弾性波フィルタ
【課題】メアンダ構造のＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極の少なくとも一方として用いると共に通過域よりも低域側及び高域側に各々減衰域を設けたバンドパス型の弾性波フィルタにおいて、減衰域にて良好な減衰特性を持つフィルタを提供する。
【解決手段】入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極として、入力ポート２１や出力ポートと接地ポート２３との間に複数のＩＤＴブロック１を互いに直列に接続したメアンダ構造の電極を各々配置すると共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いて、不要な弾性波が励振することを抑える。
【解決手段】入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極として、入力ポート２１や出力ポートと接地ポート２３との間に複数のＩＤＴブロック１を互いに直列に接続したメアンダ構造の電極を各々配置すると共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いて、不要な弾性波が励振することを抑える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波フィルタ例えばＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種通信用のバンドパスフィルタとして、弾性表面波（ＳＡＷ、以下「弾性波」と言う）を利用したフィルタが知られている。近年、ワイヤレスデータ通信の高速化、大容量化に伴い、このようなバンドパスフィルタでは、低損失、広帯域幅、高平坦性、高選択性及び小型化の要求が年々強まっている。こうした要求に応えるためには、テーパー型フィルタが有利である。
【０００３】
テーパー型フィルタは、ＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極の一対のバスバー間において電極指群がテーパー形状となるように配置すると共に、このようなＩＤＴ電極を弾性波の伝搬方向に沿って入力側電極及び出力側電極として圧電基板上に並べた構成となっている。各々のＩＤＴ電極では、例えば一対のバスバーのうち一方のバスバーに入力ポートや出力ポートが接続され、他方のバスバーに接地ポートが接続される。
【０００４】
そして、ＩＤＴ電極の構成のうちの一つとして、図２２に示すように、一方のバスバー１００から互いに隣接して伸びる３本の電極指１０１と、他方のバスバー１００からこれら３本の電極指１０１に隣接して伸びる１本の電極指１０１と、を周期的に並べたＤＡＲＴ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極が知られている。
【０００５】
このようなＩＤＴ電極として、近年では、弾性波の回折の影響を抑えるために、またインピーダンスを適度に高くするために、図２２に示すように、ＩＤＴ電極をいわば途中部位で蛇腹状に折り返したメアンダまたはミアンダ（ｍｅａｎｄｅｒ）構造と呼ばれるレイアウトが採られる。この構造について図２２の入力側電極１０５を参照して簡単に説明すると、弾性波の伝搬方向において入力側電極１０５を例えば３つのブロック１０７に区画して、右側のブロック１０７の奥側のバスバー１００に入力ポート１１０を接続する。また、この右側のブロック１０７における手前側のバスバー１００と中央のブロック１０７における手前側のバスバー１００とを互いに接続すると共に、中央のブロック１０７における奥側のバスバー１００と左側のブロック１０７における奥側のバスバー１００とを互いに接続する。そして、左側のブロック１０７における手前側のバスバー１００を接地ポート１１１に接続する。
【０００６】
ここで、このようなメアンダ構造では、互いに隣接するブロック１０７、１０７同士の間において、意図しない不要な弾性波が励振してしまう。そのため、伝達応答特性が設計値から変化して、減衰特性が悪くなってしまう。特許文献１には、既述のメアンダ構造について記載されているが、この課題については記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表平１１−５００５９３（図１２〜図１５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、メアンダ構造のＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極の少なくとも一方として用いると共に通過域よりも低域側及び高域側に各々減衰域を設けたバンドパス型の弾性波フィルタにおいて、減衰域にて良好な減衰特性の得られるフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の弾性波フィルタは、
弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように圧電基板上に配置した入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を備え、これらＩＤＴ電極の少なくとも一方は、
（１）弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びるように互いに平行に配置された一対のバスバーの各々から、対向するバスバー側に向かって電極指が伸びることにより電極指群が櫛歯状に配列されたＩＤＴブロックの複数を、弾性波の伝搬方向に沿って並べると共に、これら複数のＩＤＴブロックが各々のバスバーを介して直列に接続されるように構成することと、
（２）互いに直列に接続されたＩＤＴブロック群の両端に位置するバスバーに、夫々第１の信号ポート及び第２の信号ポートを接続したことと、
（３）各々のＩＤＴブロックの一対のバスバーのうち、平面的に見て前記第１の信号ポート側に位置する一方のバスバーから互いに隣接して伸びる３本の電極指と、これら３本の電極指に隣接して他方のバスバーから伸びる１本の電極指とからなる周期単位が、弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるように各ＩＤＴブロックの電極指群を構成すると共に、この周期単位が前記ＩＤＴ電極において周期的に繰り返されるように互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法を設定することと、
（４）互いに隣接するＩＤＴブロック間における弾性波の不要な励振を抑えるために、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側の電極指と、他方のＩＤＴブロックにおける一方のＩＤＴブロック側の電極指と、の少なくとも一方の電極指に代えてスペース領域を形成することと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
前記弾性波フィルタは、以下のように構成しても良い。
互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法は、前記スペース領域を形成したことに基づく弾性波の位相のずれを抑制するために、周期単位に対応する寸法とは異なる寸法に設定されている構成。
弾性波の励振位置を間引くために、前記他方のバスバーから伸びる電極指に代えて、前記一方のバスバーから伸びる電極指が配置されている構成。
前記一方のバスバーから互いに隣接して伸びる２本の電極指に代えて、反射電極が配置されている構成。
互いに隣接するＩＤＴブロックのうち、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側と、前記他方のＩＤＴブロックにおける前記一方のＩＤＴブロック側とには、これらＩＤＴブロック同士の間において電界が発生することを抑制するために、前記一方のバスバーから伸びる電極指が各々配置されている構成。
互いに隣接する２つの周期単位は、弾性波の励振位置がこれら周期単位において１８０°反転するように、これら周期単位のうち一の周期単位において前記他方のバスバーから伸びる電極指と、これら周期単位のうち他の周期単位において前記一方側のバスバーから伸びる３本の電極指のいずれか一本の電極指とが入れ替わるように形成されている構成。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、入力側電極及び出力側電極の少なくとも一方の電極として、複数のＩＤＴブロックを第１の信号ポートと第２の信号ポートとの間に互いに直列に接続すると共に弾性波の伝搬方向に沿って並べたメアンダ構造のＩＤＴ電極を配置している。そして、このＩＤＴ電極について、一方のバスバーから伸びる３本の電極指と他方のバスバーから伸びる１本の電極指とからなる周期単位が弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるＤＡＲＴ型の電極として構成すると共に、互いに隣接するブロック間において電極指を少なくとも１本取り除いている。そのため、電極指を取り除いたことにより、当該電極指とこの電極指に隣接するブロックとの間において不要な弾性波が励振することを抑制できるので、伝達応答特性の劣化を抑えて良好な減衰特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。
【図２】前記弾性波フィルタの入力側ＩＤＴ電極を示した平面図である。
【図３】前記入力側ＩＤＴ電極の元となる構造を示す平面図である。
【図４】前記入力側ＩＤＴ電極の成り立ちを説明するための平面図である。
【図５】前記入力側ＩＤＴ電極のある周期長λａを示す平面図である。
【図６】前記入力側ＩＤＴ電極の一部を拡大して示す平面図である。
【図７】ＩＤＴブロック間の離間寸法を説明する特性図である。
【図８】前記弾性波フィルタの出力側ＩＤＴ電極を示す平面図である。
【図９】前記弾性波フィルタにおいて得られる特性を示す特性図である。
【図１０】従来の弾性波フィルタにおいて得られる特性を示す特性図である。
【図１１】本発明の弾性波フィルタと従来の弾性波フィルタの夫々の特性を示す特性図である。
【図１２】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１３】前記他の例を示す平面図である。
【図１４】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１５】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１６】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１７】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１８】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１９】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図２０】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図２１】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図２２】従来の弾性波フィルタを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施の形態の弾性波フィルタの一例であるＳＡＷフィルタについて、図１〜図８を参照して説明する。この弾性波フィルタは、例えばリチュームナイオベート（ＬｉＮｂＯ３）などの圧電基板１１上において弾性波の伝搬方向（左右方向）に互いに離間して並ぶテーパー型の入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えており、後述するように、通過域よりも低域側及び高域側に各々減衰域の形成されたバンドパスフィルタとなっている。この例では、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３は、図１中夫々左側及び右側に配置されている。図１中２１、２２は夫々入力ポート及び出力ポートであり、２３は接地ポートである。また、図１中１５はシールド電極であり、１６は圧電基板１１の端部領域に伝搬する不要な弾性波を吸収するための吸音材（ダンパー）である。尚、以下において、弾性波の伝搬方向に直交する方向を前後方向として説明する。
【００１４】
始めに、入力側ＩＤＴ電極１２について説明する。この入力側ＩＤＴ電極１２は、図２に示すように、弾性波の伝搬方向において複数この例では２つのＩＤＴブロック１、１に区画されている。これらＩＤＴブロック１、１は、入力ポート２１と接地ポート２３との間に互いに直列となるように接続されてメアンダ構造を採っている。即ち、ＩＤＴブロック１、１は、弾性波の伝搬方向に沿って互いに平行となるように配置された一対のバスバー１４、１４と、これらバスバー１４、１４から各々対向するバスバー１４、１４に向かって各々櫛歯状に伸び出すように形成された複数の電極指１７と、を各々備えている。そして、２つのＩＤＴブロック１、１のうち右側のＩＤＴブロック１を「第１のＩＤＴブロック１」、左側のＩＤＴブロック１を「第２のＩＤＴブロック１」と呼ぶと、第１のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４には接地ポート２３が接続されている。また、第１のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４は、第２のＩＤＴブロック１に向かって左側に伸び出して、当該バスバー１４に隣接する第２のＩＤＴブロック１における奥側のバスバー１４と接続されている。この第２のＩＤＴブロック１における手前側のバスバー１４は、入力ポート２１に接続されている。こうして入力ポート２１と接地ポート２３との間において第１のＩＤＴブロック１及び第２のブロック１が互いに直列に順番に接続されると共に、これらＩＤＴブロック１、１が弾性波の伝搬方向に沿って互いに隣接するように並べられている。この例では、接地ポート２３が第１の信号ポートをなし、入力ポート２１が第２の信号ポートをなしている。尚、図１では、各ＩＤＴブロック１を省略して示している。
【００１５】
各々のＩＤＴブロック１、１において、奥側のバスバー１４及び手前側のバスバー１４に夫々「１４ａ」及び「１４ｂ」の符号を付すと、各々のＩＤＴブロック１、１では、これらバスバー１４ａ、１４ｂから各々伸びる電極指１７がＤＡＲＴ構造を採っている。即ち、第１のＩＤＴブロック１では、手前側のバスバー１４ｂから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７と、これら３本の電極指１７に隣接して奥側のバスバー１４ａから伸びる１本の電極指１７と、からなる構成が弾性波の伝搬方向において周期的に繰り返されている。
【００１６】
そして、これら４本の電極指１７によって弾性波の伝搬方向において繰り返される周期長（周期単位）をλとすると、第１のＩＤＴブロック１では、この周期長λが奥側のバスバー１４ａから手前側のバスバー１４ｂに向かって広がるように、各々の電極指１７の幅寸法及び互いに隣接する電極指１７、１７間の離間距離がテーパー状となるように形成されている。従って、奥側のバスバー１４ａに近接する領域及び手前側のバスバー１４ｂに近接する領域では、周期長λは夫々λ１及びλ２（λ１＜λ２）となっている。尚、図２などでは、電極指１７の幅寸法及び互いに隣接する電極指１７、１７間の離間寸法については模式的に示している。
【００１７】
また、第１のＩＤＴブロック１では、弾性波が左側に向かうことを抑制するために、手前側のバスバー１４ｂから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７に代えて、反射電極１８が配置されている。この例では、第１のＩＤＴブロック１の左端から２番目の周期長λに対応する領域と、当該左端から５番目の周期長λに対応する領域と、の間に反射電極１８が設けられている。
【００１８】
第２のＩＤＴブロック１では、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７と、これら３本の電極指１７に隣接するように手前側のバスバー１４ｂから伸びる１本の電極指１７と、が弾性波の伝搬方向において前記周期長λで繰り返されるように配置されている。また、第２のＩＤＴブロック１についても、図２に示すように、第１のＩＤＴブロック１と同様に、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７、１７に代えて、反射電極１８が設けられている。第２のＩＤＴブロック１では、反射電極１８は当該第２のＩＤＴブロック１における左端から４番目及び５番目の周期長λに対応する領域に各々設けられている。そして、第２のＩＤＴブロック１において例えば左端から２番目の周期長λに対応する領域には、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７に代えて、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７が配置されており、従って当該領域では弾性波が励振しないように電極指１７が配置されている（間引かれている）。
【００１９】
ここで、これら第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１とにおける各々の電極指１７の配置レイアウトを比べると、既述の第１のＩＤＴブロック１は、第２のＩＤＴブロック１に対して、電極指１７が前後方向で概略対称となるように配置されている。即ち、一対のバスバー１４のうちいずれかのバスバー１４から互いに隣接するように伸びる３本の電極指１７は、第１のＩＤＴブロック１では手前側のバスバー１４ｂに接続され、第２のＩＤＴブロック１では奥側のバスバー１４ａに接続されている。従って、平面で見た時における各々のＩＤＴブロック１、１の接地ポート２３側の一方のバスバー１４には、前記３本の電極指１７が各々接続され、当該一方のバスバー１４に対向する他方のバスバー１４には、前記一方のバスバー１４に向かって伸びる電極指１７が各々接続されている。
【００２０】
この時、第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１との間の領域では、前記周期長λがＩＤＴブロック１、１間に亘って繰り返されるように、即ち当該領域において周期長λが途切れないように、且つこれらＩＤＴブロック１、１間における弾性波の不要な励振が抑制されるように、この領域の長さ寸法（ＩＤＴブロック１、１間の離間寸法）Ｌが設定されている。このように入力側ＩＤＴ電極１２を構成した理由について、バスバー１４ａ、１４ｂ間のある周期長λａ（λ１＜λａ＜λ２）を例に挙げて、基本的なＤＡＲＴ構造から順を追って以下に説明する。
【００２１】
図３（ａ）は、前記周期長λａにおける基本的なＤＡＲＴ構造の入力側ＩＤＴ電極１２を示している。具体的には、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７と、これら３本の電極指１７に隣接して手前側のバスバー１４ｂから伸びる１本の電極指１７とからなる構成が弾性波の伝搬方向に沿って順番に配置されている。尚、図３（ａ）では、入力側ＩＤＴ電極１２を簡略化して示している。以降の図３（ｂ）〜図５についても同様である。
【００２２】
次いで、このような基本的なＤＡＲＴ構造において、入力側ＩＤＴ電極１２の周波数特性を調整するために、例えば弾性波の伝搬方向における概略中央部の手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７を間引いたレイアウトを検討する。即ち、前記電極指１７を介して弾性波が励振しないように、図３（ｂ）に示すように、この電極指１７に代えて、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７を配置する。従って、入力側ＩＤＴ電極１２における概略中央部では、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接するように７本の電極指１７が伸び出すことになる。
【００２３】
続いて、入力側ＩＤＴ電極１２が既述のメアンダ構造を採るように、当該入力側ＩＤＴ電極１２のある部位において入力側ＩＤＴ電極１２を折り返す。具体的には、図４（ａ）に一点鎖線で示すように、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる７本の電極指１７のうち右側から３番目の電極指１７と、当該電極指１７に左側から隣接する電極指１７と、の間で入力側ＩＤＴ電極１２を２つのＩＤＴブロック１、１に区画する。そして、右側の第１のＩＤＴブロック１について、図４（ｂ）に示すように、図４（ａ）の構成に対して電極指１７のレイアウトが前後方向において対称となるように配置する。即ち、図４（ａ）において手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７及び奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７について、夫々手前側のバスバー１４ｂ及び奥側のバスバー１４ａに接続することに代えて、奥側のバスバー１４ａ及び手前側のバスバー１４ｂに夫々接続する。尚、図４（ａ）、（ｂ）は、各々のＩＤＴブロック１、１を見やすくするために、第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１とを離間させて模式的に描画している。
【００２４】
そして、図４（ｃ）に示すように、ＩＤＴブロック１、１間において周期長λａが連続的に繰り返されるように、即ちＩＤＴブロック１、１間の離間寸法Ｌが他の部位における電極指１７、１７間の離間寸法と同じ寸法となるように、これらＩＤＴブロック１、１を配置する。また、入力ポート２１と接地ポート２３との間においてこれらＩＤＴブロック１、１が既述のメアンダ構造を採るように、各々のバスバー１４ａ、１４ｂを配置する。具体的には、ＩＤＴブロック１、１間における奥側のバスバー１４ａ、１４ａ同士を互いに接続し、手前側のバスバー１４ｂ、１４ｂ同士については互いに接触しないように離間させる。尚、この明細書における「離間寸法Ｌ」とは、互いに隣接する３本の電極指１７について、左側から順番に「第１」、「第２」及び「第３」を付して説明すると、図４（ｃ）に示すように、第１の電極指１７及び第２の電極指１７の中間の位置と、第２の電極指１７及び第３の電極指１７の中間の位置との間の寸法を指している。
【００２５】
この時、既述の図３（ｂ）と図４（ｃ）とを比較して分かるように、入力側ＩＤＴ電極１２をメアンダ構造となるように配置したことにより、ＩＤＴブロック１、１間の領域では、第２のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、第１のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７とが互いに隣接することになる。そのため、入力側ＩＤＴ電極１２では、メアンダ構造を採ったことにより、元の設計（図３（ｂ））と比べて、意図しない不要な弾性波が励振すると言える。そこで、本発明では、このような不要な弾性波の励振を抑えるために、以下のように電極指１７を配置している。
【００２６】
具体的には、図５に示すように、第２のＩＤＴブロック１において第１のＩＤＴブロック１側の電極指１７を取り除き、いわばこの電極指１７に代えてスペース領域（電極の配置されていない領域）２０を設けることにより、当該電極指１７と第１のＩＤＴブロック１の電極指１７との間で弾性波が励振しないようにしている。従って、第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１との間では、周期長λａが保たれたまま、即ち各々の周期長λａ同士が互いに重なり合ったり離間したりせずに、不要な弾性波の励振に寄与する電極指１７が取り除かれる。この電極指１７は、既述の図３（ｂ）から分かるように、元々弾性波が励振しないように配置されているため、取り除いても特性上問題ない。
【００２７】
この時、電極指１７を取り除いたことにより、ＩＤＴブロック１、１間の領域では、弾性波の位相がずれる場合がある。即ち、弾性波は、電極指１７などの形成された領域と、電極指１７の形成されていない領域（例えば電極指１７、１７間の領域）とでは伝搬速度が異なるので、電極指１７を取り除いたことにより、ＩＤＴブロック１、１間の領域で弾性波の周期長λａが僅かにずれることがある。そこで、本発明では、ＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いたことに基づく弾性波の位相のずれを抑制するために、前記離間寸法Ｌについて、周期長λａに対応する寸法とは異なる寸法に設定している。具体的には、圧電基板１１を構成する材料及び入力側ＩＤＴ電極１２を構成する電極材料が夫々リチュームナイオベート及びアルミニウムであり、またこの入力側ＩＤＴ電極１２の厚み寸法が０．３４５μｍの場合には、周期長λａが例えば１０．１１μｍの時には既述の離間寸法Ｌを２．６３７μｍ（周期長λａ×２／８×１．０４３３）に設定している。
【００２８】
ここで、離間寸法Ｌの具体的な調整方法について、以下に詳述する。始めに、この離間寸法Ｌについて図５を参照して再度説明する。電極指１７が隣接して並んでいる領域（電極指１７が取り除かれていない領域）において互いに隣接する電極指１７、１７間の領域の幅寸法をｔとすると、離間寸法Ｌは、第１の（右側の）ＩＤＴブロック１における左端の電極指１７における左側の端部から左側にｔ／２だけ離れた位置と、第２の（左側の）ＩＤＴブロック１における右端の電極指１７における右側の端部から右側にｔ／２だけ離れた位置と、の間の寸法である。
【００２９】
この離間寸法Ｌは、既述の周期長λａで示すと、２／８λａ（＝１／４λａ）となる。この時、ＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いたことに基づいて離間寸法Ｌを調整した後の離間寸法をＬ’として、以下にこの離間寸法Ｌ’について検討する。即ち、電極指１７を取り除いた時に生じる位相差ｄφは、自由表面（ＩＤＴ電極１２が形成されていない領域）での波数をｋｆとすると共に、圧電基板１１の材料、電極指１７の構造、ＩＤＴ電極１２の材料、ＩＤＴ電極１２の膜厚及び周期長λａにより決定される規格化波数をｋ１１’とすると、
ｄφ＝｛ｋｆ−（ｋｆ＋ｋ１１）｝×λａ／４
＝−ｋ１１’×２π／λａ×λａ／４
＝−π／２×ｋ１１’
となる（ｋ１１（波数）＝ｋ１１’×２π／λａ）。
【００３０】
この位相差ｄφがなくなるように、あるいは小さくなるようにするためには、この位相差ｄφの分だけ、元の離間寸法Ｌよりも離間寸法Ｌ’を広げる必要がある。その時の離間寸法Ｌ’は、
Ｌ’＝Ｌ＋ｄφ／２π×λａ
＝λａ／４＋ｄφ／２π×λａ
＝λａ／４×（１＋ｋ１１’）
となり、（１＋ｋ１１’）＝αとすると、離間寸法Ｌ’は
Ｌ’＝１／４λａα
で表される。
【００３１】
図７は、規格化波数ｋ１１’について、圧電基板１１としてリチュームナイオベート基板を用いて、電極指１７をＤＡＲＴ構造（反射電極１８なし）となるように配置すると共に、ＩＤＴ電極１２をアルミニウムにより構成した場合に、電極膜の膜厚依存性を実験によって求めた結果である。図７の横軸は、電極膜厚ｈを周期長λａで除した値である規格化膜厚（ｈ／λ）である。この実験の結果及び圧電基板１１の材料などのパラメータを種々変更して行った実験の結果から、比率αは、実用的なフィルタの使用範囲においては１．０００５〜１．０７（ｋ１１’：０．０００５〜０．０７）であることが分かった。具体的には、圧電基板１１として水晶を用いると共に、規格化膜厚が０．００５の時には、比率αは１．０００５となった。
【００３２】
また、後述するように、ＩＤＴブロック１、１間で２本の電極指１７を取り除いた場合の離間寸法Ｌ’は、上の式から分かるように、
Ｌ’＝４／８λａα＝１／２λａα
となり、更に３本の電極指１７を取り除いた場合には
Ｌ’＝６／８λａα＝３／４λａα
となる。従って、ＤＡＲＴ構造における離間寸法Ｌ’は、取り除いた電極指１７の本数に応じて、各々個別に設定される。また、この離間寸法Ｌ’は、周期長λａに応じた寸法となることから、既述の図１などのようにＩＤＴ電極１２（１３）をテーパー形状となるように配置した場合には、各周期長λに応じて離間寸法Ｌ’が設定される。
【００３３】
こうして既述のように各々の電極指１７の配置領域がテーパー形状となるように入力側ＩＤＴ電極１２を構成すると共に、以上説明したように、第１のＩＤＴブロック１に隣接する第２のＩＤＴブロック１の電極指１７を取り除き、更に各々の周期長λ１〜λ２について離間寸法Ｌを各々調整する（各周期長λ１〜λ２について、離間寸法Ｌを個別に調整する）と、既述の図２や図６に示す入力側ＩＤＴ電極１２が構成される。従って、周期長λ１〜λ２に亘って、不要な弾性波が励振せず、また弾性波の位相のずれが抑制されることになる。
【００３４】
続いて、出力側ＩＤＴ電極１３について、図８を参照して説明する。この出力側ＩＤＴ電極１３は、３つのＩＤＴブロック１により構成されており、出力ポート２２と接地ポート２３との間にこれらＩＤＴブロック１が互いに直列に接続されている。即ち、これら３つのＩＤＴブロック１について、右側から左側に向かって夫々「第１」、「第２」及び「第３」を付すと、第１のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａには、出力ポート２２が接続されている。この第１のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂと第２のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂとが互いに接続され、第２のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａと第３のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａとが互いに接続されている。第３のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂには、接地ポート２３が接続されている。そして、これら３つのＩＤＴブロック１が弾性波の伝搬方向に沿って互いに隣接するように並べられている。この例では、接地ポート２３が第１の信号ポートをなし、出力ポート２２が第２の信号ポートをなす。
【００３５】
出力側ＩＤＴ電極１３における第１のＩＤＴブロック１では、手前側のバスバー１４ａから互いに隣接するように３本の電極指１７が伸び出しており、これら３本の電極指１７に隣接する１本の電極指１７が奥側のバスバー１４ｂに接続されている。また、第２のＩＤＴブロック１では、前記３本の電極指１７が奥側のバスバー１４ｂに接続され、第３のＩＤＴブロック１では、これら３本の電極指１７が手前側のバスバー１４ａに接続されている。こうして出力側ＩＤＴ電極１３の各々のＩＤＴブロック１では、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち互いに隣接して一方のバスバー１４から伸び出す３本の電極指１７は、平面で見た時に接地ポート２３側におけるバスバー１４に接続されている。
【００３６】
そして、出力側ＩＤＴ電極１３においても、図８に示すように、入力側ＩＤＴ電極１２と同様に反射電極１８が設けられていたり、電極指１７が間引かれたりしている。また、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間では、電極指１７が各々取り除かれると共に、既に詳述したように離間寸法Ｌが各々調整されている。出力側ＩＤＴ電極１３のＩＤＴブロック１、１間における電極指１７の配置レイアウトについて、以下に簡単に説明する。
【００３７】
第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１との間の領域では、既述の図５のレイアウトにおいて、第２のＩＤＴブロック１における第１のＩＤＴブロック１側の２本の電極指１７を取り除いた構造となっている。また、第２のＩＤＴブロック１と第３のＩＤＴブロック１との間の領域では、図５の前後方向を入れ替えたレイアウトとなっている。そして、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間では、入力側ＩＤＴ電極１２と同様に離間寸法Ｌが各々調整されている。
【００３８】
このように配置されたＳＡＷフィルタにおいて、入力ポート２１に電気信号を入力すると、入力側ＩＤＴ電極１２では、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７との間の領域において、各々弾性波が発生する。この時、入力側ＩＤＴ電極１２の第２のＩＤＴブロック１における右端の電極指１７を取り除いているので、当該電極指１７と第１のＩＤＴブロック１との間では、不要な弾性波の発生が抑制されている。
【００３９】
一方、このように第２のＩＤＴブロック１における右端の電極指１７を取り除いても、これらＩＤＴブロック１、１間では、前記取り除いた電極指１７の左側において奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、第１のＩＤＴブロック１の左端における手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７とは、前記取り除いた電極指１７が形成されていた領域を介して依然として隣接している。そのため、これら電極指１７、１７間においても弾性波が励振される。しかし、これら電極指１７、１７は他の部位における電極指１７、１７よりも大きく離間している（詳しくは当該他の部位の２倍以上）ので、不要な弾性波の励振が抑えられる。従って、本発明の入力側ＩＤＴ電極１２では、既述の図４（ｃ）の構成（電極指１７を取り除かない構成）と比べて、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間に形成される電界の強度が小さくなり、ＩＤＴブロック１、１間における不要な弾性波の励振が抑えられる。
【００４０】
また、これらＩＤＴブロック１、１間の離間寸法Ｌを既述のように調整していることから、ＩＤＴブロック１、１間において弾性波の位相のずれが発生しないか、あるいは位相のずれの発生が抑制された状態で、弾性波は出力側ＩＤＴ電極１３に到達する。従って、例えば弾性波のエネルギー損失（フィルタの挿入損失）の発生が抑えられる。
【００４１】
そして、出力側ＩＤＴ電極１３では、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７との間において、弾性波が電気信号に変換されて出力ポート２２から取り出される。出力側ＩＤＴ電極１３においても、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いていることから、不要な弾性波が電気信号に変換されることが抑制される。また、同様に出力側ＩＤＴ電極１３の互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の離間寸法Ｌを調整していることから、弾性波の位相のずれが抑制される。
【００４２】
図９は、本発明のフィルタにおいて、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側電極１３のいずれについても３つのＩＤＴブロック１を配置すると共に、各々のＩＤＴブロック１、１間では電極指１７を取り除いた構成で得られる周波数特性を示しており、図１０は従来のフィルタにおいて得られる周波数特性を示している。また、図１１は、これら２つの周波数特性を同じグラフに重ね合わせた特性を示している。これらの特性から、本発明では、本来設計していた伝達応答特性を得るために必要な励振以外の不要な励振を抑えることで、伝達応答特性が設計値からずれることを抑制して、減衰域において良好な減衰特性が得られていることが分かる。
【００４３】
上述の実施の形態によれば、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３として、入力ポート２１や出力ポート２２と接地ポート２３との間に複数のＩＤＴブロック１を互いに直列に接続したメアンダ構造の電極を各々配置すると共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いて、不要な弾性波が励振されることを抑えている。そのため、伝達応答特性の劣化を抑えることができ、減衰域において良好な減衰特性を得ることができる。
【００４４】
また、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間で電極指１７を取り除くにあたり、ＩＤＴブロック１、１間の領域で弾性波の位相がずれないように、あるいは位相のずれが抑えられるように、当該領域の寸法（離間寸法Ｌ）を調整している。そのため、弾性波から見た時の周期長λを維持しながらも、例えば弾性波のエネルギー損失（フィルタの挿入損失）の発生を抑えることができる。
【００４５】
更に、例えば入力側ＩＤＴ電極１２の第２のＩＤＴブロック１において右端の電極指１７を取り除くにあたり、第２のＩＤＴブロック１の右側の領域では、手前側のバスバー１４ｂから伸び出す電極指１７よりも第１のＩＤＴブロック１側に、奥側のバスバー１４ａから各々伸びる３本の電極指１７を配置して（残して）いる。そのため、前記手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７を介して形成されようとする電界について、前記３本の電極指１７によって第１のＩＤＴブロック１側に回り込むことを抑制できるので、ＩＤＴブロック１、１間における不要な弾性波の励振を抑えることができる。出力側ＩＤＴ電極１３についても同様に、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち、一方のバスバー１４から伸びる３本の電極指１７に対向する１本の電極指１７について、この電極指１７が他のＩＤＴブロック１側の端部に配置されないように、当該電極指１７よりも前記他のＩＤＴブロック１側に前記一方のバスバー１４から伸びる電極指１７を配置している。従って、出力側ＩＤＴ電極１３についても互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において弾性波が励振されることを抑制できる。
【００４６】
以下に、本発明のＩＤＴ電極１２、１３の他の例について、既述の図５のように、ある周期長λａを例に説明する。図１２は、入力側ＩＤＴ電極１２の第１のＩＤＴブロック１について、第２のＩＤＴブロック１側の２本の電極指１７を取り除いた例を示している。また、第２のＩＤＴブロック１では、第１のＩＤＴブロック１側の３本の電極指１７を取り除いている。図１３は、図１２のレイアウトとなるように各々の電極指１７をテーパー形状に配置した例を示している。このように、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において複数本の電極指１７を取り除くことにより、更に不要な弾性波の励振を抑制できる。即ち、本発明では、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において少なくとも１本の電極指１７を取り除くことで効果が得られる。
【００４７】
また、図１４は、第１のＩＤＴブロック１については第２のＩＤＴブロック１側の３本の電極指１７を取り除くと共に、第２のＩＤＴブロック１については第１のＩＤＴブロック１側の４本の電極指１７を取り除いた例を示している。この時、第２のＩＤＴブロック１において、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７が右側のＩＤＴブロック１側に臨むように配置されている。そのため、この電極指１７から右側のＩＤＴブロック１に向かって電界が漏れ出そうとする場合がある。従って、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間で電極指１７を取り除くにあたり、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち、互いに隣接するようにいずれかのバスバー１４から伸びる３本の電極指１７のうち少なくとも１本について、例えば図１２などのように対向するＩＤＴブロック１側に残しておくことが好ましい。尚、図１４に対応するテーパー形状のＩＤＴ電極１２、１３については描画を省略する。以降の説明についても同様である。また、以降の他の例の説明においては、この図１４に対応するレイアウト（互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において一方のバスバー１４から互いに隣接して伸びる３本の電極指１７を取り除いた例）については説明を省略する。
【００４８】
更に、以上の例では図４（ａ）に示すように、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる７本の電極指１７のうち右側から３本目の電極指１７と、当該電極指１７に左側から隣接する電極指１７との間でＩＤＴブロック１、１を区画したが、ＩＤＴブロック１、１を区画する位置については以下のようにしても良い。図１５（ａ）は、図３（ｂ）に対応する入力側ＩＤＴ電極１２において、ＩＤＴブロック１、１を区画できる位置をＡ〜Ｆとして示している。具体的には、前記７本の電極指１７のうち左側から１本目と２本目との間（Ａ）、左側から２本目と３本目との間（Ｂ）、左側から３本目と４本目との間（Ｃ）、左側から４本目と５本目との間（Ｄ：既述の図４（ａ）などに対応）、左側から５本目と６本目との間（Ｅ）、左側から６本目と７本目との間（Ｆ）においてＩＤＴブロック１、１間を区画しても良い。以下に、これらのＡ〜Ｆの各々においてメアンダ構造を採る場合のＩＤＴブロック１、１の配置レイアウトと共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間で取り除くことのできる電極指１７を斜線で示す。
【００４９】
前記Ａの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の５本の電極指１７を取り除いても良い（図１５（ｂ））。前記Ｂの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の４本の電極指１７及び第２のＩＤＴブロック１の右側の１本の電極指１７を取り除いても良い（図１５（ｃ））。前記Ｃの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の３本の電極指１７及び第２のＩＤＴブロック１の右側の２本の電極指１７を取り除いても良い（図１６（ａ））。前記Ｅの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の１本の電極指１７及び第２のＩＤＴブロック１の右側の４本の電極指１７を取り除いても良い（図１６（ｂ））。前記Ｆの場合には、第２のＩＤＴブロック１の右側の５本の電極指１７を取り除いても良い（図１６（ｃ））。
【００５０】
更に、以上の例では、図３（ｂ）のように電極指１７を間引いた領域においてＩＤＴブロック１、１間を区画する例について説明したが、図３（ａ）の基本的なＤＡＲＴ構造においてＩＤＴブロック１、１を設けると共に互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いても良い。即ち、図１７（ａ）に図３（ａ）のレイアウトを示すように、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７のうち左側の電極指１７と左側から２番目の電極指１７との間（Ｇ）及び左側から２番目の電極指１７と左側から３番目の電極指１７との間（Ｈ）でＩＤＴブロック１、１を区画しても良い。具体的には、図１７（ｂ）に示すように、前記Ｇの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左端の電極指１７を取り除いても良い。また、前記Ｈの場合には、図１７（ｃ）に示すように、第２のＩＤＴブロック１の右端の電極指１７を取り除いても良い。
【００５１】
更にまた、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７に代えて反射電極１８が設けられている場合には、図１８（ａ）に矢印で示すように、バスバー１８ａから伸びる電極指１７と、当該電極指１７に隣接してバスバー１８ｂから伸びる電極指１７との間においてＩＤＴブロック１、１を区画しても良い。この場合には、図１８（ｂ）に示すように、第２のＩＤＴブロック１において、バスバー１８ｂから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７のうち第１のＩＤＴブロック１側（右側）における電極指１７を取り除いても良い。従って、本発明では、ＩＤＴ電極１２（１３）を折り返してメアンダ構造を採った時に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の領域において電極指１７、１７同士が交差して弾性波が発生する場合には、当該領域の左右両側の少なくとも１方の電極指１７を１本以上取り除くことにより、以上説明した効果が得られる。
【００５２】
また、以上の各例では、電極指１７をテーパー形状に形成した例について説明したが、図１９に示すように、電極指１７がバスバー１４ａ、１４ｂから各々直交して伸びるように配置しても良い。図１９では、既述の入力側ＩＤＴ電極１２と同じレイアウトで電極指１７を配置している。
更にまた、互いに隣接する２つの周期単位（周期長λａを構成する４本の電極指１７）において、弾性波の励振位置がこれら周期単位間で１８０°反転するように、これら周期単位のうち一の周期単位においてバスバー１４ｂから伸びる電極指１７と、これら周期単位のうち他の周期単位においてバスバー１４ａから伸びる３本の電極指１７のいずれか一本の電極指１７とを入れ替えても良い。即ち、図３（ａ）の基本的なＤＡＲＴ構造において、右端から３番目の電極指１７と、右端から５番目の電極指１７とを入れ替えると、図２０に示すレイアウトとなる。このように電極指１７を配置すると、図２０における右側５本の電極指１７と、左側の５本の電極指１７とが互いに左右対称となり、従って弾性波の励振位置が前記右側と前記左側とで１８０°反転して、弾性波の符号が反転したことと等価になる。そのため、このレイアウトであっても、ＤＡＲＴ構造における電極指１７の周期構造が連続的に繰り返される。この図２０のレイアウトにおいて、既述のように複数のＩＤＴブロック１を構成すると共に互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を少なくとも１本取り除いても良いし、あるいは電極指１７を間引くと共にＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を少なくとも１本取り除いていても良い。また、図２０のレイアウトにおいて反射電極１８を配置しても良い。
出力側ＩＤＴ電極１３についても、以上説明した入力側ＩＤＴ電極１２と同様に、各ブロック１、１間を区画する位置や取り除く電極指１７の位置及び本数を設定しても良い。
【００５３】
以上の例では、入力側ＩＤＴ電極１２に２つのＩＤＴブロック１を設けると共に、出力側ＩＤＴ電極１３に３つのＩＤＴブロック１を配置したが、各々２つ以上のＩＤＴブロック１を設けても良い。また、これらＩＤＴ電極１２、１３のうち一方として、本発明の構成（メアンダ構造で互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いた構成）を設けると共に、他方の電極として以下の構成を用いても良い。即ち、前記他方の電極として、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除かずに配置した通常のメアンダ構造を備えた電極や、メアンダ構造を採らずにいわば１つのＩＤＴブロック１により構成した電極を用いても良い。また、前記他方の電極として、ＤＡＲＴ構造以外にも、図２１に示すように、例えば奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる反射電極３２及び電極指３１と、手前側のバスバー１４ｂから互いに隣接して伸びる反射電極３２及び電極指３１とが周期長λを構成する電極例えばＤＷＳＦ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ Ｗｉｄｔｈ Ｓｐｌｉｔ Ｆｉｎｇｅｒ）電極を用いても良いし、あるいは通常の双方向性電極を用いても良い。
【００５４】
以上の説明において、各ＩＤＴブロック１に付した「第１」、「第２」及び「第３」の用語は便宜上のものであり、また各ポート２１〜２３についての「第１の信号ポート」及び「第２の信号ポート」についても便宜上のものである。従って、第１のＩＤＴブロック１及び第２のＩＤＴブロック１（更に第３のＩＤＴブロック１）を左側から右側に向かって順番に配置しても良いし、入力ポート２１や出力ポート２２と、接地ポート２３との接続位置を入れ替えても良い。
更に、以上の例ではＩＤＴ電極１２、１３を入力ポート２１や出力ポート２２と接地ポート２３との間に設けたが、これらＩＤＴ電極１２、１３について、接地ポート２３に代えて別の信号ポートに接続し、バランスタイプのフィルタとして構成しても良い。
【符号の説明】
【００５５】
１ ＩＤＴブロック
１１ 圧電基板
１２ 入力側ＩＤＴ電極
１３ 出力側ＩＤＴ電極
１４ バスバー
１７ 電極指
１８ 反射電極
２１ 入力ポート
２２ 出力ポート
２３ 接地ポート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波フィルタ例えばＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗａｖｅ）フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種通信用のバンドパスフィルタとして、弾性表面波（ＳＡＷ、以下「弾性波」と言う）を利用したフィルタが知られている。近年、ワイヤレスデータ通信の高速化、大容量化に伴い、このようなバンドパスフィルタでは、低損失、広帯域幅、高平坦性、高選択性及び小型化の要求が年々強まっている。こうした要求に応えるためには、テーパー型フィルタが有利である。
【０００３】
テーパー型フィルタは、ＩＤＴ（インターディジタルトランスデューサ）電極の一対のバスバー間において電極指群がテーパー形状となるように配置すると共に、このようなＩＤＴ電極を弾性波の伝搬方向に沿って入力側電極及び出力側電極として圧電基板上に並べた構成となっている。各々のＩＤＴ電極では、例えば一対のバスバーのうち一方のバスバーに入力ポートや出力ポートが接続され、他方のバスバーに接地ポートが接続される。
【０００４】
そして、ＩＤＴ電極の構成のうちの一つとして、図２２に示すように、一方のバスバー１００から互いに隣接して伸びる３本の電極指１０１と、他方のバスバー１００からこれら３本の電極指１０１に隣接して伸びる１本の電極指１０１と、を周期的に並べたＤＡＲＴ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極が知られている。
【０００５】
このようなＩＤＴ電極として、近年では、弾性波の回折の影響を抑えるために、またインピーダンスを適度に高くするために、図２２に示すように、ＩＤＴ電極をいわば途中部位で蛇腹状に折り返したメアンダまたはミアンダ（ｍｅａｎｄｅｒ）構造と呼ばれるレイアウトが採られる。この構造について図２２の入力側電極１０５を参照して簡単に説明すると、弾性波の伝搬方向において入力側電極１０５を例えば３つのブロック１０７に区画して、右側のブロック１０７の奥側のバスバー１００に入力ポート１１０を接続する。また、この右側のブロック１０７における手前側のバスバー１００と中央のブロック１０７における手前側のバスバー１００とを互いに接続すると共に、中央のブロック１０７における奥側のバスバー１００と左側のブロック１０７における奥側のバスバー１００とを互いに接続する。そして、左側のブロック１０７における手前側のバスバー１００を接地ポート１１１に接続する。
【０００６】
ここで、このようなメアンダ構造では、互いに隣接するブロック１０７、１０７同士の間において、意図しない不要な弾性波が励振してしまう。そのため、伝達応答特性が設計値から変化して、減衰特性が悪くなってしまう。特許文献１には、既述のメアンダ構造について記載されているが、この課題については記載されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表平１１−５００５９３（図１２〜図１５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、メアンダ構造のＩＤＴ電極を入力側電極及び出力側電極の少なくとも一方として用いると共に通過域よりも低域側及び高域側に各々減衰域を設けたバンドパス型の弾性波フィルタにおいて、減衰域にて良好な減衰特性の得られるフィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の弾性波フィルタは、
弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように圧電基板上に配置した入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を備え、これらＩＤＴ電極の少なくとも一方は、
（１）弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びるように互いに平行に配置された一対のバスバーの各々から、対向するバスバー側に向かって電極指が伸びることにより電極指群が櫛歯状に配列されたＩＤＴブロックの複数を、弾性波の伝搬方向に沿って並べると共に、これら複数のＩＤＴブロックが各々のバスバーを介して直列に接続されるように構成することと、
（２）互いに直列に接続されたＩＤＴブロック群の両端に位置するバスバーに、夫々第１の信号ポート及び第２の信号ポートを接続したことと、
（３）各々のＩＤＴブロックの一対のバスバーのうち、平面的に見て前記第１の信号ポート側に位置する一方のバスバーから互いに隣接して伸びる３本の電極指と、これら３本の電極指に隣接して他方のバスバーから伸びる１本の電極指とからなる周期単位が、弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるように各ＩＤＴブロックの電極指群を構成すると共に、この周期単位が前記ＩＤＴ電極において周期的に繰り返されるように互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法を設定することと、
（４）互いに隣接するＩＤＴブロック間における弾性波の不要な励振を抑えるために、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側の電極指と、他方のＩＤＴブロックにおける一方のＩＤＴブロック側の電極指と、の少なくとも一方の電極指に代えてスペース領域を形成することと、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
前記弾性波フィルタは、以下のように構成しても良い。
互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法は、前記スペース領域を形成したことに基づく弾性波の位相のずれを抑制するために、周期単位に対応する寸法とは異なる寸法に設定されている構成。
弾性波の励振位置を間引くために、前記他方のバスバーから伸びる電極指に代えて、前記一方のバスバーから伸びる電極指が配置されている構成。
前記一方のバスバーから互いに隣接して伸びる２本の電極指に代えて、反射電極が配置されている構成。
互いに隣接するＩＤＴブロックのうち、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側と、前記他方のＩＤＴブロックにおける前記一方のＩＤＴブロック側とには、これらＩＤＴブロック同士の間において電界が発生することを抑制するために、前記一方のバスバーから伸びる電極指が各々配置されている構成。
互いに隣接する２つの周期単位は、弾性波の励振位置がこれら周期単位において１８０°反転するように、これら周期単位のうち一の周期単位において前記他方のバスバーから伸びる電極指と、これら周期単位のうち他の周期単位において前記一方側のバスバーから伸びる３本の電極指のいずれか一本の電極指とが入れ替わるように形成されている構成。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、入力側電極及び出力側電極の少なくとも一方の電極として、複数のＩＤＴブロックを第１の信号ポートと第２の信号ポートとの間に互いに直列に接続すると共に弾性波の伝搬方向に沿って並べたメアンダ構造のＩＤＴ電極を配置している。そして、このＩＤＴ電極について、一方のバスバーから伸びる３本の電極指と他方のバスバーから伸びる１本の電極指とからなる周期単位が弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるＤＡＲＴ型の電極として構成すると共に、互いに隣接するブロック間において電極指を少なくとも１本取り除いている。そのため、電極指を取り除いたことにより、当該電極指とこの電極指に隣接するブロックとの間において不要な弾性波が励振することを抑制できるので、伝達応答特性の劣化を抑えて良好な減衰特性を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態に係る弾性波フィルタの一例を示す平面図である。
【図２】前記弾性波フィルタの入力側ＩＤＴ電極を示した平面図である。
【図３】前記入力側ＩＤＴ電極の元となる構造を示す平面図である。
【図４】前記入力側ＩＤＴ電極の成り立ちを説明するための平面図である。
【図５】前記入力側ＩＤＴ電極のある周期長λａを示す平面図である。
【図６】前記入力側ＩＤＴ電極の一部を拡大して示す平面図である。
【図７】ＩＤＴブロック間の離間寸法を説明する特性図である。
【図８】前記弾性波フィルタの出力側ＩＤＴ電極を示す平面図である。
【図９】前記弾性波フィルタにおいて得られる特性を示す特性図である。
【図１０】従来の弾性波フィルタにおいて得られる特性を示す特性図である。
【図１１】本発明の弾性波フィルタと従来の弾性波フィルタの夫々の特性を示す特性図である。
【図１２】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１３】前記他の例を示す平面図である。
【図１４】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１５】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１６】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１７】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１８】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図１９】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図２０】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図２１】前記弾性波フィルタの他の例を示す平面図である。
【図２２】従来の弾性波フィルタを示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明の実施の形態の弾性波フィルタの一例であるＳＡＷフィルタについて、図１〜図８を参照して説明する。この弾性波フィルタは、例えばリチュームナイオベート（ＬｉＮｂＯ３）などの圧電基板１１上において弾性波の伝搬方向（左右方向）に互いに離間して並ぶテーパー型の入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３を備えており、後述するように、通過域よりも低域側及び高域側に各々減衰域の形成されたバンドパスフィルタとなっている。この例では、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３は、図１中夫々左側及び右側に配置されている。図１中２１、２２は夫々入力ポート及び出力ポートであり、２３は接地ポートである。また、図１中１５はシールド電極であり、１６は圧電基板１１の端部領域に伝搬する不要な弾性波を吸収するための吸音材（ダンパー）である。尚、以下において、弾性波の伝搬方向に直交する方向を前後方向として説明する。
【００１４】
始めに、入力側ＩＤＴ電極１２について説明する。この入力側ＩＤＴ電極１２は、図２に示すように、弾性波の伝搬方向において複数この例では２つのＩＤＴブロック１、１に区画されている。これらＩＤＴブロック１、１は、入力ポート２１と接地ポート２３との間に互いに直列となるように接続されてメアンダ構造を採っている。即ち、ＩＤＴブロック１、１は、弾性波の伝搬方向に沿って互いに平行となるように配置された一対のバスバー１４、１４と、これらバスバー１４、１４から各々対向するバスバー１４、１４に向かって各々櫛歯状に伸び出すように形成された複数の電極指１７と、を各々備えている。そして、２つのＩＤＴブロック１、１のうち右側のＩＤＴブロック１を「第１のＩＤＴブロック１」、左側のＩＤＴブロック１を「第２のＩＤＴブロック１」と呼ぶと、第１のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４には接地ポート２３が接続されている。また、第１のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４は、第２のＩＤＴブロック１に向かって左側に伸び出して、当該バスバー１４に隣接する第２のＩＤＴブロック１における奥側のバスバー１４と接続されている。この第２のＩＤＴブロック１における手前側のバスバー１４は、入力ポート２１に接続されている。こうして入力ポート２１と接地ポート２３との間において第１のＩＤＴブロック１及び第２のブロック１が互いに直列に順番に接続されると共に、これらＩＤＴブロック１、１が弾性波の伝搬方向に沿って互いに隣接するように並べられている。この例では、接地ポート２３が第１の信号ポートをなし、入力ポート２１が第２の信号ポートをなしている。尚、図１では、各ＩＤＴブロック１を省略して示している。
【００１５】
各々のＩＤＴブロック１、１において、奥側のバスバー１４及び手前側のバスバー１４に夫々「１４ａ」及び「１４ｂ」の符号を付すと、各々のＩＤＴブロック１、１では、これらバスバー１４ａ、１４ｂから各々伸びる電極指１７がＤＡＲＴ構造を採っている。即ち、第１のＩＤＴブロック１では、手前側のバスバー１４ｂから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７と、これら３本の電極指１７に隣接して奥側のバスバー１４ａから伸びる１本の電極指１７と、からなる構成が弾性波の伝搬方向において周期的に繰り返されている。
【００１６】
そして、これら４本の電極指１７によって弾性波の伝搬方向において繰り返される周期長（周期単位）をλとすると、第１のＩＤＴブロック１では、この周期長λが奥側のバスバー１４ａから手前側のバスバー１４ｂに向かって広がるように、各々の電極指１７の幅寸法及び互いに隣接する電極指１７、１７間の離間距離がテーパー状となるように形成されている。従って、奥側のバスバー１４ａに近接する領域及び手前側のバスバー１４ｂに近接する領域では、周期長λは夫々λ１及びλ２（λ１＜λ２）となっている。尚、図２などでは、電極指１７の幅寸法及び互いに隣接する電極指１７、１７間の離間寸法については模式的に示している。
【００１７】
また、第１のＩＤＴブロック１では、弾性波が左側に向かうことを抑制するために、手前側のバスバー１４ｂから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７に代えて、反射電極１８が配置されている。この例では、第１のＩＤＴブロック１の左端から２番目の周期長λに対応する領域と、当該左端から５番目の周期長λに対応する領域と、の間に反射電極１８が設けられている。
【００１８】
第２のＩＤＴブロック１では、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７と、これら３本の電極指１７に隣接するように手前側のバスバー１４ｂから伸びる１本の電極指１７と、が弾性波の伝搬方向において前記周期長λで繰り返されるように配置されている。また、第２のＩＤＴブロック１についても、図２に示すように、第１のＩＤＴブロック１と同様に、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７、１７に代えて、反射電極１８が設けられている。第２のＩＤＴブロック１では、反射電極１８は当該第２のＩＤＴブロック１における左端から４番目及び５番目の周期長λに対応する領域に各々設けられている。そして、第２のＩＤＴブロック１において例えば左端から２番目の周期長λに対応する領域には、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７に代えて、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７が配置されており、従って当該領域では弾性波が励振しないように電極指１７が配置されている（間引かれている）。
【００１９】
ここで、これら第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１とにおける各々の電極指１７の配置レイアウトを比べると、既述の第１のＩＤＴブロック１は、第２のＩＤＴブロック１に対して、電極指１７が前後方向で概略対称となるように配置されている。即ち、一対のバスバー１４のうちいずれかのバスバー１４から互いに隣接するように伸びる３本の電極指１７は、第１のＩＤＴブロック１では手前側のバスバー１４ｂに接続され、第２のＩＤＴブロック１では奥側のバスバー１４ａに接続されている。従って、平面で見た時における各々のＩＤＴブロック１、１の接地ポート２３側の一方のバスバー１４には、前記３本の電極指１７が各々接続され、当該一方のバスバー１４に対向する他方のバスバー１４には、前記一方のバスバー１４に向かって伸びる電極指１７が各々接続されている。
【００２０】
この時、第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１との間の領域では、前記周期長λがＩＤＴブロック１、１間に亘って繰り返されるように、即ち当該領域において周期長λが途切れないように、且つこれらＩＤＴブロック１、１間における弾性波の不要な励振が抑制されるように、この領域の長さ寸法（ＩＤＴブロック１、１間の離間寸法）Ｌが設定されている。このように入力側ＩＤＴ電極１２を構成した理由について、バスバー１４ａ、１４ｂ間のある周期長λａ（λ１＜λａ＜λ２）を例に挙げて、基本的なＤＡＲＴ構造から順を追って以下に説明する。
【００２１】
図３（ａ）は、前記周期長λａにおける基本的なＤＡＲＴ構造の入力側ＩＤＴ電極１２を示している。具体的には、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７と、これら３本の電極指１７に隣接して手前側のバスバー１４ｂから伸びる１本の電極指１７とからなる構成が弾性波の伝搬方向に沿って順番に配置されている。尚、図３（ａ）では、入力側ＩＤＴ電極１２を簡略化して示している。以降の図３（ｂ）〜図５についても同様である。
【００２２】
次いで、このような基本的なＤＡＲＴ構造において、入力側ＩＤＴ電極１２の周波数特性を調整するために、例えば弾性波の伝搬方向における概略中央部の手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７を間引いたレイアウトを検討する。即ち、前記電極指１７を介して弾性波が励振しないように、図３（ｂ）に示すように、この電極指１７に代えて、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７を配置する。従って、入力側ＩＤＴ電極１２における概略中央部では、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接するように７本の電極指１７が伸び出すことになる。
【００２３】
続いて、入力側ＩＤＴ電極１２が既述のメアンダ構造を採るように、当該入力側ＩＤＴ電極１２のある部位において入力側ＩＤＴ電極１２を折り返す。具体的には、図４（ａ）に一点鎖線で示すように、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる７本の電極指１７のうち右側から３番目の電極指１７と、当該電極指１７に左側から隣接する電極指１７と、の間で入力側ＩＤＴ電極１２を２つのＩＤＴブロック１、１に区画する。そして、右側の第１のＩＤＴブロック１について、図４（ｂ）に示すように、図４（ａ）の構成に対して電極指１７のレイアウトが前後方向において対称となるように配置する。即ち、図４（ａ）において手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７及び奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７について、夫々手前側のバスバー１４ｂ及び奥側のバスバー１４ａに接続することに代えて、奥側のバスバー１４ａ及び手前側のバスバー１４ｂに夫々接続する。尚、図４（ａ）、（ｂ）は、各々のＩＤＴブロック１、１を見やすくするために、第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１とを離間させて模式的に描画している。
【００２４】
そして、図４（ｃ）に示すように、ＩＤＴブロック１、１間において周期長λａが連続的に繰り返されるように、即ちＩＤＴブロック１、１間の離間寸法Ｌが他の部位における電極指１７、１７間の離間寸法と同じ寸法となるように、これらＩＤＴブロック１、１を配置する。また、入力ポート２１と接地ポート２３との間においてこれらＩＤＴブロック１、１が既述のメアンダ構造を採るように、各々のバスバー１４ａ、１４ｂを配置する。具体的には、ＩＤＴブロック１、１間における奥側のバスバー１４ａ、１４ａ同士を互いに接続し、手前側のバスバー１４ｂ、１４ｂ同士については互いに接触しないように離間させる。尚、この明細書における「離間寸法Ｌ」とは、互いに隣接する３本の電極指１７について、左側から順番に「第１」、「第２」及び「第３」を付して説明すると、図４（ｃ）に示すように、第１の電極指１７及び第２の電極指１７の中間の位置と、第２の電極指１７及び第３の電極指１７の中間の位置との間の寸法を指している。
【００２５】
この時、既述の図３（ｂ）と図４（ｃ）とを比較して分かるように、入力側ＩＤＴ電極１２をメアンダ構造となるように配置したことにより、ＩＤＴブロック１、１間の領域では、第２のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、第１のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７とが互いに隣接することになる。そのため、入力側ＩＤＴ電極１２では、メアンダ構造を採ったことにより、元の設計（図３（ｂ））と比べて、意図しない不要な弾性波が励振すると言える。そこで、本発明では、このような不要な弾性波の励振を抑えるために、以下のように電極指１７を配置している。
【００２６】
具体的には、図５に示すように、第２のＩＤＴブロック１において第１のＩＤＴブロック１側の電極指１７を取り除き、いわばこの電極指１７に代えてスペース領域（電極の配置されていない領域）２０を設けることにより、当該電極指１７と第１のＩＤＴブロック１の電極指１７との間で弾性波が励振しないようにしている。従って、第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１との間では、周期長λａが保たれたまま、即ち各々の周期長λａ同士が互いに重なり合ったり離間したりせずに、不要な弾性波の励振に寄与する電極指１７が取り除かれる。この電極指１７は、既述の図３（ｂ）から分かるように、元々弾性波が励振しないように配置されているため、取り除いても特性上問題ない。
【００２７】
この時、電極指１７を取り除いたことにより、ＩＤＴブロック１、１間の領域では、弾性波の位相がずれる場合がある。即ち、弾性波は、電極指１７などの形成された領域と、電極指１７の形成されていない領域（例えば電極指１７、１７間の領域）とでは伝搬速度が異なるので、電極指１７を取り除いたことにより、ＩＤＴブロック１、１間の領域で弾性波の周期長λａが僅かにずれることがある。そこで、本発明では、ＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いたことに基づく弾性波の位相のずれを抑制するために、前記離間寸法Ｌについて、周期長λａに対応する寸法とは異なる寸法に設定している。具体的には、圧電基板１１を構成する材料及び入力側ＩＤＴ電極１２を構成する電極材料が夫々リチュームナイオベート及びアルミニウムであり、またこの入力側ＩＤＴ電極１２の厚み寸法が０．３４５μｍの場合には、周期長λａが例えば１０．１１μｍの時には既述の離間寸法Ｌを２．６３７μｍ（周期長λａ×２／８×１．０４３３）に設定している。
【００２８】
ここで、離間寸法Ｌの具体的な調整方法について、以下に詳述する。始めに、この離間寸法Ｌについて図５を参照して再度説明する。電極指１７が隣接して並んでいる領域（電極指１７が取り除かれていない領域）において互いに隣接する電極指１７、１７間の領域の幅寸法をｔとすると、離間寸法Ｌは、第１の（右側の）ＩＤＴブロック１における左端の電極指１７における左側の端部から左側にｔ／２だけ離れた位置と、第２の（左側の）ＩＤＴブロック１における右端の電極指１７における右側の端部から右側にｔ／２だけ離れた位置と、の間の寸法である。
【００２９】
この離間寸法Ｌは、既述の周期長λａで示すと、２／８λａ（＝１／４λａ）となる。この時、ＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いたことに基づいて離間寸法Ｌを調整した後の離間寸法をＬ’として、以下にこの離間寸法Ｌ’について検討する。即ち、電極指１７を取り除いた時に生じる位相差ｄφは、自由表面（ＩＤＴ電極１２が形成されていない領域）での波数をｋｆとすると共に、圧電基板１１の材料、電極指１７の構造、ＩＤＴ電極１２の材料、ＩＤＴ電極１２の膜厚及び周期長λａにより決定される規格化波数をｋ１１’とすると、
ｄφ＝｛ｋｆ−（ｋｆ＋ｋ１１）｝×λａ／４
＝−ｋ１１’×２π／λａ×λａ／４
＝−π／２×ｋ１１’
となる（ｋ１１（波数）＝ｋ１１’×２π／λａ）。
【００３０】
この位相差ｄφがなくなるように、あるいは小さくなるようにするためには、この位相差ｄφの分だけ、元の離間寸法Ｌよりも離間寸法Ｌ’を広げる必要がある。その時の離間寸法Ｌ’は、
Ｌ’＝Ｌ＋ｄφ／２π×λａ
＝λａ／４＋ｄφ／２π×λａ
＝λａ／４×（１＋ｋ１１’）
となり、（１＋ｋ１１’）＝αとすると、離間寸法Ｌ’は
Ｌ’＝１／４λａα
で表される。
【００３１】
図７は、規格化波数ｋ１１’について、圧電基板１１としてリチュームナイオベート基板を用いて、電極指１７をＤＡＲＴ構造（反射電極１８なし）となるように配置すると共に、ＩＤＴ電極１２をアルミニウムにより構成した場合に、電極膜の膜厚依存性を実験によって求めた結果である。図７の横軸は、電極膜厚ｈを周期長λａで除した値である規格化膜厚（ｈ／λ）である。この実験の結果及び圧電基板１１の材料などのパラメータを種々変更して行った実験の結果から、比率αは、実用的なフィルタの使用範囲においては１．０００５〜１．０７（ｋ１１’：０．０００５〜０．０７）であることが分かった。具体的には、圧電基板１１として水晶を用いると共に、規格化膜厚が０．００５の時には、比率αは１．０００５となった。
【００３２】
また、後述するように、ＩＤＴブロック１、１間で２本の電極指１７を取り除いた場合の離間寸法Ｌ’は、上の式から分かるように、
Ｌ’＝４／８λａα＝１／２λａα
となり、更に３本の電極指１７を取り除いた場合には
Ｌ’＝６／８λａα＝３／４λａα
となる。従って、ＤＡＲＴ構造における離間寸法Ｌ’は、取り除いた電極指１７の本数に応じて、各々個別に設定される。また、この離間寸法Ｌ’は、周期長λａに応じた寸法となることから、既述の図１などのようにＩＤＴ電極１２（１３）をテーパー形状となるように配置した場合には、各周期長λに応じて離間寸法Ｌ’が設定される。
【００３３】
こうして既述のように各々の電極指１７の配置領域がテーパー形状となるように入力側ＩＤＴ電極１２を構成すると共に、以上説明したように、第１のＩＤＴブロック１に隣接する第２のＩＤＴブロック１の電極指１７を取り除き、更に各々の周期長λ１〜λ２について離間寸法Ｌを各々調整する（各周期長λ１〜λ２について、離間寸法Ｌを個別に調整する）と、既述の図２や図６に示す入力側ＩＤＴ電極１２が構成される。従って、周期長λ１〜λ２に亘って、不要な弾性波が励振せず、また弾性波の位相のずれが抑制されることになる。
【００３４】
続いて、出力側ＩＤＴ電極１３について、図８を参照して説明する。この出力側ＩＤＴ電極１３は、３つのＩＤＴブロック１により構成されており、出力ポート２２と接地ポート２３との間にこれらＩＤＴブロック１が互いに直列に接続されている。即ち、これら３つのＩＤＴブロック１について、右側から左側に向かって夫々「第１」、「第２」及び「第３」を付すと、第１のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａには、出力ポート２２が接続されている。この第１のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂと第２のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂとが互いに接続され、第２のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａと第３のＩＤＴブロック１の奥側のバスバー１４ａとが互いに接続されている。第３のＩＤＴブロック１の手前側のバスバー１４ｂには、接地ポート２３が接続されている。そして、これら３つのＩＤＴブロック１が弾性波の伝搬方向に沿って互いに隣接するように並べられている。この例では、接地ポート２３が第１の信号ポートをなし、出力ポート２２が第２の信号ポートをなす。
【００３５】
出力側ＩＤＴ電極１３における第１のＩＤＴブロック１では、手前側のバスバー１４ａから互いに隣接するように３本の電極指１７が伸び出しており、これら３本の電極指１７に隣接する１本の電極指１７が奥側のバスバー１４ｂに接続されている。また、第２のＩＤＴブロック１では、前記３本の電極指１７が奥側のバスバー１４ｂに接続され、第３のＩＤＴブロック１では、これら３本の電極指１７が手前側のバスバー１４ａに接続されている。こうして出力側ＩＤＴ電極１３の各々のＩＤＴブロック１では、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち互いに隣接して一方のバスバー１４から伸び出す３本の電極指１７は、平面で見た時に接地ポート２３側におけるバスバー１４に接続されている。
【００３６】
そして、出力側ＩＤＴ電極１３においても、図８に示すように、入力側ＩＤＴ電極１２と同様に反射電極１８が設けられていたり、電極指１７が間引かれたりしている。また、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間では、電極指１７が各々取り除かれると共に、既に詳述したように離間寸法Ｌが各々調整されている。出力側ＩＤＴ電極１３のＩＤＴブロック１、１間における電極指１７の配置レイアウトについて、以下に簡単に説明する。
【００３７】
第１のＩＤＴブロック１と第２のＩＤＴブロック１との間の領域では、既述の図５のレイアウトにおいて、第２のＩＤＴブロック１における第１のＩＤＴブロック１側の２本の電極指１７を取り除いた構造となっている。また、第２のＩＤＴブロック１と第３のＩＤＴブロック１との間の領域では、図５の前後方向を入れ替えたレイアウトとなっている。そして、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間では、入力側ＩＤＴ電極１２と同様に離間寸法Ｌが各々調整されている。
【００３８】
このように配置されたＳＡＷフィルタにおいて、入力ポート２１に電気信号を入力すると、入力側ＩＤＴ電極１２では、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７との間の領域において、各々弾性波が発生する。この時、入力側ＩＤＴ電極１２の第２のＩＤＴブロック１における右端の電極指１７を取り除いているので、当該電極指１７と第１のＩＤＴブロック１との間では、不要な弾性波の発生が抑制されている。
【００３９】
一方、このように第２のＩＤＴブロック１における右端の電極指１７を取り除いても、これらＩＤＴブロック１、１間では、前記取り除いた電極指１７の左側において奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、第１のＩＤＴブロック１の左端における手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７とは、前記取り除いた電極指１７が形成されていた領域を介して依然として隣接している。そのため、これら電極指１７、１７間においても弾性波が励振される。しかし、これら電極指１７、１７は他の部位における電極指１７、１７よりも大きく離間している（詳しくは当該他の部位の２倍以上）ので、不要な弾性波の励振が抑えられる。従って、本発明の入力側ＩＤＴ電極１２では、既述の図４（ｃ）の構成（電極指１７を取り除かない構成）と比べて、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間に形成される電界の強度が小さくなり、ＩＤＴブロック１、１間における不要な弾性波の励振が抑えられる。
【００４０】
また、これらＩＤＴブロック１、１間の離間寸法Ｌを既述のように調整していることから、ＩＤＴブロック１、１間において弾性波の位相のずれが発生しないか、あるいは位相のずれの発生が抑制された状態で、弾性波は出力側ＩＤＴ電極１３に到達する。従って、例えば弾性波のエネルギー損失（フィルタの挿入損失）の発生が抑えられる。
【００４１】
そして、出力側ＩＤＴ電極１３では、奥側のバスバー１４ａから伸びる電極指１７と、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７との間において、弾性波が電気信号に変換されて出力ポート２２から取り出される。出力側ＩＤＴ電極１３においても、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いていることから、不要な弾性波が電気信号に変換されることが抑制される。また、同様に出力側ＩＤＴ電極１３の互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の離間寸法Ｌを調整していることから、弾性波の位相のずれが抑制される。
【００４２】
図９は、本発明のフィルタにおいて、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側電極１３のいずれについても３つのＩＤＴブロック１を配置すると共に、各々のＩＤＴブロック１、１間では電極指１７を取り除いた構成で得られる周波数特性を示しており、図１０は従来のフィルタにおいて得られる周波数特性を示している。また、図１１は、これら２つの周波数特性を同じグラフに重ね合わせた特性を示している。これらの特性から、本発明では、本来設計していた伝達応答特性を得るために必要な励振以外の不要な励振を抑えることで、伝達応答特性が設計値からずれることを抑制して、減衰域において良好な減衰特性が得られていることが分かる。
【００４３】
上述の実施の形態によれば、入力側ＩＤＴ電極１２及び出力側ＩＤＴ電極１３として、入力ポート２１や出力ポート２２と接地ポート２３との間に複数のＩＤＴブロック１を互いに直列に接続したメアンダ構造の電極を各々配置すると共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いて、不要な弾性波が励振されることを抑えている。そのため、伝達応答特性の劣化を抑えることができ、減衰域において良好な減衰特性を得ることができる。
【００４４】
また、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間で電極指１７を取り除くにあたり、ＩＤＴブロック１、１間の領域で弾性波の位相がずれないように、あるいは位相のずれが抑えられるように、当該領域の寸法（離間寸法Ｌ）を調整している。そのため、弾性波から見た時の周期長λを維持しながらも、例えば弾性波のエネルギー損失（フィルタの挿入損失）の発生を抑えることができる。
【００４５】
更に、例えば入力側ＩＤＴ電極１２の第２のＩＤＴブロック１において右端の電極指１７を取り除くにあたり、第２のＩＤＴブロック１の右側の領域では、手前側のバスバー１４ｂから伸び出す電極指１７よりも第１のＩＤＴブロック１側に、奥側のバスバー１４ａから各々伸びる３本の電極指１７を配置して（残して）いる。そのため、前記手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７を介して形成されようとする電界について、前記３本の電極指１７によって第１のＩＤＴブロック１側に回り込むことを抑制できるので、ＩＤＴブロック１、１間における不要な弾性波の励振を抑えることができる。出力側ＩＤＴ電極１３についても同様に、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち、一方のバスバー１４から伸びる３本の電極指１７に対向する１本の電極指１７について、この電極指１７が他のＩＤＴブロック１側の端部に配置されないように、当該電極指１７よりも前記他のＩＤＴブロック１側に前記一方のバスバー１４から伸びる電極指１７を配置している。従って、出力側ＩＤＴ電極１３についても互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において弾性波が励振されることを抑制できる。
【００４６】
以下に、本発明のＩＤＴ電極１２、１３の他の例について、既述の図５のように、ある周期長λａを例に説明する。図１２は、入力側ＩＤＴ電極１２の第１のＩＤＴブロック１について、第２のＩＤＴブロック１側の２本の電極指１７を取り除いた例を示している。また、第２のＩＤＴブロック１では、第１のＩＤＴブロック１側の３本の電極指１７を取り除いている。図１３は、図１２のレイアウトとなるように各々の電極指１７をテーパー形状に配置した例を示している。このように、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において複数本の電極指１７を取り除くことにより、更に不要な弾性波の励振を抑制できる。即ち、本発明では、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において少なくとも１本の電極指１７を取り除くことで効果が得られる。
【００４７】
また、図１４は、第１のＩＤＴブロック１については第２のＩＤＴブロック１側の３本の電極指１７を取り除くと共に、第２のＩＤＴブロック１については第１のＩＤＴブロック１側の４本の電極指１７を取り除いた例を示している。この時、第２のＩＤＴブロック１において、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち、手前側のバスバー１４ｂから伸びる電極指１７が右側のＩＤＴブロック１側に臨むように配置されている。そのため、この電極指１７から右側のＩＤＴブロック１に向かって電界が漏れ出そうとする場合がある。従って、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間で電極指１７を取り除くにあたり、周期長λを構成する４本の電極指１７のうち、互いに隣接するようにいずれかのバスバー１４から伸びる３本の電極指１７のうち少なくとも１本について、例えば図１２などのように対向するＩＤＴブロック１側に残しておくことが好ましい。尚、図１４に対応するテーパー形状のＩＤＴ電極１２、１３については描画を省略する。以降の説明についても同様である。また、以降の他の例の説明においては、この図１４に対応するレイアウト（互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において一方のバスバー１４から互いに隣接して伸びる３本の電極指１７を取り除いた例）については説明を省略する。
【００４８】
更に、以上の例では図４（ａ）に示すように、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる７本の電極指１７のうち右側から３本目の電極指１７と、当該電極指１７に左側から隣接する電極指１７との間でＩＤＴブロック１、１を区画したが、ＩＤＴブロック１、１を区画する位置については以下のようにしても良い。図１５（ａ）は、図３（ｂ）に対応する入力側ＩＤＴ電極１２において、ＩＤＴブロック１、１を区画できる位置をＡ〜Ｆとして示している。具体的には、前記７本の電極指１７のうち左側から１本目と２本目との間（Ａ）、左側から２本目と３本目との間（Ｂ）、左側から３本目と４本目との間（Ｃ）、左側から４本目と５本目との間（Ｄ：既述の図４（ａ）などに対応）、左側から５本目と６本目との間（Ｅ）、左側から６本目と７本目との間（Ｆ）においてＩＤＴブロック１、１間を区画しても良い。以下に、これらのＡ〜Ｆの各々においてメアンダ構造を採る場合のＩＤＴブロック１、１の配置レイアウトと共に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間で取り除くことのできる電極指１７を斜線で示す。
【００４９】
前記Ａの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の５本の電極指１７を取り除いても良い（図１５（ｂ））。前記Ｂの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の４本の電極指１７及び第２のＩＤＴブロック１の右側の１本の電極指１７を取り除いても良い（図１５（ｃ））。前記Ｃの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の３本の電極指１７及び第２のＩＤＴブロック１の右側の２本の電極指１７を取り除いても良い（図１６（ａ））。前記Ｅの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左側の１本の電極指１７及び第２のＩＤＴブロック１の右側の４本の電極指１７を取り除いても良い（図１６（ｂ））。前記Ｆの場合には、第２のＩＤＴブロック１の右側の５本の電極指１７を取り除いても良い（図１６（ｃ））。
【００５０】
更に、以上の例では、図３（ｂ）のように電極指１７を間引いた領域においてＩＤＴブロック１、１間を区画する例について説明したが、図３（ａ）の基本的なＤＡＲＴ構造においてＩＤＴブロック１、１を設けると共に互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除いても良い。即ち、図１７（ａ）に図３（ａ）のレイアウトを示すように、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる３本の電極指１７のうち左側の電極指１７と左側から２番目の電極指１７との間（Ｇ）及び左側から２番目の電極指１７と左側から３番目の電極指１７との間（Ｈ）でＩＤＴブロック１、１を区画しても良い。具体的には、図１７（ｂ）に示すように、前記Ｇの場合には、第１のＩＤＴブロック１の左端の電極指１７を取り除いても良い。また、前記Ｈの場合には、図１７（ｃ）に示すように、第２のＩＤＴブロック１の右端の電極指１７を取り除いても良い。
【００５１】
更にまた、奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７に代えて反射電極１８が設けられている場合には、図１８（ａ）に矢印で示すように、バスバー１８ａから伸びる電極指１７と、当該電極指１７に隣接してバスバー１８ｂから伸びる電極指１７との間においてＩＤＴブロック１、１を区画しても良い。この場合には、図１８（ｂ）に示すように、第２のＩＤＴブロック１において、バスバー１８ｂから互いに隣接して伸びる２本の電極指１７のうち第１のＩＤＴブロック１側（右側）における電極指１７を取り除いても良い。従って、本発明では、ＩＤＴ電極１２（１３）を折り返してメアンダ構造を採った時に、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の領域において電極指１７、１７同士が交差して弾性波が発生する場合には、当該領域の左右両側の少なくとも１方の電極指１７を１本以上取り除くことにより、以上説明した効果が得られる。
【００５２】
また、以上の各例では、電極指１７をテーパー形状に形成した例について説明したが、図１９に示すように、電極指１７がバスバー１４ａ、１４ｂから各々直交して伸びるように配置しても良い。図１９では、既述の入力側ＩＤＴ電極１２と同じレイアウトで電極指１７を配置している。
更にまた、互いに隣接する２つの周期単位（周期長λａを構成する４本の電極指１７）において、弾性波の励振位置がこれら周期単位間で１８０°反転するように、これら周期単位のうち一の周期単位においてバスバー１４ｂから伸びる電極指１７と、これら周期単位のうち他の周期単位においてバスバー１４ａから伸びる３本の電極指１７のいずれか一本の電極指１７とを入れ替えても良い。即ち、図３（ａ）の基本的なＤＡＲＴ構造において、右端から３番目の電極指１７と、右端から５番目の電極指１７とを入れ替えると、図２０に示すレイアウトとなる。このように電極指１７を配置すると、図２０における右側５本の電極指１７と、左側の５本の電極指１７とが互いに左右対称となり、従って弾性波の励振位置が前記右側と前記左側とで１８０°反転して、弾性波の符号が反転したことと等価になる。そのため、このレイアウトであっても、ＤＡＲＴ構造における電極指１７の周期構造が連続的に繰り返される。この図２０のレイアウトにおいて、既述のように複数のＩＤＴブロック１を構成すると共に互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を少なくとも１本取り除いても良いし、あるいは電極指１７を間引くと共にＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を少なくとも１本取り除いていても良い。また、図２０のレイアウトにおいて反射電極１８を配置しても良い。
出力側ＩＤＴ電極１３についても、以上説明した入力側ＩＤＴ電極１２と同様に、各ブロック１、１間を区画する位置や取り除く電極指１７の位置及び本数を設定しても良い。
【００５３】
以上の例では、入力側ＩＤＴ電極１２に２つのＩＤＴブロック１を設けると共に、出力側ＩＤＴ電極１３に３つのＩＤＴブロック１を配置したが、各々２つ以上のＩＤＴブロック１を設けても良い。また、これらＩＤＴ電極１２、１３のうち一方として、本発明の構成（メアンダ構造で互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間の電極指１７を取り除いた構成）を設けると共に、他方の電極として以下の構成を用いても良い。即ち、前記他方の電極として、互いに隣接するＩＤＴブロック１、１間において電極指１７を取り除かずに配置した通常のメアンダ構造を備えた電極や、メアンダ構造を採らずにいわば１つのＩＤＴブロック１により構成した電極を用いても良い。また、前記他方の電極として、ＤＡＲＴ構造以外にも、図２１に示すように、例えば奥側のバスバー１４ａから互いに隣接して伸びる反射電極３２及び電極指３１と、手前側のバスバー１４ｂから互いに隣接して伸びる反射電極３２及び電極指３１とが周期長λを構成する電極例えばＤＷＳＦ（Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ Ｗｉｄｔｈ Ｓｐｌｉｔ Ｆｉｎｇｅｒ）電極を用いても良いし、あるいは通常の双方向性電極を用いても良い。
【００５４】
以上の説明において、各ＩＤＴブロック１に付した「第１」、「第２」及び「第３」の用語は便宜上のものであり、また各ポート２１〜２３についての「第１の信号ポート」及び「第２の信号ポート」についても便宜上のものである。従って、第１のＩＤＴブロック１及び第２のＩＤＴブロック１（更に第３のＩＤＴブロック１）を左側から右側に向かって順番に配置しても良いし、入力ポート２１や出力ポート２２と、接地ポート２３との接続位置を入れ替えても良い。
更に、以上の例ではＩＤＴ電極１２、１３を入力ポート２１や出力ポート２２と接地ポート２３との間に設けたが、これらＩＤＴ電極１２、１３について、接地ポート２３に代えて別の信号ポートに接続し、バランスタイプのフィルタとして構成しても良い。
【符号の説明】
【００５５】
１ ＩＤＴブロック
１１ 圧電基板
１２ 入力側ＩＤＴ電極
１３ 出力側ＩＤＴ電極
１４ バスバー
１７ 電極指
１８ 反射電極
２１ 入力ポート
２２ 出力ポート
２３ 接地ポート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように圧電基板上に配置した入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を備え、これらＩＤＴ電極の少なくとも一方は、
（１）弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びるように互いに平行に配置された一対のバスバーの各々から、対向するバスバー側に向かって電極指が伸びることにより電極指群が櫛歯状に配列されたＩＤＴブロックの複数を、弾性波の伝搬方向に沿って並べると共に、これら複数のＩＤＴブロックが各々のバスバーを介して直列に接続されるように構成することと、
（２）互いに直列に接続されたＩＤＴブロック群の両端に位置するバスバーに、夫々第１の信号ポート及び第２の信号ポートを接続したことと、
（３）各々のＩＤＴブロックの一対のバスバーのうち、平面的に見て前記第１の信号ポート側に位置する一方のバスバーから互いに隣接して伸びる３本の電極指と、これら３本の電極指に隣接して他方のバスバーから伸びる１本の電極指とからなる周期単位が、弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるように各ＩＤＴブロックの電極指群を構成すると共に、この周期単位が前記ＩＤＴ電極において周期的に繰り返されるように互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法を設定することと、
（４）互いに隣接するＩＤＴブロック間における弾性波の不要な励振を抑えるために、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側の電極指と、他方のＩＤＴブロックにおける一方のＩＤＴブロック側の電極指と、の少なくとも一方の電極指に代えてスペース領域を形成することと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項２】
互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法は、前記スペース領域を形成したことに基づく弾性波の位相のずれを抑制するために、周期単位に対応する寸法とは異なる寸法に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
弾性波の励振位置を間引くために、前記他方のバスバーから伸びる電極指に代えて、前記一方のバスバーから伸びる電極指が配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記一方のバスバーから互いに隣接して伸びる２本の電極指に代えて、反射電極が配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
互いに隣接するＩＤＴブロックのうち、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側と、前記他方のＩＤＴブロックにおける前記一方のＩＤＴブロック側とには、これらＩＤＴブロック同士の間において電界が発生することを抑制するために、前記一方のバスバーから伸びる電極指が各々配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
互いに隣接する２つの周期単位は、弾性波の励振位置がこれら周期単位において１８０°反転するように、これら周期単位のうち一の周期単位において前記他方のバスバーから伸びる電極指と、これら周期単位のうち他の周期単位において前記一方側のバスバーから伸びる３本の電極指のいずれか一本の電極指とが入れ替わるように形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項１】
弾性波の伝搬方向に沿って互いに離間するように圧電基板上に配置した入力側ＩＤＴ電極及び出力側ＩＤＴ電極を備え、これらＩＤＴ電極の少なくとも一方は、
（１）弾性波の伝搬方向に沿って各々伸びるように互いに平行に配置された一対のバスバーの各々から、対向するバスバー側に向かって電極指が伸びることにより電極指群が櫛歯状に配列されたＩＤＴブロックの複数を、弾性波の伝搬方向に沿って並べると共に、これら複数のＩＤＴブロックが各々のバスバーを介して直列に接続されるように構成することと、
（２）互いに直列に接続されたＩＤＴブロック群の両端に位置するバスバーに、夫々第１の信号ポート及び第２の信号ポートを接続したことと、
（３）各々のＩＤＴブロックの一対のバスバーのうち、平面的に見て前記第１の信号ポート側に位置する一方のバスバーから互いに隣接して伸びる３本の電極指と、これら３本の電極指に隣接して他方のバスバーから伸びる１本の電極指とからなる周期単位が、弾性波の伝搬方向に沿って周期的に繰り返されるように各ＩＤＴブロックの電極指群を構成すると共に、この周期単位が前記ＩＤＴ電極において周期的に繰り返されるように互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法を設定することと、
（４）互いに隣接するＩＤＴブロック間における弾性波の不要な励振を抑えるために、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側の電極指と、他方のＩＤＴブロックにおける一方のＩＤＴブロック側の電極指と、の少なくとも一方の電極指に代えてスペース領域を形成することと、を備えたことを特徴とする弾性波フィルタ。
【請求項２】
互いに隣接するＩＤＴブロック同士の離間寸法は、前記スペース領域を形成したことに基づく弾性波の位相のずれを抑制するために、周期単位に対応する寸法とは異なる寸法に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の弾性波フィルタ。
【請求項３】
弾性波の励振位置を間引くために、前記他方のバスバーから伸びる電極指に代えて、前記一方のバスバーから伸びる電極指が配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性波フィルタ。
【請求項４】
前記一方のバスバーから互いに隣接して伸びる２本の電極指に代えて、反射電極が配置されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項５】
互いに隣接するＩＤＴブロックのうち、一方のＩＤＴブロックにおける他方のＩＤＴブロック側と、前記他方のＩＤＴブロックにおける前記一方のＩＤＴブロック側とには、これらＩＤＴブロック同士の間において電界が発生することを抑制するために、前記一方のバスバーから伸びる電極指が各々配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【請求項６】
互いに隣接する２つの周期単位は、弾性波の励振位置がこれら周期単位において１８０°反転するように、これら周期単位のうち一の周期単位において前記他方のバスバーから伸びる電極指と、これら周期単位のうち他の周期単位において前記一方側のバスバーから伸びる３本の電極指のいずれか一本の電極指とが入れ替わるように形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の弾性波フィルタ。
【図１】
【図３】
【図４】
【図５】
【図７】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図６】
【図８】
【図１３】
【図１９】
【図３】
【図４】
【図５】
【図７】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２】
【図６】
【図８】
【図１３】
【図１９】
【公開番号】特開２０１３−８５１３６（Ｐ２０１３−８５１３６Ａ）
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２２４０２８（Ｐ２０１１−２２４０２８）
【出願日】平成２３年１０月１１日（２０１１．１０．１１）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月９日（２０１３．５．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月１１日（２０１１．１０．１１）
【出願人】（０００２３２４８３）日本電波工業株式会社 (1,148)
【Ｆターム（参考）】
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