液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法
【課題】液状体の偏在を抑制してより均等なセルギャップを設定することができる液滴吐
出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドから液晶Ｆの液滴Ｆｂを、所定の傾斜角度θを有して相対移
動しながら貼合される一対のマザーガラス基板１００，２００の一方のマザーガラス基板
１００に吐出して液晶Ｆを配置する。液晶Ｆを、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１
００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度にな
るように配置する。
出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドから液晶Ｆの液滴Ｆｂを、所定の傾斜角度θを有して相対移
動しながら貼合される一対のマザーガラス基板１００，２００の一方のマザーガラス基板
１００に吐出して液晶Ｆを配置する。液晶Ｆを、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１
００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度にな
るように配置する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法に関するものである
。
【背景技術】
【０００２】
従来、注入法で液晶パネルを製造する場合、まず２枚の基板を貼り合せた後、その内部
を真空雰囲気にして液晶を充填する。この方法は、例えば２０インチパネルで液晶の注入
時間が２０時間以上必要になるなど、１枚の液晶パネルを製造する時間が長くなるという
問題を有している。
【０００３】
そこで、近年は、液滴吐出装置により、２枚の基板を貼り合せる前に、一方の基板に必
要量の液晶を予め供給し、その後、他方の基板と貼り合わせる方法が提案されている（例
えば特許文献１など）。
【特許文献１】特開２００４−３４４７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液滴吐出装置による方法では、図８に示されるように、一方の基板９１に形
成したループ状のシール材９２の内側に必要量の液晶９３を均等に供給し、その後、例え
ば真空中で対向する他方の基板９４と貼り合わせる。ここで、吐出された液晶９３の液滴
９３ａの高さは、シール材９２の高さ（例えば１０〜１００μｍ程度）よりも高くなる。
つまり、２枚の基板９１，９４を貼合する際、基板９４は、シール材９２に接触するより
も先に液晶９３に接することになる。
【０００５】
このとき、両基板９１，９４を貼合するためにこれらを位置決め・保持する上下定盤の
平坦度合いや互いの平行度合い等の影響で液晶９３の一側（図８の左側）に基板９４が先
に接すると、先に接した側に液晶９３が流れてしまう。従って、このように液晶９３が偏
在する状態で２枚の基板９１，９４を貼合すると、セルギャップの不均等な液晶パネルが
製造されてしまう。特に、上下定盤間を加圧しシール材９２を一定量だけつぶして基板９
１，９４を貼合する場合にこのセルギャップの不均等は顕著に現れる。このセルギャップ
の不均等は、液晶パネルの表示品質悪化の要因となるものである。
【０００６】
本発明の目的は、液状体の偏在を抑制してより均等なセルギャップを設定することがで
きる液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出方法は、上記課題を解決するため、所定の傾斜角度を有して相対移動
しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出手段から液状体の液滴を吐出して
前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基
板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前
記液状体を配置する。
【０００８】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板を貼合する際、前記所定の傾斜角度に
応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記一方の基板に配置された液状
体に、該一対の基板の他方の基板が先に接することになり、該液状体は、前記一対の基板
の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液状体が低密度にな
る側に流れる。このため、前記液状体の偏在を全体として抑制した状態で、前記一対の基
板を貼合することができ、より均等なセルギャップを設定することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出方法の一態様では、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼
合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように分布密度
に傾斜を持たせて前記液状体を配置する。
【００１０】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板の貼合時の隙間が大きくなる側から該
隙間が小さくなる側へと前記液状体が流れる際、該液状体を、その傾斜する分布密度に応
じて高密度になる側から低密度になる側へと円滑に流すことができる。このため、前記液
状体の偏在を全体として更に抑制した状態で、前記一対の基板を貼合することができ、更
に均等なセルギャップを設定することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出方法の他の一態様では、前記一対の基板は、それぞれ互いに同等に区
画形成された複数の領域からなり、
前記領域ごとに、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置する。
【００１２】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板の一方の該基板の前記複数の領域に前
記液状体の液滴をそれぞれ吐出する場合においても、前記領域ごとに、より均等なセルギ
ャップを設定することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の
基板の一方の該基板に、吐出手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴
吐出装置であって、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置する。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置によれば、前記一対の基板を貼合する際、前記所定の傾斜角度に
応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記一方の基板に配置された液状
体に、該一対の基板の他方の基板が先に接することになり、該液状体は、前記一対の基板
の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液状体が低密度にな
る側に流れる。このため、前記液状体の偏在を全体として抑制した状態で、前記一対の基
板を貼合することができ、より均等なセルギャップを設定することができる。
【００１５】
本発明の液晶パネルの製造方法は、液晶の液滴を吐出手段にて吐出して、第１基板に前
記液晶を配置し、その後、第２基板を前記第１基板に対し所定の傾斜角度を有して相対移
動させながら該第１基板と貼合する液晶パネルの製造方法であって、前記所定の傾斜角度
に応じて前記第１及び第２基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側
よりも低密度になるように前記液晶を配置する。
【００１６】
本発明の液晶パネルの製造方法によれば、前記第１及び第２基板を貼合する際、前記所
定の傾斜角度に応じて前記第１及び第２基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記第１基
板に配置された液晶に、前記第２基板が先に接することになり、該液晶は、前記第１及び
第２基板の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶が低密
度になる側に流れる。このため、前記液晶の偏在を全体として抑制した状態で、前記第１
及び第２基板を貼合することができ、より均等なセルギャップを有する液晶パネルを製造
することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した液滴吐出装置について説明する。
図１は、液滴吐出装置１０を説明するための全体斜視図を示す。図１において、液滴吐
出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有している。基台１１の上面には、そ
の長手方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝１２が形成されている。案内溝１
２の上方には、案内溝１２に沿って主走査方向（Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向）に移動す
るステージ１３が備えられている。ステージ１３の上面には、載置部１４が形成されて、
一対の基板の一方の基板（第１基板）としてのマザーガラス基板１００が載置される。マ
ザーガラス基板１００は、載置部１４において位置決め固定されてＹ矢印方向及び反Ｙ矢
印方向に搬送される。
【００１８】
マザーガラス基板１００は、図２に示すように、大判のガラス基板であって、２点鎖線
で示すように、薄膜トランジスタ、走査線、データ線等が形成された液晶表示装置の素子
基板を形成するセル１０１が、マトリクス状に多数区画形成されている。マザーガラス基
板１００に区画形成された各セル１０１には、例えば印刷装置又はディスペンサーにて描
画された四角枠状のシール材１０２が所定の位置に形成され、そのシール材１０２で囲ま
れた範囲（以下、配置領域Ｚという）に液滴吐出装置１０によって液晶Ｆ（図５参照）が
配置される。各セル１０１には、必要な所定量の液晶Ｆが配置されるようになっている。
【００１９】
なお、各セル１０１に液晶Ｆが配置されたマザーガラス基板１００は、その後の工程で
一対の基板の他方の基板（第２基板）としてのマザーガラス基板２００（図５参照）と貼
り合わされる。マザーガラス基板２００は、大判のガラス基板であって、共通電極が形成
された液晶表示装置の対向基板を形成するセル２０１が、マトリクス状に多数区画形成さ
れている。これらマザーガラス基板１００，２００は、真空チャンバ内で貼合装置（重ね
合わせ装置）の上下定盤にそれぞれセットされ、対応するセル１０１，２０１同士が相対
向するように貼り合わされる。そして、貼り合わされたマザーガラス基板１００，２００
をセル１０１，２０１ごとにカットすることによって、素子基板と対向基板の間にシール
材１０２を介して液晶Ｆを封入した液晶表示装置の液晶パネルが多数製造される。
【００２０】
以下、説明の便宜上、マザーガラス基板１００の縦方向をＹ矢印方向とし、マザーガラ
ス基板１００の横方向をＸ矢印方向とする。
図１において、基台１１には、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ矢印方向及び反Ｘ
矢印方向）に跨ぐ門型のガイド部材１５が架設されている。ガイド部材１５の上側には、
Ｘ矢印方向に延びるタンク１６が配設され、そのタンク１６には液晶Ｆが収納されている
。
【００２１】
タンク１６に収容された液晶Ｆは、該タンク１６に接続された供給チューブＴ（図４参
照）を介して吐出手段としての液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）２０に
所定の圧力で供給されるようになっている。そして、吐出ヘッド２０に供給された液晶Ｆ
は、該吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂ（図４参照）となって載置部１４に載置されたマザー
ガラス基板１００に向かって吐出されるようになっている。
【００２２】
ガイド部材１５には、そのＸ矢印方向略全幅にわたって、Ｘ矢印方向に延びる上下一対
のガイドレール１８が形成されている。上下一対のガイドレール１８には、キャリッジ１
９が取り付けられている。キャリッジ１９は、ガイドレール１８に案内されてＸ矢印方向
及び反Ｘ矢印方向に移動する。キャリッジ１９には、吐出ヘッド２０が搭載されている。
【００２３】
図３は、吐出ヘッド２０をマザーガラス基板１００側（下側）から見た図である。吐出
ヘッド２０のノズルプレート２５は、一対のノズル列ＮＬを備えている。一対のノズル列
ＮＬでは、Ｘ矢印方向から見て、一方のノズル列ＮＬの各ノズルＮが、他方のノズル列Ｎ
Ｌの各ノズルＮの間を補間する。すなわち、吐出ヘッド２０は、Ｘ矢印方向に、１インチ
当りに１８０個×２＝３６０個のノズルＮを有する（最大解像度が３６０ｄｐｉである）
。
【００２４】
図４は、吐出ヘッド２０の内部構成を説明するための要部断面図である。
図４において、吐出ヘッド２０の上側には、供給チューブＴが連結されている。供給チ
ューブＴは、タンク１６の液晶Ｆを吐出ヘッド２０に供給する。
【００２５】
ノズルプレート２５の各ノズルＮの上側には、供給チューブＴに連通するキャビティ２
６が形成されている。キャビティ２６は、供給チューブＴからの液晶Ｆを収容して、対応
するノズルＮに液晶Ｆを供給する。キャビティ２６の上側には、上下方向に振動してキャ
ビティ２６内の容積を拡大及び縮小する振動板２７が貼り付けられている。振動板２７の
上側には、ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設されている。圧電素子ＰＺは、上下方
向に収縮及び伸張して振動板２７を上下方向に振動させる。上下方向に振動する振動板２
７は、液晶Ｆを所定サイズの液滴Ｆｂにして対応するノズルＮから吐出させる。吐出され
た液滴Ｆｂは、対応するノズルＮの反Ｚ矢印方向に飛行して、直下を通過するマザーガラ
ス基板１００の吐出面１００ａに対して着弾するようになっている。
【００２６】
つまり、吐出ヘッド２０の直下を主走査方向にマザーガラス基板１００が移動するとき
、マザーガラス基板１００の各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚに対し
て順番に、吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂが吐出される。これにより、マザーガラス基板１
００の各セル１０１に液晶Ｆが所定量だけ配置される。
【００２７】
図５は、吐出ヘッド２０が、マザーガラス基板１００（セル１０１）に、液滴Ｆｂを吐
出して形成する液晶Ｆの配置パターンを示す図であり、便宜的に該マザーガラス基板１０
０に貼合されつつあるマザーガラス基板２００（セル２０１）を併せて図示している。こ
こで、マザーガラス基板１００，２００は、これらを位置決め・保持する上下定盤の平坦
度合いや互いの平行度合い等の影響で所定の傾斜角度θを有して上下方向（Ｚ矢印方向又
は反Ｚ矢印方向）に相対移動させながら貼合されるとする。この傾斜角度θは、使用する
貼合装置（重ね合わせ装置）が備える上下定盤に対して予め実験や試験で把握されたそれ
ら上下定盤の相対傾斜角度である。なお、このように上下定盤の相対傾斜角度を予め把握
するのは、初期調整等で上下定盤を完全な平行状態にすること、即ち傾斜角度θをゼロに
することが困難であるためである。
【００２８】
図５では、マザーガラス基板１００（セル１０１）の反Ｙ矢印方向側に先鋭となる傾斜
角度θの例を示している。本実施形態では、マザーガラス基板１００に配置される液晶Ｆ
の配置パターンは、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間
（Ｚ矢印方向の距離）が小さくなる側（図５の左側）が、該隙間が大きくなる側（図５の
右側）よりも低密度になっている。具体的には、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１
００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側（図５の左側）が、該隙間が大きくなる側（
図５の右側）よりも低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて液晶Ｆを配置している
。このとき、マザーガラス基板１００に吐出される液滴Ｆｂの高さは、シール材１０２の
高さよりも高くなることはいうまでもない。
【００２９】
図６は、液晶Ｆの配置されたマザーガラス基板１００にマザーガラス基板２００を貼合
するときの状態を示す図である。図６に示すように、マザーガラス基板１００，２００を
貼合すると、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さ
くなる側（図６の左側）の液晶Ｆに、マザーガラス基板２００が先に接することになり、
該液晶Ｆは、マザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側（図６の右
側）から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Ｆが低密度になる側に流れる。これにより
、マザーガラス基板１００（セル１０１）に配置された液晶Ｆは、均等に広がってその偏
在が解消される。なお、傾斜角度θ、即ち貼合時の液晶Ｆの流れを考慮した液晶Ｆの図５
に示した配置パターンは、予め実験や試験によって求めている。
【００３０】
図４において、吐出ヘッド２０のＹ矢印側の側面には、ラバーヒータＨが取着され、キ
ャビティ２６に収容された液晶Ｆを予め定めた目標温度に加熱する。ここで、目標温度と
は、吐出ヘッド２０が液滴Ｆｂとして吐出することができる粘性になる液晶Ｆの温度であ
って、本実施形態では、７０℃としている。吐出ヘッド２０の反Ｙ矢印側の側面には、温
度検出センサＳＥが取着され、吐出ヘッド２０を介してキャビティ２６に収容された液晶
Ｆの温度を検出するようになっている。
【００３１】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置１０の電気的構成を図７に従って説明する。
図７において、制御装置５０は、ＣＰＵ５０Ａ、ＲＯＭ５０Ｂ、ＲＡＭ５０Ｃ等を有し
ている。制御装置５０は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステ
ージ１３の搬送処理、キャリッジ１９の搬送処理、吐出ヘッド２０の液滴吐出処理を実行
する。また、制御装置５０は、同様に、ラバーヒータＨの駆動制御を実行する。
【００３２】
制御装置５０には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置５１が接続さ
れている。入出力装置５１は、液滴吐出装置１０が実行する各種処理の処理状況を表示す
る。入出力装置５１は、マザーガラス基板１００上に液滴Ｆｂでパターンを形成するため
のビットマップデータＢＤを生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置５０に入力
する。
【００３３】
ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺの
オンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、吐出ヘッド２０
（各ノズルＮ）の通過する各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚの各位置
に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。すなわち、ビットマップデータ
ＢＤは、セル１０１ごとに、シール材１０２で囲まれた配置領域Ｚに予め定めた配置パタ
ーンを形成させるための目標形成位置に液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。
【００３４】
詳述すると、本実施形態のビットマップデータＢＤは、図５に示すように、傾斜角度θ
に応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が該隙間が大き
くなる側よりも低密度になるように、分布密度に傾斜を持たせて液晶Ｆを配置するように
液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。ビットマップデータＢＤが、予め実験や試験
によって求めた、傾斜角度θ、即ち貼合時の液晶Ｆの流れを考慮した液晶Ｆの配置パター
ンから作成されることはいうまでもない。
【００３５】
制御装置５０には、Ｘ軸モータ駆動回路５２が接続されている。制御装置５０は、駆動
制御信号をＸ軸モータ駆動回路５２に出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５２は、制御装置５
０からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ１９を移動させるためのＸ軸モータＭＸを
正転又は逆転させる。制御装置５０には、Ｙ軸モータ駆動回路５３が接続されている。制
御装置５０は、駆動制御信号をＹ軸モータ駆動回路５３に出力する。Ｙ軸モータ駆動回路
５３は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、ステージ１３を移動させるための
Ｙ軸モータＭＹを正転又は逆転させる。
【００３６】
制御装置５０には、ヘッド駆動回路５４が接続されている。制御装置５０は、所定の吐
出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴａをヘッド駆動回路５４に出力する。制御
装置５０は、各圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧ＣＯＭａを吐出周波数に同期させ
てヘッド駆動回路５４に出力する。
【００３７】
制御装置５０は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン
形成用制御信号ＳＩａを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩａをヘッド駆動回路５４に
シリアル転送する。ヘッド駆動回路５４は、制御装置５０からのパターン形成用制御信号
ＳＩａを各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路
５４は、制御装置５０からの吐出タイミング信号ＬＴａを受けるたびに、シリアル／パラ
レル変換したパターン形成用制御信号ＳＩａをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩａ
によって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧ＣＯＭａを供給する。
【００３８】
制御装置５０には、ラバーヒータ駆動回路５５が接続されている。制御装置５０は、ラ
バーヒータ駆動回路５５に駆動制御信号を出力する。ラバーヒータ駆動回路５５は、制御
装置５０からの駆動制御信号に応答して、ラバーヒータＨを駆動制御する。そして、吐出
ヘッド２０に取着したラバーヒータＨは、吐出ヘッド２０内の液晶Ｆを予め定めた目標温
度にまで加熱する。すなわち、ラバーヒータＨによって、吐出ヘッド２０に供給された液
晶Ｆは、予め定めた目標温度（本実施形態では７０℃）に加熱されるようになっている。
【００３９】
制御装置５０には、温度検出センサＳＥが接続されている。制御装置５０は、温度検出
センサＳＥからの検出信号を入力して、その時々の吐出ヘッド２０内の液晶Ｆの温度を求
めるようになっている。制御装置５０は、求めた液晶Ｆの温度と前記予め設定した目標温
度と比較し、液晶Ｆの温度が目標温度になるように、ラバーヒータ駆動回路５５を介して
ラバーヒータＨを駆動制御するようになっている。
【００４０】
次に、上記液滴吐出装置１０を利用してマザーガラス基板１００の各セル１０１に所定
量の液晶Ｆを配置する方法について説明する。
いま、図１に示すように、吐出ヘッド２０は、ステージ１３から離間した反Ｘ矢印方向
の待機位置で待機している。この待機状態において、制御装置５０は、温度検出センサＳ
Ｅからの検出信号を入力し、吐出ヘッド２０内の液晶Ｆが目標温度になるように、ラバー
ヒータ駆動回路５５を介してラバーヒータＨを駆動して、加熱制御している。
【００４１】
また、液晶Ｆの配置パターンを形成するためのビットマップデータＢＤが入出力装置５
１から制御装置５０に入力されている。従って、制御装置５０は、入出力装置５１からの
ビットマップデータＢＤを格納している。
【００４２】
そして、マザーガラス基板１００をステージ１３に載置する。このとき、マザーガラス
基板１００は、ステージ１３の載置部１４上の反Ｙ矢印方向側に配置され、入出力装置５
１から、制御装置５０へ作業開始の指令信号が出力される。
【００４３】
制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して吐出ヘッ
ド２０を待機位置からＸ矢印方向に移動させる。そして、吐出ヘッド２０が、マザーガラ
ス基板１００の最も反Ｘ矢印方向側にある各セル１０１（配置領域Ｚ）がその直下をＹ矢
印方向に通過する位置まで移動すると、制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介し
てＸ軸モータＭＸを停止させるとともに、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭ
Ｙを駆動して、マザーガラス基板１００をＹ矢印方向移動させる。
【００４４】
マザーガラス基板１００をＹ矢印方向に移動させると、制御装置５０は、ビットマップ
データＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩａを生成して、パターン形成用制御信
号ＳＩａと駆動電圧ＣＯＭａをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０
は、ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、各セル１０１の配置領
域Ｚが吐出ヘッド２０の直下を通過するとき、当該セル１０１に対応する液晶の配置パタ
ーンを形成するために選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させる。
【００４５】
これにより、Ｙ矢印方向の各セル１０１の配置領域Ｚには、傾斜角度θに応じてマザー
ガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側より
も低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて液晶Ｆが配置される。
【００４６】
マザーガラス基板１００の最も反Ｘ矢印方向側にある各セル１０１（配置領域Ｚ）への
液晶Ｆ（液滴Ｆｂ）の供給が終了すると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介
してＹ軸モータＭＹを停止させるとともに、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータ
ＭＸを駆動して吐出ヘッド２０を、マザーガラス基板１００の次の反Ｘ矢印方向側にある
各セル１０１（配置領域Ｚ）が、その直下を反Ｙ矢印方向に通過する位置まで、移動（フ
ィード）させる。
【００４７】
吐出ヘッド２０がフィードされると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介し
てＹ軸モータＭＹを駆動して、ステージ１３を反Ｙ矢印方向に移動（スキャン）させる。
ステージ１３の反Ｙ矢印方向に移動を開始させると、制御装置５０は、ビットマップデー
タＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩａを生成して、パターン形成用制御信号Ｓ
Ｉａと駆動電圧ＣＯＭａをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０は、
ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、各セル１０１の配置領域Ｚ
が吐出ヘッド２０の直下を通過するとき、当該セル１０１に対応する液晶の配置パターン
を形成するために選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させる。
【００４８】
以後、同様な動作を繰り返して、マザーガラス基板１００の全てのセル１０１に所定量
の液晶Ｆを上述した配置パターンに配置して、一つのマザーガラス基板１００に対する各
セル１０１への液晶Ｆの供給が完了する。
【００４９】
そして、各セル１０１に液晶Ｆが配置されたマザーガラス基板１００は、マザーガラス
基板２００との貼り合わせが行われる。このとき、各セル１０１に配置された液晶Ｆは、
前記傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側
から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Ｆが低密度になる側に流れて均等に広がる。
【００５０】
そして、貼り合わされたマザーガラス基板１００，２００をセル１０１，２０１ごとに
カットすることによって、素子基板と対向基板の間にシール材１０２を介して液晶Ｆを封
入した液晶パネルが多数製造される。
【００５１】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、前記マザーガラス基板１００，２００を貼合する際、前記所定
の傾斜角度θに応じて前記マザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる
側の前記マザーガラス基板１００に配置された液晶Ｆに、前記マザーガラス基板２００が
先に接することになり、該液晶Ｆは、前記マザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙
間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Ｆが低密度になる側に流れる
。このため、前記液晶Ｆの偏在を全体として抑制した状態で、前記マザーガラス基板１０
０，２００を貼合することができ、より均等なセルギャップを有する液晶パネルを製造す
ることができる。そして、液晶パネル（液晶表示装置）の表示品質をより安定化して歩留
まりの向上を図ることができる。
【００５２】
（２）本実施形態では、前記液晶Ｆを、前記所定の傾斜角度θに応じて前記マザーガラ
ス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低
密度になるように分布密度に傾斜を持たせて配置した。従って、前記マザーガラス基板１
００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側へと前記液晶Ｆが
流れる際、該液晶Ｆを、その傾斜する分布密度に応じて高密度になる側から低密度になる
側へと円滑に流すことができる。このため、前記液晶Ｆの偏在を全体として更に抑制した
状態で、前記マザーガラス基板１００，２００を貼合することができ、更に均等なセルギ
ャップを有する液晶パネルを製造することができる。
【００５３】
（３）本実施形態では、マザーガラス基板１００の複数のセル１０１（配置領域Ｚ）に
前記液晶Ｆの液滴Ｆｂをそれぞれ吐出する場合においても、前記セル１０１ごとに、より
均等なセルギャップを設定することができる。そして、貼り合わされたマザーガラス基板
１００，２００をセル１０１，２０１ごとにカットすることによって、より均等なセルギ
ャップを有する液晶パネルを多数製造することができる。
【００５４】
（変形例）
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のように種々の変形
が可能である。
【００５５】
・傾斜角度θは、使用する貼合装置（重ね合わせ装置）が備える上下定盤に対して予め
実験や試験で把握されるものであって、マザーガラス基板１００（セル１０１）の任意の
方向側に先鋭となる傾斜角度でよい。
【００５６】
・前記実施形態において、各セル１０１内を、傾斜角度θに応じて前記マザーガラス基
板１００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側に向かって複
数の範囲に分割し、各隣り合う範囲の液晶Ｆの分布密度がステップ状に変わるように該液
晶Ｆを配置してもよい。
【００５７】
・前記実施形態において、一対の基板は、１枚の液晶パネルのみを構成する素子基板及
び対向基板の組み合わせであってもよい。
・前記実施形態において、マザーガラス基板１００，２００を貼り合わせる貼合装置（
重ね合わせ装置）は、例えばシール材１０２を一定量だけつぶす加圧式であってもよい。
【００５８】
・前記実施形態では、吐出ヘッド２０を停止させた状態で、ステージ１３（マザーガラ
ス基板１００）を移動させて、吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂを吐出させるようにした。こ
れを、ステージ１３（マザーガラス基板１００）を停止させた状態で、吐出ヘッド２０を
移動させて、その吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂを吐出させるようにしてもよい。
【００５９】
・前記実施形態では、素子基板用のマザーガラス基板１００の各セル１０１にシール材
１０２を形成し、そのシール材１０２で囲まれた範囲（配置領域Ｚ）に液晶Ｆを配置した
が、対向基板用のマザーガラス基板２００の各セル２０１にシール材を形成し、そのシー
ル材で囲まれた範囲（配置領域）に液晶Ｆを配置してもよい。
【００６０】
・前記実施形態では、液晶Ｆの液滴Ｆｂを吐出ヘッド２０によって吐出させて該液晶Ｆ
を配置するものに具体化したが、これに限定されるものではなく、例えばレジストの形成
、層間膜の形成、又は、配線層の形成するための適宜の液状体の液滴を吐出ヘッド２０に
よって吐出させて該液状体を配置するものであってもよい。このレジストの形成、層間膜
の形成、配線層の形成する場合、液晶表示装置以外の、例えば有機ＥＬ表示装置等その他
の基板に応用してもよいことはいうまでもない。
【００６１】
・前記実施形態では、吐出手段を、圧電素子駆動方式の吐出ヘッド２０に具体化した。
これに限らず、吐出手段を、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよ
い。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図２】マザーガラス基板を説明するための平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドをマザーガラス基板側から見た下面図。
【図４】液滴吐出ヘッドの要部側断面図。
【図５】各セルに配置される液晶の配置パターンを示す側面図。
【図６】各セルに配置される液晶の移動を示す側面図。
【図７】液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図８】各セルに配置される液晶の配置パターン及び貼合時の移動を示す側面図。
【符号の説明】
【００６３】
Ｆ…液晶、Ｆｂ…液滴、ＰＺ…圧電素子、１０…液滴吐出装置、１３…ステージ、２０
…吐出ヘッド、５０…制御装置、１００，２００…マザーガラス基板、１０１，２０１…
セル、１０２…シール材。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法に関するものである
。
【背景技術】
【０００２】
従来、注入法で液晶パネルを製造する場合、まず２枚の基板を貼り合せた後、その内部
を真空雰囲気にして液晶を充填する。この方法は、例えば２０インチパネルで液晶の注入
時間が２０時間以上必要になるなど、１枚の液晶パネルを製造する時間が長くなるという
問題を有している。
【０００３】
そこで、近年は、液滴吐出装置により、２枚の基板を貼り合せる前に、一方の基板に必
要量の液晶を予め供給し、その後、他方の基板と貼り合わせる方法が提案されている（例
えば特許文献１など）。
【特許文献１】特開２００４−３４４７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液滴吐出装置による方法では、図８に示されるように、一方の基板９１に形
成したループ状のシール材９２の内側に必要量の液晶９３を均等に供給し、その後、例え
ば真空中で対向する他方の基板９４と貼り合わせる。ここで、吐出された液晶９３の液滴
９３ａの高さは、シール材９２の高さ（例えば１０〜１００μｍ程度）よりも高くなる。
つまり、２枚の基板９１，９４を貼合する際、基板９４は、シール材９２に接触するより
も先に液晶９３に接することになる。
【０００５】
このとき、両基板９１，９４を貼合するためにこれらを位置決め・保持する上下定盤の
平坦度合いや互いの平行度合い等の影響で液晶９３の一側（図８の左側）に基板９４が先
に接すると、先に接した側に液晶９３が流れてしまう。従って、このように液晶９３が偏
在する状態で２枚の基板９１，９４を貼合すると、セルギャップの不均等な液晶パネルが
製造されてしまう。特に、上下定盤間を加圧しシール材９２を一定量だけつぶして基板９
１，９４を貼合する場合にこのセルギャップの不均等は顕著に現れる。このセルギャップ
の不均等は、液晶パネルの表示品質悪化の要因となるものである。
【０００６】
本発明の目的は、液状体の偏在を抑制してより均等なセルギャップを設定することがで
きる液滴吐出方法、液滴吐出装置及び液晶パネルの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液滴吐出方法は、上記課題を解決するため、所定の傾斜角度を有して相対移動
しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出手段から液状体の液滴を吐出して
前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基
板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前
記液状体を配置する。
【０００８】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板を貼合する際、前記所定の傾斜角度に
応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記一方の基板に配置された液状
体に、該一対の基板の他方の基板が先に接することになり、該液状体は、前記一対の基板
の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液状体が低密度にな
る側に流れる。このため、前記液状体の偏在を全体として抑制した状態で、前記一対の基
板を貼合することができ、より均等なセルギャップを設定することができる。
【０００９】
本発明の液滴吐出方法の一態様では、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼
合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように分布密度
に傾斜を持たせて前記液状体を配置する。
【００１０】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板の貼合時の隙間が大きくなる側から該
隙間が小さくなる側へと前記液状体が流れる際、該液状体を、その傾斜する分布密度に応
じて高密度になる側から低密度になる側へと円滑に流すことができる。このため、前記液
状体の偏在を全体として更に抑制した状態で、前記一対の基板を貼合することができ、更
に均等なセルギャップを設定することができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出方法の他の一態様では、前記一対の基板は、それぞれ互いに同等に区
画形成された複数の領域からなり、
前記領域ごとに、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置する。
【００１２】
本発明の液滴吐出方法によれば、前記一対の基板の一方の該基板の前記複数の領域に前
記液状体の液滴をそれぞれ吐出する場合においても、前記領域ごとに、より均等なセルギ
ャップを設定することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の
基板の一方の該基板に、吐出手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴
吐出装置であって、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置する。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置によれば、前記一対の基板を貼合する際、前記所定の傾斜角度に
応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記一方の基板に配置された液状
体に、該一対の基板の他方の基板が先に接することになり、該液状体は、前記一対の基板
の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液状体が低密度にな
る側に流れる。このため、前記液状体の偏在を全体として抑制した状態で、前記一対の基
板を貼合することができ、より均等なセルギャップを設定することができる。
【００１５】
本発明の液晶パネルの製造方法は、液晶の液滴を吐出手段にて吐出して、第１基板に前
記液晶を配置し、その後、第２基板を前記第１基板に対し所定の傾斜角度を有して相対移
動させながら該第１基板と貼合する液晶パネルの製造方法であって、前記所定の傾斜角度
に応じて前記第１及び第２基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側
よりも低密度になるように前記液晶を配置する。
【００１６】
本発明の液晶パネルの製造方法によれば、前記第１及び第２基板を貼合する際、前記所
定の傾斜角度に応じて前記第１及び第２基板の貼合時の隙間が小さくなる側の前記第１基
板に配置された液晶に、前記第２基板が先に接することになり、該液晶は、前記第１及び
第２基板の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶が低密
度になる側に流れる。このため、前記液晶の偏在を全体として抑制した状態で、前記第１
及び第２基板を貼合することができ、より均等なセルギャップを有する液晶パネルを製造
することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した液滴吐出装置について説明する。
図１は、液滴吐出装置１０を説明するための全体斜視図を示す。図１において、液滴吐
出装置１０は、直方体形状に形成された基台１１を有している。基台１１の上面には、そ
の長手方向（Ｙ矢印方向）に沿って延びる一対の案内溝１２が形成されている。案内溝１
２の上方には、案内溝１２に沿って主走査方向（Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向）に移動す
るステージ１３が備えられている。ステージ１３の上面には、載置部１４が形成されて、
一対の基板の一方の基板（第１基板）としてのマザーガラス基板１００が載置される。マ
ザーガラス基板１００は、載置部１４において位置決め固定されてＹ矢印方向及び反Ｙ矢
印方向に搬送される。
【００１８】
マザーガラス基板１００は、図２に示すように、大判のガラス基板であって、２点鎖線
で示すように、薄膜トランジスタ、走査線、データ線等が形成された液晶表示装置の素子
基板を形成するセル１０１が、マトリクス状に多数区画形成されている。マザーガラス基
板１００に区画形成された各セル１０１には、例えば印刷装置又はディスペンサーにて描
画された四角枠状のシール材１０２が所定の位置に形成され、そのシール材１０２で囲ま
れた範囲（以下、配置領域Ｚという）に液滴吐出装置１０によって液晶Ｆ（図５参照）が
配置される。各セル１０１には、必要な所定量の液晶Ｆが配置されるようになっている。
【００１９】
なお、各セル１０１に液晶Ｆが配置されたマザーガラス基板１００は、その後の工程で
一対の基板の他方の基板（第２基板）としてのマザーガラス基板２００（図５参照）と貼
り合わされる。マザーガラス基板２００は、大判のガラス基板であって、共通電極が形成
された液晶表示装置の対向基板を形成するセル２０１が、マトリクス状に多数区画形成さ
れている。これらマザーガラス基板１００，２００は、真空チャンバ内で貼合装置（重ね
合わせ装置）の上下定盤にそれぞれセットされ、対応するセル１０１，２０１同士が相対
向するように貼り合わされる。そして、貼り合わされたマザーガラス基板１００，２００
をセル１０１，２０１ごとにカットすることによって、素子基板と対向基板の間にシール
材１０２を介して液晶Ｆを封入した液晶表示装置の液晶パネルが多数製造される。
【００２０】
以下、説明の便宜上、マザーガラス基板１００の縦方向をＹ矢印方向とし、マザーガラ
ス基板１００の横方向をＸ矢印方向とする。
図１において、基台１１には、主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ矢印方向及び反Ｘ
矢印方向）に跨ぐ門型のガイド部材１５が架設されている。ガイド部材１５の上側には、
Ｘ矢印方向に延びるタンク１６が配設され、そのタンク１６には液晶Ｆが収納されている
。
【００２１】
タンク１６に収容された液晶Ｆは、該タンク１６に接続された供給チューブＴ（図４参
照）を介して吐出手段としての液滴吐出ヘッド（以下単に、吐出ヘッドという。）２０に
所定の圧力で供給されるようになっている。そして、吐出ヘッド２０に供給された液晶Ｆ
は、該吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂ（図４参照）となって載置部１４に載置されたマザー
ガラス基板１００に向かって吐出されるようになっている。
【００２２】
ガイド部材１５には、そのＸ矢印方向略全幅にわたって、Ｘ矢印方向に延びる上下一対
のガイドレール１８が形成されている。上下一対のガイドレール１８には、キャリッジ１
９が取り付けられている。キャリッジ１９は、ガイドレール１８に案内されてＸ矢印方向
及び反Ｘ矢印方向に移動する。キャリッジ１９には、吐出ヘッド２０が搭載されている。
【００２３】
図３は、吐出ヘッド２０をマザーガラス基板１００側（下側）から見た図である。吐出
ヘッド２０のノズルプレート２５は、一対のノズル列ＮＬを備えている。一対のノズル列
ＮＬでは、Ｘ矢印方向から見て、一方のノズル列ＮＬの各ノズルＮが、他方のノズル列Ｎ
Ｌの各ノズルＮの間を補間する。すなわち、吐出ヘッド２０は、Ｘ矢印方向に、１インチ
当りに１８０個×２＝３６０個のノズルＮを有する（最大解像度が３６０ｄｐｉである）
。
【００２４】
図４は、吐出ヘッド２０の内部構成を説明するための要部断面図である。
図４において、吐出ヘッド２０の上側には、供給チューブＴが連結されている。供給チ
ューブＴは、タンク１６の液晶Ｆを吐出ヘッド２０に供給する。
【００２５】
ノズルプレート２５の各ノズルＮの上側には、供給チューブＴに連通するキャビティ２
６が形成されている。キャビティ２６は、供給チューブＴからの液晶Ｆを収容して、対応
するノズルＮに液晶Ｆを供給する。キャビティ２６の上側には、上下方向に振動してキャ
ビティ２６内の容積を拡大及び縮小する振動板２７が貼り付けられている。振動板２７の
上側には、ノズルＮに対応する圧電素子ＰＺが配設されている。圧電素子ＰＺは、上下方
向に収縮及び伸張して振動板２７を上下方向に振動させる。上下方向に振動する振動板２
７は、液晶Ｆを所定サイズの液滴Ｆｂにして対応するノズルＮから吐出させる。吐出され
た液滴Ｆｂは、対応するノズルＮの反Ｚ矢印方向に飛行して、直下を通過するマザーガラ
ス基板１００の吐出面１００ａに対して着弾するようになっている。
【００２６】
つまり、吐出ヘッド２０の直下を主走査方向にマザーガラス基板１００が移動するとき
、マザーガラス基板１００の各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚに対し
て順番に、吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂが吐出される。これにより、マザーガラス基板１
００の各セル１０１に液晶Ｆが所定量だけ配置される。
【００２７】
図５は、吐出ヘッド２０が、マザーガラス基板１００（セル１０１）に、液滴Ｆｂを吐
出して形成する液晶Ｆの配置パターンを示す図であり、便宜的に該マザーガラス基板１０
０に貼合されつつあるマザーガラス基板２００（セル２０１）を併せて図示している。こ
こで、マザーガラス基板１００，２００は、これらを位置決め・保持する上下定盤の平坦
度合いや互いの平行度合い等の影響で所定の傾斜角度θを有して上下方向（Ｚ矢印方向又
は反Ｚ矢印方向）に相対移動させながら貼合されるとする。この傾斜角度θは、使用する
貼合装置（重ね合わせ装置）が備える上下定盤に対して予め実験や試験で把握されたそれ
ら上下定盤の相対傾斜角度である。なお、このように上下定盤の相対傾斜角度を予め把握
するのは、初期調整等で上下定盤を完全な平行状態にすること、即ち傾斜角度θをゼロに
することが困難であるためである。
【００２８】
図５では、マザーガラス基板１００（セル１０１）の反Ｙ矢印方向側に先鋭となる傾斜
角度θの例を示している。本実施形態では、マザーガラス基板１００に配置される液晶Ｆ
の配置パターンは、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間
（Ｚ矢印方向の距離）が小さくなる側（図５の左側）が、該隙間が大きくなる側（図５の
右側）よりも低密度になっている。具体的には、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１
００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側（図５の左側）が、該隙間が大きくなる側（
図５の右側）よりも低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて液晶Ｆを配置している
。このとき、マザーガラス基板１００に吐出される液滴Ｆｂの高さは、シール材１０２の
高さよりも高くなることはいうまでもない。
【００２９】
図６は、液晶Ｆの配置されたマザーガラス基板１００にマザーガラス基板２００を貼合
するときの状態を示す図である。図６に示すように、マザーガラス基板１００，２００を
貼合すると、傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さ
くなる側（図６の左側）の液晶Ｆに、マザーガラス基板２００が先に接することになり、
該液晶Ｆは、マザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側（図６の右
側）から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Ｆが低密度になる側に流れる。これにより
、マザーガラス基板１００（セル１０１）に配置された液晶Ｆは、均等に広がってその偏
在が解消される。なお、傾斜角度θ、即ち貼合時の液晶Ｆの流れを考慮した液晶Ｆの図５
に示した配置パターンは、予め実験や試験によって求めている。
【００３０】
図４において、吐出ヘッド２０のＹ矢印側の側面には、ラバーヒータＨが取着され、キ
ャビティ２６に収容された液晶Ｆを予め定めた目標温度に加熱する。ここで、目標温度と
は、吐出ヘッド２０が液滴Ｆｂとして吐出することができる粘性になる液晶Ｆの温度であ
って、本実施形態では、７０℃としている。吐出ヘッド２０の反Ｙ矢印側の側面には、温
度検出センサＳＥが取着され、吐出ヘッド２０を介してキャビティ２６に収容された液晶
Ｆの温度を検出するようになっている。
【００３１】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置１０の電気的構成を図７に従って説明する。
図７において、制御装置５０は、ＣＰＵ５０Ａ、ＲＯＭ５０Ｂ、ＲＡＭ５０Ｃ等を有し
ている。制御装置５０は、格納された各種データ及び各種制御プログラムに従って、ステ
ージ１３の搬送処理、キャリッジ１９の搬送処理、吐出ヘッド２０の液滴吐出処理を実行
する。また、制御装置５０は、同様に、ラバーヒータＨの駆動制御を実行する。
【００３２】
制御装置５０には、各種操作スイッチとディスプレイを有した入出力装置５１が接続さ
れている。入出力装置５１は、液滴吐出装置１０が実行する各種処理の処理状況を表示す
る。入出力装置５１は、マザーガラス基板１００上に液滴Ｆｂでパターンを形成するため
のビットマップデータＢＤを生成し、そのビットマップデータＢＤを制御装置５０に入力
する。
【００３３】
ビットマップデータＢＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて各圧電素子ＰＺの
オンあるいはオフを規定したデータである。ビットマップデータＢＤは、吐出ヘッド２０
（各ノズルＮ）の通過する各セル１０１のシール材１０２で囲まれた配置領域Ｚの各位置
に、液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定したデータである。すなわち、ビットマップデータ
ＢＤは、セル１０１ごとに、シール材１０２で囲まれた配置領域Ｚに予め定めた配置パタ
ーンを形成させるための目標形成位置に液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。
【００３４】
詳述すると、本実施形態のビットマップデータＢＤは、図５に示すように、傾斜角度θ
に応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が該隙間が大き
くなる側よりも低密度になるように、分布密度に傾斜を持たせて液晶Ｆを配置するように
液滴Ｆｂを吐出させるためのデータである。ビットマップデータＢＤが、予め実験や試験
によって求めた、傾斜角度θ、即ち貼合時の液晶Ｆの流れを考慮した液晶Ｆの配置パター
ンから作成されることはいうまでもない。
【００３５】
制御装置５０には、Ｘ軸モータ駆動回路５２が接続されている。制御装置５０は、駆動
制御信号をＸ軸モータ駆動回路５２に出力する。Ｘ軸モータ駆動回路５２は、制御装置５
０からの駆動制御信号に応答して、キャリッジ１９を移動させるためのＸ軸モータＭＸを
正転又は逆転させる。制御装置５０には、Ｙ軸モータ駆動回路５３が接続されている。制
御装置５０は、駆動制御信号をＹ軸モータ駆動回路５３に出力する。Ｙ軸モータ駆動回路
５３は、制御装置５０からの駆動制御信号に応答して、ステージ１３を移動させるための
Ｙ軸モータＭＹを正転又は逆転させる。
【００３６】
制御装置５０には、ヘッド駆動回路５４が接続されている。制御装置５０は、所定の吐
出周波数に同期させた吐出タイミング信号ＬＴａをヘッド駆動回路５４に出力する。制御
装置５０は、各圧電素子ＰＺを駆動するための駆動電圧ＣＯＭａを吐出周波数に同期させ
てヘッド駆動回路５４に出力する。
【００３７】
制御装置５０は、ビットマップデータＢＤを利用して所定の周波数に同期したパターン
形成用制御信号ＳＩａを生成し、パターン形成用制御信号ＳＩａをヘッド駆動回路５４に
シリアル転送する。ヘッド駆動回路５４は、制御装置５０からのパターン形成用制御信号
ＳＩａを各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。ヘッド駆動回路
５４は、制御装置５０からの吐出タイミング信号ＬＴａを受けるたびに、シリアル／パラ
レル変換したパターン形成用制御信号ＳＩａをラッチし、パターン形成用制御信号ＳＩａ
によって選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ駆動電圧ＣＯＭａを供給する。
【００３８】
制御装置５０には、ラバーヒータ駆動回路５５が接続されている。制御装置５０は、ラ
バーヒータ駆動回路５５に駆動制御信号を出力する。ラバーヒータ駆動回路５５は、制御
装置５０からの駆動制御信号に応答して、ラバーヒータＨを駆動制御する。そして、吐出
ヘッド２０に取着したラバーヒータＨは、吐出ヘッド２０内の液晶Ｆを予め定めた目標温
度にまで加熱する。すなわち、ラバーヒータＨによって、吐出ヘッド２０に供給された液
晶Ｆは、予め定めた目標温度（本実施形態では７０℃）に加熱されるようになっている。
【００３９】
制御装置５０には、温度検出センサＳＥが接続されている。制御装置５０は、温度検出
センサＳＥからの検出信号を入力して、その時々の吐出ヘッド２０内の液晶Ｆの温度を求
めるようになっている。制御装置５０は、求めた液晶Ｆの温度と前記予め設定した目標温
度と比較し、液晶Ｆの温度が目標温度になるように、ラバーヒータ駆動回路５５を介して
ラバーヒータＨを駆動制御するようになっている。
【００４０】
次に、上記液滴吐出装置１０を利用してマザーガラス基板１００の各セル１０１に所定
量の液晶Ｆを配置する方法について説明する。
いま、図１に示すように、吐出ヘッド２０は、ステージ１３から離間した反Ｘ矢印方向
の待機位置で待機している。この待機状態において、制御装置５０は、温度検出センサＳ
Ｅからの検出信号を入力し、吐出ヘッド２０内の液晶Ｆが目標温度になるように、ラバー
ヒータ駆動回路５５を介してラバーヒータＨを駆動して、加熱制御している。
【００４１】
また、液晶Ｆの配置パターンを形成するためのビットマップデータＢＤが入出力装置５
１から制御装置５０に入力されている。従って、制御装置５０は、入出力装置５１からの
ビットマップデータＢＤを格納している。
【００４２】
そして、マザーガラス基板１００をステージ１３に載置する。このとき、マザーガラス
基板１００は、ステージ１３の載置部１４上の反Ｙ矢印方向側に配置され、入出力装置５
１から、制御装置５０へ作業開始の指令信号が出力される。
【００４３】
制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータＭＸを駆動して吐出ヘッ
ド２０を待機位置からＸ矢印方向に移動させる。そして、吐出ヘッド２０が、マザーガラ
ス基板１００の最も反Ｘ矢印方向側にある各セル１０１（配置領域Ｚ）がその直下をＹ矢
印方向に通過する位置まで移動すると、制御装置５０は、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介し
てＸ軸モータＭＸを停止させるとともに、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介してＹ軸モータＭ
Ｙを駆動して、マザーガラス基板１００をＹ矢印方向移動させる。
【００４４】
マザーガラス基板１００をＹ矢印方向に移動させると、制御装置５０は、ビットマップ
データＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩａを生成して、パターン形成用制御信
号ＳＩａと駆動電圧ＣＯＭａをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０
は、ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、各セル１０１の配置領
域Ｚが吐出ヘッド２０の直下を通過するとき、当該セル１０１に対応する液晶の配置パタ
ーンを形成するために選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させる。
【００４５】
これにより、Ｙ矢印方向の各セル１０１の配置領域Ｚには、傾斜角度θに応じてマザー
ガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側より
も低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて液晶Ｆが配置される。
【００４６】
マザーガラス基板１００の最も反Ｘ矢印方向側にある各セル１０１（配置領域Ｚ）への
液晶Ｆ（液滴Ｆｂ）の供給が終了すると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介
してＹ軸モータＭＹを停止させるとともに、Ｘ軸モータ駆動回路５２を介してＸ軸モータ
ＭＸを駆動して吐出ヘッド２０を、マザーガラス基板１００の次の反Ｘ矢印方向側にある
各セル１０１（配置領域Ｚ）が、その直下を反Ｙ矢印方向に通過する位置まで、移動（フ
ィード）させる。
【００４７】
吐出ヘッド２０がフィードされると、制御装置５０は、Ｙ軸モータ駆動回路５３を介し
てＹ軸モータＭＹを駆動して、ステージ１３を反Ｙ矢印方向に移動（スキャン）させる。
ステージ１３の反Ｙ矢印方向に移動を開始させると、制御装置５０は、ビットマップデー
タＢＤに基づいてパターン形成用制御信号ＳＩａを生成して、パターン形成用制御信号Ｓ
Ｉａと駆動電圧ＣＯＭａをヘッド駆動回路５４に出力する。すなわち、制御装置５０は、
ヘッド駆動回路５４を介して各圧電素子ＰＺを駆動制御して、各セル１０１の配置領域Ｚ
が吐出ヘッド２０の直下を通過するとき、当該セル１０１に対応する液晶の配置パターン
を形成するために選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出させる。
【００４８】
以後、同様な動作を繰り返して、マザーガラス基板１００の全てのセル１０１に所定量
の液晶Ｆを上述した配置パターンに配置して、一つのマザーガラス基板１００に対する各
セル１０１への液晶Ｆの供給が完了する。
【００４９】
そして、各セル１０１に液晶Ｆが配置されたマザーガラス基板１００は、マザーガラス
基板２００との貼り合わせが行われる。このとき、各セル１０１に配置された液晶Ｆは、
前記傾斜角度θに応じてマザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側
から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Ｆが低密度になる側に流れて均等に広がる。
【００５０】
そして、貼り合わされたマザーガラス基板１００，２００をセル１０１，２０１ごとに
カットすることによって、素子基板と対向基板の間にシール材１０２を介して液晶Ｆを封
入した液晶パネルが多数製造される。
【００５１】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、前記マザーガラス基板１００，２００を貼合する際、前記所定
の傾斜角度θに応じて前記マザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる
側の前記マザーガラス基板１００に配置された液晶Ｆに、前記マザーガラス基板２００が
先に接することになり、該液晶Ｆは、前記マザーガラス基板１００，２００の貼合時の隙
間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側、即ち前記液晶Ｆが低密度になる側に流れる
。このため、前記液晶Ｆの偏在を全体として抑制した状態で、前記マザーガラス基板１０
０，２００を貼合することができ、より均等なセルギャップを有する液晶パネルを製造す
ることができる。そして、液晶パネル（液晶表示装置）の表示品質をより安定化して歩留
まりの向上を図ることができる。
【００５２】
（２）本実施形態では、前記液晶Ｆを、前記所定の傾斜角度θに応じて前記マザーガラ
ス基板１００，２００の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が大きくなる側よりも低
密度になるように分布密度に傾斜を持たせて配置した。従って、前記マザーガラス基板１
００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側へと前記液晶Ｆが
流れる際、該液晶Ｆを、その傾斜する分布密度に応じて高密度になる側から低密度になる
側へと円滑に流すことができる。このため、前記液晶Ｆの偏在を全体として更に抑制した
状態で、前記マザーガラス基板１００，２００を貼合することができ、更に均等なセルギ
ャップを有する液晶パネルを製造することができる。
【００５３】
（３）本実施形態では、マザーガラス基板１００の複数のセル１０１（配置領域Ｚ）に
前記液晶Ｆの液滴Ｆｂをそれぞれ吐出する場合においても、前記セル１０１ごとに、より
均等なセルギャップを設定することができる。そして、貼り合わされたマザーガラス基板
１００，２００をセル１０１，２０１ごとにカットすることによって、より均等なセルギ
ャップを有する液晶パネルを多数製造することができる。
【００５４】
（変形例）
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のように種々の変形
が可能である。
【００５５】
・傾斜角度θは、使用する貼合装置（重ね合わせ装置）が備える上下定盤に対して予め
実験や試験で把握されるものであって、マザーガラス基板１００（セル１０１）の任意の
方向側に先鋭となる傾斜角度でよい。
【００５６】
・前記実施形態において、各セル１０１内を、傾斜角度θに応じて前記マザーガラス基
板１００，２００の貼合時の隙間が大きくなる側から該隙間が小さくなる側に向かって複
数の範囲に分割し、各隣り合う範囲の液晶Ｆの分布密度がステップ状に変わるように該液
晶Ｆを配置してもよい。
【００５７】
・前記実施形態において、一対の基板は、１枚の液晶パネルのみを構成する素子基板及
び対向基板の組み合わせであってもよい。
・前記実施形態において、マザーガラス基板１００，２００を貼り合わせる貼合装置（
重ね合わせ装置）は、例えばシール材１０２を一定量だけつぶす加圧式であってもよい。
【００５８】
・前記実施形態では、吐出ヘッド２０を停止させた状態で、ステージ１３（マザーガラ
ス基板１００）を移動させて、吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂを吐出させるようにした。こ
れを、ステージ１３（マザーガラス基板１００）を停止させた状態で、吐出ヘッド２０を
移動させて、その吐出ヘッド２０から液滴Ｆｂを吐出させるようにしてもよい。
【００５９】
・前記実施形態では、素子基板用のマザーガラス基板１００の各セル１０１にシール材
１０２を形成し、そのシール材１０２で囲まれた範囲（配置領域Ｚ）に液晶Ｆを配置した
が、対向基板用のマザーガラス基板２００の各セル２０１にシール材を形成し、そのシー
ル材で囲まれた範囲（配置領域）に液晶Ｆを配置してもよい。
【００６０】
・前記実施形態では、液晶Ｆの液滴Ｆｂを吐出ヘッド２０によって吐出させて該液晶Ｆ
を配置するものに具体化したが、これに限定されるものではなく、例えばレジストの形成
、層間膜の形成、又は、配線層の形成するための適宜の液状体の液滴を吐出ヘッド２０に
よって吐出させて該液状体を配置するものであってもよい。このレジストの形成、層間膜
の形成、配線層の形成する場合、液晶表示装置以外の、例えば有機ＥＬ表示装置等その他
の基板に応用してもよいことはいうまでもない。
【００６１】
・前記実施形態では、吐出手段を、圧電素子駆動方式の吐出ヘッド２０に具体化した。
これに限らず、吐出手段を、抵抗加熱方式や静電駆動方式の吐出ヘッドに具体化してもよ
い。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】液滴吐出装置の全体斜視図。
【図２】マザーガラス基板を説明するための平面図。
【図３】液滴吐出ヘッドをマザーガラス基板側から見た下面図。
【図４】液滴吐出ヘッドの要部側断面図。
【図５】各セルに配置される液晶の配置パターンを示す側面図。
【図６】各セルに配置される液晶の移動を示す側面図。
【図７】液滴吐出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図８】各セルに配置される液晶の配置パターン及び貼合時の移動を示す側面図。
【符号の説明】
【００６３】
Ｆ…液晶、Ｆｂ…液滴、ＰＺ…圧電素子、１０…液滴吐出装置、１３…ステージ、２０
…吐出ヘッド、５０…制御装置、１００，２００…マザーガラス基板、１０１，２０１…
セル、１０２…シール材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出
手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間
が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを特徴とする液滴吐
出方法。
【請求項２】
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が
大きくなる側よりも低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて前記液状体を配置する
ことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記一対の基板は、それぞれ互いに同等に区画形成された複数の領域からなり、
前記領域ごとに、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを
特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出
手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間
が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを特徴とする液滴吐
出装置。
【請求項５】
液晶の液滴を吐出手段にて吐出して、第１基板に前記液晶を配置し、その後、第２基板を
前記第１基板に対し所定の傾斜角度を有して相対移動させながら該第１基板と貼合する液
晶パネルの製造方法であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記第１及び第２基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、
該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液晶を配置することを特徴とする液
晶パネルの製造方法。
【請求項１】
所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出
手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴吐出方法であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間
が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを特徴とする液滴吐
出方法。
【請求項２】
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間が
大きくなる側よりも低密度になるように分布密度に傾斜を持たせて前記液状体を配置する
ことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出方法。
【請求項３】
前記一対の基板は、それぞれ互いに同等に区画形成された複数の領域からなり、
前記領域ごとに、前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さく
なる側が、該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを
特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出方法。
【請求項４】
所定の傾斜角度を有して相対移動しながら貼合される一対の基板の一方の該基板に、吐出
手段から液状体の液滴を吐出して前記液状体を配置する液滴吐出装置であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記一対の基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、該隙間
が大きくなる側よりも低密度になるように前記液状体を配置することを特徴とする液滴吐
出装置。
【請求項５】
液晶の液滴を吐出手段にて吐出して、第１基板に前記液晶を配置し、その後、第２基板を
前記第１基板に対し所定の傾斜角度を有して相対移動させながら該第１基板と貼合する液
晶パネルの製造方法であって、
前記所定の傾斜角度に応じて前記第１及び第２基板の貼合時の隙間が小さくなる側が、
該隙間が大きくなる側よりも低密度になるように前記液晶を配置することを特徴とする液
晶パネルの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００８−１９４６０１（Ｐ２００８−１９４６０１Ａ）
【公開日】平成２０年８月２８日（２００８．８．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−３１６１５（Ｐ２００７−３１６１５）
【出願日】平成１９年２月１３日（２００７．２．１３）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年８月２８日（２００８．８．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年２月１３日（２００７．２．１３）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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