ＭＥＭＳチップ用吸着コレット
【課題】表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる吸着コレットを提供する。
【解決手段】吸着コレット１は、ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップ１０をピックアップするものであり、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０の周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔２０１と、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０を吸着コレット１側へ突き上げる突き上げ針が通過する貫通孔２０２と、を備える。また、貫通孔２０２とＭＥＭＳチップ１０の表面部における振動膜部１０２以外の領域とが対向している。
【解決手段】吸着コレット１は、ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップ１０をピックアップするものであり、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０の周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔２０１と、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０を吸着コレット１側へ突き上げる突き上げ針が通過する貫通孔２０２と、を備える。また、貫通孔２０２とＭＥＭＳチップ１０の表面部における振動膜部１０２以外の領域とが対向している。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳチップについて、ウェハーよりチップを取り出す工法に採用される吸着用コレット、及び、ダイシングテープからチップを剥離させるピックアップの工法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウェハーダイシングされたＩＣなどの半導体デバイス（チップ）のピックアップ工法では、通常はチップ中心位置にて表面吸着や裏面突き上げが行われている。
【０００３】
従来のピックアップ方法の一例として、粘着シートに、その一面を接着面として貼付けられた電子部品（チップ）を剥離するためのピックアップ方法であって、粘着シート側より接着面上の電子部品を押圧することで、この粘着シートを拡張させる第一の工程と、粘着シート側より接着面上の電子部品の端部を押圧することで、この電子部品を粘着シートより剥離する第二の工程とを備える情報が知られている。当該第二の工程においては、接着面上の電子部品の両端部を交互に押圧することで電子部品を粘着シートより剥離することや、また、接着面上の電子部品の一端を押圧して押し上げた後、そのまま他端へ水平移動させることが行われる（例えば、特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２１０９２２号公報
【特許文献２】特開２００８−２１０９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、表面吸着によりチップをピックアップする際には、表面中心部が薄い膜の振動膜により形成されるＭＥＭＳチップでは、直接吸着できず、且つ裏面部もチップの外周部以外は中空構造により突き上げができず、独自のピックアップ工法が求められていた。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる吸着コレット及びピックアップ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の吸着コレットは、ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップをピックアップする吸着コレットであって、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔と、前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップを当該吸着コレット側へ突き上げる突き上げ針が通過する貫通孔と、を備え、前記貫通孔と前記ＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域とが対向する。
【０００８】
この構成により、表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる。ピックアップ時には、振動膜部に触れることないため、振動膜部が破損することを回避できる。
【０００９】
また、本発明の吸着コレットは、前記貫通孔が、菱形形状の前記ＭＥＭＳチップの前記振動膜部以外の領域である鋭角部と対向し、ＭＥＭＳチップと対向する表面から突出した三角形状の先端部に形成される。
【００１０】
この構成により、菱形形状のＭＥＭＳチップの鋭角部に形成される突き上げ針による突き上げ領域の形状と対応する形状で貫通孔が形成される。したがって、エアーが当該突き上げ領域の周辺に極力漏れないようにすることが可能である。
【００１１】
また、本発明のピックアップ方法は、ウェハーダイシングされた菱形構造のＭＥＭＳチップをピックアップするピックアップ方法であって、吸着コレットにより、ピックアップ対象の前記ＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する吸着工程と、突き上げ針により、前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域を突き上げる突き上げ工程と、を有する。
【００１２】
この方法により、表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる。ピックアップ時には、振動膜部に触れることがないため、振動膜部が破損することを回避できる。
【００１３】
また、本発明のピックアップ方法は、前記吸着工程と前記突き上げ工程とを同期させる。
【００１４】
この方法により、吸着コレットによる吸着動作と突き上げ針による突き上げ動作とを同時に行うことができ、効率よくダイシングテープより剥離させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明により、ウェハーマウントされたダイシングテープからの菱形ＭＥＭＳチップのピックアップが可能になる。更に、量産への連続稼動に向けた設備パラメータの検討構築により、ＭＥＭＳチップのピックアップによってプリント基板へダイレクトにボンディングすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップ用コレットの示す外観図
【図２】本発明の実施形態１における菱型ＭＥＭＳチップのコレット接触部を示す図
【図３】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップ用コレットの先端部を示す図
【図４】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップ用コレットの先端部の拡大図
【図５】本発明の実施形態における吸着筒の外観図
【図６】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップの裏面突き上げ箇所を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
本発明の実施形態では、ＭＥＭＳチップの一例として、マイクロホン用のＭＥＭＳチップを想定している。マイクロホン用のＭＥＭＳチップは振動膜を有しており、この振動膜は、非常に脆く、吸着はおろか触れることも一切できないことから、その部位を避けた菱形形状のコーナー２箇所に吸着エリアのポイントを設定し、吸着面積と吸着流量からコレット形状を決定する。裏面の台座についても菱形形状のコーナー部の２箇所を使い、その中心位置に突き上げポイントを決定した。なお、菱形形状とすることは一例であり、この形状に限られない。
【００１９】
図１は菱形ＭＥＭＳチップを吸着するための吸着コレットの全体構造図である。図１に示す吸着コレット１は、吸着動作を行う吸着筒２、吸着筒２、着脱可能なボールプランジャ３、吸着筒２及びボールプランジャ３を支持するフランジ３、を有して構成される。吸着コレット１の材質としては、ピックアップ下降衝撃並びに繰り返し耐久性が要求されることから、超鋼材が選定される。吸着コレット１の吸着筒２は、先端部１０１を有しており、先端部１０１は、図２に示すＭＥＭＳチップ１０の振動膜部１０２と対向する領域を避けて形成されている。
【００２０】
吸着コレット１は、図１及び図５に示すように、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０の周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔２０１と、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０を吸着コレット１側へ突き上げる突き上げ針２０が通過する貫通孔２０２と、を備え、貫通孔２０２とＭＥＭＳチップ１０の表面部における振動膜部１０２以外の領域とが対向することを特徴としている。
【００２１】
図２にＭＥＭＳチップ１０は、エレクトレット化された薄い膜の振動板（振動膜部）１０２とベースのシリコンの構造体である。菱形ＭＥＭＳチップ１０により構成されるＭＥＭＳマイク表面部は、振動膜部１０２が大半の面積を占め、その薄膜構造から外部衝撃や応力に対して極めて弱い構造であり、且つシリコンの台座部分については一般的な正方形とは異なり、構造上２角は鋭角な構造になることから、ＵＶシートとの密着面積が正方形チップよりも大きく、従来の方法ではＵＶシートとの剥離条件が悪い構造となっている。
【００２２】
図３は吸着コレット１の先端部１０１を図１のα方向から見た拡大図であり、菱形ＭＥＭＳチップ１０のコーナー２箇所の鋭角に対応する△（三角）形状で、ＭＥＭＳチップ１０の吸着スペース部１０３に合わせた形状となっている。
【００２３】
図４は吸着コレット１の吸着先端部１０１の拡大図である。符号１０５は、吸着コレット１の先端吸着部１０１の中心に設けられたチップ吸着孔であり、孔径はチップ重量に対するエアーの必要吸着流量との計算結果に基づき、決定される。
【００２４】
次に、菱形ＭＥＭＳチップ１０上面からのコレット吸着動作、及び、当該吸着動作に連動するＭＥＭＳチップ１０裏面側におけるダイシングテープからの突き上げ工法について説明する。図５は吸着コレット１の吸着筒２（菱型ＭＥＭＳチップウェハー用の吸着筒）を図１のα方向から見た外観図である。
【００２５】
ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップ１０のピックアップ時には、ピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０以外の周囲の他のＭＥＭＳチップにおいてピックアップの連続動作時に浮きが発生してしまう為、ダイシングテープ裏面部（図６参照）より吸着筒２にてピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０を含む周囲をエアーにて吸着固定させる。そのために、図１のα方向から見た場合の吸着筒２の表面には、無数の吸着孔２０１が形成されている。
【００２６】
なお、吸着孔は、φ０．５ｍｍ程度である。また、吸着筒２はφ２２ｍｍ程度である。また、図５における隣合う吸着孔２０１同士のピッチは１．０ｍｍ程度である。
【００２７】
また、ピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０のみダイシングテープより剥離させるために突き上げ針２０が吸着コレット１とは別途必要となる。そして、この吸着孔２０１の中には、突き上げ針２０が上下運動することが可能な２箇所の貫通孔２０２が形成されている。この貫通孔２０２は、菱形形状の前記ＭＥＭＳチップの前記振動膜部以外の領域である鋭角部と対向しており、ＭＥＭＳチップ１０と対向する表面から突出した△形状の先端部１０１（図３参照）に形成される。なお、２つの貫通孔２０２のピッチは２．８９ｍｍ程度である。
【００２８】
貫通孔２０２は、図６のＭＥＭＳチップ１０の目標突き上げ位置である符号２０３の位置と対向するように合わせている。これらの仕様により、ピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０の周辺のＭＥＭＳチップをエアーで吸着固定しつつ、目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０のみ針によって突き上げることができ、ダイシングテープより剥離させることができる。
【００２９】
以上、コレット吸着動作及び突き上げ工法によって、吸着コレット１による吸着動作とダイシングテープからの剥離の動作が同期することで、吸着コレット１とＭＥＭＳチップ１０表面の振動膜部１０２とが接触することなく、ＭＥＭＳチップ１０をピックアップすることが可能となる。なお、同期することには、吸着動作を先に開始し、吸着動作しながら突き上げを行うことを含む。したがって、異形の形状である菱形ＭＥＭＳチップ１０について、チップにダメージを与えずにピックアップすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明は、異形形状や一部に脆弱部の構造をもつウェハーチップについて、チップ表面吸着と裏面突き上げに活用できるスペースを見い出し、専用コレットの設計開発と台座の形状から最良の突き上げ方式の双方を両立化することで、ピックアップ工法の応用が図れると期待できる。
【符号の説明】
【００３１】
１ 吸着コレット
２ 吸着筒
３ ボールプランジャ
４ フランジ
１０ ＭＥＭＳチップ
２０ 突き上げ針
１０１ 菱形ＭＥＭＳコレットの先端部
１０２ ダイシングされた菱形ＭＥＭＳチップと振動膜構造
１０３ 菱形ＭＥＭＳチップのピックアップ吸着面積部
１０４ 菱形ＭＥＭＳコレットの先端吸着部の拡大部
１０５ 菱形ＭＥＭＳコレットの先端部吸着孔
２０１ 菱形ＭＥＭＳチップウェハー吸着筒の吸着孔
２０２ 菱形ＭＥＭＳチップ突き上げ針の貫通孔
２０３ 菱形ＭＥＭＳ裏面部チップ突き上げ針当て位置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＥＭＳチップについて、ウェハーよりチップを取り出す工法に採用される吸着用コレット、及び、ダイシングテープからチップを剥離させるピックアップの工法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウェハーダイシングされたＩＣなどの半導体デバイス（チップ）のピックアップ工法では、通常はチップ中心位置にて表面吸着や裏面突き上げが行われている。
【０００３】
従来のピックアップ方法の一例として、粘着シートに、その一面を接着面として貼付けられた電子部品（チップ）を剥離するためのピックアップ方法であって、粘着シート側より接着面上の電子部品を押圧することで、この粘着シートを拡張させる第一の工程と、粘着シート側より接着面上の電子部品の端部を押圧することで、この電子部品を粘着シートより剥離する第二の工程とを備える情報が知られている。当該第二の工程においては、接着面上の電子部品の両端部を交互に押圧することで電子部品を粘着シートより剥離することや、また、接着面上の電子部品の一端を押圧して押し上げた後、そのまま他端へ水平移動させることが行われる（例えば、特許文献１及び２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２１０９２２号公報
【特許文献２】特開２００８−２１０９２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、表面吸着によりチップをピックアップする際には、表面中心部が薄い膜の振動膜により形成されるＭＥＭＳチップでは、直接吸着できず、且つ裏面部もチップの外周部以外は中空構造により突き上げができず、独自のピックアップ工法が求められていた。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる吸着コレット及びピックアップ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の吸着コレットは、ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップをピックアップする吸着コレットであって、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔と、前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップを当該吸着コレット側へ突き上げる突き上げ針が通過する貫通孔と、を備え、前記貫通孔と前記ＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域とが対向する。
【０００８】
この構成により、表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる。ピックアップ時には、振動膜部に触れることないため、振動膜部が破損することを回避できる。
【０００９】
また、本発明の吸着コレットは、前記貫通孔が、菱形形状の前記ＭＥＭＳチップの前記振動膜部以外の領域である鋭角部と対向し、ＭＥＭＳチップと対向する表面から突出した三角形状の先端部に形成される。
【００１０】
この構成により、菱形形状のＭＥＭＳチップの鋭角部に形成される突き上げ針による突き上げ領域の形状と対応する形状で貫通孔が形成される。したがって、エアーが当該突き上げ領域の周辺に極力漏れないようにすることが可能である。
【００１１】
また、本発明のピックアップ方法は、ウェハーダイシングされた菱形構造のＭＥＭＳチップをピックアップするピックアップ方法であって、吸着コレットにより、ピックアップ対象の前記ＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する吸着工程と、突き上げ針により、前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域を突き上げる突き上げ工程と、を有する。
【００１２】
この方法により、表面中心部に薄い膜の振動膜を有するチップをピックアップすることができる。ピックアップ時には、振動膜部に触れることがないため、振動膜部が破損することを回避できる。
【００１３】
また、本発明のピックアップ方法は、前記吸着工程と前記突き上げ工程とを同期させる。
【００１４】
この方法により、吸着コレットによる吸着動作と突き上げ針による突き上げ動作とを同時に行うことができ、効率よくダイシングテープより剥離させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明により、ウェハーマウントされたダイシングテープからの菱形ＭＥＭＳチップのピックアップが可能になる。更に、量産への連続稼動に向けた設備パラメータの検討構築により、ＭＥＭＳチップのピックアップによってプリント基板へダイレクトにボンディングすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップ用コレットの示す外観図
【図２】本発明の実施形態１における菱型ＭＥＭＳチップのコレット接触部を示す図
【図３】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップ用コレットの先端部を示す図
【図４】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップ用コレットの先端部の拡大図
【図５】本発明の実施形態における吸着筒の外観図
【図６】本発明の実施形態における菱型ＭＥＭＳチップの裏面突き上げ箇所を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１８】
本発明の実施形態では、ＭＥＭＳチップの一例として、マイクロホン用のＭＥＭＳチップを想定している。マイクロホン用のＭＥＭＳチップは振動膜を有しており、この振動膜は、非常に脆く、吸着はおろか触れることも一切できないことから、その部位を避けた菱形形状のコーナー２箇所に吸着エリアのポイントを設定し、吸着面積と吸着流量からコレット形状を決定する。裏面の台座についても菱形形状のコーナー部の２箇所を使い、その中心位置に突き上げポイントを決定した。なお、菱形形状とすることは一例であり、この形状に限られない。
【００１９】
図１は菱形ＭＥＭＳチップを吸着するための吸着コレットの全体構造図である。図１に示す吸着コレット１は、吸着動作を行う吸着筒２、吸着筒２、着脱可能なボールプランジャ３、吸着筒２及びボールプランジャ３を支持するフランジ３、を有して構成される。吸着コレット１の材質としては、ピックアップ下降衝撃並びに繰り返し耐久性が要求されることから、超鋼材が選定される。吸着コレット１の吸着筒２は、先端部１０１を有しており、先端部１０１は、図２に示すＭＥＭＳチップ１０の振動膜部１０２と対向する領域を避けて形成されている。
【００２０】
吸着コレット１は、図１及び図５に示すように、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０の周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔２０１と、ピックアップ対象のＭＥＭＳチップ１０を吸着コレット１側へ突き上げる突き上げ針２０が通過する貫通孔２０２と、を備え、貫通孔２０２とＭＥＭＳチップ１０の表面部における振動膜部１０２以外の領域とが対向することを特徴としている。
【００２１】
図２にＭＥＭＳチップ１０は、エレクトレット化された薄い膜の振動板（振動膜部）１０２とベースのシリコンの構造体である。菱形ＭＥＭＳチップ１０により構成されるＭＥＭＳマイク表面部は、振動膜部１０２が大半の面積を占め、その薄膜構造から外部衝撃や応力に対して極めて弱い構造であり、且つシリコンの台座部分については一般的な正方形とは異なり、構造上２角は鋭角な構造になることから、ＵＶシートとの密着面積が正方形チップよりも大きく、従来の方法ではＵＶシートとの剥離条件が悪い構造となっている。
【００２２】
図３は吸着コレット１の先端部１０１を図１のα方向から見た拡大図であり、菱形ＭＥＭＳチップ１０のコーナー２箇所の鋭角に対応する△（三角）形状で、ＭＥＭＳチップ１０の吸着スペース部１０３に合わせた形状となっている。
【００２３】
図４は吸着コレット１の吸着先端部１０１の拡大図である。符号１０５は、吸着コレット１の先端吸着部１０１の中心に設けられたチップ吸着孔であり、孔径はチップ重量に対するエアーの必要吸着流量との計算結果に基づき、決定される。
【００２４】
次に、菱形ＭＥＭＳチップ１０上面からのコレット吸着動作、及び、当該吸着動作に連動するＭＥＭＳチップ１０裏面側におけるダイシングテープからの突き上げ工法について説明する。図５は吸着コレット１の吸着筒２（菱型ＭＥＭＳチップウェハー用の吸着筒）を図１のα方向から見た外観図である。
【００２５】
ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップ１０のピックアップ時には、ピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０以外の周囲の他のＭＥＭＳチップにおいてピックアップの連続動作時に浮きが発生してしまう為、ダイシングテープ裏面部（図６参照）より吸着筒２にてピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０を含む周囲をエアーにて吸着固定させる。そのために、図１のα方向から見た場合の吸着筒２の表面には、無数の吸着孔２０１が形成されている。
【００２６】
なお、吸着孔は、φ０．５ｍｍ程度である。また、吸着筒２はφ２２ｍｍ程度である。また、図５における隣合う吸着孔２０１同士のピッチは１．０ｍｍ程度である。
【００２７】
また、ピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０のみダイシングテープより剥離させるために突き上げ針２０が吸着コレット１とは別途必要となる。そして、この吸着孔２０１の中には、突き上げ針２０が上下運動することが可能な２箇所の貫通孔２０２が形成されている。この貫通孔２０２は、菱形形状の前記ＭＥＭＳチップの前記振動膜部以外の領域である鋭角部と対向しており、ＭＥＭＳチップ１０と対向する表面から突出した△形状の先端部１０１（図３参照）に形成される。なお、２つの貫通孔２０２のピッチは２．８９ｍｍ程度である。
【００２８】
貫通孔２０２は、図６のＭＥＭＳチップ１０の目標突き上げ位置である符号２０３の位置と対向するように合わせている。これらの仕様により、ピックアップの目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０の周辺のＭＥＭＳチップをエアーで吸着固定しつつ、目標対象物となるＭＥＭＳチップ１０のみ針によって突き上げることができ、ダイシングテープより剥離させることができる。
【００２９】
以上、コレット吸着動作及び突き上げ工法によって、吸着コレット１による吸着動作とダイシングテープからの剥離の動作が同期することで、吸着コレット１とＭＥＭＳチップ１０表面の振動膜部１０２とが接触することなく、ＭＥＭＳチップ１０をピックアップすることが可能となる。なお、同期することには、吸着動作を先に開始し、吸着動作しながら突き上げを行うことを含む。したがって、異形の形状である菱形ＭＥＭＳチップ１０について、チップにダメージを与えずにピックアップすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明は、異形形状や一部に脆弱部の構造をもつウェハーチップについて、チップ表面吸着と裏面突き上げに活用できるスペースを見い出し、専用コレットの設計開発と台座の形状から最良の突き上げ方式の双方を両立化することで、ピックアップ工法の応用が図れると期待できる。
【符号の説明】
【００３１】
１ 吸着コレット
２ 吸着筒
３ ボールプランジャ
４ フランジ
１０ ＭＥＭＳチップ
２０ 突き上げ針
１０１ 菱形ＭＥＭＳコレットの先端部
１０２ ダイシングされた菱形ＭＥＭＳチップと振動膜構造
１０３ 菱形ＭＥＭＳチップのピックアップ吸着面積部
１０４ 菱形ＭＥＭＳコレットの先端吸着部の拡大部
１０５ 菱形ＭＥＭＳコレットの先端部吸着孔
２０１ 菱形ＭＥＭＳチップウェハー吸着筒の吸着孔
２０２ 菱形ＭＥＭＳチップ突き上げ針の貫通孔
２０３ 菱形ＭＥＭＳ裏面部チップ突き上げ針当て位置
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップをピックアップする吸着コレットであって、
ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔と、
前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップを当該吸着コレット側へ突き上げる突き上げ針が通過する貫通孔と、
を備え、
前記貫通孔と前記ＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域とが対向する
吸着コレット。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着コレットであって、
前記貫通孔は、菱形形状の前記ＭＥＭＳチップの前記振動膜部以外の領域である鋭角部と対向し、前記菱形形状のＭＥＭＳチップと対向する表面から突出した三角形状の先端部に形成される
吸着コレット。
【請求項３】
ウェハーダイシングされた菱形構造のＭＥＭＳチップをピックアップするピックアップ方法であって、
吸着コレットにより、ピックアップ対象の前記ＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する吸着工程と、
突き上げ針により、前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域を突き上げる突き上げ工程と、
を有するピックアップ方法。
【請求項４】
請求項３に記載のピックアップ方法であって、
前記吸着工程と前記突き上げ工程とを同期させる
ピックアップ方法。
【請求項１】
ウェハーダイシングされたＭＥＭＳチップをピックアップする吸着コレットであって、
ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する際にエアーが通過する吸着孔と、
前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップを当該吸着コレット側へ突き上げる突き上げ針が通過する貫通孔と、
を備え、
前記貫通孔と前記ＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域とが対向する
吸着コレット。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着コレットであって、
前記貫通孔は、菱形形状の前記ＭＥＭＳチップの前記振動膜部以外の領域である鋭角部と対向し、前記菱形形状のＭＥＭＳチップと対向する表面から突出した三角形状の先端部に形成される
吸着コレット。
【請求項３】
ウェハーダイシングされた菱形構造のＭＥＭＳチップをピックアップするピックアップ方法であって、
吸着コレットにより、ピックアップ対象の前記ＭＥＭＳチップの周辺を吸着固定する吸着工程と、
突き上げ針により、前記ピックアップ対象のＭＥＭＳチップの表面部における振動膜部以外の領域を突き上げる突き上げ工程と、
を有するピックアップ方法。
【請求項４】
請求項３に記載のピックアップ方法であって、
前記吸着工程と前記突き上げ工程とを同期させる
ピックアップ方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１０−２５８０２７（Ｐ２０１０−２５８０２７Ａ）
【公開日】平成２２年１１月１１日（２０１０．１１．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１０２９９０（Ｐ２００９−１０２９９０）
【出願日】平成２１年４月２１日（２００９．４．２１）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月１１日（２０１０．１１．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年４月２１日（２００９．４．２１）
【出願人】（０００００５８２１）パナソニック株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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