【課題】 処理液を使用する基板処理装置においても、ワイヤレス方式でウエハの温度を測定することが可能な温度測定用ウエハを提供する。
【解決手段】 シリコンウエハから成るベース基板１１の下面に、３個の水晶振動子１ａ、１ｂ、１ｃと、これらの水晶振動子１ａ、１ｂ、１ｃに各々連結するアンテナ２ａ、２ｂ、２ｃとが配設されたプリント基板３と、フッ素樹脂製の薄板２１をこの順に積層した構成を有する。ベース基板１１とフッ素樹脂製の薄板２１とは、その周縁において、例えば摂氏２００度程度の温度で加圧加熱溶着されることにより、液密な構成となっている。 （もっと読む）

【課題】現場伝送技術を適用する温度計測システムの信頼性を向上させることができる温度計測システムを提供する。
【解決手段】複数の熱電対１１ａ〜１１ｄと、熱電対１１ａ〜１１ｄにより生成された熱起電力を伝送信号に変換して出力するＡ／Ｄ変換器１６ａ〜１６ｄと、Ａ／Ｄ変換器１６ａ〜１６ｄより出力された伝送信号を送信するアダプタ１７ａ〜１７ｄとを備える。伝送ケーブル１９ｂ〜１９ｄは、各アダプタ１７ａ〜１７ｄ間を接続する。伝送ケーブル１９ａは、アダプタ１７ａと監視制御装置１３とを接続する。伝送ケーブル１９ａ〜１９ｄは、筐体１２により収容される。 （もっと読む）

【課題】食物がサービングウェアの上、または、中に置かれた後に、食物の温度を維持するための装置、システム、および、方法を提供する。
【解決手段】小型で安価な無線式の温度センサステッカ１２０は、サービングウェア１２１の温度を検出するために提供される。温度センサステッカは、温度センサ要素と任意のデータ要素の再磁化応答を引き起こすのに十分な大きさの磁場を発生させてそのような応答を検出し、検出された応答を使用して解読アルゴリズムによってサービングウェアの温度を測定することが可能なマイクロワイヤリーダ／ディテクタ１３６を併用されても良い。温度センサステッカは、サービングウェアの加熱を制御できる閉ループ加熱システムの中で使用されても良い。 （もっと読む）

【課題】 非自発的かつ自動的な測定を、被測定者の違和感を伴うことなく実現可能な体温測定システムを提供する。
【解決手段】 体温測定システム１００であって、電磁誘導により起動し、被測定者の体温を測定する体温タグ１２５が内挿された、歯部の外側面に接着されるブラケット１２０と、所定の周期で電磁界を発生することで、体温タグ１２５より体温データを取得し、時刻情報と対応付けて記憶する制御部と、を備え、前記制御部は、被測定者の耳介に引っ掛けた場合に耳裏に沿って当接する湾曲面を有するハウジングを有しており、前記ハウジングの前記湾曲面の終端位置近傍には、前記電磁界を放射するアンテナ部１１１が配されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精度良く深部体温を測定可能な体温計を実現する。
【解決手段】無線式体温計１０は、高い熱抵抗率を有する断熱体１３０を備える。断熱体１３０の表面には、水晶振動子１１１が配置されている。断熱体１３０の表面（外気面）には、平面視して水晶振動子１１１を囲むように、巻回形のアンテナ１２０が形成されており、水晶振動子１１１に接続している。断熱体１３０の裏面（被検温体面）には、水晶振動子１１２が配置されている。水晶振動子１１１，１１２は、断熱体１３０の厚み方向を貫通し、熱抵抗が被検温体の熱抵抗と略同じ線状導体２１１，２１２で接続されている。 （もっと読む）

【課題】回転体の温度を測定する温度測定装置であって、特に、回転体の複数個所の温度を測定することができる温度測定装置を提供する。
【解決手段】回転体１１に温度の検出部を備え、固定側に温度の表示及び／又は記録を行う計測部を備える温度測定装置１０であって、検出部が、圧電共振子１５と圧電共振子１５に接続される回転側アンテナ１２を備え、計測部が、測定温度に対応する特異周波数の測定手段を備える計測器１７と固定側アンテナ１３で構成されている。回転側アンテナ１２と固定側アンテナ１３とは非接触で結合されている。圧電共振子１５は、セラミック製の容器に収納されている。 （もっと読む）

【課題】精度良く深部体温を測定可能な無線式体温計を実現する。
【解決手段】無線式体温計１０は、可撓性、絶縁性、所定の熱抵抗率ρ_Ｔを有し、所定厚みＤからなる断熱体１３０を備える。断熱体１３０の一方面には、水晶振動子１１１が配置されている。断熱体１３０の一方面には、平面視して水晶振動子１１１を囲むように、巻回形のコイル電極１２１が形成されており、水晶振動子１１１に接続している。断熱体１３０の他方面には、水晶振動子１１２が配置されている。断熱体１３０の他方面には、平面視して水晶振動子１１２を囲むように、巻回形のコイル電極１２２が形成されており、水晶振動子１１２に接続している。 （もっと読む）

【課題】多点測定用の温度センサーであって、小型化するとともに、安価で、取り扱いが容易であり、温度の測定精度が高い温度センサーを提供する。
【解決手段】保護管２０内に往復するリード線５０を備え、温度特性が互いに異なる複数個の圧電共振子４０は、リード線５０に直列又は並列に接続されている。圧電共振子４０は、セラミック製の容器３０に収納されている。圧電共振子４０は、ランタン、ガリウム、タンタル、アルミニウム及び酸素からなる単結晶で形成されている。 （もっと読む）

【課題】ばら積みされた石炭パイルの内部の温度を精度よく測定できる貯蔵石炭内部の温度測定方法を提供する。
【解決手段】石炭パイル１を層状にばら積みする際、層状貯蔵石炭を形成しつつ、タグ識別情報があらかじめ既知の温度検出器２を、所定の間隔で順次設置し、さらに層状貯蔵石炭を積層させ、石炭パイル１内に温度検出器２を埋設する。計算機４に、温度検出器２のタグ識別情報と、埋設した埋設位置とを関連付けてタグ埋設情報を生成し、これらタグ埋設情報を記憶させて埋設位置データベースを構築する。温度検出器２のＲＦＩＤタグ間通信により、タグ識別情報および温度情報を周囲の他のＲＦＩＤタグに伝達し、石炭パイル１の外部の受信器３で受信する。受信器３で受信したタグ識別情報と埋設位置データベースとを照合し、石炭パイル１の自然発熱部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を図ると共に監視対象物の温度状態を効率的に出力することができる技術を提供する。
【解決手段】監視対象物の熱が伝導される位置に熱電素子を設け、監視対象物の熱によって発生した熱電素子からの出力電圧を昇圧回路で昇圧する。キャパシタは、昇圧回路から出力された電圧に応じた電荷を蓄積し、蓄積された電荷は放電によって制御回路に供給される。制御回路は、キャパシタの出力端電圧が制御回路が駆動可能な電圧のときに起動し、熱電素子が発生させた電力に応じた温度情報を生成し、生成した温度情報を有線又は無線により外部に出力する。 （もっと読む）

【課題】被検者や測定者に負担をかけることなく深部体温を常時測定できる温度測定装置を提供する。
【解決手段】第１の熱抵抗体１２に覆われた第１の感温素子２１と第１のコイル１１を備えて被検者の皮膚６に装着する温度測定部１０と、この温度測定部１０に電力を供給する第２のコイル３１と第２の熱抵抗体３３に覆われた第２の感温素子３２を備えた電力供給部３０とを有する温度測定装置であって、温度測定部１０と電力供給部３０とは着脱自在であり、電力供給部３０は電源４１を備えた本体部４０と接続する構成とした。これにより、温度測定部１０と電力供給部３０は無接点で接続され、第１の感温素子２１と第２の感温素子３２が測定する温度によって被検者の深部体温を算出することが出来る。 （もっと読む）

【課題】センサーの小型化によって顕在化する熱収支の影響を解決することができる温度計及び温度計測方法を提供する。
【解決手段】第１媒体と第２媒体との境界面に１の面を配置した基材と、基材の第１位置の温度を第１温度として測定する第１温度測定部２０と、第１位置との間に熱抵抗値を有する第２位置の温度を第２温度として測定する第２温度測定部２２と、第１温度測定部２０と、第２温度測定部２２を配置した基材とを取り巻く第１媒体又は第２媒体の温度を媒体温度として測定する媒体温度測定部２４と、第１温度測定部２０と、第２温度測定部２２を配置した基材を取り巻く第１媒体又は第２媒体に配置した外郭体と、外郭体の基材を配置した、内部を満たす内部媒体と、第１温度と、第２温度と、媒体温度とを用いて、第１媒体又は第２媒体の内部の温度を深部温度として演算する演算部３６と、を含む。 （もっと読む）

【課題】被検者や測定者に負担をかけることなく体温を常時測定できる温度測定装置を提供する。
【解決手段】感温素子２１と第１のコイル１１を備える温度測定部１０と、この温度測定部１０に電力を供給する第２のコイル３１を備えた電力供給部３０とを有する温度測定装置において、温度測定部１０と電力供給部３０とを断熱部３２を介して一体的な構成とし、さらに、感温素子２１からの温度情報を第１のコイル１１を介して第２のコイル３１に伝達する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 深部温度の測定精度を向上させること。
【解決手段】
温度測定部４３は、第１基材４０ａ，第２基材４０ｂと、熱流束制御部６１ａ，６１ｂと、第１温度を測定する第１温度センサー５０ａと、第２温度を測定する第２温度センサー５２ａと、第３温度を測定する第３温度センサー５０ｂと、第４温度を測定する第４温度センサー５２ｂと、を有し、環境温度取得部５３は、環境７の温度Ｔｏｕｔを第５温度として取得し、各温度センサーの温度測定点は、第１基材または第２基材の外表面上あるいは内部に位置し、第１温度、第２温度、第３温度ならびに第４温度は、第５温度Ｔｏｕｔの変動に対応して変化し、温度測定部４３は、第５温度Ｔｏｕｔが異なるという条件の下で、複数回の温度測定を実行し、演算部は、被測定体６の深部４における深部温度Ｔｃを、深部温度の演算式に基づいて求める。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素な構造を用いて、親機とパッシブセンサとの距離が所定距離に高精度にセットされた状態で物理量を計測可能な無線式センサシステムを実現する。
【解決手段】親機２０は、筐体２００の通信面側に、所定高さのガイド部材３００を備える。計測を行う際には、ガイド部材３００が被検知体９００におけるパッシブセンサ１０が装着された皮膚の表面に当接するように、親機２０を当てる。これにより、パッシブセンサ１０のアンテナ１２と、親機２０の親機側アンテナ２４との距離を一定に保ちながら、無線による計測処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来よりも高精度且つ確実な体温測定が可能な無線式体温計を実現する。
【解決手段】フレキシブル基板１０１は、方形状の第１パートと長尺状の第２パートとが一体形成された構造を有する。フレキシブル基板１０１の第１パートには巻回形状のコイル電極１０２が形成されており、アンテナ部１２として機能する。フレキシブル基板１０１の第２パートの第１パートと反対側の端部には、水晶振動子１１０が実装されており、検温部１１として機能する。水晶振動子１０１とコイル電極１０２は、第２パート上の配線電極１０３で接続されており、配線部１３として機能する。アンテナ部１２を介してパルス信号ＳｐＬが検温部１１の水晶振動子１１０に印加されると、周囲温に応じた周波数の共振が発生し、水晶振動子１０１から共振信号Ｓｆｐが出力される。共振信号Ｓｆｐは、アンテナ部１２を介して外部へ送信される。 （もっと読む）

【課題】導電層を有する積層体（ラミネート）容器壁が設けられ傷みやすい物質を収容するための容器又は食品パッケージに設けられた、ＲＦＩＤタグのＲＦ信号が遮蔽されることを防ぐ。
【解決手段】容器１００は、内側面１０６と外側面１０８とを有する容器壁１０４を具え、この容器壁１０４は、内側面１０６と外側面１０８との間で延在する導電層１１０を有する。容器１００は、物質の物理的特性又は状態を検出するセンサ１１８と、この容器の外部にある受信機１２２にＲＦ信号を送信するアンテナ１２０とを有する電子回路１１６を具え、ＲＦ信号は、検出された前記物理的特性又は状態を表す。センサ１１８は、容器１００の使用中に物質を収容しているスペース１０２にさらされるように配置される。アンテナ１２０は、外側面１０８に、又は外側面１０８と導電層１１０との間に配置されるとともに、導電層１１０から電気的に分離される。 （もっと読む）

【課題】エネルギーを大事に使うタイヤ電子管理システムを提供する。
【解決手段】装置のパラメータを測定するために、タイヤ電子維持システムが提供され、装置のパラメータを測定し且つこの測定パラメータを表すデータ信号を発生させるための感知器１８を含んでいる。装置のパラメータを測定するために第一の周期的基準で感知器を作動させるために、この感知器に結合されているマイクロプロセッサ及び記憶装置１６も含んでいる。送信機及び受信機３０がマイクロプロセッサに結合されている。マイクロプロセッサは、受信された送信が有効な呼掛信号であるか否かを第二の周期的基準で決定するために周期的且つ部分的に覚醒し、受信された送信が有効な呼掛信号であれば、完全に覚醒し、最後に記憶された測定パラメータを少なくとも送信することによって、送信機を経由して、有効な呼掛信号に応答する。装置はタイヤの内側に装着されるタイヤタグ１４である。 （もっと読む）

硬化プロセス前に成形構造物内に位置付け可能なセンサストリングと、第１の端と第２の端との間でストリング軸に沿って延在する通信回線と、を有する固形物の成形を監視するためのシステム。このストリングはさらに、端間の通信回線に連結される複数のセンサを含み、各センサは、その回線上の設定位置に装着される。各センサは、センサ本体およびセンサ筐体を有し、センサ本体は、電気構造物を設定位置で通信回線に電気的に連結するための、電気コネクタを含む。電気構造物は、設定位置付近の温度を監視するように構成される温度センサを含み、また、軸に沿ったセンサの設定位置に対応する電子識別コードをさらに含む。本システムは、温度および識別コードを選択的に通信するための送信デバイスをさらに含む。 （もっと読む）

【課題】被測定物に取り付けられたセンサユニットの周波数特性を効率よく測定する無線計測装置を提供する。
【解決手段】無線測定装置は、被測定物４０に取り付けられたセンサユニット１０の周波数特性を測定する無線測定装置であって、圧電共振子１１を有するセンサユニット１０と、センサユニット１０と回路網を形成するためのアンテナ２０と、前記回路網に周波数を変化させた高周波電力を供給し、前記回路網の反射電力強度の周波数特性を測定する測定手段３０とを有する。 （もっと読む）