【課題】 有害成分を含む排ガスを処理しないときの消費電力を小さくすることができるようにした排ガスの除害装置及びその除害方法、電子デバイスの製造システムを提供する。
【解決手段】 半導体処理装置から排出された排ガスを反応筒５１内に導入して当該排ガス中に含まれるＣＦ_４等の有害成分を無害化する除害装置であって、反応筒５１内を加熱するハロゲンランプ５２を有する。反応筒５１内の温度を常時高温に維持する必要がなく、有害成分を含む排ガスを処理しないときの除害装置５０の消費電力を小さくすることができる。除害処理コストを低減することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 高さ精度を確保でき、また微細径の柱状体が得られる液滴塗布方法を提供する。
【解決手段】 液滴Ｌを吐出して基板Ｐに塗布する。吐出した液滴Ｌ１に光エネルギを付与する工程と、光エネルギを付与した液滴Ｌ１上に次の液滴Ｌ２を積み重ねて塗布する工程とを繰り返して行う。 （もっと読む）

【課題】 ガイドリングを無駄に捨てることなくほぼ使用限界まで使用できる、ＣＭＰ装置、ＣＭＰ研磨方法、及び、半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＣＭＰ装置１１は、半導体ウエハ４４を吸着して保持するトップリング４６と、半導体ウエハ４４の側面をガイドするリテーナリング４５と、半導体ウエハ４４を研磨する研磨パッド４１と、ＣＣＤカメラ４２とを有する。半導体ウエハ４４を研磨処理するとき、半導体ウエハ４４とともに、半導体ウエハ４４をガイドしているリテーナリング４５の研磨を行う。リテーナリング４５には、半導体ウエハ４４を研磨したときに発生する研磨粉を排出する溝が設けられている。溝は、ＣＣＤカメラ４２によって溝の画像が取り込まれ、この画像を画像処理部で処理することにより深さが求められる。この深さを随時確認することで、リテーナリング４５の使用限界管理をする。 （もっと読む）

【課題】 利用性が高く、しかも安価で容易に製造が可能な、電気配線が内蔵された液体容器および、液体容器を搭載した液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】 インクパックを構成するフィルム６０の金属層６１の一部として電気配線４５を形成し、センサＩＣ４６を剥離転写技術を利用して実装する。センサＩＣ４６は、フィルム６０の表面層５２を突き破って電気配線４５に接触した中間部材５５、導電性接着剤６５を介して、電気配線４５と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 液体パック内に液体が残らず、また密閉構造を必要としない液体容器、および液体残量をチェックできる液体容器を提供する。
【解決手段】 第２の軸支部８２を支点としてリンク部材７５が回動すると、第１の軸支部８１はインクパック７１をつぶす方向に移動する。そして、第１の軸支部８１によって回動可能に軸支された押し板７３は、可撓性素材により形成されたインクパック７１に当接しながらインクパック全体を均等に押しつぶす。これによって、インクはインクパック７１に残ることなく記録ヘッド側に供給される。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットプリンタのインクカートリッジのインク貯留部に収容されているインクは、圧力弁の開閉動作により消費されることを利用して、圧力弁の開閉動作の回数を計数して、その計数値からインクの消費量を推測していたが、大気圧が変化することで、インク貯留部内のインクの圧力と大気圧との関係が変化することから、圧力弁の開閉動作によるインクの移送量は変動するため、インクの消費量を正確に把握できなかった。
【解決手段】 液体収容容器は、液体を内部に貯留するインクパック２４と、接続した外部に前記液体を供給するインク供給部材５０と、インクパック２４およびインク供給部材５０に連通して、周期的な動作の回数に応じて、所定量のインクパック２４の液体をインク供給部材５０に移送する液体移送部２００と、前記回数を計数するポンプ動作検出部２２０と、前記計数した数値に関する情報を記憶する情報記憶部５３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 使用済みの液体カートリッジの液滴吐出ヘッドの使用履歴の情報に基づき再利用の可否を判断でき、再利用の可否に基づき在庫の管理ができ、さらに使用者が使用済みインクカートリッジを返却することにより価格の還元を得られる、液体カートリッジ、液滴吐出装置、液体カートリッジ読込装置、液体カートリッジ管理システム及び管理方法を提供することにある。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド２３と記憶部２１を備えた液体カートリッジ３で、液滴吐出装置１は記憶部２１に吐出異常検出回数と吐出異常状況の使用履歴データを書き込み、液体カートリッジ読込装置４０は液体カートリッジ３の記憶部２１から使用履歴データを読み込み、再生可能か判定し、再販売価格を生成する。管理コンピュータ６０は複数の液体カートリッジ読込装置４０をネットワーク６１を介して接続し、履歴データを収集し、生産管理する。 （もっと読む）

【課題】液体が消費され尽くしたことを正確に検出することができる液体容器および液体残量検出方法を提供する。
【解決手段】液体消費装置５に供給される液体を貯留する袋状のメインパック１１と、上記メインパック１１から液体消費装置５に供給される液体が途中で一時的に保持されて上記メインパック１１の液体の残量状態を検出する袋状のセンサパック１２とを備えた。これにより、センサパック１２に保持されている液体の量がメインパック１１の液体残量に応じて変化するので、この変化状態がセンサパック１２の形状変化等に現われ、この変化による変位を活用して、例えば、メインパック１１内の液体が消費され尽くしたことを確実に検知することができる。 （もっと読む）

【課題】 小型の、特に薄型の圧力調整弁を備え、液体収容率の高い液体容器、および液体容器を搭載する液体吐出装置を提供すること。
【解決手段】 軟質の弾性部材で扁平形状に形成された基体８０と、硬質の弾性部材で薄板状に形成された作動体７０を重ね合わせて、圧力調整弁４０が構成される。作動体７０は蓋部７１とリード部７２を有し、リード部７２の一端であるリード基部７３は基体上面９２と接合固定される。蓋部７１は、基体８０に穿たれた孔部８１の開口外縁部８４と当接している。リード部７２のバネ力によって発生する付勢力と、蓋部７１の両面に働く液圧差から生じる作動力の関係によって、圧力調整弁としての機能が果たされる。 （もっと読む）

【課題】 ラベル印字装置において、ラベル除去待ち状態で電源がオフされ再び電源がオンされたときの印字ミスを無くす。
【解決手段】 台紙に連続的に貼られているラベルに印字ヘッドで印字し該台紙及び印字済みラベルをラベル剥離機構を通してラベル除去位置まで搬送した際に、次に印字対象となる次ラベルの先頭位置が前記印字ヘッドの位置を通り過ぎているので、当該次ラベルに対する印字時に前記台紙を逆方向に搬送してラベル頭出し位置に制御するラベル印字装置において、前記ラベル印字装置の電源がオフされたときの前記台紙の搬送位置が前記ラベル除去位置にあるか前記ラベル頭出し位置にあるかの情報を書き込む不揮発性メモリと、前記電源がオンされたとき前記不揮発性メモリの書き込み内容（S31）を参照して前記台紙の搬送制御を行う制御手段とを備えるラベル印字装置。 （もっと読む）