洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システム
【課題】コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供する。
【解決手段】シャッター１３により開口１１，１２を遮蔽した後、バルブＶ１を開放すると、チャック２０に固定された部品Ｗ（ここでは洗浄物）に対して、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈを介して、液体供給源ＷＰから供給された温水が連続的に噴射される。又、バルブＶ２を周期的に開閉することで、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍを介して、空気圧源ＡＰから供給された空気が間欠的に噴射される。これにより、空気と温水とが混じり合った状態で、部品Ｗの表面が洗浄されるので高い洗浄効果を得ることができる。
【解決手段】シャッター１３により開口１１，１２を遮蔽した後、バルブＶ１を開放すると、チャック２０に固定された部品Ｗ（ここでは洗浄物）に対して、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈを介して、液体供給源ＷＰから供給された温水が連続的に噴射される。又、バルブＶ２を周期的に開閉することで、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍを介して、空気圧源ＡＰから供給された空気が間欠的に噴射される。これにより、空気と温水とが混じり合った状態で、部品Ｗの表面が洗浄されるので高い洗浄効果を得ることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，加工した部品等の洗浄に好適な洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
旋盤等を用いて部品を機械加工すると、加工された部品には切り粉や切削油などの異物が付着するので、通常は組み付け前に部品を洗浄する工程が必要になる。これに対し特許文献１には、ノズルからエアと洗浄液を吹き付けてワークを洗浄する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２５３９６０号公報
【発明の概要】
【０００４】
しかるに、特許文献１の装置によれば、回転するワークの外周に対して、固定されたノズルからエアと洗浄液とを吹き付けるために、エアと洗浄液とは厳密にワークの半径方向に当たらず、回転方向によって部分的に洗浄ムラが生じる恐れがある。同様に、ワークの乾燥は、回転するワークの外周に対して、固定されたノズルからエアを吹き付けるために、エアが厳密にワークの半径方向に当たらず、回転方向によって部分的に乾燥ムラが生じる恐れがある。又、ワークを回転させる構成であるため、比較的大型の装置が必要になり、また回転するワークから遠心力で洗浄液が飛散し易いため、チャンバーの密封を確実に行う必要もある。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり，コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の洗浄装置は、
洗浄物を内側に配置可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を備えた洗浄装置であって、
前記本体部の内側に洗浄物を配置（相対移動させる場合を含む）した状態で、少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を有するので、洗浄物を回転させずとも、洗浄物の外周全体を有効に洗浄できる。又、洗浄物の外周に当たって跳ね返った液体は、対向した位置にある前記本体部の内周に当たるので、それにより外部への飛散が抑制されると共に、前記本体部の内周で跳ね返った液体が、再度洗浄物に当たり、洗浄効果が増大されるというメリットも期待できる。尚、「少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって」とは、本体部の軸線直交方向内方に向かう成分を有すれば良く、必ずしも軸線に直交させる必要はない。
【０００８】
請求項２に記載の洗浄装置は、前記本体部の軸線に対して傾いた方向に、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【０００９】
請求項３に記載の洗浄装置は、前記液体通路が２組設けられ、一方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向は、他方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向と異なっており、
前記気体通路は２組設けられ、一方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向は、他方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっていることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【００１０】
請求項４に記載の洗浄装置は、前記本体部において、前記液体通路が、前記気体通路に対して軸線方向外側に配置されていることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【００１１】
請求項５に記載の洗浄装置において、前記液体の噴出は連続的であり、前記気体の噴出は間欠的であることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【００１２】
請求項６に記載の乾燥装置は、
乾燥物が通過可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の第１気体通路と、
前記本体部の内周において周方向に連続して開口し、外部の気体供給源に接続された第２気体通路と、を備えた乾燥装置であって、
前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっており、
乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第１気体通路から噴出させた気体と、前記第２気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるようになっていることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第１気体通路から噴出させた気体と、前記第２気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるので、前記第２気体通路から噴出した気体によって、前記本体部の内側に連続したエアカーテンを形成することで、前記第１気体通路から噴出した気体によって乾燥物の表面から吹き飛ばされた液体や異物を有効に捕捉でき、外部への飛散を抑制することができる。
【００１４】
請求項７に記載の乾燥装置は、前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して直交する方向であり、前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して傾いていることを特徴とする。これにより、気体の混合によって乱流が発生するため、乾燥物が複雑な形状を有している場合でも、細部まで気体が侵入し、より有効に乾燥を行うことができる。
【００１５】
請求項８に記載の乾燥装置は、前記気体の噴出時に、乾燥物と前記乾燥装置とが繰り返し相対移動するようになっており、乾燥物が前記乾燥装置に対して重力方向上方に相対移動する速度は、重力方向下方に相対移動する速度より遅いことを特徴とする。これにより液体等の飛散を抑制しつつ、より有効に乾燥を行うことができる。
【００１６】
請求項９に記載の洗浄システムは、請求項１〜５に記載の洗浄装置と請求項６〜８のいずれかに記載の乾燥装置とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば，コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図２】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図３】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図４】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図５】チャック２０の斜視図である。
【図６】図６（ａ）は、洗浄装置３０の中央環状部３１の上面図（図６（ｂ）の矢印VIA方向に見た図）であり、図６（ｂ）は、洗浄装置３０の断面図であるが、内周の細孔は一部のみ描いている。
【図７】図７（ａ）は、乾燥装置４０の上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の乾燥装置４０をVIIB-VIIB線で切断して矢印方向に見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を、図面の簡単な説明を参照して説明する。図１〜４は、本実施の形態にかかる洗浄システムを示す図である。図において、筐体状のチャンバー１０は、上部に開口１１，１２を有していると共に、開口１１，１２を遮蔽するシャッター１３（図３）を有している。
【００２０】
チャンバー１０の底面には、基部１４が固定されている。基部１４に取り付けられた支持板１５により、開口１１の下方において支持されたタンク１６は、上部が開放した筐体状であって、内部に洗浄液としての温水ＬＱを貯留している。タンク１６の底には、栓をしたドレーン孔１６ａが形成されており、栓を抜くことでドレーン孔１６ａから温水ＬＱを抜き出すことができるようになっている。
【００２１】
更に、基部１４は、支持台座１７を介して、チャック２０を支持している。又、チャック２０の上方には、それと同軸に洗浄装置３０がチャンバー１０に固定され、洗浄装置３０の上方であって開口１２の下方には、それと同軸に乾燥装置４０がチャンバー１０に固定されている。尚、洗浄装置３０と乾燥装置４０との間を、筒状の遮蔽カーテンを設けて密封しても良い。
【００２２】
図５は、チャック２０の斜視図である。図５において、チャック２０は、支持台座１７（図１〜４）に取り付けられる円盤状の本体２１と、本体２１の軸線回りに取り付けられた８個の扇形柱状の爪部２２とを有する。本体２０に対して不図示の空気圧源から圧縮空気を供給することで、各爪部２２は、本体２１の軸線に接近もしくは離反可能となっており、その間に後述する部品Ｗ（図１〜４）を保持固定可能となっている。このようなチャックとしては、例えば特開２００７−１５０３８号公報に記載のものを好適に用いることができる。
【００２３】
図６（ａ）は、洗浄装置３０の中央環状部３１の上面図であり、図６（ｂ）は、洗浄装置３０の断面図である。洗浄装置３０は、本体部を構成する中央環状部３１と外側環状部３２，３２とからなり、これらは同じ内径及び外径を有する環状である。中央環状部３１は、その上面に、上面内側周溝３１ａと上面外側周溝３１ｂとを有し、その下面に、下面内側周溝３１ｃと下面外側周溝３１ｄとを有する。尚、内側周溝３１ａ，３１ｃは、外側周溝３１ｂ、３１ｄより浅くなっている。
【００２４】
上面内側周溝３１ａの底面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約６０度（即ち下向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｅ、３１ｆが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｅは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｆは、隣接する細孔３１ｅ、３１ｅの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている。一方、下面内側周溝３１ｃの底面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約１２０度（即ち上向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｇ、３１ｈが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｇは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｈは、隣接する細孔３１ｇ、３１ｇの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている（すなわち周方向に千鳥状に２列に並んでいる）。尚、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈの延長線は、中央環状部３１の軸線上で互いに約６０度の角度で交差することとなる。
【００２５】
また、上面外側周溝３１ｂの側面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約６０度（即ち下向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｉ、３１ｊが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｉは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｊは、隣接する細孔３１ｉ、３１ｉの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている。一方、下面外側周溝３１ｄの側面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約１２０度（即ち上向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｋ、３１ｍが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｋは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｍは、隣接する細孔３１ｋ、３１ｋの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている（すなわち周方向に千鳥状に２列に並んでいる）。尚、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍの延長線は、中央環状部３１の軸線上で互いに約６０度の角度で交差することとなる。本実施の形態では、中央環状部３１の軸線方向に対して、液体通路である細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈの内側に、気体通路である細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍが開口しているが、この関係を逆にしても良い。
【００２６】
中央環状部３１は、外周から軸線直交方向に延在する通孔３１ｎ、３１ｐを有している。通孔３１ｎは上面外側周溝３１ｂに連通し、配管及びバルブＶ１を介して外部の空気圧源（気体供給源としての工場エアでよい）ＡＰからの加圧空気を供給するようになっている。又、通孔３１ｐは下面外側周溝３１ｄに連通し、配管及びバルブＶ１を介して外部の空気圧源ＡＰからの加圧空気を供給するようになっている。
【００２７】
中央環状部３１の軸線方向両側に密着して用いられる外側環状部３２，３２は、それぞれ軸線方向に延在する通孔３２ａ、３２ａを有している。上方の外側環状部３２の通孔３２ａは、上面内側周溝３１ａに連通し、配管及びバルブＶ２を介して外部の液体供給源ＷＰ（例えばポンプとタンクを含む）に貯留された温水を供給するようになっている。又、下方の外側環状部３２の通孔３２ａは、下面内側周溝３１ｃに連通し、配管及びバルブＶ２を介して外部の液体供給源ＷＰに貯留された温水を供給するようになっている。中央環状部３１と外側環状部３２，３２との間に、シール手段としてのガスケットやＯ−リングを介在させても良い。
【００２８】
図７（ａ）は、乾燥装置４０の上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の乾燥装置４０をVIIB-VIIB線で切断して矢印方向に見た断面図である。乾燥装置４０は、本体部を構成する上側環状部４１と下側環状部４２とからなり、これらは同じ内径及び外径を有する環状であって、同軸に密着するようにして取り付けられる。上側環状部４１は、その下面に、周方向に等間隔に８つの袋孔４１ａを形成している。各袋孔４１ａには、外周から軸線方向に直交する方向に延在する通孔４１ｂが形成されており、通孔４１ｂは、配管及びバルブＶ３を介して外部の空気圧源（気体供給源としての工場エアでよい）ＡＰからの加圧空気を供給するようになっている。
【００２９】
又、各袋孔４１ａの側面から、上側環状部４１の内周に向かって、その軸線に向かい且つそれに対して角度約６０度（即ち下向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの細孔４１ｃが放射状に延在し、上側環状部４１の内周で開口している。
【００３０】
一方、下側環状部４２の上面には、内周側が一段シフトした（下がった）平面を含む段部４２ａが、上面に平行に且つ周方向に連続して形成されている。上側環状部４１の下面と下側環状部４２の上面とを密着させたとき、段部４２ａと、上側環状部４１の下面とで、周方向に連続した周溝４３が形成され、袋孔４１ａの開口端は周溝４３に開口している。従って、通孔４１ｂから供給された空気は、第１気体通路である細孔４１ｃを介して乾燥装置４０の内側に、軸線に対して約６０度の傾きで噴出され、その一方、第２気体通路である周溝４３を介して軸線直交方向内方に向かって、周方向に連続的に噴出されて途切れのないエアカーテンを形成するようになっている。
【００３１】
次に、本実施の形態の洗浄システムの動作について、図１〜４を参照して説明する。ここでは、搬送装置５０を用いるものとする。搬送装置５０は、接近／離反可能な一対の爪部５１，５１を有し、図１〜４で上下左右に移動可能となっている。
【００３２】
初期状態で、バルブＶ１，Ｖ２、Ｖ３は閉止位置にある。まず、シャッター１３を退避させて、チャンバー１０の開口１１，１２を開放する。次に、機械加工を終えた円筒状（但し円筒状に限られない）の部品Ｗを、搬送装置５０の爪部５１，５１で把持して開口１１の上方まで搬送し、更に開口１１を通して下降させ、図１に示すように、タンク１６内の洗浄液ＬＱに浸漬し、搬送装置５０を上下に動かして、表面（特に下部）に付着した異物を洗い落とす。尚、搬送装置５０の上下動作は、３〜１０回程度で、回数は変更可能であることが望ましい。
【００３３】
その後、部品Ｗと共に搬送装置５０を上昇させ、開口１２の上方へと移動させ、更に開口１２、乾燥装置４０及び洗浄装置３０の内側を通して下降させ、図２に示すように、爪部５１，５１を開いて部品Ｗをチャック２０に受け渡した後、搬送装置５０を開口１２の外部へと退避させる。ここで、図３に示すように、シャッター１３により開口１１，１２を遮蔽した後、バルブＶ１を開放すると、チャック２０に固定された部品Ｗ（ここでは洗浄物）に対して、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈを介して、液体供給源ＷＰから供給された温水が連続的に噴射される。又、バルブＶ２を周期的に開閉することで、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍを介して、空気圧源ＡＰから供給された空気が間欠的に噴射される。これにより、空気と温水とが混じり合った状態で、部品Ｗの表面が洗浄されるので高い洗浄効果を得ることができる。但し、空気は連続的に噴出させても良い。
【００３４】
特に、本実施の形態では、部品Ｗに吹き付けられる空気と温水が、それぞれ洗浄装置３０の軸線に対して約６０度で交差しており、これにより部品Ｗの表面が凹凸のある複雑な形状でも、細部の奥まで洗浄を行うことができる。又、部品Ｗの外周に当たって跳ね返った温水は、対向した位置にある中央環状部３１又は外側環状部３２，３２の内周に当たるので、それにより外部への飛散が抑制されると共に、中央環状部３１又は外側環状部３２，３２の内周で跳ね返った液体が、再度部品Ｗに当たり、洗浄効果が増大されるというメリットも期待できる。
【００３５】
所定時間の洗浄工程後、バルブＶ１，Ｖ２を閉止し、シャッター１３を開放して、搬送装置５０を、開口１２を介してチャンバー１０内に進入させ、開いた爪部５１，５１で部品Ｗを把持した後、チャック２０から解放する。その後、水滴の付いた部品Ｗと共に搬送装置５０を上昇させ、バルブＶ３を開放する。
【００３６】
乾燥装置４０の位置に部品Ｗが近づいたら、搬送装置５０の上昇速度を落とし、その後、図４に示すように、乾燥装置４０の内側で部品Ｗ（ここでは乾燥物）を上下に移動させる。このとき、部品Ｗの上面下面が周溝４３の位置を超えるまで往復動作させると好ましい。又、部品Ｗが乾燥装置４０に対して上方に移動する速度が、下方に移動する速度よりも遅くすると好ましい。これにより、乾燥装置４０の細孔４１ｃから、軸線に対して約６０度の傾きで下方に噴出された空気が、部品Ｗから洗浄時に付着した水滴を吹き飛ばす。一方、周溝４３を介して軸線直交方向内方に向かって周方向に連続的に噴出された空気は、いわゆるエアカーテンを形成するので、部品Ｗに吹き付けた空気により飛散した水滴が舞い上がることを制限するようになっているため、シャッター１３を開放させたままでも特に問題はない。尚、搬送装置５０の上下動作は、３〜１０回程度で、回数は変更可能であることが望ましい。
【００３７】
乾燥工程後、バルブＶ３を閉止して、部品Ｗと共に搬送装置５０を、開口１２を通して上昇させ、部品Ｗを次工程へと搬送する。以上で、本実施の形態の洗浄システムにおける洗浄・乾燥工程が完了する。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、以上の実施の形態に限られない。洗浄用の液体は温水に限らず、例えば特開２００４−１０７４９９号公報に記載された炭化水素系洗浄液等を用いることができる。又、搬送装置の形態も、以上に限られず部品を保持しつつ搬送可能なものであれば足り、種々の形態が可能である。或いは、チャック２０を上下に移動可能な構成として、搬送装置の代わりに用いても良い。
【符号の説明】
【００３９】
１０ チャンバー
１１ 開口
１２ 開口
１３ シャッター
１４ 基部
１５ 支持板
１６ タンク
１７ 支持台座
２０ チャック
２１ 本体
２２ 爪部
３０ 洗浄装置
３１ 中央環状部
３１ａ 上面内側周溝
３１ｂ 上面外側周溝
３１ｃ 下面内側周溝
３１ｄ 下面外側周溝
３１ｅ 細孔
３１ｆ 細孔
３１ｇ 細孔
３１ｈ 細孔
３１ｉ 細孔
３１ｊ 細孔
３１ｋ 細孔
３１ｍ 細孔
３１ｎ 通孔
３１ｐ 通孔
３２ 外側環状部
３２ａ 通孔
４０ 乾燥装置
４１ 上側環状部
４１ａ 袋孔
４１ｂ 通孔
４１ｃ 細孔
４２ 下側環状部
４２ａ 段部
４３ 周溝
５０ 搬送装置
５１ 爪部
ＡＰ 空気圧源
ＬＱ 温水
Ｖ１ バルブ
Ｖ２ バルブ
Ｖ３ バルブ
Ｗ 部品
ＷＰ 液体供給源
【技術分野】
【０００１】
本発明は，加工した部品等の洗浄に好適な洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
旋盤等を用いて部品を機械加工すると、加工された部品には切り粉や切削油などの異物が付着するので、通常は組み付け前に部品を洗浄する工程が必要になる。これに対し特許文献１には、ノズルからエアと洗浄液を吹き付けてワークを洗浄する装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２５３９６０号公報
【発明の概要】
【０００４】
しかるに、特許文献１の装置によれば、回転するワークの外周に対して、固定されたノズルからエアと洗浄液とを吹き付けるために、エアと洗浄液とは厳密にワークの半径方向に当たらず、回転方向によって部分的に洗浄ムラが生じる恐れがある。同様に、ワークの乾燥は、回転するワークの外周に対して、固定されたノズルからエアを吹き付けるために、エアが厳密にワークの半径方向に当たらず、回転方向によって部分的に乾燥ムラが生じる恐れがある。又、ワークを回転させる構成であるため、比較的大型の装置が必要になり、また回転するワークから遠心力で洗浄液が飛散し易いため、チャンバーの密封を確実に行う必要もある。
【０００５】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり，コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の洗浄装置は、
洗浄物を内側に配置可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を備えた洗浄装置であって、
前記本体部の内側に洗浄物を配置（相対移動させる場合を含む）した状態で、少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を有するので、洗浄物を回転させずとも、洗浄物の外周全体を有効に洗浄できる。又、洗浄物の外周に当たって跳ね返った液体は、対向した位置にある前記本体部の内周に当たるので、それにより外部への飛散が抑制されると共に、前記本体部の内周で跳ね返った液体が、再度洗浄物に当たり、洗浄効果が増大されるというメリットも期待できる。尚、「少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって」とは、本体部の軸線直交方向内方に向かう成分を有すれば良く、必ずしも軸線に直交させる必要はない。
【０００８】
請求項２に記載の洗浄装置は、前記本体部の軸線に対して傾いた方向に、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【０００９】
請求項３に記載の洗浄装置は、前記液体通路が２組設けられ、一方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向は、他方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向と異なっており、
前記気体通路は２組設けられ、一方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向は、他方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっていることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【００１０】
請求項４に記載の洗浄装置は、前記本体部において、前記液体通路が、前記気体通路に対して軸線方向外側に配置されていることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【００１１】
請求項５に記載の洗浄装置において、前記液体の噴出は連続的であり、前記気体の噴出は間欠的であることを特徴とする。これにより、更に効果的に洗浄物の洗浄を行える。
【００１２】
請求項６に記載の乾燥装置は、
乾燥物が通過可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の第１気体通路と、
前記本体部の内周において周方向に連続して開口し、外部の気体供給源に接続された第２気体通路と、を備えた乾燥装置であって、
前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっており、
乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第１気体通路から噴出させた気体と、前記第２気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるようになっていることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第１気体通路から噴出させた気体と、前記第２気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるので、前記第２気体通路から噴出した気体によって、前記本体部の内側に連続したエアカーテンを形成することで、前記第１気体通路から噴出した気体によって乾燥物の表面から吹き飛ばされた液体や異物を有効に捕捉でき、外部への飛散を抑制することができる。
【００１４】
請求項７に記載の乾燥装置は、前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して直交する方向であり、前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して傾いていることを特徴とする。これにより、気体の混合によって乱流が発生するため、乾燥物が複雑な形状を有している場合でも、細部まで気体が侵入し、より有効に乾燥を行うことができる。
【００１５】
請求項８に記載の乾燥装置は、前記気体の噴出時に、乾燥物と前記乾燥装置とが繰り返し相対移動するようになっており、乾燥物が前記乾燥装置に対して重力方向上方に相対移動する速度は、重力方向下方に相対移動する速度より遅いことを特徴とする。これにより液体等の飛散を抑制しつつ、より有効に乾燥を行うことができる。
【００１６】
請求項９に記載の洗浄システムは、請求項１〜５に記載の洗浄装置と請求項６〜８のいずれかに記載の乾燥装置とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば，コンパクトな構成ながら、洗浄ムラや乾燥ムラを有効に抑制できる洗浄装置、乾燥装置及び洗浄システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図２】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図３】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図４】本実施の形態の洗浄システムを示す図である。
【図５】チャック２０の斜視図である。
【図６】図６（ａ）は、洗浄装置３０の中央環状部３１の上面図（図６（ｂ）の矢印VIA方向に見た図）であり、図６（ｂ）は、洗浄装置３０の断面図であるが、内周の細孔は一部のみ描いている。
【図７】図７（ａ）は、乾燥装置４０の上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の乾燥装置４０をVIIB-VIIB線で切断して矢印方向に見た断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を、図面の簡単な説明を参照して説明する。図１〜４は、本実施の形態にかかる洗浄システムを示す図である。図において、筐体状のチャンバー１０は、上部に開口１１，１２を有していると共に、開口１１，１２を遮蔽するシャッター１３（図３）を有している。
【００２０】
チャンバー１０の底面には、基部１４が固定されている。基部１４に取り付けられた支持板１５により、開口１１の下方において支持されたタンク１６は、上部が開放した筐体状であって、内部に洗浄液としての温水ＬＱを貯留している。タンク１６の底には、栓をしたドレーン孔１６ａが形成されており、栓を抜くことでドレーン孔１６ａから温水ＬＱを抜き出すことができるようになっている。
【００２１】
更に、基部１４は、支持台座１７を介して、チャック２０を支持している。又、チャック２０の上方には、それと同軸に洗浄装置３０がチャンバー１０に固定され、洗浄装置３０の上方であって開口１２の下方には、それと同軸に乾燥装置４０がチャンバー１０に固定されている。尚、洗浄装置３０と乾燥装置４０との間を、筒状の遮蔽カーテンを設けて密封しても良い。
【００２２】
図５は、チャック２０の斜視図である。図５において、チャック２０は、支持台座１７（図１〜４）に取り付けられる円盤状の本体２１と、本体２１の軸線回りに取り付けられた８個の扇形柱状の爪部２２とを有する。本体２０に対して不図示の空気圧源から圧縮空気を供給することで、各爪部２２は、本体２１の軸線に接近もしくは離反可能となっており、その間に後述する部品Ｗ（図１〜４）を保持固定可能となっている。このようなチャックとしては、例えば特開２００７−１５０３８号公報に記載のものを好適に用いることができる。
【００２３】
図６（ａ）は、洗浄装置３０の中央環状部３１の上面図であり、図６（ｂ）は、洗浄装置３０の断面図である。洗浄装置３０は、本体部を構成する中央環状部３１と外側環状部３２，３２とからなり、これらは同じ内径及び外径を有する環状である。中央環状部３１は、その上面に、上面内側周溝３１ａと上面外側周溝３１ｂとを有し、その下面に、下面内側周溝３１ｃと下面外側周溝３１ｄとを有する。尚、内側周溝３１ａ，３１ｃは、外側周溝３１ｂ、３１ｄより浅くなっている。
【００２４】
上面内側周溝３１ａの底面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約６０度（即ち下向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｅ、３１ｆが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｅは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｆは、隣接する細孔３１ｅ、３１ｅの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている。一方、下面内側周溝３１ｃの底面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約１２０度（即ち上向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｇ、３１ｈが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｇは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｈは、隣接する細孔３１ｇ、３１ｇの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている（すなわち周方向に千鳥状に２列に並んでいる）。尚、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈの延長線は、中央環状部３１の軸線上で互いに約６０度の角度で交差することとなる。
【００２５】
また、上面外側周溝３１ｂの側面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約６０度（即ち下向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｉ、３１ｊが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｉは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｊは、隣接する細孔３１ｉ、３１ｉの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている。一方、下面外側周溝３１ｄの側面から、中央環状部３１の内周まで、その軸線に向かい且つそれに対して角度約１２０度（即ち上向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの２組の細孔３１ｋ、３１ｍが並んで延在し、中央環状部３１の内周で開口している。細孔３１ｋは、周方向に角度１０度ずつに等間隔に放射状に配置され、細孔３１ｍは、隣接する細孔３１ｋ、３１ｋの中間に放射状に配置されているが、それより中央環状部３１の軸線方向内側にシフトしている（すなわち周方向に千鳥状に２列に並んでいる）。尚、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍの延長線は、中央環状部３１の軸線上で互いに約６０度の角度で交差することとなる。本実施の形態では、中央環状部３１の軸線方向に対して、液体通路である細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈの内側に、気体通路である細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍが開口しているが、この関係を逆にしても良い。
【００２６】
中央環状部３１は、外周から軸線直交方向に延在する通孔３１ｎ、３１ｐを有している。通孔３１ｎは上面外側周溝３１ｂに連通し、配管及びバルブＶ１を介して外部の空気圧源（気体供給源としての工場エアでよい）ＡＰからの加圧空気を供給するようになっている。又、通孔３１ｐは下面外側周溝３１ｄに連通し、配管及びバルブＶ１を介して外部の空気圧源ＡＰからの加圧空気を供給するようになっている。
【００２７】
中央環状部３１の軸線方向両側に密着して用いられる外側環状部３２，３２は、それぞれ軸線方向に延在する通孔３２ａ、３２ａを有している。上方の外側環状部３２の通孔３２ａは、上面内側周溝３１ａに連通し、配管及びバルブＶ２を介して外部の液体供給源ＷＰ（例えばポンプとタンクを含む）に貯留された温水を供給するようになっている。又、下方の外側環状部３２の通孔３２ａは、下面内側周溝３１ｃに連通し、配管及びバルブＶ２を介して外部の液体供給源ＷＰに貯留された温水を供給するようになっている。中央環状部３１と外側環状部３２，３２との間に、シール手段としてのガスケットやＯ−リングを介在させても良い。
【００２８】
図７（ａ）は、乾燥装置４０の上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）の乾燥装置４０をVIIB-VIIB線で切断して矢印方向に見た断面図である。乾燥装置４０は、本体部を構成する上側環状部４１と下側環状部４２とからなり、これらは同じ内径及び外径を有する環状であって、同軸に密着するようにして取り付けられる。上側環状部４１は、その下面に、周方向に等間隔に８つの袋孔４１ａを形成している。各袋孔４１ａには、外周から軸線方向に直交する方向に延在する通孔４１ｂが形成されており、通孔４１ｂは、配管及びバルブＶ３を介して外部の空気圧源（気体供給源としての工場エアでよい）ＡＰからの加圧空気を供給するようになっている。
【００２９】
又、各袋孔４１ａの側面から、上側環状部４１の内周に向かって、その軸線に向かい且つそれに対して角度約６０度（即ち下向き）で傾くようにして、φ０．８ｍｍの細孔４１ｃが放射状に延在し、上側環状部４１の内周で開口している。
【００３０】
一方、下側環状部４２の上面には、内周側が一段シフトした（下がった）平面を含む段部４２ａが、上面に平行に且つ周方向に連続して形成されている。上側環状部４１の下面と下側環状部４２の上面とを密着させたとき、段部４２ａと、上側環状部４１の下面とで、周方向に連続した周溝４３が形成され、袋孔４１ａの開口端は周溝４３に開口している。従って、通孔４１ｂから供給された空気は、第１気体通路である細孔４１ｃを介して乾燥装置４０の内側に、軸線に対して約６０度の傾きで噴出され、その一方、第２気体通路である周溝４３を介して軸線直交方向内方に向かって、周方向に連続的に噴出されて途切れのないエアカーテンを形成するようになっている。
【００３１】
次に、本実施の形態の洗浄システムの動作について、図１〜４を参照して説明する。ここでは、搬送装置５０を用いるものとする。搬送装置５０は、接近／離反可能な一対の爪部５１，５１を有し、図１〜４で上下左右に移動可能となっている。
【００３２】
初期状態で、バルブＶ１，Ｖ２、Ｖ３は閉止位置にある。まず、シャッター１３を退避させて、チャンバー１０の開口１１，１２を開放する。次に、機械加工を終えた円筒状（但し円筒状に限られない）の部品Ｗを、搬送装置５０の爪部５１，５１で把持して開口１１の上方まで搬送し、更に開口１１を通して下降させ、図１に示すように、タンク１６内の洗浄液ＬＱに浸漬し、搬送装置５０を上下に動かして、表面（特に下部）に付着した異物を洗い落とす。尚、搬送装置５０の上下動作は、３〜１０回程度で、回数は変更可能であることが望ましい。
【００３３】
その後、部品Ｗと共に搬送装置５０を上昇させ、開口１２の上方へと移動させ、更に開口１２、乾燥装置４０及び洗浄装置３０の内側を通して下降させ、図２に示すように、爪部５１，５１を開いて部品Ｗをチャック２０に受け渡した後、搬送装置５０を開口１２の外部へと退避させる。ここで、図３に示すように、シャッター１３により開口１１，１２を遮蔽した後、バルブＶ１を開放すると、チャック２０に固定された部品Ｗ（ここでは洗浄物）に対して、細孔３１ｅ、３１ｆと細孔３１ｇ、３１ｈを介して、液体供給源ＷＰから供給された温水が連続的に噴射される。又、バルブＶ２を周期的に開閉することで、細孔３１ｉ、３１ｊと細孔３１ｋ、３１ｍを介して、空気圧源ＡＰから供給された空気が間欠的に噴射される。これにより、空気と温水とが混じり合った状態で、部品Ｗの表面が洗浄されるので高い洗浄効果を得ることができる。但し、空気は連続的に噴出させても良い。
【００３４】
特に、本実施の形態では、部品Ｗに吹き付けられる空気と温水が、それぞれ洗浄装置３０の軸線に対して約６０度で交差しており、これにより部品Ｗの表面が凹凸のある複雑な形状でも、細部の奥まで洗浄を行うことができる。又、部品Ｗの外周に当たって跳ね返った温水は、対向した位置にある中央環状部３１又は外側環状部３２，３２の内周に当たるので、それにより外部への飛散が抑制されると共に、中央環状部３１又は外側環状部３２，３２の内周で跳ね返った液体が、再度部品Ｗに当たり、洗浄効果が増大されるというメリットも期待できる。
【００３５】
所定時間の洗浄工程後、バルブＶ１，Ｖ２を閉止し、シャッター１３を開放して、搬送装置５０を、開口１２を介してチャンバー１０内に進入させ、開いた爪部５１，５１で部品Ｗを把持した後、チャック２０から解放する。その後、水滴の付いた部品Ｗと共に搬送装置５０を上昇させ、バルブＶ３を開放する。
【００３６】
乾燥装置４０の位置に部品Ｗが近づいたら、搬送装置５０の上昇速度を落とし、その後、図４に示すように、乾燥装置４０の内側で部品Ｗ（ここでは乾燥物）を上下に移動させる。このとき、部品Ｗの上面下面が周溝４３の位置を超えるまで往復動作させると好ましい。又、部品Ｗが乾燥装置４０に対して上方に移動する速度が、下方に移動する速度よりも遅くすると好ましい。これにより、乾燥装置４０の細孔４１ｃから、軸線に対して約６０度の傾きで下方に噴出された空気が、部品Ｗから洗浄時に付着した水滴を吹き飛ばす。一方、周溝４３を介して軸線直交方向内方に向かって周方向に連続的に噴出された空気は、いわゆるエアカーテンを形成するので、部品Ｗに吹き付けた空気により飛散した水滴が舞い上がることを制限するようになっているため、シャッター１３を開放させたままでも特に問題はない。尚、搬送装置５０の上下動作は、３〜１０回程度で、回数は変更可能であることが望ましい。
【００３７】
乾燥工程後、バルブＶ３を閉止して、部品Ｗと共に搬送装置５０を、開口１２を通して上昇させ、部品Ｗを次工程へと搬送する。以上で、本実施の形態の洗浄システムにおける洗浄・乾燥工程が完了する。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、以上の実施の形態に限られない。洗浄用の液体は温水に限らず、例えば特開２００４−１０７４９９号公報に記載された炭化水素系洗浄液等を用いることができる。又、搬送装置の形態も、以上に限られず部品を保持しつつ搬送可能なものであれば足り、種々の形態が可能である。或いは、チャック２０を上下に移動可能な構成として、搬送装置の代わりに用いても良い。
【符号の説明】
【００３９】
１０ チャンバー
１１ 開口
１２ 開口
１３ シャッター
１４ 基部
１５ 支持板
１６ タンク
１７ 支持台座
２０ チャック
２１ 本体
２２ 爪部
３０ 洗浄装置
３１ 中央環状部
３１ａ 上面内側周溝
３１ｂ 上面外側周溝
３１ｃ 下面内側周溝
３１ｄ 下面外側周溝
３１ｅ 細孔
３１ｆ 細孔
３１ｇ 細孔
３１ｈ 細孔
３１ｉ 細孔
３１ｊ 細孔
３１ｋ 細孔
３１ｍ 細孔
３１ｎ 通孔
３１ｐ 通孔
３２ 外側環状部
３２ａ 通孔
４０ 乾燥装置
４１ 上側環状部
４１ａ 袋孔
４１ｂ 通孔
４１ｃ 細孔
４２ 下側環状部
４２ａ 段部
４３ 周溝
５０ 搬送装置
５１ 爪部
ＡＰ 空気圧源
ＬＱ 温水
Ｖ１ バルブ
Ｖ２ バルブ
Ｖ３ バルブ
Ｗ 部品
ＷＰ 液体供給源
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄物を内側に配置可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を備えた洗浄装置であって、
前記本体部の内側に洗浄物を配置した状態で、少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記本体部の軸線に対して傾いた方向に、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記液体通路は２組設けられ、一方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向は、他方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向と異なっており、
前記気体通路は２組設けられ、一方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向は、他方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記本体部において、前記液体通路は、前記気体通路に対して軸線方向外側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記液体の噴出は連続的であり、前記気体の噴出は間欠的であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
乾燥物が通過可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の第１気体通路と、
前記本体部の内周において周方向に連続して開口し、外部の気体供給源に接続された第２気体通路と、を備えた乾燥装置であって、
前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっており、
乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第１気体通路から噴出させた気体と、前記第２気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるようになっていることを特徴とする乾燥装置。
【請求項７】
前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して直交する方向であり、前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して傾いていることを特徴とする請求項６に記載の乾燥装置。
【請求項８】
前記気体の噴出時に、乾燥物と前記乾燥装置とは繰り返し相対移動するようになっており、乾燥物が前記乾燥装置に対して重力方向上方に相対移動する速度は、重力方向下方に相対移動する速度より遅いことを特徴とする請求項６又は７に記載の乾燥装置。
【請求項９】
請求項１〜５に記載の洗浄装置と請求項６〜８のいずれかに記載の乾燥装置とを有することを特徴とする洗浄システム。
【請求項１】
洗浄物を内側に配置可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の液体供給源に接続された複数の液体通路と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の気体通路と、を備えた洗浄装置であって、
前記本体部の内側に洗浄物を配置した状態で、少なくとも前記本体部の軸線直交方向内方に向かって、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記本体部の軸線に対して傾いた方向に、前記液体通路の開口から液体が噴出され、且つ前記気体通路の開口から気体が噴出されることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記液体通路は２組設けられ、一方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向は、他方の組の液体通路から噴出される液体の噴出方向と異なっており、
前記気体通路は２組設けられ、一方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向は、他方の組の気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっていることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記本体部において、前記液体通路は、前記気体通路に対して軸線方向外側に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記液体の噴出は連続的であり、前記気体の噴出は間欠的であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
乾燥物が通過可能な内径を備えた環状の本体部と、
前記本体部の内周において周方向に並べて開口し、外部の気体供給源に接続された複数の第１気体通路と、
前記本体部の内周において周方向に連続して開口し、外部の気体供給源に接続された第２気体通路と、を備えた乾燥装置であって、
前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向と異なっており、
乾燥物を前記本体部の内側を通過させながら、前記第１気体通路から噴出させた気体と、前記第２気体通路から噴出させた気体を、乾燥物に向かって吹き付けるようになっていることを特徴とする乾燥装置。
【請求項７】
前記第２気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して直交する方向であり、前記第１気体通路から噴出される気体の噴出方向は、前記本体部の軸線に対して傾いていることを特徴とする請求項６に記載の乾燥装置。
【請求項８】
前記気体の噴出時に、乾燥物と前記乾燥装置とは繰り返し相対移動するようになっており、乾燥物が前記乾燥装置に対して重力方向上方に相対移動する速度は、重力方向下方に相対移動する速度より遅いことを特徴とする請求項６又は７に記載の乾燥装置。
【請求項９】
請求項１〜５に記載の洗浄装置と請求項６〜８のいずれかに記載の乾燥装置とを有することを特徴とする洗浄システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−２７４２４５（Ｐ２０１０−２７４２４５Ａ）
【公開日】平成２２年１２月９日（２０１０．１２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１３２１３７（Ｐ２００９−１３２１３７）
【出願日】平成２１年６月１日（２００９．６．１）
【出願人】（５０９１５４１７６）株式会社Ｋ−ＩＮＧ (1)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月９日（２０１０．１２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年６月１日（２００９．６．１）
【出願人】（５０９１５４１７６）株式会社Ｋ−ＩＮＧ (1)
【Ｆターム（参考）】
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