【課題】小型で高空間分解能であり、ＬＳＩチップ／パッケージの微細領域の温度を計測可能な温度センサを提供する。
【解決手段】光ファイバ１０２と、光ファイバ１０２の先端に設けられた光学材料層１１２とを具備する温度センサを用いる。この温度センサ１５０において、光学材料層１１２は、光ファイバ１０２を介して入射する光１１０を内部で多重反射した後、光ファイバ１０２へ反射する。光学材料層１１２は、ファブリーペロー共振器構造を有している。光学材料層は、光ファイバ１０２の先端に直接形成されていても良い。 （もっと読む）

【課題】被測定物の所定の物理量を正確に測定することができる、基板処理装置における被測定物の物理量測定方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ６０は、参照ミラー５５をコリメートファイバ５２から遠ざかる方向に移動させる場合に、干渉位置Ａ及び干渉位置ＢをそれぞれタイミングＡ及びタイミングＢで計測し、タイミングＡにおける干渉位置Ａ及びタイミングＢにおける干渉位置Ｂの差Ｄ’を算出し、遠ざけた参照ミラー５５をコリメートファイバ５２に近づける方向に移動させる場合に、干渉位置Ｂ及び干渉位置ＡをそれぞれタイミングＣ及びタイミングＤで計測し、タイミングＣにおける干渉位置Ｂ及びタイミングＤにおける干渉位置Ａの差Ｄ’’を算出し、干渉位置差Ｄ’及び干渉位置差Ｄ’’の平均値を算出し、さらに、該平均値から光路長差を求め、該光路長差からウエハＷの温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光ファイバの長尺方向について歪み及び／又は温度を高精度かつ高空間分解能でより高速に測定し得る分布型光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】本発明に係る、連続光及び内側に向かうほど光強度が大きくなるように光強度が階段状になった光パルスをそれぞれポンプ光及びプローブ光として検出用光ファイバ１８に入射させ、これら間で生じるブリルアン散乱現象に係る光に基づいて検出用光ファイバ１８の歪み及び／又は温度を測定する分布型光ファイバセンサ１は、連続光を第１周波数間隔で掃引しながら検出用光ファイバ１８に入射させ、この際に検出用光ファイバ１８から射出されるブリルアン散乱現象に係る光の光強度が所定条件を満たした場合に、この所定条件を満たした周波数を含む所定周波数範囲において連続光を第１周波数間隔より小さい第２周波数間隔で掃引しながら検出用光ファイバ１８に入射させる。 （もっと読む）

【課題】試料の極微少領域の表面温度をサーモリフレクタンス法により高精度・高空間分解能・高速度で測定することを可能とするとともに、表面反射率の温度依存性が知られていない試料についても、その表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて温度を即時に決定することを可能にする装置を提供する。
【解決手段】反射光強度の検出器の前にピンホールを配置することにより空間分解能を向上させるとともに、試料に矩形波電流を流した際の電気抵抗と反射光強度を同時に測定することにより表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて即時に温度を決定する。 （もっと読む）

【課題】
測定試料の微小な領域の温度を高い精度で測定しようするものである。
【解決手段】
水を含む測定対象である微小領域の測定試料を顕微鏡本体部によって拡大すると共に、微小領域を透過した検体光と参照光のスペクトルを求めると共に、特定の波長の光強度を用いて測定試料の吸光度差を求め、当該吸光度差に基づいて検体の温度変化を求めるようにする。 （もっと読む）

【課題】
簡易な構造で、製造が容易で、測定感度が高い曲げ損失型光ファイバセンサを実現する。
【解決手段】
光ファイバ１２は、部分的に細くした括れ１２ａを具備する。括れ１２ａを挟むように、光ファイバ１２は、括れ１２ａの片側でベース１４の起立部１４ａに固定され、括れ１２ａの反対側で、ベース１４上に光ファイバ１２の軸方向に可動に設置されるスライダ１６に固定されている。スライダ１６は、ベース１４に固定されたストッパ１８，２０により、光ファイバ１２を切断しない程度に可動範囲を制限されている。スライダ１６は、コイルバネ２４により起立部１４ａから離れる方向に付勢される。伝達棒２８が、計測対象物の変位により、受け台２６を介してスライダ１６を起立部１４ａに向けて駆動する。これにより、光ファイバ１２は、括れ１２ａで曲がり、曲げ損失が増加する。 （もっと読む）

【課題】 ホログラム記録再生媒体の温度を検出する。
【解決手段】 ホログラフィを利用してホログラム記録層１３に情報を記録するホログラム記録再生媒体１０の温度検出装置において、ホログラム記録層１３に所定の入射角度θ０で入射し、ホログラム記録層１３を透過する光ビームＢＴを出射する光源Ｌと、ホログラム記録層１３を透過した光ビームを受光するフォトディテクタＤと、を備え、フォトディテクタＤで受光される光ビームＢＴの位置の変化からホログラム記録再生媒体の温度検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】光信号の種々のスペクトル成分を効率的に検出する。
【解決手段】本発明は、刺激信号(S1)に応答して試験対象デバイス(DUT 12)から受信した応答信号(S2)のそれぞれのスペクトル成分を検出することに関する。このための装置は、応答信号(S2)を受信して、応答信号(S2)から第１の部分信号(S21)と第２の部分信号(S22)を波長に依存して分離する第１のスプリッタ(201)と、第２の部分信号(S22)を受信して、それから第３の部分信号(S23)を波長に依存して分離する第２のスプリッタ(202)と、第１の部分信号(S21)と第３の部分信号(S23)を受信して、対応する光パワーを決定するための光検出器(104)と、第１の部分信号(S21)と第３の部分信号(S23)の一方が光検出器(204)を通過し、または、それから遮られるようにするために移動するよう構成された光シャッタ(203)を備える。 （もっと読む）

【課題】 被測定光ファイバによる測定可能長を大幅に拡大しても温度分布を精度良く測定する。
【解決手段】 被測定光ファイバ１８の一端から測定用光源１からのパルス光（測定用パルス光）を入射し、被測定光ファイバ１８の長手方向における各位置から一端に帰還する後方散乱光のうち、ラマン散乱光の光強度と帰還時間とを検出して被測定光ファイバ１８の長手方向の温度分布を測定するに際し、補正用光源１２により被測定光ファイバ１８の一端からパルス光（補正用パルス光）を入射し、ＡＰＤ１３によりパルス光（測定用パルス光）によるラマン散乱光に含まれる反ストークス光とパルス光（補正用パルス光）によるレーリー散乱光とを検出し、ＣＰＵ１５Ａ及び平均化処理部１５により反ストークス光に基づいて測定される温度分布をパルス光（補正用パルス光）によるレーリー散乱光に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】 より局地的な電力需要予測に供すべく、地域毎の詳細な気温分布測定を簡易にかつ低コストで行えるようにする。
【解決手段】 架空配電線に併設された光ファイバケーブル２中の未使用の光ファイバ３に温度分布測定装置４を取り付け、該温度分布測定装置４からパルス状の光を光ファイバ３の端部に照射し、当該光ファイバ３に入射したパルス状の光が伝搬するに際して発生し当該光ファイバ３を逆方向に伝搬するラマン散乱光を温度分布測定装置４によって受信し、該受信した光の光強度の時間変化に基づいて光ファイバ３の温度分布を測定し、この温度分布の測定結果に基づいて光ファイバケーブル２の周辺の気温分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】 構成が簡単であって、安価なアナログ型光ファイバーセンサを提供する。
【解決手段】 液面のレベルの変化を変換部１で機械変位に変えて、可動光学系の機構部２により上記機械変位を光強度に変換し、その測定光の光強度を測定し、上記測定光による上記機械変位の測定を予め対応付けられた固定光学系の参照部３による参照光を参照するものであり、機構部２では測定用光ファイバー４の測定用入出射部２ａの出射光を上下動する測定用反射膜２ｂで反射させ、この反射光を測定光として測定用入出射部から測定用光ファイバーに戻し、参照部３では参照用光ファイバー５の参照用入出射部３ａの出射光を固定されている参照用反射膜３ｂで反射させ、この反射光を参照光として参照用入出射部から参照用光ファイバーに戻す。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバに多数個のセンサを設けることが可能で、短距離から長距離まで広範囲に測定することができ、かつ、低価格で汎用性のある光ファイバセンサ装置を提供する。
【解決手段】 監視対象２の歪を、光ファイバ１１によって検出する光ファイバセンサ装置１において、光ファイバ１１のコア１１ａ内に設けられた一枚ないし複数枚の屈折率変化によるフレネル反射板１２ａ，１２ａを前記軸線に対して直交するように対向配置した一つ又は複数の歪センサ部１２と、この歪センサ部１２を監視対象２の歪測定部位に取り付ける取付部材２１と、この歪センサ部１２に向けて単一波長の光を照射する光源ＬＤと、反射板１２ａによって反射された光を受光する受光部ＰＤと、この受光部ＰＤによって受光された反射光の強度変化の有無から、監視対象２の歪の有無を判断する信号処理部１５とを有する。 （もっと読む）

【解決手段】例示的一実施形態によれば、本発明は、温度、歪、ＮＯ_ｘ、ＣＯ、Ｏ_２およびＨ_２ガスの同時的な検出用の検知要素（１４）として、非周期性のサファイアファイバグレーティング（１６）を有するマルチパラメータ光ファイバ検出システム（１０）を提供する。この例示的な検知システム（１０）は、そのような多重機能検知および測定用の代わりとなる屈折率変調を有する非周期性のファイバグレーティング（１６）を含む。そのような擬似周期性のグレーティング構造（１６）の加工は、逐点ＵＶレーザー刻み込み、ダイヤモンド鋸によるマイクロマシンでの機械加工、位相マスクベースの被覆および化学的エッチング方法によって行うことができる。例示的な実施形態では、マルチパラメータの同時的な検出を、限定ではなく、ガス／蒸気タービン排気、燃焼器および圧縮機、および石炭焚きボイラーなどに分布させることができる。 （もっと読む）

【課題】 厚さの薄い測定対象の温度又は厚さの測定精度を向上させる。
【解決手段】 光源１１０と，光源からの光を測定光と参照光とにスプリットするためのスプリッタ１２０と，スプリッタからの参照光を反射するための参照光反射手段１４０と，参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段（例えば参照光反射手段を駆動する駆動手段１４２）と，測定対象を透過又は反射する測定光と参照光反射手段から反射する参照光とが干渉して得られる複数の測定光の干渉波形を測定するための受光手段１５０とを備え，測定された測定光の干渉波形のうちのある干渉波形を基準とし，この基準干渉波形の測定光よりも測定対象の両端面を少なくとも２回以上多く往復反射する測定光の干渉波形を選択干渉波形として，各干渉波形により測定対象の両端面間における測定光の光路長を測定し，その光路長に基づいて測定対象の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 装置取付けの手間を軽減し，各測定対象物に測定光を通すための孔を形成することなく，複数の測定対象物の温度又は厚さを一度に測定可能とする。
【解決手段】 各測定対象物Ｔ_１〜Ｔ_ｎを透過し反射する波長を有する光を照射する光源１１０と，光源からの光を測定光と参照光とにスプリットするためのスプリッタ１２０と，スプリッタからの参照光を反射するための参照光反射手段（例えば参照ミラー）１４０と，参照光反射手段から反射する参照光の光路長を変化させるための光路長変化手段（例えば参照ミラーを駆動する駆動手段１４２）と，スプリッタからの参照光を参照光反射手段へ向けて照射する際に参照光反射手段から反射する参照光と，スプリッタからの測定光を複数の測定対象物へ向けて各測定対象物を透過するように照射する際に各測定対象物から反射する各測定光との光の干渉を測定するための受光手段１５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 耐環境性に優れ、ひずみ伝達率が安定的に高く、外部要因である磁界、電界、温度の影響を受けない溶接型光ひずみゲージを提供する。
【解決手段】 この溶接型光ひずみゲージ１は、両端が開口された極小径の金属シースチューブ３と、この金属シースチューブ３にライン状に溶接６された薄板状のフランジ板２と、金属シースチューブ３の内空に挿通され且つ接着剤５によって固着されたファイバブラッググレーティング部（ＦＢＧ）４ａを含む光ファイバ４から構成されている。
この溶接型光ファイバ１は、被測定対象物７上において、フランジ部２ａ、２ｂをスポット溶接することにより、確実に固着される。ＦＢＧ４ａは、光ファイバに書き込まれたグレーティングのピッチがひずみや温度によって変化する。その変化に応じてグレーティングからブラッグ反射する光のピーク波長が変化することを利用してひずみ等を計測する。 （もっと読む）

サンプル（２１）の温度を測定する方法であって、プロービング光ビーム（１２，２２，３２）をサンプルに当て、プロービング光ビームの少なくとも２つの部分ビームが、サンプル中の少なくとも２つの互いに異なる深さレベルから後方散乱し又は反射することによりサンプル内部の互いに異なる長さの経路を通り、後方散乱又は反射した部分ビームを分析ユニットに戻し、基準光ビームとして一方のビームを用いる干渉デバイスにより干渉モデルを作成し、作成した干渉モデルを評価ユニットで評価し、反射又は後方散乱した部分ビームの信号強度を光路長に対して求めてサンプルの温度シフト及び温度を信号強度の温度シフトから求めることを特徴とする。
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【課題】
従来の光ファイバを利用した計測では光ファイバ１本に対して計測項目は１つだけであり、1本の光ファイバでは温度、圧力、流量などの複数の物理量を同時に計測できない問題があった。
【解決手段】
長さ方向に屈折率が異なる回折格子組を連続的又は非連続的に形成した光ファイバを使用し、これに任意の波長域を有する光を入射し、各回折格子組で特定波長の光のみを散乱させ、入射端に反射してくる散乱光（レイリー散乱、ブリルアン散乱、ラマン散乱）を利用して、各回析格子組ごとに温度、圧力、流量などの複数の物理量を同時に定量評価する。 （もっと読む）

【課題】 より簡単な構成で複数の測定ポイントを一度に測定できるようにし，温度測定にかかる手間，時間，コストを極力抑える。
【解決手段】 光源１１０と，光源からの光を温度測定用の光と参照光とにスプリットする第１スプリッタ１２０と，上記測定用の光をさらにｎ個の第１〜第ｎ測定光にスプリットする第２スプリッタ１３０と，上記参照光を反射する参照光反射手段１４０と，参照光反射手段を駆動させて反射する参照光の光路長を変化させるための駆動手段１４２と，温度測定対象物Ｔから反射する第１〜第ｎ測定光と参照光反射手段から反射する参照光との干渉を測定するための受光手段１５０とを備え，第１〜第ｎ測定光における第２スプリッタから対象物Ｔまでの各光路長がそれぞれ互いに異なるようにした。 （もっと読む）

【課題】ラマン光を利用した新規な非破壊かつ非接触の温度測定方法及び温度測定装置、応力測定方法及び応力測定装置、温度と応力とを一度に測定する温度応力測定方法及び温度応力測定装置、高温時の応力測定方法及び高温時応力測定装置を提供すること。
【解決手段】ラマン活性な物質特にセラミックスを含む測定対象物の所定位置に焦点が合うように励起光を照射し、(1)前記励起光の照射によって得られるラマン光のスペクトルにおけるピーク幅に基づいて、(2)ピーク位置のシフト量に基づいて、(3)ラマン光及び／又は蛍光のスペクトルにおけるピーク強度に基づいて、(4)ラマン光及び／又は蛍光のスペクトルにおけるピーク幅及び／又はピーク強度と、前記ピーク位置のシフト量とに基づいて、(5)ラマン光及び／又は蛍光のスペクトルにおけるピーク位置のシフト量に基づいて、前記ラマン活性な物質特にセラミックスを含む測定対象物の温度、応力、高温時応力を測定する測定方法及び測定装置。 （もっと読む）