【課題】半導体基板の温度の計測精度を向上することができる温度計測装置および温度分布計測システムを提供する。
【解決手段】Ｓｉ、ＳｉＣ、ＧａＮ、ＧａＡｓ、ＩｎＰなどの半導体基板３３の温度を計測する温度計測装置１００において、広帯域光源３１と、広帯域光源３１から出射した光を半導体基板３３に集光する集光光学系３２と、半導体基板３３からの散乱光を受光し、集光する受光光学系３４と、受光光学系３４により集光した光を分光し、光スペクトルを測定する分光計３５と、分光計３５で測定された光スペクトルに基づいて半導体基板３３の温度を演算計測する温度演算手段３６とを含んで構成する。温度演算手段３６は、分光計３５で測定された光スペクトルを波長で微分することによって、波長と散乱光の強度変化率に基づく吸収波長を演算し、この吸収波長に基づいて半導体基板３３の温度を演算計測するようにする。 （もっと読む）

【課題】従来よりも測定感度が高い、導波音響波型ブリユアン散乱光を用いた光ファイバセンサを提供すること。
【解決手段】試験光を出力する光源と、石英系ガラスからなり、コア部と該コア部の外周に形成された外径が９０μｍ以下のクラッド部とを有し、前記試験光を少なくとも一方の端部において受け付け、前記試験光によって発生する導波音響波型ブリユアン散乱光を他方の端部から出力する少なくとも１つの測定用光ファイバと、前記測定用光ファイバから出力する前記導波音響波型ブリユアン散乱光を受け付け、該導波音響波型ブリユアン散乱光の周波数スペクトル上のピーク周波数を測定し、該測定したピーク周波数に基づいて前記測定用光ファイバの周囲温度または該測定用光ファイバにかかる応力を検出する検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】導波音響波型ブリユアン散乱光の変化をより容易に検出することができる光ファイバセンサを提供すること。
【解決手段】所定の変調周波数で変調された試験光を出力する光源と、少なくとも一方の端部において前記試験光を受け付け、前記試験光によって発生する導波音響波型ブリユアン散乱光を他方の端部から出力する光ファイバと、前記光ファイバから出力する前記導波音響波型ブリユアン散乱光を受け付けて電子信号に変換する受光手段と、前記変調周波数のピーク電力強度を測定する電力測定手段を有する検出手段と、を備え、前記変調周波数は、前記導波音響波型ブリユアン散乱光の有する音響波による周波数成分と重畳する周波数に設定され、前記検出手段は、前記電力測定手段が測定した電力に基づいて前記光ファイバの周囲温度または該光ファイバにかかる応力を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、歪みおよび／または温度を高空間分解能で測定可能としつつ、計測可能距離を伸ばしてより遠くまで測定することができる分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明にかかる、ブリルアン散乱現象を利用して歪みおよび／または温度を測定する分布型光ファイバセンサＳでは、スペクトル拡散方式を用いたメイン光パルスと無変調のサブ光パルスとが検出用光ファイバ１５に入射され、そして、検出用光ファイバ１５から射出されるこれら光の相互作用によって生じるブリルアン散乱現象にかかる光に基づいて検出用光ファイバ１５に生じた歪みおよび／または温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】金型において改良された、即ちより高い局部的分解された温度測定を可能とし、その上、出来るだけ僅かな据付け費用ですみ、とにかく金型の縦亀裂及び／又は中断検出を改良すること。
【解決手段】この発明は、繊維光学測定方法によって金型内の温度を測定する方法と適切に形成された金型とに関する。この目的のために、センサーとしてレザー光が案内される光波導体繊維（２）が金型銅板（１、１’）の外面上の溝（４、４’）に設けられている。温度検出システムによって温度が測定繊維に沿って多数の測定箇所において測定される。特にこの方法では、熱要素による公知の温度検出システムに比べて金型内の温度検出の改良された局部的分解が達成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、温度センサによる重量増加を抑えつつ、ヒートパイプの温度をより正確に計測することができるヒートパイプ埋め込みパネル及びその製造方法を得ることを目的とするものである。
【解決手段】ヒートパイプ４の側面には、ヒートパイプ４の温度を検出する光ファイバ温度センサ５が接着されている。光ファイバ温度センサ５は、光ファイバ６と、光ファイバ６に互いに間隔をおいて設けられた複数のセンサ部７とを有している。センサ部７は、光ファイバ６により直列に接続されている。各センサ部７は、光ファイバ６に形成されたファイバ・ブラッグ・グレーティング（Fiber Bragg Grating）部と、平板状の基材と、ＦＢＧ部を基材に接着する接着剤とを有している。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ確実に蛍光材料の緩和時間を算出することができ、測定精度を維持しつつ応答性を高めることができる蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】蛍光温度センサは、光励起された蛍光材料１が発する蛍光を受光するフォトダイオード４と、フォトダイオード４の出力信号を第１のサンプリング周期でサンプリングした第１のデジタルデータに対して、該第１のデジタルデータを第１のサンプリング周期以上の第２のサンプリング周期でリサンプリングした第２のデジタルデータから蛍光材料１の緩和時間τを算出する緩和時間算出手段５３と、算出された緩和時間τに対応した温度信号を生成する温度信号生成手段５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】異常部位を簡易に特定することができる蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】光励起された蛍光材料１の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサは、蛍光材料１に投光するＬＥＤ２および、ＬＥＤ２が発する光を受光する第２フォトダイオード６を有する投光モジュール２ａと、蛍光材料１が発する光を受光する第１フォトダイオード４を有する受光モジュール４ａとを備え、少なくとも第２フォトダイオード６の出力信号に基づいて、当該センサの異常部位を特定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により蛍光材料の蛍光強度を高めて、測定精度を向上させた蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】光励起された蛍光材料１の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサは、蛍光材料１に投光するＬＥＤ２と、蛍光材料１が発する蛍光を受光するフォトダイオード４と、フォトダイオード４の出力から前記温度信号を生成する信号処理回路５とを備える。ＬＥＤ２の光を蛍光材料１に伝達する投光用光ファイバ８と、蛍光材料１の光をフォトダイオード４に伝達する受光用光ファイバ９とは、各素子２，４へ向かう一端側が互いに分離独立し、蛍光材料１へ向かう他端側が互いに混在するように束ねられる。 （もっと読む）

【課題】検査対象への取り付け施工時間を短縮するとともに、検査対象の温度を正確に検出することができる温度計測装置および温度計測装置の取り付け方法を提供する。
【解決手段】コア３１に複数の回折格子部３３が間隔をあけて形成された光ファイバ３と、光ファイバ３における少なくとも回折格子部３３の形成された部分が埋設されるとともに、温度の測定対象２に固定されるパッド６と、が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】投光素子の経年劣化に応じて、温度センサとしての機能を維持させることができる蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】光励起された蛍光材料１の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサは、蛍光材料１に投光するＬＥＤ２と、投光素子２を駆動する駆動回路３と、蛍光材料１が発する蛍光を受光するフォトダイオード４と、フォトダイオード４の出力信号から前記温度信号を生成する信号処理回路５と、フォトダイオード４の出力信号に基づいてＬＥＤ２の投光強度を一定に保つように駆動回路３の駆動を制御するＡＰＣ回路６とを備える。 （もっと読む）

【課題】多数の機器（発熱源）が設置された部屋の温度分布測定に好適な光ファイバを用いた温度測定システム及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光ファイバ２４を、１又は複数のラック１１毎にフリーアクセスフロア１５からラック１１内に入り、ラック１１内の複数の計測ポイントを通ってフリーアクセスフロア１５に戻るように敷設する。そして、光ファイバ２４にレーザ光を導入し、後方散乱光を光検出器５２で検出して温度分布を得る。その後、光ファイバ２４の温度計測の伝達関数を用いて、温度計測ポイント毎の温度をフリーアクセスフロア１５側から順番に補正する。 （もっと読む）

【課題】ファイバブラッググレーティングをベースとするセンサによる検知すべきパラメータの正確な測定を可能にする。
【解決手段】センサ用途のためのツインコアファイバが開発された。それは歪と温度を分離し、同じ時間および位置で両方の測定パラメータを得ることに特に有用である。それは高湿度環境で温度を測定するためにも特に有用である。ツインコアファイバは二つのコアを有し、それぞれのコアは異なるドーパント形態を有する。また、それぞれのコアは実質的に同一のグレーティング周期を有するグレーティングを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な調整により確実に光を伝達させることができる蛍光温度センサを提供する。
【解決手段】光励起された蛍光材料１の蛍光から温度信号を生成する蛍光温度センサは、蛍光材料１に投光する投光素子２と、蛍光材料１が発する蛍光を受光する受光素子４と、投光素子２および受光素子４の両方が内蔵された筐体８と、筐体８と蛍光材料１との間で投光素子２と蛍光材料１の両方の光を伝達する光ファイバ７とを備える。筐体８と光ファイバ７とは、投光素子２の光が光ファイバ７内に採光されると共に蛍光材料１からの光が光ファイバ７内から受光素子４に照射される位置で接続される。 （もっと読む）

【課題】
被測定用光ファイバのみを用いてブリルアン散乱を測定可能なブリルアン散乱測定装置を提供すること。
【解決手段】
プローブ光ａ_０とポンプ光ｂ_０とを生成する測定用光生成手段と、該測定用光生成手段で生成されたプローブ光とポンプ光とを、偏波面が異なる状態で合成する偏波合成手段４０と、該偏波合成手段からの合成光が一端に入射される被測定用光ファイバ４１と、該被測定用光ファイバの他端側に配置され、合成光の偏波面を回転すると共に、合成光中の少なくともプローブ光を反射させて該被測定用光ファイバの他端に再入射させる回転反射手段４２と、該被測定用光ファイバの一端側に配置され、該回転反射手段により反射したプローブ光ａ_３を検出するプローブ光検出手段とを有することを特徴とするブリルアン散乱測定装置である。 （もっと読む）

【課題】回折格子を被測定体に設けることによって、金属汚染を生ずることなく、温度の測定精度を大幅に向上させることが可能な温度測定装置を提供する。
【解決手段】被測定体４２の温度を測定する温度測定装置５０において、被測定体に形成した回折格子６８と、温度測定用の測定光Ｌ１を発生する発光部７５と、測定光を回折格子まで導く第１の光導波路７０Ａ−１（７０）と、回折格子からの回折光を導く第２の光導波路７０Ａ−２（７０）と、第２の光導波路により導かれた回折光を受けて周波数を分析する周波数分析部７８と、周波数分析部の出力に基づいて被測定体の温度を求める温度分析部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】従来に比べてより精度良く温度を測定することができ、より精度良くかつ効率良く基板処理等を行うことのできる温度測定装置及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】光源１１０からの光を測定光と参照光とに分けるための第１スプリッタ１２０と、参照光を反射するための参照光反射手段１４０と、参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段１５０と、参照光反射手段１４０からの反射参照光を分けるための第２スプリッタ１２１と、温度測定対象物１０からの反射測定光と反射参照光との干渉を測定するための第１光検出器１６０と、反射参照光のみの強度を測定するための第２光検出器１６１と、第１光検出器１６０の出力から第２光検出器１６１の出力を減算した後、干渉位置を算出し温度を算出するコンとローラ１７０とを具備した温度測定装置。 （もっと読む）

【課題】空間分解能を維持したまま測定距離や測定範囲、ダイナミックレンジを拡大することが可能な光ファイバ分布型センサ装置の提供。
【解決手段】光ファイバをセンシング媒体とする光ファイバ分布型センサであって、前記センシング媒体の光ファイバは、誘導ラマン散乱により発生するストークス光の波長の透過損失が、入射光やその他の散乱光の波長の透過損失に対して大きくなっていることを特徴とする光ファイバ分布型センサ装置。 （もっと読む）

【課題】 リング体の変位量に対するＦＢＧへのひずみ発生量の大きさを増大させることにより、また、光ファイバとリング体との接触長を少なくして光ファイバの材料に起因する変位量の減少を抑止することにより、ひずみ量測定の誤差要因を排除でき、さらに、リング体を金属材料で形成する場合における外径の大径化を回避できる光ひずみゲージを提供すること。
【解決手段】 光ひずみゲージは、光ファイバブラッグ回折格子２が形成された光ファイバ１と、円形領域４を取り囲むように形成されたリング体３とを有し、光ファイバ１は円形領域１を直線的に通過して配置されると共にリング体３との交差位置でリング体３に固定保持されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｂ−ＯＴＤＲ測定器またはＲ−ＯＴＤＲ測定器の距離分解能以下で歪みまたは温度の分布測定を簡易に実現できる取り扱いの容易な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサを、外径及び内径が各々均一に形成された円筒１２と、所定ピッチ周期で螺旋状に巻かれ円筒１２の中空部１２ａに内包される螺旋巻き部分を有する光ファイバ１１とから構成し、光ファイバ１１の片端がブリルアン散乱光の周波数シフト量を測定するＢ−ＯＴＤＲ測定器１３に接続するとともに、螺旋巻き部分全体を円筒１２の内周面１２ｂに密着した状態で接着固定し、且つ、螺旋巻き部分の光ファイバ長がＢ−ＯＴＤＲ測定器１３の最小分解能以上の長さとなるようにした。 （もっと読む）