管状脆性材料の内表面研摩方法および該研摩方法で得られた管状脆性材料
【目的】内表面の最大粗さＲｍａｘが０．１μｍ以下、中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下の高面精度の管状脆性材料を比較的短時間で製造できる研摩方法及び該研摩方法で得られた高精度の管状脆性材料を提供すること。
【解決手段】管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、研磨用ヘッド（２）を有するホーニングマシンで前記内表面を前研削したのち、ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）で研摩することを特徴とする研摩方法。
【解決手段】管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、研磨用ヘッド（２）を有するホーニングマシンで前記内表面を前研削したのち、ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）で研摩することを特徴とする研摩方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管状脆性材料の内表面研摩方法および該研摩方法で得られた管状脆性材料に関し、特に光ファイバ製造用石英ガラス管の内表面を面精度よく研摩する方法および内表面精度の高い石英ガラス管に関する。
【背景技術】
【０００２】
管状脆性材料、特に高純度の石英ガラス管は、光ファイバを製造するための内付法（ＭＣＶＤ法）の反応管として、また、ＭＣＶＤ法、軸付け法（ＶＡＤ法）又は外付け法（ＯＶＤ法）のいずれかの方法で作成したプレプリフォームのジャケット管として用いられている。プレプリフォームのジャッケット管として使用される高純度の石英ガラス管の内表面に凹凸やクラックが存在すると、プレプリフォームと石英ガラス管の溶融一体化時に気泡が発生し、それが光ファイバの線引き時の断線や光ファイバの接続不良を起すなどの問題があった。そのため石英ガラス管の内表面の面精度を高いものにする必要があり、従来、高純度の石英ガラスインゴットの内外周面をダイヤモンド砥石で機械的研削加工したのち、内表面を酸化セリウム砥石で機械的研摩加工する方法が採られていた（特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−１１９０３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の方法では、研摩時に酸化セリウム砥石のエッジ部から大きな破片が発生し、それが砥石と被研摩面の間に咬み込まれ、被研摩物の内表面にキズをつけることが起こった。このキズの発生を防ぐため酸化セリウム砥粒を研削液に分散させ、ブラシ等で被研削面を削る方法が開発されたが、研摩時間が非常に長く生産性に劣るものであった。また、酸化セリウム砥粒を付着させたシート材料（以下酸化セリウムペーパーという）を用いる研摩法も開発されたが、酸化セリウムペーパーは初期の研摩能力、すなわち前段階の研削による凹凸を削り取る能力が低く、前研摩段階で内表面粗さをより小さくする必要がある上に、酸化セリウムペーパーの消耗が激しくしばしば取り替える必要がありコスト高になる欠点があった。
【０００４】
それ故、本発明は、管状脆性材料の内表面にキズを発生させることがなく高面精度に研摩できる研摩方法を提供することを目的とする。
【０００５】
また、本発明は、研摩時間を短縮できる研摩方法を提供することを目的とする。
【０００６】
さらに、本発明は、内表面精度の高い管状脆性材料を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
こうした現状に鑑み、本発明者等は、鋭意研究した結果、ホーニングマシンで前研削した管状脆性材料の内表面をダイヤモンド砥粒が付着したシート材料（以下ダイヤモンドペーパー又はダイヤモンドシート材料という）を用いて研摩することで、酸化セリウムによる研摩と同等以上の内表面粗さを有する管状脆性材料が得られ、かつ研摩時間を大幅に短縮できることを見出して、本発明を完成したものである。
【０００８】
上記目的を達成する本発明は、管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、ホーニングマシンで管状に前研削した脆性材料の内表面をダイヤモンドシート材料で研摩することを特徴とする研摩方法および内表面精度の高い管状脆性材料に関する。
【０００９】
上記脆性材料とは、材料に外力を加えて破壊させるときに、破壊ヒズミの小さい材料をいい、具体的にはガラス、セラミックスなどが挙げられる。この脆性材料から管状体を成形するため、ホーニングマシンにダイヤモンド砥石を取り付け、研削加工すると、研削が進行するに従って砥石から脱落したダイヤモンド砥粒と研削された被研削物の粒子が砥石表面に付着し目詰まりを起す。目詰まりが起きると、研削能力が落ちるばかりでなく、砥石と被研削物間の抵抗が変化し、振動が発生する。著しい場合には砥石に大きな応力が加わって砥石の破損を起こすことがある。これらはより粒度の小さい研摩仕上げにおいて顕著である。ところが、前記ダイヤモンド砥石の代わりにダイヤモンド砥粒を付着したシート材料を使用すると、目詰まりが発生してもシート材料自体の弾性で振動が発生しない上に、シート材料の破れも起こらず研摩加工が継続できることがわかった。しかもこの目詰まり状態で研摩すると、研摩粒子の番手以上に良好な研摩が進行することもわかった。これは脆性材料の研摩をダイヤモンドシート材料の目詰まりのまま継続すると、シート材料の表面はすべて研摩された被研削物の粒子で覆われるが、その粒子が被研削物と同一であることから、いわゆる共摺り状態となり、研摩粒子自体も削られ、徐々に微細化して良好な研摩が達成できる。このようにダイヤモンドシート材料を用いると、高い面精度を有する管状脆性材料が得られることからダイヤモンド砥粒の番手を小さいものに代える必要がなく、研摩時間を大幅に短縮できる。
【００１０】
“ダイヤモンドシート材料”の基材はペーパー、繊維又はプラスチックホイルであってよい。
【００１１】
管状脆性材料の研摩には研摩用ヘッド付きホーニングマシンを用いることが一般的であるが、研摩用ヘッドを管状脆性材料内表面の全面に押し付けるように拡張することは困難で部分的な拡張がなされる。そして、拡張部分に砥石が取り付けられる。この研摩用ヘッド付きホーニングマシンで管状脆性材料を研摩すると砥石のエッジ部が被研削面に引っかかり大きな破片が発生することがある。この破片は、砥石のエッジ部と被研削面に咬み込まれ、被研削面に深いキズを付ける。然し、ダイヤモンドシート材料で研摩用ヘッド全体を覆うと、拡張部にエッジがあってもダイヤモンドシート材料が連続していることから、破片の浸入がなく脆性材料の内表面にキズを付けることがない。
【００１２】
上記ダイヤモンドシート材料のダイヤモンドの粒径は、＃５００〜＃１００００の範囲のものが用いられる（前記“＃”はシート材料に付着する砥粒のメッシュ径をいう）。
【００１３】
本発明の好ましい態様として、ダイヤモンド砥粒を有するシート材料をフック又はループファスナーを使用して研磨用ヘッドに固定するのがよい。フック又はループファスナーはダイヤモンドシート材料の取替えを容易にする。ダイヤモンド砥粒がノッブ付き又は波形材料の表面に付着させると、これらが研磨されたガラス粒子の移転や除去のための補助的研磨剤として作用し流体の流れを容易にする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の研摩方法では、内表面の最大粗さＲｍａｘが０．１μｍ以下、中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下の高面精度の石英ガラス管が比較的短時間で製造でき、それをプレプリフォームのジャケット管又はＭＣＶＤ法の反応管として使用することで高品質の光ファイバが容易に製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１６】
最大粗さＲｍａｘ及び中心線平均粗さＲａは、日本工業規格（ＪＩＳ）Ｂ０６０１の定義により、その測定法は、接触式簡易粗さ計（東京精密（株）製、Ｓｕｒｆｃｏｍ ３００Ｂ）で１０ｍｍの長さ毎に測定される。
【実施例】
【００１７】
実施例１
ＯＶＤ法を用い、四塩化珪素を気化し、酸水素炎中で火炎加水分解し、回転する基体の周囲にシリカガラス微粒子を堆積させて大型多孔質スート体を作成した。この多孔質スート体を電気炉に入れ、コアガラスロッドの屈折率等の条件を考慮し、Ｈｅ、Ｃｌ2混合ガスにより１１００℃で加熱脱水し、引き続きＨｅ雰囲気中で１６００℃で透明ガラス化し、円筒状石英ガラスインゴットを製造した。この円筒状石英ガラスインゴットの両端を切断し、その内径を、マントル面に均一に配置され、長さ方向に伸びる拡張部３を有する図２に示す研磨用ヘッド付き縦型ホーニングマシンで研削した。前記拡張部３には長さ２５cm、幅５mmであり、＃８００のレジンボンドダイヤモンド砥石がセットされている。この研削で内径５０ｍｍ、長さ２ｍの石英ガラス管が作成された。前記研摩用ヘッドの拡張部３全体にダイヤモンドペーパー４を巻き付け、フック又はループファスナーで図３のように固定した。ダイヤモンドペーパー４の基材は、繊維材料でダイヤモンド砥粒が付着しやすい波形面とする。巻き付けたダイヤモンドペーパー４のダイヤモンド粒径を最初は＃１２００、次は＃２０００、最後は＃３０００と３回取り替えた。研摩用ヘッドを石英ガラス管内に挿入し、図１に示すように研摩用ヘッドの回転数を１００ｒｐｍ、速度を３ｍ／ｍｉｎにして石英ガラス管の全長にわたって８０回往復させた。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．０８μｍ、中心線平均粗さＲａは０．００７μｍであった。この研摩加工に要した時間は、ダイヤモンドペーパーの取り替え時間も含めて６時間弱であった。前記石英ガラス管の内表面を更に＃６０００のダイヤモンドペーパーを８０回往復させ研磨したところ、石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．０６μｍ、中心線平均粗さＲａは０．００５μｍであった。
【００１８】
実施例２
ダイヤモンドペーパー４を４方向に拡張部３を有する研磨用ヘッド４の表面に均一に配置した以外、実施例１と同様にして研磨仕上げを行った。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘ及び中心線平均粗さＲａは実施例１のそれとほぼ同じであった。しかし、１つのらせん状の傷が観測された。これは多分砥石又は削られた石英ガラスの破片の発生があったことによるものと考えられる。それ故、低品質の装置では許容できるが本発明の方法の最適な形態とはいえない。
【００１９】
比較例１
実施例１と同寸法の石英ガラスインゴットを研削して得た内径５０ｍｍ、長さ２ｍの石英ガラス管の内表面を研摩するため、ナイロン植毛ブラシを取り付けたホーニングマシンのヘッドを石英ガラス管内にセットし、上部から酸化セリウム砥粒を純水に攪拌して得た研摩液を流し込みながら、前記ブラシを回転数５００ｒｐｍ、ヘッド速度３ｍ／ｍｉｎで石英ガラス管全長に渡って連続して２４０回往復させた（８０往復×３回）。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．５μｍ、中心線平均粗さＲａは０．２μｍであった。この石英ガラス管の内表面精度を実施例１の石英ガラス管の内表面と同様にするには９６０回往復させる２２時間弱を要した。
【００２０】
比較例２
実施例１において、ダイヤモンドペーパーの替わりに酸化セリウムペーパーを用いて、研摩用ヘッドの回転数を１００ｒｐｍ、速度を３ｍ／ｍｉｎとして石英ガラス管全長にわたって８０回往復させ、ペーパーを交換して３回繰り返した。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．３５μｍ、中心線平均粗さＲａは０．１５μｍであった。この研摩方法で実施例１と同様の内表面を得るには、ペーパーを交換して８０回の往復を合計７回行う必要があった。研摩加工に要した時間はペーパー交換を含めて約１３時間であった。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の研摩方法を示す概略図である。
【図２】４方向の拡張部を有する研摩用ヘッドの概略図である。
【図３】拡張部全体にダイヤモンドペーパーを巻き付けた研摩用ヘッドの概略図である。
【符号の説明】
【００２２】
１：石英ガラス管
２：研摩用ヘッド
３：拡張部
４：ダイヤモンドペーパー
５：シャンクバー
６：プッシュロッド
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管状脆性材料の内表面研摩方法および該研摩方法で得られた管状脆性材料に関し、特に光ファイバ製造用石英ガラス管の内表面を面精度よく研摩する方法および内表面精度の高い石英ガラス管に関する。
【背景技術】
【０００２】
管状脆性材料、特に高純度の石英ガラス管は、光ファイバを製造するための内付法（ＭＣＶＤ法）の反応管として、また、ＭＣＶＤ法、軸付け法（ＶＡＤ法）又は外付け法（ＯＶＤ法）のいずれかの方法で作成したプレプリフォームのジャケット管として用いられている。プレプリフォームのジャッケット管として使用される高純度の石英ガラス管の内表面に凹凸やクラックが存在すると、プレプリフォームと石英ガラス管の溶融一体化時に気泡が発生し、それが光ファイバの線引き時の断線や光ファイバの接続不良を起すなどの問題があった。そのため石英ガラス管の内表面の面精度を高いものにする必要があり、従来、高純度の石英ガラスインゴットの内外周面をダイヤモンド砥石で機械的研削加工したのち、内表面を酸化セリウム砥石で機械的研摩加工する方法が採られていた（特許文献１）。
【特許文献１】特開２０００−１１９０３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載の方法では、研摩時に酸化セリウム砥石のエッジ部から大きな破片が発生し、それが砥石と被研摩面の間に咬み込まれ、被研摩物の内表面にキズをつけることが起こった。このキズの発生を防ぐため酸化セリウム砥粒を研削液に分散させ、ブラシ等で被研削面を削る方法が開発されたが、研摩時間が非常に長く生産性に劣るものであった。また、酸化セリウム砥粒を付着させたシート材料（以下酸化セリウムペーパーという）を用いる研摩法も開発されたが、酸化セリウムペーパーは初期の研摩能力、すなわち前段階の研削による凹凸を削り取る能力が低く、前研摩段階で内表面粗さをより小さくする必要がある上に、酸化セリウムペーパーの消耗が激しくしばしば取り替える必要がありコスト高になる欠点があった。
【０００４】
それ故、本発明は、管状脆性材料の内表面にキズを発生させることがなく高面精度に研摩できる研摩方法を提供することを目的とする。
【０００５】
また、本発明は、研摩時間を短縮できる研摩方法を提供することを目的とする。
【０００６】
さらに、本発明は、内表面精度の高い管状脆性材料を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
こうした現状に鑑み、本発明者等は、鋭意研究した結果、ホーニングマシンで前研削した管状脆性材料の内表面をダイヤモンド砥粒が付着したシート材料（以下ダイヤモンドペーパー又はダイヤモンドシート材料という）を用いて研摩することで、酸化セリウムによる研摩と同等以上の内表面粗さを有する管状脆性材料が得られ、かつ研摩時間を大幅に短縮できることを見出して、本発明を完成したものである。
【０００８】
上記目的を達成する本発明は、管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、ホーニングマシンで管状に前研削した脆性材料の内表面をダイヤモンドシート材料で研摩することを特徴とする研摩方法および内表面精度の高い管状脆性材料に関する。
【０００９】
上記脆性材料とは、材料に外力を加えて破壊させるときに、破壊ヒズミの小さい材料をいい、具体的にはガラス、セラミックスなどが挙げられる。この脆性材料から管状体を成形するため、ホーニングマシンにダイヤモンド砥石を取り付け、研削加工すると、研削が進行するに従って砥石から脱落したダイヤモンド砥粒と研削された被研削物の粒子が砥石表面に付着し目詰まりを起す。目詰まりが起きると、研削能力が落ちるばかりでなく、砥石と被研削物間の抵抗が変化し、振動が発生する。著しい場合には砥石に大きな応力が加わって砥石の破損を起こすことがある。これらはより粒度の小さい研摩仕上げにおいて顕著である。ところが、前記ダイヤモンド砥石の代わりにダイヤモンド砥粒を付着したシート材料を使用すると、目詰まりが発生してもシート材料自体の弾性で振動が発生しない上に、シート材料の破れも起こらず研摩加工が継続できることがわかった。しかもこの目詰まり状態で研摩すると、研摩粒子の番手以上に良好な研摩が進行することもわかった。これは脆性材料の研摩をダイヤモンドシート材料の目詰まりのまま継続すると、シート材料の表面はすべて研摩された被研削物の粒子で覆われるが、その粒子が被研削物と同一であることから、いわゆる共摺り状態となり、研摩粒子自体も削られ、徐々に微細化して良好な研摩が達成できる。このようにダイヤモンドシート材料を用いると、高い面精度を有する管状脆性材料が得られることからダイヤモンド砥粒の番手を小さいものに代える必要がなく、研摩時間を大幅に短縮できる。
【００１０】
“ダイヤモンドシート材料”の基材はペーパー、繊維又はプラスチックホイルであってよい。
【００１１】
管状脆性材料の研摩には研摩用ヘッド付きホーニングマシンを用いることが一般的であるが、研摩用ヘッドを管状脆性材料内表面の全面に押し付けるように拡張することは困難で部分的な拡張がなされる。そして、拡張部分に砥石が取り付けられる。この研摩用ヘッド付きホーニングマシンで管状脆性材料を研摩すると砥石のエッジ部が被研削面に引っかかり大きな破片が発生することがある。この破片は、砥石のエッジ部と被研削面に咬み込まれ、被研削面に深いキズを付ける。然し、ダイヤモンドシート材料で研摩用ヘッド全体を覆うと、拡張部にエッジがあってもダイヤモンドシート材料が連続していることから、破片の浸入がなく脆性材料の内表面にキズを付けることがない。
【００１２】
上記ダイヤモンドシート材料のダイヤモンドの粒径は、＃５００〜＃１００００の範囲のものが用いられる（前記“＃”はシート材料に付着する砥粒のメッシュ径をいう）。
【００１３】
本発明の好ましい態様として、ダイヤモンド砥粒を有するシート材料をフック又はループファスナーを使用して研磨用ヘッドに固定するのがよい。フック又はループファスナーはダイヤモンドシート材料の取替えを容易にする。ダイヤモンド砥粒がノッブ付き又は波形材料の表面に付着させると、これらが研磨されたガラス粒子の移転や除去のための補助的研磨剤として作用し流体の流れを容易にする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の研摩方法では、内表面の最大粗さＲｍａｘが０．１μｍ以下、中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下の高面精度の石英ガラス管が比較的短時間で製造でき、それをプレプリフォームのジャケット管又はＭＣＶＤ法の反応管として使用することで高品質の光ファイバが容易に製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１６】
最大粗さＲｍａｘ及び中心線平均粗さＲａは、日本工業規格（ＪＩＳ）Ｂ０６０１の定義により、その測定法は、接触式簡易粗さ計（東京精密（株）製、Ｓｕｒｆｃｏｍ ３００Ｂ）で１０ｍｍの長さ毎に測定される。
【実施例】
【００１７】
実施例１
ＯＶＤ法を用い、四塩化珪素を気化し、酸水素炎中で火炎加水分解し、回転する基体の周囲にシリカガラス微粒子を堆積させて大型多孔質スート体を作成した。この多孔質スート体を電気炉に入れ、コアガラスロッドの屈折率等の条件を考慮し、Ｈｅ、Ｃｌ2混合ガスにより１１００℃で加熱脱水し、引き続きＨｅ雰囲気中で１６００℃で透明ガラス化し、円筒状石英ガラスインゴットを製造した。この円筒状石英ガラスインゴットの両端を切断し、その内径を、マントル面に均一に配置され、長さ方向に伸びる拡張部３を有する図２に示す研磨用ヘッド付き縦型ホーニングマシンで研削した。前記拡張部３には長さ２５cm、幅５mmであり、＃８００のレジンボンドダイヤモンド砥石がセットされている。この研削で内径５０ｍｍ、長さ２ｍの石英ガラス管が作成された。前記研摩用ヘッドの拡張部３全体にダイヤモンドペーパー４を巻き付け、フック又はループファスナーで図３のように固定した。ダイヤモンドペーパー４の基材は、繊維材料でダイヤモンド砥粒が付着しやすい波形面とする。巻き付けたダイヤモンドペーパー４のダイヤモンド粒径を最初は＃１２００、次は＃２０００、最後は＃３０００と３回取り替えた。研摩用ヘッドを石英ガラス管内に挿入し、図１に示すように研摩用ヘッドの回転数を１００ｒｐｍ、速度を３ｍ／ｍｉｎにして石英ガラス管の全長にわたって８０回往復させた。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．０８μｍ、中心線平均粗さＲａは０．００７μｍであった。この研摩加工に要した時間は、ダイヤモンドペーパーの取り替え時間も含めて６時間弱であった。前記石英ガラス管の内表面を更に＃６０００のダイヤモンドペーパーを８０回往復させ研磨したところ、石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．０６μｍ、中心線平均粗さＲａは０．００５μｍであった。
【００１８】
実施例２
ダイヤモンドペーパー４を４方向に拡張部３を有する研磨用ヘッド４の表面に均一に配置した以外、実施例１と同様にして研磨仕上げを行った。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘ及び中心線平均粗さＲａは実施例１のそれとほぼ同じであった。しかし、１つのらせん状の傷が観測された。これは多分砥石又は削られた石英ガラスの破片の発生があったことによるものと考えられる。それ故、低品質の装置では許容できるが本発明の方法の最適な形態とはいえない。
【００１９】
比較例１
実施例１と同寸法の石英ガラスインゴットを研削して得た内径５０ｍｍ、長さ２ｍの石英ガラス管の内表面を研摩するため、ナイロン植毛ブラシを取り付けたホーニングマシンのヘッドを石英ガラス管内にセットし、上部から酸化セリウム砥粒を純水に攪拌して得た研摩液を流し込みながら、前記ブラシを回転数５００ｒｐｍ、ヘッド速度３ｍ／ｍｉｎで石英ガラス管全長に渡って連続して２４０回往復させた（８０往復×３回）。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．５μｍ、中心線平均粗さＲａは０．２μｍであった。この石英ガラス管の内表面精度を実施例１の石英ガラス管の内表面と同様にするには９６０回往復させる２２時間弱を要した。
【００２０】
比較例２
実施例１において、ダイヤモンドペーパーの替わりに酸化セリウムペーパーを用いて、研摩用ヘッドの回転数を１００ｒｐｍ、速度を３ｍ／ｍｉｎとして石英ガラス管全長にわたって８０回往復させ、ペーパーを交換して３回繰り返した。得られた石英ガラス管の内表面の最大粗さＲｍａｘは０．３５μｍ、中心線平均粗さＲａは０．１５μｍであった。この研摩方法で実施例１と同様の内表面を得るには、ペーパーを交換して８０回の往復を合計７回行う必要があった。研摩加工に要した時間はペーパー交換を含めて約１３時間であった。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の研摩方法を示す概略図である。
【図２】４方向の拡張部を有する研摩用ヘッドの概略図である。
【図３】拡張部全体にダイヤモンドペーパーを巻き付けた研摩用ヘッドの概略図である。
【符号の説明】
【００２２】
１：石英ガラス管
２：研摩用ヘッド
３：拡張部
４：ダイヤモンドペーパー
５：シャンクバー
６：プッシュロッド
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、研磨用ヘッド（２）を有するホーニングマシンで前記内表面を前研削したのち、ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）で研摩することを特徴とする研摩方法。
【請求項２】
ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）をホーニングマシンの研摩用ヘッド（２）に巻き付けることを特徴とする請求項１記載の研摩方法。
【請求項３】
ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）をホーニングマシンの研摩用ヘッド（２）にフック又はループファスナーで固定することを特徴とする請求項２記載の研摩方法。
【請求項４】
ダイヤモンド砥粒の粒径が＃５００〜＃１００００の範囲であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の研摩方法。
【請求項５】
ダイヤモンド砥粒がノッブ付き又は波形のシート材料に固定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載の研摩方法。
【請求項６】
請求項１又は２記載の研摩方法で得た内表面の最大粗さＲｍａｘが０．１μｍ以下、中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下であることを特徴とする内表面精度の高い管状脆性材料。
【請求項７】
管状脆性材料が光ファイバ製造用石英ガラス管であることを特徴とする請求項６記載の内表面精度の高い管状脆性材料。
【請求項１】
管状脆性材料の内表面を面精度よく研摩する方法において、研磨用ヘッド（２）を有するホーニングマシンで前記内表面を前研削したのち、ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）で研摩することを特徴とする研摩方法。
【請求項２】
ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）をホーニングマシンの研摩用ヘッド（２）に巻き付けることを特徴とする請求項１記載の研摩方法。
【請求項３】
ダイヤモンド砥粒を付着したシート材料（４）をホーニングマシンの研摩用ヘッド（２）にフック又はループファスナーで固定することを特徴とする請求項２記載の研摩方法。
【請求項４】
ダイヤモンド砥粒の粒径が＃５００〜＃１００００の範囲であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の研摩方法。
【請求項５】
ダイヤモンド砥粒がノッブ付き又は波形のシート材料に固定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載の研摩方法。
【請求項６】
請求項１又は２記載の研摩方法で得た内表面の最大粗さＲｍａｘが０．１μｍ以下、中心線平均粗さＲａが０．０１μｍ以下であることを特徴とする内表面精度の高い管状脆性材料。
【請求項７】
管状脆性材料が光ファイバ製造用石英ガラス管であることを特徴とする請求項６記載の内表面精度の高い管状脆性材料。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公表番号】特表２００６−５１７４７１（Ｐ２００６−５１７４７１Ａ）
【公表日】平成１８年７月２７日（２００６．７．２７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−５０１８１０（Ｐ２００６−５０１８１０）
【出願日】平成１６年２月１１日（２００４．２．１１）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００１２６７
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０７１７０９
【国際公開日】平成１６年８月２６日（２００４．８．２６）
【出願人】（０００１９０１３８）信越石英株式会社 (183)
【Ｆターム（参考）】
【公表日】平成１８年７月２７日（２００６．７．２７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年２月１１日（２００４．２．１１）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＥＰ２００４／００１２６７
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０７１７０９
【国際公開日】平成１６年８月２６日（２００４．８．２６）
【出願人】（０００１９０１３８）信越石英株式会社 (183)
【Ｆターム（参考）】
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