることにより、例えばＶＳＷＲ（Ｖｏｌｔａｇｅ Ｓｔａｎｄｉｎｇ Ｗａｖｅ Ｒａｔｉｏ：電圧定在波比）と呼ばれる５０Ωからのインピーダンスのずれ量ができるだけ小さくなるようにしている。あるいは、特許文献１のように、くし歯状電極において、交差幅が一定とならないように交差幅に重み付けを行う技術が知られている。
【０００３】
ここで、既述の整合回路は、容量素子やインダクタンス素子などの電子部品を備えた装置であり、各々のフィルタのインピーダンス値に応じて、最適な常数（容量素子の容量値やインダクタンス素子のインダクタ値）を持つ素子を組み合わせて構成される。従って、このような整合回路は、様々な種別のフィルタに対応できるように、多数の品種があると言える。
【０００４】
しかし、既述の各素子は、電子部品であり、通常は各常数が連続的（な値を取るもの）ではなく各々ある特定の常数を持っている（各常数が飛び値となっている）ので、点数（品種）には限りがある。従って、各々のフィルタにおいてインピーダンスの整合をより一層最適化しようとしても、当該フィルタに対応する常数の素子がない（整合が取れない）場合がある。具体的には、例えば既述の容量素子について、容量値が夫々１０ｐＦ、１２ｐＦ、１５ｐＦ、、、となるように設計された既製品の部品では、例えば１４ｐＦの容量値で最適な整合が取られるフィルタに対しては、最適な整合状態を取ることができず、挿入損失が劣化してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１−２２５２１１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の電極指及び一対のバスバーを備えたＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極として弾性波の伝搬方向に沿って圧電基板上に配置したトランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、このフィルタと当該フィルタが接続される部品との間のインピーダンスの整合を取りやすくすることのできる弾性波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の弾性波フィルタは、
トランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した入力側ＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上において前記入力側ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に沿って離間するように形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した出力側ＩＤＴ電極と、を備え、
前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方のＩＤＴ電極は、
前記一対のバスバーのうち一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第１の領域と、
弾性波が発生しないように、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第２の領域と、
前記一方側のバスバーから前記他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置され、インピーダンス整合用の容量成分を調整するための第３の領域と、を備え、
前記第１の領域、前記第２の領域及び前記第３の領域は、弾性波の伝搬方向に沿って他方のＩＤＴ電極側からこの順番で配置され、
前記第３の領域における弾性波の発生を抑えるために、前記第３の領域の上方側には弾性波を吸収するための吸収体が形成され、
前記第２の領域は、前記吸収体が前記第１の領域に接触しないように、当該第１の領域と前記第３の領域との間に中間領域を形成するためのものであることを特徴とする。
【０００８】
前記第３の領域は、当該領域を備えた入力側ＩＤＴ電極または出力側ＩＤＴ電極に接続された整合回路の容量成分と共に、インピーダンス整合用の容量成分をなすものであることが好ましい。
前記第３の領域における電極指は、前記組における電極指同士の交差幅が弾性波の伝搬方向において変わるように、アポタイズ型に重みづけられていても良い。
前記第２の領域は、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置されていることに代えて、電極指の形成されていないスペース領域が配置されていても良い。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は、入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を備えたトランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、これらＩＤＴ電極うち少なくとも一方のＩＤＴ電極について、互いに隣接する電極指同士が交差するように配置された第１の領域と、互いに隣接する電極指同士が交差しないように配置された緩衝領域（中間領域）である第２の領域と、互いに隣接する電極指同士が交差するように配置された第３の領域と、を他方のＩＤＴ電極側から弾性波の伝搬方向に沿ってこの順番で配置している。そして、第３の領域において弾性波が発生しないように、第３の領域の上方側に弾性波を吸収するための吸収体を配置すると共に、この吸収体が第１の領域に接触しないようにしている。そのため、前記少なくとも一方のＩＤＴ電極において、一対のバスバー間には前記第３の領域からなる容量成分が当該ＩＤＴ電極に対して並列に接続されることになるので、フィルタと当該フィルタの搭載（接続）される部品との間においてインピーダンスの整合を取りやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の弾性波フィルタの一例を示す平面図である。
【図２】前記フィルタを示す縦断面図である。
【図３】前記フィルタを電気的に見た時の電気回路を示す模式図である。
【図４】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【図５】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【図６】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【図７】前記フィルタの他の例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の弾性波フィルタの実施の形態の一例について、図１〜図３を参照して説明する。この弾性波フィルタは、弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように配置された入力側ＩＤＴ（インターデジタルトランスデューサ）電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えたトランスバーサル型フィルタを構成している。これら入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３は、例えば水晶などの圧電基板１１上に形成されており、このフィルタが搭載（接続）される電子部品例えばミキサーとの間においてインピーダンスの整合を取るために、各々外部の整合器（整合回路）７、７に接続されている。これらＩＤＴ電極１２、１３は、後述するように、弾性波の送受信（弾性波と電気信号との変換）を行う第１の領域をなすフィルタ本体１と、当該フィルタ本体１のインピーダンスをフィルタ内部において（整合器７とは別個に独立して）調整するための第３の領域をなすインピーダンス調整部３と、を各々備えている。そして、これらフィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間には、第２の領域として緩衝領域（中間領域）２が配置されている。
【００１２】
弾性波の伝搬方向における一方側及び他方側を左右方向と呼ぶと、入力側ＩＤＴ電極１２は左側に配置され、出力側ＩＤＴ電極１３は右側に設けられている。図１中５は、例えば矩形の金属膜からなるシールド電極である。また、図１中１００及び１０１は、整合器７の内部において互いに組み合わされて設けられたインダクタンス素子及び容量素子であり、図１では模式的に示している。
【００１３】
入力側ＩＤＴ電極１２には、弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びると共に、互いに弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に離間するように配置された一対のバスバー１４、１４と、これらバスバー１４、１４間においてバスバー１４に対して各々直交するように配置された複数の電極指１５と、が設けられている。弾性波の伝搬方向に対して直交する方向の一方及び他方を手前側及び奥側と夫々呼ぶと、奥側のバスバー１４には、既述の整合器７に接続される入力端子２１が形成されている。他方側のバスバー１４は、接地用端子２３を介して接地されている。
【００１４】
この入力側ＩＤＴ電極１２は、既述のフィルタ本体１、緩衝領域２及びインピーダンス調整部３が右側から左側に沿ってこの順番で配置されて構成されている。フィルタ本体１は、一対のバスバー１４、１４のうち一方側のバスバー１４から互いに隣接して伸びる２本の電極指１５、１５と、これら電極指１５、１５に隣接して他方側のバスバー１４から伸びる２本の電極指１５、１５とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置されている。従って、このフィルタ本体１では、弾性波が励振（発生）するように構成されている。
【００１５】
緩衝領域２は、一対のバスバー１４、１４のうち例えば奥側のバスバー１４から複数本の電極指１５が手前側のバスバー１４に向かって互いに隣接して伸びるように配置されている。従って、この緩衝領域２では、弾性波が発生しないように構成されている。即ち、一対のバスバー１４、１４のうち一方側のバスバー１４から伸びる電極指１５と、当該電極指１５に隣接して他方側のバスバー１４から伸びる電極指１５と、の交差する交差領域において弾性波が発生するので、この緩衝領域２では、前記交差領域が形成されないように構成されている。
【００１６】
インピーダンス調整部３は、一方側のバスバー１４から伸びる２本の電極指１５、１５と、他方側のバスバー１４から伸びる２本の電極指１５、１５と、が弾性波の伝搬方向に沿って交互に配置されるように形成されている。従って、このインピーダンス調整部３では、前記交差領域が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に形成されている。
【００１７】
ここで、インピーダンス調整部３の上方側には、図２にも示すように、弾性波を吸収するために、例えば樹脂などからなる吸収体（ダンパー）４１が設けられている。具体的には、この吸収体４１は、インピーダンス調整部３における電極指１５の各々と、当該インピーダンス調整部３における一対のバスバー１４、１４とを覆うように形成されると共に、このインピーダンス調整部３に近接する緩衝領域２の上方側を覆うように配置されている。従って、この吸収体４１は、フィルタ本体１を覆わないように、フィルタ本体１の左端から、インピーダンス調整部３側（左側）に離間した位置に配置されている。尚、図１では入力側ＩＤＴ電極１２を描画するために、吸収体４１について一点鎖線で示している。また、図２は、図１におけるＡ−Ａ線で圧電基板１１を切断した縦断面図を示しており、電極指１５の数量については簡略化している。
【００１８】
このように吸収体４１がインピーダンス調整部３の上方及び当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の上方を覆うように、且つフィルタ本体１を覆わないように形成されている理由について、以下に詳述する。即ち、本発明では、フィルタ本体１のインピーダンスをフィルタ内部において整合器７とは別に独立して調整するために、インピーダンス調整部３を配置している。具体的には、インピーダンス調整部３において前記交差領域を形成すると、当該交差領域が容量性を持つことになる。そのため、図３にこれらフィルタ本体１及びインピーダンス調整部３の電気回路を概略的に示すように、フィルタ本体１の容量成分Ｃ１やインダクタンス成分Ｒに対して、インピーダンス調整部３の容量成分Ｃ２がバスバー１４、１４を介して並列に接続されると言える。
【００１９】
そのため、インピーダンス調整部３を設けることにより、フィルタ本体１（入力側ＩＤＴ電極１２）のインピーダンスが容量性を持つようになり、言い換えると当該フィルタ本体１のインピーダンスが変わることになる。また、インピーダンス調整部３の交差領域の数量、即ち電極指１５、１５の対数を増減させることにより、当該インピーダンス調整部３の容量値を変化させることができるので、フィルタ本体１（入力側ＩＤＴ電極１２）のインピーダンスを調整できると言える。このインピーダンス調整部３の容量値は、フィルタ本体１のインピーダンスを整合器７により整合させるにあたって、当該整合器７においてミスマッチ（不整合）が起こらないように、あるいは最適な整合状態となるように設定されている。
【００２０】
ここで、インピーダンス調整部３において交差領域を形成すると、当該交差領域において弾性波が発生しようとする。このフィルタでは、既述のようにフィルタ本体１におけるインピーダンスを調整するためにインピーダンス調整部３を設けており、当該インピーダンス調整部３において弾性波が発生すると、意図していない（設計から外れた）周波数特性となってしまう。そのため、この弾性波の発生を抑えるために、即ちインピーダンス調整部３によるフィルタ本体１への機械的な（弾性波の発生による）影響を抑制しつつ、電気的な（容量成分Ｃ２による）効果を得るために、インピーダンス調整部３を上方側から覆うように吸収体４１を設けている。
【００２１】
そして、吸収体４１がインピーダンス調整部３を左端から右端までに亘って覆い、且つ吸収体４１がフィルタ本体１における電極指１５に付着しない（フィルタ本体１における弾性波の発生を阻害しない）ように、これらフィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間に、中間領域として緩衝領域２を配置している。即ち、吸収体４１は、例えば液状の樹脂からなる塗膜を圧電基板１１上に塗布し、続いて前記塗膜の乾燥や加熱処理を行うことによって形成される。従って、前記塗膜は乾燥や加熱処理前には流動性を持っているので、インピーダンス調整部３だけを覆うように形成することは困難である。具体的には、フィルタ本体１とインピーダンス調整部３とが互いに隣接している（緩衝領域２を設けない）場合には、インピーダンス調整部３を左端から右端までに亘って覆うように塗膜を塗布すると、吸収体４１がフィルタ本体１の例えば左側の領域にまで形成されてしまう場合がある。一方、吸収体４１がフィルタ本体１に触れないように塗膜を形成しようとすると、例えばインピーダンス調整部３における右側の領域では吸収体４１が形成されずに不要な弾性波が発生してしまう場合がある。
【００２２】
そこで、フィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間に、吸収体４１が配置されても良い領域を設けている。つまり、インピーダンス調整部３を覆うように塗膜を塗布すると、当該塗膜が緩衝領域２に向かって流動して来る。そのため、インピーダンス調整部３と共に、緩衝領域２の左側の領域までに亘って塗膜が形成される。しかし、緩衝領域２では、予め弾性波が発生しないように、各々の電極指１５について、奥側のバスバー１４に接続すると共に手前側のバスバー１４からは離間するように配置している。従って、緩衝領域２が吸収体４１により覆われても、フィルタの周波数特性は変わらない。また、インピーダンス調整部３において弾性波が発生したとしても、この緩衝領域２を配置することによって、当該弾性波がフィルタ本体１に到達するまでに減衰するので、この弾性波によるフィルタ本体１への影響が抑えられる。
【００２３】
また、緩衝領域２に電極指１５を配置することによって、インピーダンス調整部３側からフィルタ本体１に向かって流動しようとする塗膜に対して、当該流動の障壁となるようにしている。具体的には、インピーダンス調整部３から塗膜がフィルタ本体１に向かって流動しようとすると、緩衝領域２における電極指１５を乗り越えて行くことになるので、フィルタ本体１への流動が阻害される。従って、緩衝領域２は、インピーダンス調整部３を左端から右端までに亘って吸収体４１により覆うために、且つ吸収体４１がフィルタ本体１に触れないようにするために、フィルタ本体１とインピーダンス調整部３との間に配置されている。また、緩衝領域２に電極指１５を配置することにより、当該緩衝領域２において弾性波の波長や位相がずれにくくなる。
【００２４】
続いて、出力側ＩＤＴ電極１３について説明する。この出力側ＩＤＴ電極１３は、入力側ＩＤＴ電極１２を左右対称に配置した構成を採っており、フィルタ本体１、緩衝領域２及びインピーダンス調整部３が左側から右側に向かってこの順番で配置されている。この出力側ＩＤＴ電極１３においても、インピーダンス調整部３の上方領域及び当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の上方側には、弾性波の発生を抑えるための吸収体４１が形成されている。出力側ＩＤＴ電極１３では、奥側のバスバー１４には整合器７に接続される出力端子２２が形成され、手前側のバスバー１４は接地用端子２３を介して接地されている。
【００２５】
出力側ＩＤＴ電極１３におけるフィルタ本体１の電極指１５、１５の対数について、図１では入力側ＩＤＴ電極１２におけるフィルタ本体１と同じ数量で描画しているが、実際には入力側ＩＤＴ電極１２とは異なる数量に設定されている場合もある。その場合には、出力側ＩＤＴ電極１３におけるインピーダンス調整部３の容量成分Ｃ２（インピーダンス調整部３における電極指１５、１５の対数）は、この出力側ＩＤＴ電極１３に接続されている整合器７においてインピーダンスの整合が最適化するように、入力側ＩＤＴ電極１２とは別に独立して設定されている。
【００２６】
このフィルタにおいて入力端子２１に電気信号を入力すると、入力側ＩＤＴ電極１２におけるフィルタ本体１で弾性波が発生し、この弾性波は、例えば出力側ＩＤＴ電極１３に向かって伝搬して行き、当該出力側ＩＤＴ電極１３におけるフィルタ本体１で電気信号に変換されて出力端子２２から取り出される。この時、各ＩＤＴ電極１２、１３のインピーダンス調整部３、３３では弾性波が発生しようとするが、既述のように吸収体４１により当該弾性波の発生が抑えられる。また、各々のＩＤＴ電極１２、１３において、フィルタ本体１と整合器７との間に、インピーダンス調整部３からなる容量成分Ｃ２を並列に接続して、この容量値を既述のように設定していることから、既述の電子部品との間において最適な整合状態となる。
【００２７】
上述の実施の形態によれば、各々のＩＤＴ電極１２、１３について、弾性波の発生するフィルタ本体１と、弾性波が発生しないように電極指１５が配置された緩衝領域２と、容量成分Ｃ２をなすインピーダンス調整部３と、を対向するＩＤＴ電極１３、１２側からこの順番で配置している。そして、インピーダンス調整部３において弾性波が発生しないように、且つフィルタ本体１における弾性波の発生を阻害しないように、インピーダンス調整部３の上方側と、当該インピーダンス調整部３側における緩衝領域２の端部と、に弾性波を吸収するための吸収体４１を配置している。そのため、整合器７においてＩＤＴ電極１２、１３（フィルタ本体１）と電子部品との間のインピーダンスの整合が良好に取れない場合であっても、インピーダンス調整部３の容量成分Ｃ２（電極指１５、１５の対数）を予め調整することにより、インピーダンスの整合を最適な状態にすることができる。従って、ある特定の常数（インダクタンス素子１００のインダクタ値や容量素子１０１の容量値）しか取れない（常数が連続的（な値を取るもの）ではない）既製品の素子１００、１０１を備えた整合器７を用いた場合であっても、フィルタの挿入損失を小さく抑えることができる。
【００２８】
また、緩衝領域２に電極指１５を配置しているので、インピーダンス調整部３に形成される塗膜（乾燥や加熱処理前の吸収体４１）について、フィルタ本体１への流動を阻害できるので、当該緩衝領域２の弾性波の伝搬方向における幅寸法を小さく抑えることができる。更に、緩衝領域２に電極指１５を配置することにより、電極指１５の配置されている領域から電極指１５の配置されていない領域へと弾性波が放射される時に起こるエッジ効果（不要な弾性波の発生）を抑えることができるし、弾性波の位相のずれを抑えることができる。
更にまた、インピーダンス調整部３の全体を覆うように吸収体４１を形成しているので、当該インピーダンス調整部３における不要な弾性波の発生を抑えてエネルギーロスを抑えることができる。
【００２９】
ここで、既述のインピーダンス調整部３の電極指１５について、図４のように配置しても良い。図４において、インピーダンス調整部３では、互いに交差する電極指１５、１５の交差幅Ｄは、弾性波の伝搬方向に沿って変わるようにアポタイズ型に重みづけされている。具体的には、前記交差幅Ｄは、弾性波の伝搬方向におけるインピーダンス調整部３の中央領域から左右に向かうにつれて、徐々に小さくなっている。このようにインピーダンス調整部３の電極指１５をアポタイズ型に重みづけることにより、各々の交差領域における容量値を調整できる。そのため、これら容量値の合成値である既述の容量成分Ｃ２について、既述の例よりも更に細かく調整することができるので、各々のＩＤＴ電極１２、１３のインピーダンスの整合を更に最適化できる。尚、図４では、インピーダンス調整部３における電極指１５、１５の数量や配置レイアウトについては模式的に示している。
【００３０】
また、図５に示すように、ＩＤＴ電極１２、１３の各々をテーパー型に配置して、トランスバーサル型フィルタとしても良い。具体的には、各々のＩＤＴ電極１２、１３において、奥側のバスバー１４から手前側のバスバー１４に向かって、電極指１５の幅寸法及び互いに隣接する電極指１５、１５同士の間の離間寸法が広がるように配置されている。
更に、既述の緩衝領域２について、電極指１５を配置せずに、図６に示すようにスペース領域５０を配置しても良い。この場合であっても、既述の各例と同様の効果が得られる。
【００３１】
以上の各例では、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３の双方に緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を配置したが、これらＩＤＴ電極１２、１３の一方にだけ緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を配置しても良い。図７は、入力側ＩＤＴ電極１２にこれら緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を配置して、出力側ＩＤＴ電極１３にはフィルタ本体１だけを設けて緩衝領域２、インピーダンス調整部３及び吸収体４１を設けていない例を示している。この場合には、出力側ＩＤＴ電極１３の側方側における圧電基板１１の端部領域には、当該端部領域に伝搬してくる不要な弾性波を吸収するための吸収体４２が設けられる。
【００３２】
また、各ＩＤＴ電極１２、１３のフィルタ本体１、１の少なくとも一方における電極指１５の配置について、例えばＤＡＲＴ、ＤＷＳＦ、ＦＵＥＤＴなどの一方向性電極を配置したトランスバーサル型フィルタとしても良いし、あるいは電極指１５を間引いたりアポタイズ型に重み付けしても良い。双方のフィルタ本体１、１についてアポタイズ型に重み付けする場合には、ＩＤＴ電極１２、１３を互いに弾性波の伝搬方向に離間させると共に弾性波の伝搬方向に対して直交する方向に離間させ、シールド電極３に代えてマルチストリップカプラを配置しても良い。
【００３３】
更に、インピーダンス調整部３では、当該インピーダンス調整部３の各電極指１５及び一対のバスバー１４を覆うように吸収体４１を設けたが、電極指１５の形成された領域だけを覆うように吸収体４１を設けて、バスバー１４、１４には吸収体４１を設けなくても良い。更にまた、インピーダンス調整部３や緩衝領域２では、弾性波が発生しないことから、これらインピーダンス調整部３及び緩衝領域２について、フィルタ本体１とは電極指１５のピッチや幅寸法を別個に設定しても良い。
尚、既述の各例ではバスバー１４に入力端子２１、出力端子２２及び接地用端子２３のいずれかを設けたが、例えばワイヤなどを介して圧電基板１１の上方領域を介してバスバー１４と整合器７とを接続する場合には、当該バスバー１４が前記入力端子２１、出力端子２２及び接地用端子２３となる。
以上説明した各例では、インピーダンス調整部３の左側から右側に亘って吸収体４１を配置したが、緩衝領域２に隣接するインピーダンス調整部３だけに吸収体４１を配置しても良いし、あるいはインピーダンス調整部３には吸収体４１を配置せずに、緩衝領域２だけに吸収体４１を配置しても良い。即ち、インピーダンス調整部３において弾性波が発生したとしても、この弾性波がフィルタ本体１に到達しないようにしても良い。このような構成でも既に述べた効果が得られるが、既述の図１のように構成することにより、インピーダンス調整部３における弾性波の発生を良好に抑えることができるので、フィルタの弾性波の伝搬方向における寸法を小さくできる。また、樹脂を含む液状の塗膜をインピーダンス調整部３上に形成し、その後乾燥あるいは加熱を行って吸収体４１を形成したが、例えば半固形状の樹脂シートをインピーダンス調整部３上に押し当てながら加熱して固形化させて吸収体４１を形成しても良い。
【符号の説明】
【００３４】
１ フィルタ本体
２ 緩衝領域
３ インピーダンス調整部
７ 整合器
１１ 圧電基板
１２ 入力側ＩＤＴ電極
１３ 出力側ＩＤＴ電極
２１ 入力端子
２２ 出力端子
２３ 接地用端子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した入力側ＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上において前記入力側ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に沿って離間するように形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した出力側ＩＤＴ電極と、を備え、
前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方のＩＤＴ電極は、
前記一対のバスバーのうち一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第１の領域と、
弾性波が発生しないように、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第２の領域と、
前記一方側のバスバーから前記他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置され、インピーダンス整合用の容量成分を調整するための第３の領域と、を備え、
前記第１の領域、前記第２の領域及び前記第３の領域は、弾性波の伝搬方向に沿って他方のＩＤＴ電極側からこの順番で配置され、
前記第３の領域における弾性波の発生を抑えるために、前記第３の領域の上方側には弾性波を吸収するための吸収体が形成され、
前記第２の領域は、前記吸収体が前記第１の領域に接触しないように、当該第１の領域と前記第３の領域との間に中間領域を形成するためのものであることを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項２】
前記第３の領域は、当該領域を備えた入力側ＩＤＴ電極または出力側ＩＤＴ電極に接続された整合回路の容量成分と共に、インピーダンス整合用の容量成分をなすものであることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記第３の領域における電極指は、前記組における電極指同士の交差幅が弾性波の伝搬方向において変わるように、アポタイズ型に重みづけられていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記第２の領域は、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置されていることに代えて、電極指の形成されていないスペース領域が配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項１】
トランスバーサル型の弾性波フィルタにおいて、
圧電基板上に形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した入力側ＩＤＴ電極と、
前記圧電基板上において前記入力側ＩＤＴ電極に対して弾性波の伝搬方向に沿って離間するように形成され、一対のバスバー間に複数の電極指を配置した出力側ＩＤＴ電極と、を備え、
前記入力側ＩＤＴ電極及び前記出力側ＩＤＴ電極の少なくとも一方のＩＤＴ電極は、
前記一対のバスバーのうち一方側のバスバーから他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第１の領域と、
弾性波が発生しないように、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置された第２の領域と、
前記一方側のバスバーから前記他方側のバスバーに向かって伸びる電極指と、当該電極指に隣接して前記他方側のバスバーから前記一方側のバスバーに向かって伸びる電極指とからなる組が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置され、インピーダンス整合用の容量成分を調整するための第３の領域と、を備え、
前記第１の領域、前記第２の領域及び前記第３の領域は、弾性波の伝搬方向に沿って他方のＩＤＴ電極側からこの順番で配置され、
前記第３の領域における弾性波の発生を抑えるために、前記第３の領域の上方側には弾性波を吸収するための吸収体が形成され、
前記第２の領域は、前記吸収体が前記第１の領域に接触しないように、当該第１の領域と前記第３の領域との間に中間領域を形成するためのものであることを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項２】
前記第３の領域は、当該領域を備えた入力側ＩＤＴ電極または出力側ＩＤＴ電極に接続された整合回路の容量成分と共に、インピーダンス整合用の容量成分をなすものであることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
前記第３の領域における電極指は、前記組における電極指同士の交差幅が弾性波の伝搬方向において変わるように、アポタイズ型に重みづけられていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記第２の領域は、前記一対のバスバーのうちいずれかのバスバーから当該バスバーに対向するバスバーに向かって各々伸びる電極指が弾性波の伝搬方向に沿って複数箇所に配置されていることに代えて、電極指の形成されていないスペース領域が配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１２−１９９６７２（Ｐ２０１２−１９９６７２Ａ）
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−６１３５８（Ｐ２０１１−６１３５８）
【出願日】平成２３年３月１８日（２０１１．３．１８）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月１８日（２０１２．１０．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月１８日（２０１１．３．１８）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
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