【課題】 質量部を支持する弾性変形部を、正規の変形方向へ曲がりやすく、正規の変形方向以外の方向へ変形しにくい構造にして、質量部を安定して駆動できる角速度センサを提供する。
【解決手段】 検出回動部２６の内部に第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄを介して駆動質量部２９ａがＸ方向へ移動自在に支持されており、第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄに設けられた圧電素子によって駆動質量部２９ａがＸ方向へ振動させられる。角速度センサ１が、垂直軸Ｚ回りの角速度を持つと、駆動質量部２９ａにＹ方向のコリオリ力が作用し、検出回動部２６が動作して角速度が検出される。第２の弾性変形部３０ａ，３０ｂ，３０ｃ，３０ｄはＹ方向に平行に延びる梁３３，３４を有しているため、Ｙ方向の力で変形しにくい。よって、駆動質量部２９ａがＸ方向へ安定して支持される。 （もっと読む）

【課題】安定した成膜レートを得ることができ、電気的パスを形成するための事前作業をすることなく安定した放電を得ることができるイオンプレーティング装置を提供すること。
【解決手段】真空チャンバ３と、真空チャンバ３の内部にプラズマビームＰを発生するプラズマガン４と、真空チャンバ３の内部においてプラズマビームＰが照射されるハース５と、成膜用のタブレット２１をハース５から真空チャンバ３の内部に露出するように支持するタブレット支持棒２５とを備え、タブレット支持棒２５は、導電性であり、ハース５は、真空チャンバの内部においてタブレット２１と絶縁され、真空チャンバ３の外部においてハース抵抗１７を介してタブレット支持棒２５と電気的に接続されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 特に、センサ部と第２の基板（支持基板）間の空間構造を改良したＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 第１の基板１と、第２の基板２と、第１の基板１と第２の基板２の間に介在する絶縁層３と、を有する。前記第１の基板１には、可動電極部及び固定電極部を備えて成るセンサ部４と、前記可動電極部及び前記固定電極部の夫々のアンカ部１２，１４，１７，１９が形成されている。前記アンカ部は、第２の基板２の表面に前記絶縁層３を介して固定支持されている。前記センサ部４と対面する前記第２の基板２の表面には凹部５が形成され、前記センサ部４と前記第２の基板２との間に空間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 特に、従来に比べて、簡単な構造にて、センサの薄型化と電気的安定性等とともに質量部の質量を効果的に大きくすることが可能なＭＥＭＳセンサ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】 シリコンで形成され高さ方向にて対向配置された第１の基板１及び第２の基板２を有し、前記第１の基板１には、質量部４及び、前記質量部４と接続されるアンカ部５が形成されており、前記アンカ部５は、前記第２の基板２に固定支持されており、前記質量部４と前記第２の基板２の間には空間６が設けられており、前記質量部４の内部には、前記シリコンよりも比重が大きい金属７が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】回路基板上でより自由度の高いチップ部品の配置を実現することにより、さらに高密度実装化を進展させる。
【解決手段】回路基板１２の実装面上に３つのチップ部品２０，２２，２４を実装する際、２つのチップ部品２０，２２については予め対応する位置にランド部１４，１５，１７，１９を形成し、その上に塗布したクリーム半田Ｓ１，Ｓ２をリフローすることで半田付けすることができる。残るチップ部品２４については、隣接するランド部１５，１７からレジスト膜１８上に跨るようにしてクリーム半田Ｓ２を塗布しておき、その上にチップ部品２４を配置した状態でリフローを行う。これにより、電極２４ａ，２４ｂをそれぞれ隣接する電極２０ａ，２２ｂに半田付けすることができる。 （もっと読む）

【課題】イジェクト機構において付勢手段がスライダから外れにくいカード用コネクタを提供する。
【解決手段】カードを挿入自在な筐体２を有し、筐体２はカードのイジェクト機構を備え、イジェクト機構は、カードの挿入及び排出に伴いスライド移動するスライダ２０と、スライダ２０をカードの排出方向に付勢する付勢手段２１と、カードの位置に応じてスライダ２０を所定位置に保持あるいはスライド自在とするカム機構とを有し、スライダ２０は、カードの排出時にカム機構によりスライド自在とされて、付勢手段２１の付勢により移動すると共に、規制部１５によって移動端部が規定され、スライダ２０は付勢手段２１を係合取付するフック部３０を備え、フック部３０には規制部１５に当接自在な腕部３３が形成される。 （もっと読む）

【課題】 積層体を強固に固定しても変位量および駆動力の低下を抑えることが可能な高分子アクチュエータを提供すること。
【解決手段】 積層体１Ａが固定部材３０を重ねて基台５０との間にネジ止めすることにより、強固に固定されている。リング状の固定部材３０に形成された押え部３１が、積層体１Ａに形成された略三角形状の可撓部２２の支持部側を保持固定することにより、自由端を形成する可撓部２２の第１辺２２ａと第２辺２２ｂに寸法差を生じさせる。積層体１Ａに電界を与えて、可撓部２２に曲げ変形させると、前記の寸法差が可撓部２２の頂点Ａに捩じれを発生させる。各頂点Ａには通常の曲げ応力による駆動力に加えて、捩じれ変形による力の成分が加わるため、可撓部２２の変位量および駆動力の低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】保護層の表面段差を低減でき、印刷品質の向上を図れるサーマルヘッド及びその製造方法を得る。
【解決手段】基板表面の凸形状部上に複数の抵抗層を形成し、この複数の抵抗層の表面を覆う絶縁バリア層を形成してから、該複数の抵抗層の長手方向の一端部と他端部に接続する個別電極と折り返し共通電極を形成する。ここで、個別電極は絶縁バリア層の長手方向の一端部にオーバーレイさせ、折り返し共通電極は絶縁バリア層の長手方向の他端部から該絶縁バリア層にオーバーレイさせ、少なくとも抵抗層の長手方向の中央位置を超えるまで延長形成する。そして、絶縁バリア層と両電極を覆う保護層を形成して表面研磨加工を施し、電極による表面段差を除去する。 （もっと読む）

【課題】正規の信号として受信可能な状態であればノイズ設定数を小さい値にしても、受信失敗を繰り返すことなく１フレーム分のデータを受信でき、待機時消費電力を抑制すること。
【解決手段】車両用通信装置１は、間欠受信タイミングになると起動して送信信号の受信動作を開始し、受信開始時から受信信号に含まれたノイズをカウントし、フレームの始まりを示す起動信号を受信するとノイズカウント値をリセットし、リセット前にノイズカウント値が予め定めた設定値に到達した場合は当該受信動作を中止する。 （もっと読む）

【課題】焼結型磁性シートおよび複合材料型磁性シートの諸条件を的確に設定・開発することにより、焼結型磁性シート単体や複合材料型磁性シート単体では得られない広帯域のノイズ抑制効果を発揮することができる多層型磁性シートを提供する。
【解決手段】多層型磁性シート１には、フェライトシートなどの焼結型磁性シート２と、金属ガラスやセンダストなどの軟磁性金属粉末を混入した複合材料型磁性シート３とが積層される。複合材料型磁性シート３の厚さまたは透磁率の虚数部は、焼結型磁性シート２の厚さまたは透磁率の虚数部に応じて各々設定されている。これにより、多層型磁性シート１は、少なくとも１ＧＨｚから２ＧＨｚまでの周波数帯域を含む広帯域において良好な減衰特性を発揮する。 （もっと読む）