表面被覆部材
【課題】 高い密着性と耐摩耗性を有する切削工具等の表面被覆部材を提供する。
【解決手段】 Ａｌ２Ｏ３質基体６の表面に被覆層８が被着形成され、被覆層８のうちの基体６の表面には、基体６側の第１Ａｌ２Ｏ３層７ａと上層の第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂとの２層のＡｌ２Ｏ３層７が順に形成されており、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを構成するＡｌ２Ｏ３結晶を基体６の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを構成するＡｌ２Ｏ３結晶を基体６の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅よりも小さい切削工具１等の表面被覆部材であり、高い密着性と耐摩耗性を有する。
【解決手段】 Ａｌ２Ｏ３質基体６の表面に被覆層８が被着形成され、被覆層８のうちの基体６の表面には、基体６側の第１Ａｌ２Ｏ３層７ａと上層の第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂとの２層のＡｌ２Ｏ３層７が順に形成されており、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを構成するＡｌ２Ｏ３結晶を基体６の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを構成するＡｌ２Ｏ３結晶を基体６の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅よりも小さい切削工具１等の表面被覆部材であり、高い密着性と耐摩耗性を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基体の表面に被覆層が成膜されている表面被覆部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、切削工具や耐摩部材、摺動部材といった耐摩耗性や摺動性、耐欠損性を必要とする部材では、超硬合金やサーメット等の焼結合金、ダイヤモンドやｃＢＮ（立方晶窒化硼素）の高硬度焼結体、Ａｌ２Ｏ３や窒化珪素等のセラミックスからなる基体の表面に被覆層を成膜して、耐摩耗性、摺動性、耐欠損性を向上させる手法が使われている。中でも、セラミック工具は安価で耐摩耗性に優れることから高硬度材料の切削に用いられている。
【０００３】
例えば、特許文献１や特許文献２では、チャンファホーニングをつけたＡｌ２Ｏ３質セラミック基体の表面に、公知の化学蒸着法により第１層としてＡｌ２Ｏ３層を設けた被覆セラミック工具が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６９３０２号公報
【特許文献２】特開平５−１０４３０５号公報
【特許文献３】特開平１１−１２４６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、Ａｌ２Ｏ３質セラミック基体の表面に公知の化学蒸着法にてＡｌ２Ｏ３層を第１層として設けた特許文献１や特許文献２の構成では、鋳鉄等の難削材を切削加工するとＡｌ２Ｏ３層が部分的に剥離してしまい、満足する耐摩耗性を得られないということがわかった。
【０００６】
特に、高硬度の被削材に対して高速で切削加工するような過酷な切削に用いた場合には、切刃においてＡｌ２Ｏ３層が剥離したり、チッピング（フレーキング）したりして、工具性能は不十分であった。しかも、セラミック基体の表面は高硬度で靭性に劣ることから被覆層に衝撃がかかると初期段階で欠損してしまうおそれがあった。
【０００７】
そこで、本発明の表面被覆部材は、Ａｌ２Ｏ３質セラミックスを基体として、さらに長寿命な切削工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の表面被覆部材は、Ａｌ２Ｏ３質基体の表面に被覆層が被着形成され、前記被覆層のうちの前記基体の表面には、基体側の第１Ａｌ２Ｏ３層と上層の第２Ａｌ２Ｏ３層との２層のＡｌ２Ｏ３層が順に形成されており、前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの前記平均結晶幅よりも小さい。
【０００９】
ここで、前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．１〜１．０μｍであることが望ましい。
【００１０】
また、前記第１Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであることが望ましい。
【００１１】
さらに、前記被覆層の表面からＸ線回折分析をしたとき、前記Ａｌ２Ｏ３層がα型結晶構造であり、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強であることが望ましく、下記式で表される組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８であることが望ましい。
Ｔｃ（１１６）＝{Ｉ（１１６）／Ｉ０（１１６）}／{（１／６）Σ〔Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ
０（ｈｋｌ）〕}
ただし、
（ｈｋｌ）面：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）および（１１６）面
Ｉ（ｈｋｌ） ：（ｈｋｌ）面に帰属されるＸ線回折ピークのピーク強度の測定値
Ｉ０（ｈｋｌ）：ＪＣＰＤＳカード番号１０−１７３の（ｈｋｌ）面における標準Ｘ線回折ピーク強度
Σ［Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ０（ｈｋｌ）］：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）、（１１６）面における［Ｘ線回折ピーク強度測定値／標準Ｘ線回折ピーク強度］の値の合計。
【００１２】
また、前記Ａｌ２Ｏ３質基体にＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表面被覆部材によれば、Ａｌ２Ｏ３質基体の表面に、基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が小さい第１Ａｌ２Ｏ３層と、第１Ａｌ２Ｏ３層よりも平均結晶幅が大きい第２Ａｌ２Ｏ３層との２層が順に形成されたＡｌ２Ｏ３層を具備することによって、切削工具の耐欠損性および耐摩耗性がともに向上する。
【００１４】
ここで、第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．１〜１．０μｍであること、また、第１Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであることが、耐欠損性および耐摩耗性のバランスの点で望ましい。
【００１５】
また、被覆層の表面からＸ線回折分析をしたとき、Ａｌ２Ｏ３層がα型結晶構造であり、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強であることが望ましく、前記組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８であることが、基体との密着性および耐摩耗性の向上の点で望ましい。
【００１６】
また、前記Ａｌ２Ｏ３質基体にＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれていると、Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３粒子の粒径が小さくなる傾向にある。その結果、Ａｌ２Ｏ３層の硬度および強度が向上することから、工具としての耐摩耗性および耐チッピング性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の表面被覆部材の好適例である切削工具の一例を示し、（ａ）概略斜視図および（ｂ）概略断面図である。
【図２】本発明の表面被覆工具を構成するＡｌ２Ｏ３層を断面から観察した一例を示す走査型電子顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の表面被覆部材の好適例である切削工具の一例について、図１の（ａ）概略斜視図および（ｂ）概略断面図を基に説明する。
図１（ａ）のように、本発明の切削工具１は、すくい面２と逃げ面３との交差稜線が切刃４である形状をなし、かつ図１（ｂ）に示すように、Ａｌ２Ｏ３質セラミックスからなる基体（以下、単に基体と略す。）６の表面にＡｌ２Ｏ３層７を含むとする被覆層８を被覆した構成となっている。
【００１９】
基体６をなすＡｌ２Ｏ３質セラミックスは、Ａｌ２Ｏ３粒子のマトリックス中に、所望により、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｙおよび希土類元素の酸化物、Ｔｉ、Ｓｉの炭化物、窒化物、炭窒化物および炭窒酸化物のいずれか１種以上を含有してなる。
【００２０】
ここで、上記組成において、Ａｌ２Ｏ３質セラミックスにはＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれていることが、Ａｌ２Ｏ３層７を構成するＡｌ２Ｏ３粒子の粒径が小さくなる傾向にあり、Ａｌ２Ｏ３層７の硬度および強度が向上して、切削工具１としての耐摩耗性および耐チッピング性が向上するために望ましい。
【００２１】
なお、基体６であるＡｌ２Ｏ３質セラミックス中に含有されるＡｌ２Ｏ３粒子の平均粒径は、耐摩耗性、強度の点から０．０５〜３μｍ、望ましくは０．１〜０．５μｍの範囲にあることが望ましい。なお、Ａｌ２Ｏ３粒子や他の化合物粒子の粒径測定は、ＣＩＳ−０１９Ｄ−２００５に規定された超硬合金の平均粒径の測定方法に準じて測定する。
【００２２】
一方、被覆層８は、基体６の表面に、基体側の第１Ａｌ２Ｏ３層７ａと上層の第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂとの２層が順に形成されており、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを構成するＡｌ２Ｏ３結晶を基体６の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅よりも小さい構成となっている。この構成によって、切削工具１の耐欠損性および耐摩耗性がともに向上する。特に、被覆層８の基体６に対する密着性を向上させるためには、Ａｌ２Ｏ３層７（第１Ａｌ２Ｏ３層７ａ）が基体６の直上に形成されていることが望ましい。また、被覆層８内の剥離を防止する点で、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａと第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂとは連続して形成されていることが望ましい。
【００２３】
ここで、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．１〜１．０μｍであることが、耐欠損性および耐摩耗性のバランスの点で望ましい。なお、Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３粒子の平均粒径の算出に際しては、顕微鏡写真から各粒子の形状を特定し、画像解析法にて各粒子の面積を求める。そして、各粒子が円であると仮定した時の粒径を算出し、その平均値を平均粒径とする。
【００２４】
ここで、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａの厚みが１〜５μｍであり、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂの厚みが１〜５μｍであることが、耐欠損性および耐摩耗性のバランスの点で望ましい。
【００２５】
また、被覆層８の表面からＸ線回折分析をしたとき、Ａｌ２Ｏ３層７がα型結晶構造であり、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強であることが望ましく、下記式で表される組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８であることが、基体６との密着性および耐摩耗性の向上の点で望ましい。
Ｔｃ（１１６）＝{Ｉ（１１６）／Ｉ０（１１６）}／{（１／６）Σ〔Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ
０（ｈｋｌ）〕}
ただし、
（ｈｋｌ）面：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）および（１１６）面
Ｉ（ｈｋｌ） ：（ｈｋｌ）面に帰属されるＸ線回折ピークのピーク強度の測定値
Ｉ０（ｈｋｌ）：ＪＣＰＤＳカード番号１０−１７３の（ｈｋｌ）面における標準Ｘ線回折ピーク強度
Σ［Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ０（ｈｋｌ）］：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）、（１１６）面における［Ｘ線回折ピーク強度測定値／標準Ｘ線回折ピーク強度］の値の合計。
【００２６】
さらに、被覆層８は、Ａｌ２Ｏ３層７の上層として、周期表第４、５および６族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物のうち１つから選ばれる他の被覆層９を被覆した多層構造としてもよい。なお、被覆層８の総厚みは１〜７μｍであることが、被覆層８の膜剥離やチッピングを防止し、十分な耐摩耗性を維持することができるため望ましい。特に、高速荒切削加工用の切削工具として用いる場合には被覆層８の厚みが１．０μｍ〜５．０μｍであり、鋳鉄加工用の切削工具として用いる場合には被覆層８の厚みが２．０μｍ〜７．０μｍであることが望ましい。
【００２７】
また、本発明の表面被覆部材は上記切削工具に限定されず、耐摩部材、摺動部材といった耐摩耗性、耐欠損性を必要とする部材においても好適に使用可能である。
【００２８】
（製造方法）
次に、上述した工具の製造方法について説明する。
例えば、原料粉末として０．２〜３μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＡｌ２Ｏ３原料粉末、平均粒径０．１〜２μｍのＺｒＯ２粉末等の添加物原料粉末を特定の組成に秤量し粉砕混合する。
【００２９】
そして、上記混合粉末を所定形状に成形する。成形には、プレス成形、射出成形、鋳込み成形、押し出し成形等の周知の成形手段を用いることができる。その後、前記成形体を脱バインダ処理した後、大気中または非酸化性雰囲気、望ましくはアルゴン（Ａｒ）ガス等の非酸化性減圧雰囲気中にて１５００〜１７５０℃で焼成する。所望により、得られたＡｌ２Ｏ３質セラミックスからなる基体６の表面を研削加工し、所望により、切刃部分にチャンファホーニングやＲホーニング加工を施す。そして、加工した基体は、酸溶液やアルカリ溶液を用いて洗浄した後、純水やアルコールで濯いでおくことが望ましい。
【００３０】
次に、基体６の表面に被覆層８を成膜する。Ａｌ２Ｏ３層７の成膜方法として、まず、基体６を化学蒸着装置内にセットし、チャンバ内を水素（Ｈ２）、またはアルゴン（Ａｒ）ガス雰囲気に置換した状態で、９８０〜１０５０℃まで昇温する。このとき、チャンバ内が１０℃以内で均熱となるまで温度を保持する。
【００３１】
それから、上記チャンバ内に、水素（Ｈ２）および塩化水素（ＨＣｌ）ガスを３〜１０分間流す。それから、チャンバ内の水素（Ｈ２）および塩化水素（ＨＣｌ）ガスを水素（Ｈ２）および三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスに代える。この工程によって、基体６の表面に均一で微細な第１Ａｌ２Ｏ３層７ａの核が形成される。
【００３２】
次に、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを１．５〜３．０体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを１．５〜３．０体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを３．０〜５．０体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０.３〜０．５体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を９５０〜１００５℃、圧力を１８〜３０ｋＰａとして、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを成膜する。
【００３３】
その後、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを１．５〜３．０体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを０．２〜０．８体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを５．０〜６．５体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０.０５〜０．１５体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を１０１０〜１０５０℃、特に１０３０〜１０５０℃、特に圧力を８〜１２ｋＰａの条件、すなわち、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａに比べて、成膜温度が高くかつ圧力が低い条件下で、かつ三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスおよび水素（Ｈ２）ガス以外の割合（体積％）が小さい条件として、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを成膜する。
【実施例】
【００３４】
平均粒０．５μｍのＡｌ２Ｏ３粉末、平均粒径１．０μｍのＺｒＯ２粉末、ＭｇＯ粉末、ＳｉＣ粉末、ＴｉＣＮ粉末、ＴｉＣ粉末およびＣｏ粉末を用いて表１のように調合し、この粉体を、Ａｌ２Ｏ３製ボールを用いたボールミルで７２時間混合した。
【００３５】
次に混合した粉体を圧力９８ＭＰａでＪＩＳ・ＣＮＧＡ１２０４０８のスローアウェイチップ形状にプレス成形した。この成形体を脱バインダ処理した後、アルゴン（Ａｒ）ガス０．０４ＭＰａの非酸化性雰囲気中、１６５０℃で焼成してＡｌ２Ｏ３質セラミックスを得た。このＡｌ２Ｏ３質セラミックス基体の両主面を研削加工するとともに、基体の切刃部分に対してダイヤモンドホイールを用いて刃先処理を施して、切刃に０．２ｍｍ×２０°のチャンファホーニングを形成した。
【００３６】
このようにして作製した基体に対して、酸溶液およびアルカリ溶液にて洗浄し、純水およびアルコールにて濯いだ後、化学蒸着（ＣＶＤ）法により被覆層の成膜を行った。具体的な成膜方法は、表２に示す前処理条件で前処理した後、表３に示す成膜温度で表４の構成の被覆層を成膜した。なお、Ａｌ２Ｏ３層を２層成膜する場合には、基体側に成膜されるＡｌ２Ｏ３層を第１Ａｌ２Ｏ３層の成膜条件で成膜し、上層に成膜されるＡｌ２Ｏ３層を第２Ａｌ２Ｏ３層の成膜条件で成膜した。また、各層の成膜においては、表３の成膜条件で第１Ａｌ２Ｏ３層および第２Ａｌ２Ｏ３層を成膜し、ＴｉＣｌ４：２．１体積％，Ｎ２：２２体積％，ＣＨ３ＣＮ：０．６体積％，Ｈ２：残の混合ガスを用いて、成膜温度８６０℃、ガス圧９ｋＰａでＴｉＣＮ層を、ＴｉＣｌ４：２体積％，Ｎ２：３２体積％、Ｈ２：残の混合ガスを用いて、成膜温度９００℃、ガス圧２０ｋＰａでＴｉＮ層をそれぞれ成膜した。
【００３７】
【表１】
【００３８】
【表２】
【００３９】
【表３】
【００４０】
得られたスローアウェイチップについて、被覆層の表面からＸ線回折測定を行い、Ａｌ２Ｏ３層の結晶構造および回折ピークを同定して、（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度から組織化係数Ｔｃ（１１６）を算出した。また、被覆層の表面および断面について走査型電子顕微鏡で観察して、Ａｌ２Ｏ３層を断面および表面から見たときのＡｌ２Ｏ３粒子の平均粒径および被覆層の厚みを算出した。なお、Ａｌ２Ｏ３層の上面に他の被覆層を成膜して積層構成とした被覆層について１層目のＡｌ２Ｏ３層の平均粒径を測定する際には、上層を研磨除去した研磨面についてＥＢＳＤ（EBS Diffraction）法による結晶方位測定により各粒子のカラーマッピングを撮り、各粒子の面積を見積もって画像解析法から結晶を円に仮定した時の平均粒径を算出した。結果は表４に示した。
【００４１】
【表４】
【００４２】
次に、このスローアウェイチップを用いて以下の切削条件にて切削試験を行った。結果は表５に示した。
切削方法：外周加工
被削材 ：ＳＫＤ１１
切削速度：１２０ｍ／分
送り ：０．５ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：０．５ｍｍ
切削状態：乾式
評価方法：フランク摩耗が０．３ｍｍ以上となる時間とそのときの切刃の状態
【００４３】
【表５】
【００４４】
表１〜５に示される結果から、Ａｌ２Ｏ３層を１層しか成膜しない試料Ｎｏ．６、７は耐摩耗性が悪い結果となった。また、第１Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径が第２Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径よりも大きい試料Ｎｏ．８では、切削中にフレーキングが発生して工具寿命は短かった。
【００４５】
これに対し、硬質層の構成が本発明の範囲内の試料Ｎｏ．１〜５では、優れた耐摩耗性を発揮するとともに耐欠損性も良好であり、その結果、工具寿命が長いものであった。
【符号の説明】
【００４６】
１ 切削工具
２ すくい面
３ 逃げ面
４ 切刃
６ 基体
７ Ａｌ２Ｏ３層
７ａ 第１Ａｌ２Ｏ３層
７ｂ 第２Ａｌ２Ｏ３層
８ 被覆層
９ 他の被覆層
【技術分野】
【０００１】
本発明は基体の表面に被覆層が成膜されている表面被覆部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、切削工具や耐摩部材、摺動部材といった耐摩耗性や摺動性、耐欠損性を必要とする部材では、超硬合金やサーメット等の焼結合金、ダイヤモンドやｃＢＮ（立方晶窒化硼素）の高硬度焼結体、Ａｌ２Ｏ３や窒化珪素等のセラミックスからなる基体の表面に被覆層を成膜して、耐摩耗性、摺動性、耐欠損性を向上させる手法が使われている。中でも、セラミック工具は安価で耐摩耗性に優れることから高硬度材料の切削に用いられている。
【０００３】
例えば、特許文献１や特許文献２では、チャンファホーニングをつけたＡｌ２Ｏ３質セラミック基体の表面に、公知の化学蒸着法により第１層としてＡｌ２Ｏ３層を設けた被覆セラミック工具が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１６９３０２号公報
【特許文献２】特開平５−１０４３０５号公報
【特許文献３】特開平１１−１２４６７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、Ａｌ２Ｏ３質セラミック基体の表面に公知の化学蒸着法にてＡｌ２Ｏ３層を第１層として設けた特許文献１や特許文献２の構成では、鋳鉄等の難削材を切削加工するとＡｌ２Ｏ３層が部分的に剥離してしまい、満足する耐摩耗性を得られないということがわかった。
【０００６】
特に、高硬度の被削材に対して高速で切削加工するような過酷な切削に用いた場合には、切刃においてＡｌ２Ｏ３層が剥離したり、チッピング（フレーキング）したりして、工具性能は不十分であった。しかも、セラミック基体の表面は高硬度で靭性に劣ることから被覆層に衝撃がかかると初期段階で欠損してしまうおそれがあった。
【０００７】
そこで、本発明の表面被覆部材は、Ａｌ２Ｏ３質セラミックスを基体として、さらに長寿命な切削工具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の表面被覆部材は、Ａｌ２Ｏ３質基体の表面に被覆層が被着形成され、前記被覆層のうちの前記基体の表面には、基体側の第１Ａｌ２Ｏ３層と上層の第２Ａｌ２Ｏ３層との２層のＡｌ２Ｏ３層が順に形成されており、前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの前記平均結晶幅よりも小さい。
【０００９】
ここで、前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．１〜１．０μｍであることが望ましい。
【００１０】
また、前記第１Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであることが望ましい。
【００１１】
さらに、前記被覆層の表面からＸ線回折分析をしたとき、前記Ａｌ２Ｏ３層がα型結晶構造であり、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強であることが望ましく、下記式で表される組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８であることが望ましい。
Ｔｃ（１１６）＝{Ｉ（１１６）／Ｉ０（１１６）}／{（１／６）Σ〔Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ
０（ｈｋｌ）〕}
ただし、
（ｈｋｌ）面：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）および（１１６）面
Ｉ（ｈｋｌ） ：（ｈｋｌ）面に帰属されるＸ線回折ピークのピーク強度の測定値
Ｉ０（ｈｋｌ）：ＪＣＰＤＳカード番号１０−１７３の（ｈｋｌ）面における標準Ｘ線回折ピーク強度
Σ［Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ０（ｈｋｌ）］：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）、（１１６）面における［Ｘ線回折ピーク強度測定値／標準Ｘ線回折ピーク強度］の値の合計。
【００１２】
また、前記Ａｌ２Ｏ３質基体にＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の表面被覆部材によれば、Ａｌ２Ｏ３質基体の表面に、基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が小さい第１Ａｌ２Ｏ３層と、第１Ａｌ２Ｏ３層よりも平均結晶幅が大きい第２Ａｌ２Ｏ３層との２層が順に形成されたＡｌ２Ｏ３層を具備することによって、切削工具の耐欠損性および耐摩耗性がともに向上する。
【００１４】
ここで、第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．１〜１．０μｍであること、また、第１Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであることが、耐欠損性および耐摩耗性のバランスの点で望ましい。
【００１５】
また、被覆層の表面からＸ線回折分析をしたとき、Ａｌ２Ｏ３層がα型結晶構造であり、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強であることが望ましく、前記組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８であることが、基体との密着性および耐摩耗性の向上の点で望ましい。
【００１６】
また、前記Ａｌ２Ｏ３質基体にＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれていると、Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３粒子の粒径が小さくなる傾向にある。その結果、Ａｌ２Ｏ３層の硬度および強度が向上することから、工具としての耐摩耗性および耐チッピング性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の表面被覆部材の好適例である切削工具の一例を示し、（ａ）概略斜視図および（ｂ）概略断面図である。
【図２】本発明の表面被覆工具を構成するＡｌ２Ｏ３層を断面から観察した一例を示す走査型電子顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の表面被覆部材の好適例である切削工具の一例について、図１の（ａ）概略斜視図および（ｂ）概略断面図を基に説明する。
図１（ａ）のように、本発明の切削工具１は、すくい面２と逃げ面３との交差稜線が切刃４である形状をなし、かつ図１（ｂ）に示すように、Ａｌ２Ｏ３質セラミックスからなる基体（以下、単に基体と略す。）６の表面にＡｌ２Ｏ３層７を含むとする被覆層８を被覆した構成となっている。
【００１９】
基体６をなすＡｌ２Ｏ３質セラミックスは、Ａｌ２Ｏ３粒子のマトリックス中に、所望により、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｚｒ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｙおよび希土類元素の酸化物、Ｔｉ、Ｓｉの炭化物、窒化物、炭窒化物および炭窒酸化物のいずれか１種以上を含有してなる。
【００２０】
ここで、上記組成において、Ａｌ２Ｏ３質セラミックスにはＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれていることが、Ａｌ２Ｏ３層７を構成するＡｌ２Ｏ３粒子の粒径が小さくなる傾向にあり、Ａｌ２Ｏ３層７の硬度および強度が向上して、切削工具１としての耐摩耗性および耐チッピング性が向上するために望ましい。
【００２１】
なお、基体６であるＡｌ２Ｏ３質セラミックス中に含有されるＡｌ２Ｏ３粒子の平均粒径は、耐摩耗性、強度の点から０．０５〜３μｍ、望ましくは０．１〜０．５μｍの範囲にあることが望ましい。なお、Ａｌ２Ｏ３粒子や他の化合物粒子の粒径測定は、ＣＩＳ−０１９Ｄ−２００５に規定された超硬合金の平均粒径の測定方法に準じて測定する。
【００２２】
一方、被覆層８は、基体６の表面に、基体側の第１Ａｌ２Ｏ３層７ａと上層の第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂとの２層が順に形成されており、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを構成するＡｌ２Ｏ３結晶を基体６の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅よりも小さい構成となっている。この構成によって、切削工具１の耐欠損性および耐摩耗性がともに向上する。特に、被覆層８の基体６に対する密着性を向上させるためには、Ａｌ２Ｏ３層７（第１Ａｌ２Ｏ３層７ａ）が基体６の直上に形成されていることが望ましい。また、被覆層８内の剥離を防止する点で、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａと第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂとは連続して形成されていることが望ましい。
【００２３】
ここで、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを構成するＡｌ２Ｏ３結晶の平均結晶幅が０．１〜１．０μｍであることが、耐欠損性および耐摩耗性のバランスの点で望ましい。なお、Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３粒子の平均粒径の算出に際しては、顕微鏡写真から各粒子の形状を特定し、画像解析法にて各粒子の面積を求める。そして、各粒子が円であると仮定した時の粒径を算出し、その平均値を平均粒径とする。
【００２４】
ここで、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａの厚みが１〜５μｍであり、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂの厚みが１〜５μｍであることが、耐欠損性および耐摩耗性のバランスの点で望ましい。
【００２５】
また、被覆層８の表面からＸ線回折分析をしたとき、Ａｌ２Ｏ３層７がα型結晶構造であり、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強であることが望ましく、下記式で表される組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８であることが、基体６との密着性および耐摩耗性の向上の点で望ましい。
Ｔｃ（１１６）＝{Ｉ（１１６）／Ｉ０（１１６）}／{（１／６）Σ〔Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ
０（ｈｋｌ）〕}
ただし、
（ｈｋｌ）面：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）および（１１６）面
Ｉ（ｈｋｌ） ：（ｈｋｌ）面に帰属されるＸ線回折ピークのピーク強度の測定値
Ｉ０（ｈｋｌ）：ＪＣＰＤＳカード番号１０−１７３の（ｈｋｌ）面における標準Ｘ線回折ピーク強度
Σ［Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ０（ｈｋｌ）］：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）、（１１６）面における［Ｘ線回折ピーク強度測定値／標準Ｘ線回折ピーク強度］の値の合計。
【００２６】
さらに、被覆層８は、Ａｌ２Ｏ３層７の上層として、周期表第４、５および６族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物のうち１つから選ばれる他の被覆層９を被覆した多層構造としてもよい。なお、被覆層８の総厚みは１〜７μｍであることが、被覆層８の膜剥離やチッピングを防止し、十分な耐摩耗性を維持することができるため望ましい。特に、高速荒切削加工用の切削工具として用いる場合には被覆層８の厚みが１．０μｍ〜５．０μｍであり、鋳鉄加工用の切削工具として用いる場合には被覆層８の厚みが２．０μｍ〜７．０μｍであることが望ましい。
【００２７】
また、本発明の表面被覆部材は上記切削工具に限定されず、耐摩部材、摺動部材といった耐摩耗性、耐欠損性を必要とする部材においても好適に使用可能である。
【００２８】
（製造方法）
次に、上述した工具の製造方法について説明する。
例えば、原料粉末として０．２〜３μｍの範囲内の所定の平均粒径を有するＡｌ２Ｏ３原料粉末、平均粒径０．１〜２μｍのＺｒＯ２粉末等の添加物原料粉末を特定の組成に秤量し粉砕混合する。
【００２９】
そして、上記混合粉末を所定形状に成形する。成形には、プレス成形、射出成形、鋳込み成形、押し出し成形等の周知の成形手段を用いることができる。その後、前記成形体を脱バインダ処理した後、大気中または非酸化性雰囲気、望ましくはアルゴン（Ａｒ）ガス等の非酸化性減圧雰囲気中にて１５００〜１７５０℃で焼成する。所望により、得られたＡｌ２Ｏ３質セラミックスからなる基体６の表面を研削加工し、所望により、切刃部分にチャンファホーニングやＲホーニング加工を施す。そして、加工した基体は、酸溶液やアルカリ溶液を用いて洗浄した後、純水やアルコールで濯いでおくことが望ましい。
【００３０】
次に、基体６の表面に被覆層８を成膜する。Ａｌ２Ｏ３層７の成膜方法として、まず、基体６を化学蒸着装置内にセットし、チャンバ内を水素（Ｈ２）、またはアルゴン（Ａｒ）ガス雰囲気に置換した状態で、９８０〜１０５０℃まで昇温する。このとき、チャンバ内が１０℃以内で均熱となるまで温度を保持する。
【００３１】
それから、上記チャンバ内に、水素（Ｈ２）および塩化水素（ＨＣｌ）ガスを３〜１０分間流す。それから、チャンバ内の水素（Ｈ２）および塩化水素（ＨＣｌ）ガスを水素（Ｈ２）および三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスに代える。この工程によって、基体６の表面に均一で微細な第１Ａｌ２Ｏ３層７ａの核が形成される。
【００３２】
次に、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを１．５〜３．０体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを１．５〜３．０体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを３．０〜５．０体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０.３〜０．５体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を９５０〜１００５℃、圧力を１８〜３０ｋＰａとして、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａを成膜する。
【００３３】
その後、三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスを１．５〜３．０体積％、塩化水素（ＨＣｌ）ガスを０．２〜０．８体積％、二酸化炭素（ＣＯ２）ガスを５．０〜６．５体積％、硫化水素（Ｈ２Ｓ）ガスを０.０５〜０．１５体積％、残りが水素（Ｈ２）ガスからなる混合ガスを用い、成膜温度を１０１０〜１０５０℃、特に１０３０〜１０５０℃、特に圧力を８〜１２ｋＰａの条件、すなわち、第１Ａｌ２Ｏ３層７ａに比べて、成膜温度が高くかつ圧力が低い条件下で、かつ三塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ３）ガスおよび水素（Ｈ２）ガス以外の割合（体積％）が小さい条件として、第２Ａｌ２Ｏ３層７ｂを成膜する。
【実施例】
【００３４】
平均粒０．５μｍのＡｌ２Ｏ３粉末、平均粒径１．０μｍのＺｒＯ２粉末、ＭｇＯ粉末、ＳｉＣ粉末、ＴｉＣＮ粉末、ＴｉＣ粉末およびＣｏ粉末を用いて表１のように調合し、この粉体を、Ａｌ２Ｏ３製ボールを用いたボールミルで７２時間混合した。
【００３５】
次に混合した粉体を圧力９８ＭＰａでＪＩＳ・ＣＮＧＡ１２０４０８のスローアウェイチップ形状にプレス成形した。この成形体を脱バインダ処理した後、アルゴン（Ａｒ）ガス０．０４ＭＰａの非酸化性雰囲気中、１６５０℃で焼成してＡｌ２Ｏ３質セラミックスを得た。このＡｌ２Ｏ３質セラミックス基体の両主面を研削加工するとともに、基体の切刃部分に対してダイヤモンドホイールを用いて刃先処理を施して、切刃に０．２ｍｍ×２０°のチャンファホーニングを形成した。
【００３６】
このようにして作製した基体に対して、酸溶液およびアルカリ溶液にて洗浄し、純水およびアルコールにて濯いだ後、化学蒸着（ＣＶＤ）法により被覆層の成膜を行った。具体的な成膜方法は、表２に示す前処理条件で前処理した後、表３に示す成膜温度で表４の構成の被覆層を成膜した。なお、Ａｌ２Ｏ３層を２層成膜する場合には、基体側に成膜されるＡｌ２Ｏ３層を第１Ａｌ２Ｏ３層の成膜条件で成膜し、上層に成膜されるＡｌ２Ｏ３層を第２Ａｌ２Ｏ３層の成膜条件で成膜した。また、各層の成膜においては、表３の成膜条件で第１Ａｌ２Ｏ３層および第２Ａｌ２Ｏ３層を成膜し、ＴｉＣｌ４：２．１体積％，Ｎ２：２２体積％，ＣＨ３ＣＮ：０．６体積％，Ｈ２：残の混合ガスを用いて、成膜温度８６０℃、ガス圧９ｋＰａでＴｉＣＮ層を、ＴｉＣｌ４：２体積％，Ｎ２：３２体積％、Ｈ２：残の混合ガスを用いて、成膜温度９００℃、ガス圧２０ｋＰａでＴｉＮ層をそれぞれ成膜した。
【００３７】
【表１】
【００３８】
【表２】
【００３９】
【表３】
【００４０】
得られたスローアウェイチップについて、被覆層の表面からＸ線回折測定を行い、Ａｌ２Ｏ３層の結晶構造および回折ピークを同定して、（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度から組織化係数Ｔｃ（１１６）を算出した。また、被覆層の表面および断面について走査型電子顕微鏡で観察して、Ａｌ２Ｏ３層を断面および表面から見たときのＡｌ２Ｏ３粒子の平均粒径および被覆層の厚みを算出した。なお、Ａｌ２Ｏ３層の上面に他の被覆層を成膜して積層構成とした被覆層について１層目のＡｌ２Ｏ３層の平均粒径を測定する際には、上層を研磨除去した研磨面についてＥＢＳＤ（EBS Diffraction）法による結晶方位測定により各粒子のカラーマッピングを撮り、各粒子の面積を見積もって画像解析法から結晶を円に仮定した時の平均粒径を算出した。結果は表４に示した。
【００４１】
【表４】
【００４２】
次に、このスローアウェイチップを用いて以下の切削条件にて切削試験を行った。結果は表５に示した。
切削方法：外周加工
被削材 ：ＳＫＤ１１
切削速度：１２０ｍ／分
送り ：０．５ｍｍ／ｒｅｖ
切り込み：０．５ｍｍ
切削状態：乾式
評価方法：フランク摩耗が０．３ｍｍ以上となる時間とそのときの切刃の状態
【００４３】
【表５】
【００４４】
表１〜５に示される結果から、Ａｌ２Ｏ３層を１層しか成膜しない試料Ｎｏ．６、７は耐摩耗性が悪い結果となった。また、第１Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径が第２Ａｌ２Ｏ３層の平均粒径よりも大きい試料Ｎｏ．８では、切削中にフレーキングが発生して工具寿命は短かった。
【００４５】
これに対し、硬質層の構成が本発明の範囲内の試料Ｎｏ．１〜５では、優れた耐摩耗性を発揮するとともに耐欠損性も良好であり、その結果、工具寿命が長いものであった。
【符号の説明】
【００４６】
１ 切削工具
２ すくい面
３ 逃げ面
４ 切刃
６ 基体
７ Ａｌ２Ｏ３層
７ａ 第１Ａｌ２Ｏ３層
７ｂ 第２Ａｌ２Ｏ３層
８ 被覆層
９ 他の被覆層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａｌ２Ｏ３質基体の表面に被覆層が被着形成され、前記被覆層のうちの前記基体の表面には、基体側の第１Ａｌ２Ｏ３層と上層の第２Ａｌ２Ｏ３層との２層のＡｌ２Ｏ３層が順に形成されており、前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅よりも小さい構成である表面被覆部材。
【請求項２】
前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．１〜１．０μｍである請求項１記載の表面被覆部材。
【請求項３】
前記第１Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍである請求項１または２記載の表面被覆部材。
【請求項４】
前記被覆層の表面からＸ線回折分析をしたとき、前記Ａｌ２Ｏ３層がα型結晶構造で、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強である請求項１乃至３のいずれか記載の表面被覆部材。
【請求項５】
下記式で表される組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８である請求項４記載の表面被覆部材。
Ｔｃ（１１６）＝{Ｉ（１１６）／Ｉ０（１１６）}／{（１／６）Σ〔Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ
０（ｈｋｌ）〕}
ただし、
（ｈｋｌ）面：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）および（１１６）面
Ｉ（ｈｋｌ） ：（ｈｋｌ）面に帰属されるＸ線回折ピークのピーク強度の測定値
Ｉ０（ｈｋｌ）：ＪＣＰＤＳカード番号１０−１７３の（ｈｋｌ）面における標準Ｘ線回折ピーク強度
Σ［Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ０（ｈｋｌ）］：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）、（１１６）面における［Ｘ線回折ピーク強度測定値／標準Ｘ線回折ピーク強度］の値の合計。
【請求項６】
前記Ａｌ２Ｏ３質基体にＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれている請求項１乃至５のいずれか記載の表面被覆部材。
【請求項１】
Ａｌ２Ｏ３質基体の表面に被覆層が被着形成され、前記被覆層のうちの前記基体の表面には、基体側の第１Ａｌ２Ｏ３層と上層の第２Ａｌ２Ｏ３層との２層のＡｌ２Ｏ３層が順に形成されており、前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅が、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶を前記基体の表面に対して平行な方向から見たときの平均結晶幅よりも小さい構成である表面被覆部材。
【請求項２】
前記第１Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．０５〜０．６μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層を構成するＡｌ２Ｏ３結晶の前記平均結晶幅が０．１〜１．０μｍである請求項１記載の表面被覆部材。
【請求項３】
前記第１Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍであり、前記第２Ａｌ２Ｏ３層の厚みが１〜５μｍである請求項１または２記載の表面被覆部材。
【請求項４】
前記被覆層の表面からＸ線回折分析をしたとき、前記Ａｌ２Ｏ３層がα型結晶構造で、かつＡｌ２Ｏ３結晶のピークは、回折角（１１６）面に帰属されるピークのピーク強度が最強である請求項１乃至３のいずれか記載の表面被覆部材。
【請求項５】
下記式で表される組織化係数Ｔｃ（１１６）が１．５〜１．８である請求項４記載の表面被覆部材。
Ｔｃ（１１６）＝{Ｉ（１１６）／Ｉ０（１１６）}／{（１／６）Σ〔Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ
０（ｈｋｌ）〕}
ただし、
（ｈｋｌ）面：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）および（１１６）面
Ｉ（ｈｋｌ） ：（ｈｋｌ）面に帰属されるＸ線回折ピークのピーク強度の測定値
Ｉ０（ｈｋｌ）：ＪＣＰＤＳカード番号１０−１７３の（ｈｋｌ）面における標準Ｘ線回折ピーク強度
Σ［Ｉ（ｈｋｌ）／Ｉ０（ｈｋｌ）］：（０１２）、（１０４）、（１１０）、（１１３）、（０２４）、（１１６）面における［Ｘ線回折ピーク強度測定値／標準Ｘ線回折ピーク強度］の値の合計。
【請求項６】
前記Ａｌ２Ｏ３質基体にＺｒＯ２が１０〜３０質量％の割合で含まれている請求項１乃至５のいずれか記載の表面被覆部材。
【図１】
【図２】
【図２】
【公開番号】特開２０１１−９３００３（Ｐ２０１１−９３００３Ａ）
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２４６０４０（Ｐ２００９−２４６０４０）
【出願日】平成２１年１０月２７日（２００９．１０．２７）
【出願人】（０００００６６３３）京セラ株式会社 (13,660)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１０月２７日（２００９．１０．２７）
【出願人】（０００００６６３３）京セラ株式会社 (13,660)
【Ｆターム（参考）】
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