【課題】単一の受光素子を用いた簡単な構成による小型かつ低コストな近接／方向センサとして、対象物体の近接／非近接状態の変化とそれに直交する移動方向を、同時に最も効率よく検出して人体の動作に十分に追随させるための光検出装置を提供する。
【解決手段】受光素子２００は、反射光１０３が直接入射する第１のウェル３０１と、第１のウェル３０１を挟んで対向し、かつ反射光１０３は遮光されて入射しない第２のウェル３０２及び第３のウェル３０３とを備えている。受光素子２００による受信信号は、第１のウェル３０１の出力と第２のウェル３０２の出力との和、及び、第１のウェル３０１の出力と第３のウェル３０３との出力の和を、時間軸上で交互に出力する。この受信信号に基づいて、光検出装置天面の法線方向である第１の軸方向に沿う対象物体の近接状態と、前記対象物体の近接状態が変化した際の移動方向とが判定される。 （もっと読む）

【課題】画像処理を用いてパレタイズ位置が特定可能な位置検出方法を提供する。
【解決手段】位置検出方法は、使用対象のパレット７０のＸ軸方向と、Ｘ軸に直交するＹ軸方向とに、ワーク６０を整列配置するパレタイズ位置を示すパレタイズパターンを撮像する工程と、前記パレタイズパターンの撮像データを用いて、Ｘ軸方向の列の輝度差、およびＹ軸方向の列の輝度差を検出して輝度検出パターンを作製する工程と、輝度検出パターンを用いてパレット７０の基準パレタイズパターンを特定する工程と、作業位置に載置されたパレット７０のパレタイズパターンを撮像する工程と、基準パレタイズパターンを、作業位置に配置されたパレット７０のパレタイズパターンと重なり合う位置に移動させて、作業基準位置Ｐに対する作業位置に載置されたパレット７０のパレタイズ位置を特定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】距離検出器の設定位置に変位があっても、短時間で、測定誤差の補正が可能な厚さ測定装置、及び厚さ測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基準厚さを有する第１の厚さ部と第２の厚さ部を備える校正板３と、検出部１を移動させる移動機構部２と、検出部を予め定める一定長さの「校正位置」、及び予め定められる「測定位置」に、移動を指令する位置設定部４と、を備え、位置設定部は、「校正」指令を移動機構部に送り、検出部を「測定位置」から「校正位置」に移動させ、予め設定された第１の厚さ部と第２の厚さ部との校正位置信号を厚さ演算部５に送り、厚さ演算部は、第１の厚さ部及び第２の厚さ部の厚さを求め、夫々の基準厚さとの差を求めて、「測定位置」で求めた厚さを補正し、厚さ校正板を固定し、検出部を移動させて、予め設定された第１及び第２の距離検出器の設定位置の変位による測定誤差を補正するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動装置を用いることなく、小型であっても、高精度で計測対象物の変位を測定することができる変位センサを提供する。
【解決手段】光源部を有する投光部と、光源部が出射する光を、計測対象物へ向けて集光して照射する照射部と、計測対象物で照射されて反射された光を集光して受光する第１受光部とを具備する光学系を備える変位センサであって、投光部は、光源部と、第１レンズと、第１ハーフミラーとを具備し、照射部は、第１ハーフミラーと、第２レンズとを具備し、第１受光部は、第１ハーフミラーと、少なくとも４つの穴を有し、この４つの穴はそれぞれｘｙ軸上に配置されているスリット板と、第３レンズと、第１受光素子とを具備し、照射部及び第１受光部は、照射部の光軸と第１受光部の光軸とが一致するように配置され、投光部は、該投光部の光軸が照射部及び前記第１受光部の光軸と垂直に交わるように第１ハーフミラーを介して配置する。 （もっと読む）

【課題】物体上の複数のマークを効率的に、かつ高精度に検出する。
【解決手段】少なくとも１軸方向に関する検出領域が互いに異なる複数のアライメント系で、少なくともその１軸方向に関して互いに異なる位置に配置されたウエハ上のマークを検出するマーク検出方法であって、複数のアライメント系の検出領域にそれぞれウエハ上のマークを移動するステップ３１５と、ウエハをＺ方向にスキャンして複数のアライメント系の検出信号及びデフォーカス量に対応するフォーカス信号を取り込むステップ３１６と、複数のアライメント系の検出信号とフォーカス信号とからフォーカス信号のオフセットを求めるステップ３１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】鋼帯連続焼鈍ライン等の鋼帯連続処理ラインに設置されている縦型ルーパー設備において、ルーパーキャリッジの水平度を精度良く測定することができるキャリッジ水平度測定方法およびそれを用いた鋼帯の蛇行修正方法を提供する。
【解決手段】ルーパーキャリッジ１１の水平度（水平度異常量）を光学式距離計２１ａ〜２１ｄを用いて測定するとともに、鋼帯１の寄り量（蛇行量）を測定し、その蛇行量が許容範囲を超えている場合には、ルーパーキャリッジ１１の水平度を許容範囲内で変更して、鋼帯１の蛇行量が許容範囲内に収まるようにする。 （もっと読む）

【課題】先行車や車線境界線等の特定物体が存在しない場合でも、前方道路の勾配を精度良く推定する。
【解決手段】路面反射点抽出部２２で、レーザレーダ１２の観測データから路面反射点を抽出し、第１の立体物候補抽出部２４で、残りの点群から第１の立体物候補を抽出する。また、第２の立体物候補抽出部２６で、撮像画像から垂直エッジの検出またはパターン認識により第２の立体物候補を抽出し、路面接地点算出部２８で、撮像画像上の第２の立体物候補から路面接地点を検出し、その第２の立体物候補に対応する第１の立体物候補の距離情報を用いて、路面接地点の３次元位置を算出する。道路勾配推定部３０で、路面接地点算出部２８で算出された路面接地点の３次元位置、及び路面反射点抽出部２２で抽出された路面反射点の３次元位置を、自車両を中心とする３次元座標空間にプロットして、路面モデルをフィッティングして道路形状を推定する。 （もっと読む）

【課題】距離画像カメラとこれより高解像度の赤外カメラなどを組み合わせることで撮像対象物の境界などを的確に検知可能な境界検知装置および境界検知方法を提供する。
【解決手段】第１光を照射する第１発光部１１ａと、その反射光が戻ってくるまでの時間の測定値から算出される距離情報を２次元配置された第１種画素毎に有する距離画像を取得する第１撮像部１１ｂと、撮像光軸が平行になるように配置されるとともに前記距離画像の前記第１種画素より多数の２次元配置された第２種画素毎に階調情報を有する通常画像を取得する第２撮像部１２ａと、これらを制御するとともに前記距離画像および前記通常画像に対する演算処理を行う演算制御ユニット１３とを備え、この演算制御ユニット１３は輪郭抽出部、輪郭対応画素抽出部、最短距離画素暫定選択部、最短距離画素選択確定部および輪郭認識部を有する。 （もっと読む）

【課題】精度良く障害を認識することができる移動体の障害認識方法を提供する。
【解決手段】本発明の一形態に係る移動体の障害認識方法は、移動体の障害認識方法であって、移動体の路面データ取得手段で少なくとも高さデータを含む路面データを取得するステップと、取得した路面データを高さ順に並べ替えるステップと、並べ替えた路面データの変化点を抽出するステップと、変化点を境に障害を認識するステップと、を備える。これにより、精度良く障害を認識することができる （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の三次元的な位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、光学式位置検出システム、および入力機能付き表示システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、第１光源モジュール１２６および第２光源モジュール１２７によって、検出光Ｌ２の放射角度範囲において強度が変化する光強度分布を形成した際の受光部１３の受光強度に基づいて対象物体ＯｂのＸＹ座標を検出する。第１光源モジュール１２６および第２光源モジュール１２７は、Ｚ軸方向で離間しており、検出光Ｌ２の放射角度範囲において強度が一定の光強度分布を形成した際の受光部１３の受光強度に基づいてＺ軸方向における対象物体Ｏｂの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】光源からの光を回折格子が設けられた領域で反射させて、被測定面の変位を検出する変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１は、光源２と、対物レンズ３と、分離光学系４と、コリメータレンズ７と、非点収差発生部８と、受光部９と、位置情報生成部１０と、絞り部材１１とを備えている。そして、対物レンズ３から出射され、被測定面に向けて集光される光の光軸に対する角度をθ、光源２の波長をλ、被測定面１０１に形成された回折格子のピッチをｄ、回折格子による回折光の次数をｎとした場合に、遮蔽部１１は、


を満たす反射光を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤカメラの飽和露光量を超える過大な入力光量に対して、最短時間で測定可能なＣＣＤカメラ信号を得ることが可能な測定装置、及びその応答時間の短縮方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＣＣＤカメラ１ａの露光時間を制御する測定装置１００の応答時間の短縮方法であって、ＣＣＤカメラは、異なる透過率の２つ以上のフィルタ出力を同時に使用し、入力光量の最小値を検出する第１の透過率の大きいフィルタ出力の測定範囲の最大値（飽和値）と、第２の透過率の低い第２のフィルタ出力の測定範囲の（最小値）とがラップするような透過率とし、第１のフィルタ出力が飽和している場合には、前記第２のフィルタ出力から、前記第１の透過率と前記第２の透過率との比率から、前記第１のフィルタ出力に換算した露光時間の補正ゲインを求め、一回の制御周期（測定周期）で入力光量を検知し、次の制御周期で第１のフィルタの露光時間を更新する。 （もっと読む）

【課題】改良した校正機構によって工具ホルダでより正確な校正を行うことができる測定装置につき、当該測定装置で測定される工具を合わせるための工具ホルダを提供する。更に、そのような測定装置と、その測定装置の校正に適した方法を提供する。
【解決手段】測定装置で測定される工具を合わせるための工具ホルダは、当該工具ホルダの垂直軸を規定する対称軸２２を有する固定可能な本体２０と、当該工具ホルダに取り付けられる工具用に規定された工具のゼロ点２３と、前記工具の前記ゼロ点２３から所定の水平距離及び所定の垂直距離を隔てた校正機構２４と、を備え、前記校正機構２４は、前記工具の前記ゼロ点２３を含む垂直線の所定高さに半円状外縁部を備え、前記半円状外縁部の中心角が１３５°を上回るように構成されている。 （もっと読む）

【課題】常に、受光量が最大値を示すピーク画素からの受光信号を利用する構成に比べて、検出可能な対象物の制約を抑制することが可能な技術を提供する。
【解決手段】変位センサシステムは、受光信号に基づき指定された少なくとも１つの領域について、当該領域内において受光量がピークを示す画素であるピーク画素が複数存在する場合、当該複数のピーク画素の中からいずれかを、選択画素として選択するピーク選択部と、上記少なくとも１つの領域について、ピーク選択部で選択された選択画素からの受光信号に基づき投受光感度を設定する感度設定部と、各領域内の走査線の受光信号を、当該領域に対応する投受光感度下で前記受光処理部に取り出させ、その取り出された受光信号に応じた検出処理を実行する受光制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体の端面の平行度を測定する際、ハニカム構造体のセル構造をなす隔壁に欠陥が生じることを十分に防止できる外形検査装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る外形検査装置は、セル構造を有するハニカム構造体を検査対象とするものである。外形検査装置は、ハニカム構造体の端面に向けてレーザー光を照射する光源、及び、端面で反射したレーザー光を受光するとともにレーザー光の強度に応じた電気信号を出力する受光部を有する変位センサを備え、ハニカム構造体の端面の平行度を、ハニカム構造体に非接触で測定する。 （もっと読む）

【課題】対象物の動画像から応答性よく位置情報を取得する。
【解決手段】撮像装置１２は第１カメラ２２、第２カメラ２４を含む。各カメラはそれぞれ、既知の幅を隔てた左右の位置から同じタイミング、同じフレームレートで対象物を撮影する。そして撮影した各フレーム画像を所定の複数の解像度の画像データに変換する。情報処理装置１４の入力情報取得部２６は、ユーザからの指示入力を取得する。位置情報生成部２８は、ステレオ画像のデータのうち低解像度、広範囲の画像で対象物の領域または動きのある領域を対象領域としておよそ見積もり、当該領域のみ高解像度の画像でステレオマッチングを行い、対象物の３次元の位置を特定する。出力情報生成部３２は、対象物の位置に基づき必要な処理を行い出力情報を生成する。通信部３０は、撮像装置１２に対する画像データの要求および取得を行う。 （もっと読む）

【課題】二つの視点それぞれから得られた画像間の視差を算出する際、画像間の歪み又はずれの影響を抑え、精度の高い視差を簡易に算出する視差算出装置、距離算出装置及び視差算出方法を提供する。
【解決手段】視差算出装置１００は、第一カメラ１から得られた基準画像及び第二カメラ２から参照画像を取得する。画像分割部１０１は、条件設定部１０２によって設定される分割条件に従い、基準画像及び参照画像それぞれを複数の領域に分割する。補正量決定部１０３は、分割された領域毎に画像ずれ量を算出し、その画像ずれ量に基づき補正量を決定する。視差算出部１０４は、補正量決定部１０３によって決定された補正量に基づいて画像分割部１０１から得られる分割基準画像及び分割参照画像の各領域に対して画像の補正を行い、補正後の画像に基づいて視差を求める。 （もっと読む）

【課題】液晶光学素子の光軸を対物レンズの光軸に位置合わせできる光学素子を提供する。
【解決手段】光学素子（１０３、１０）は、対物レンズ（１０４）よりも光源（１０１）側に配置され、液晶分子が含まれる液晶層と、その液晶層を挟んで対向するように配置された二つの第１の透明電極とを有し、その液晶層を透過する光源から発した所定の波長を持つ直線偏光の位相または偏光面を、二つの第１の透明電極の間にその所定の波長に応じた電圧を印加することにより制御する液晶光学素子（３、１２、１３）と、液晶光学素子（３、１２、１３）の光軸を対物レンズ（１０４）の光軸と位置合わせ可能なように液晶光学素子（３、１２、１３）を対物レンズ（１０４）に対して相対的に移動可能な光軸調整機構（４、１４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】光学系にアラインメント誤差が存在しても、被検面の形状を高精度に計測する。
【解決手段】面形状計測装置は、光源１からの光を被検面に照射する投光光学系６と、被検面で反射された光を結像させる結像光学系６と、結像光学系により結像された光を受光するセンサ１１と、該センサからの出力を用いて被検面の形状を計測する計測手段１２とを有する。計測手段は、光源から投光光学系を介して校正基準面８に照射され、該校正基準面で反射されて結像光学系を介してセンサに入射した光の波面の曲率半径を該センサからの出力を用いて算出し、該曲率半径を用いて結像光学系の焦点距離を算出し、該焦点距離を用いて、結像光学系に対してセンサと共役関係となる共役位置を算出し、焦点距離と共役位置とから結像光学系の結像倍率を算出する。さらに、共役位置に被検面を配置したときのセンサからの出力と該結像倍率とを用いて被検面の形状を計測する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置であって、光の波長による、計測対象物の変位を計測する精度の変動を抑えた共焦点計測装置を提供する。
【解決手段】本発明は、共焦点光学系を利用して計測対象物の変位を計測する共焦点計測装置である。共焦点計測装置１００は、白色ＬＥＤ２１と、白色ＬＥＤ２１から出射する光に、光軸方向に沿って色収差を生じさせる回折レンズ１と、回折レンズ１より計測対象物２００側に配置され、回折レンズ１で色収差を生じさせた光を計測対象物２００に集光する対物レンズ２と、対物レンズ２で集光した光のうち、計測対象物２００において合焦する光を通過させるピンホールと、ピンホールを通過した光の波長を測定する波長測定部とを備えている。回折レンズ１の焦点距離は、回折レンズ１から対物レンズ２までの距離と、対物レンズ２の焦点距離との差より大きい。 （もっと読む）