【課題】微小径ワイヤーボンドの接合状態の良否検査に先立ち、当該ワイヤーボンドの三次元的位置決めを迅速且つ精確に行うことができるワイヤーボンドの三次元位置決め方法及び装置を提供することを課題とする。
【解決手段】カメラ５とラインレーザー３、４を用いて、可動ステージ２上に載置されたワイヤーボンド１の三次元位置決めを行うための方法であって、 ラインレーザー３、４を、カメラ５の向きに対して角度を持たせて配置することにより、照射されたレーザーラインがワイヤーボンド照射部分において他の照射部分と一直線状にならないようにし、カメラ５で取り込んだレーザーラインが照射された状態のワイヤーボンド１の画像データにおいて、ワイヤーボンド１上におけるレーザーラインの位置と基準位置とのずれとラインレーザーの傾斜角度とから演算して求めた数値を基に、可動ステージ２を移動制御する （もっと読む）

【課題】物体の誤検出を抑えたい領域と、物体の見逃しを抑えたい領域とが、混在する検出空間に対して、領域毎に、その領域に合わせた物体の検出が行える物体検出ユニットを提供する。
【解決手段】発光部３１を発光させて入出口の幅方向に検出波を照射し、受光部３２で反射波を検出する。記憶部５、物体の仮検出に用いる受光部３２の受光光量の下限を設定する仮検出レベル、および仮検出した物体の本検出に用いる受光部３２の受光光量であって、仮検出した物体までの距離に応じて下限を設定する本検出レベルを記憶する。測距部３は、受光部３２で検出した反射波の受光光量が、記憶部５に記憶している仮検出レベルを超えているときに、物体を仮検出するとともに、この仮検出した物体までの距離を算出する。制御部２は、本検出レベルを用いて、仮検出した物体が物体であるかどうかを判定する。 （もっと読む）

【課題】対象表面までの距離測定用で改善された範囲対分解能比を持った小型のクロマティック共焦点ポイントセンサ光学ペンを提供すること。
【解決手段】光学ペン２２０は測定範囲対分解能比を拡張する多段の光学的構造を含み、該光学的構造は少なくとも第一および最後の軸方向分散合焦要素２５０Ａ，２５０Ｂを含む。軸方向合焦要素は光学的に結合して光学ペン全体での軸方向色分散量の増加に貢献する。第一の軸方向分散合焦要素は光源放射光を受けてこれを多段の光学的構造内の第一の焦点領域に合焦する。最後の軸方向分散合焦要素は多段の光学的構造内の最後の焦点領域から放射光を受けて測定ビームＭＢを出力する。中間の焦点領域を形成する中間合焦要素を設けてもよい。このような光学的構造によって今までにない拡張された測定範囲Ｒ２、小さいレンズ径、および高い開口数を結合した光学ペンを提供できる。 （もっと読む）

【課題】対象物を光ストライプで照射し、対象物表面から反射した光を検出することで、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブを提供する。
【解決手段】走査プローブは、（ａ）光ストライプを生成および発するためのストライプ生成手段１４、（ｂ）対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ１６、（ｃ）カメラ１６によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプの強度を調節するための手段を備える。ストライプ長を修正する手段、処理手段のための隔離された区分室、およびスキャナのための取り付け可能なダストカバーを有するスキャナにも関する。 （もっと読む）

【課題】パネル上に穴加工の基準となる目標点の座標を短時間で検出することが可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る位置検出装置１は、被測定面と交差する方向の高さを有する基準ボルトＢの頭部Ｂｔに直線光を照射し、その反射光から基準ボルトＢの頭部Ｂｔまでの距離を測定する光学センサ２と、直線光を照射方向と交差する２つの方向へ移動させる回転支軸３と、光学センサ２により所定の値の距離が測定された時点の回転支軸３の移動位置を検出する位置センサと、この位置センサから得られた複数の位置データから２つの移動方向により規定される平面において、基準ボルトＢの略中心にあるボルト穴Ｐｂの中心の座標を演算する演算部と、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の三次元形状を容易に、且つリアルタイムに得ることができる表面形状計測装置、及び表面形状計測方法を提供する。
【解決手段】道路８の表面にレーザビーム９を走査させて、道路８の表面に照射したレーザビーム９の方位毎の測距データを出力する測域センサ１と、レーザビーム９の投光面の一部を含んだ道路８の表面を撮像するカメラ３と、測域センサ１、及びカメラ３を道路８の表面に沿って車輪７を回転させて移動させる走行台車５と、走行台車５により測域センサ１、及びカメラ３を移動させた時に測域センサ１から得られた測距データを演算処理してｚ軸方向の位置座標を求め、カメラ３から得られた画像データを演算処理してｘ軸方向、並びにｙ軸方向の位置座標を求める位置座標検出手段と、位置座標検出手段により求められた各軸方向の位置座標に基づいて道路８の三次元形状を演算するＰＣ４と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】光学式測位法を用いて圧電特性を測定する際に、照射光に対する反射光の散乱を防ぐことが容易で、圧電変形や圧電特性の測定精度が従来よりも高い測定装置および測定方法の提供を図る。
【解決手段】測定装置１はファイバーヘッド３、可動反射板５１、試料保持構造１０、測光部４、および、演算制御部５を備える。ファイバーヘッド３は照射光を照射し、その照射光の反射光を受光する。試料保持構造１０は、圧電体試料５０の下端部近傍を固定して圧電体試料５０の上端部側を自立させる。可動反射板５１は、下面が圧電体試料５０の上端部に接触するように配置され、ファイバーヘッド３の照射光を反射する。演算制御部５は、圧電体試料５０の圧電変形による可動反射板５１の変位を検出して圧電体試料５０の圧電特性を測定する。 （もっと読む）

【課題】Ｃ形フレームの機械的なドリフトによる距離検出器間の距離の変位を瞬時に測定し、厚さ測定誤差を補正する厚さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】Ｃ形フレーム３の腕部に設けられる第１の距離検出器１と第２の距離検出器２との出力から厚さを求める厚さ測定装置であって、Ｃ形フレーム３の腕部の下部に設けられ、腕部空間内に、レーザビームの光路にハーフミラーを設けて、当該ハーフミラーの反射した第１のレーザビームの位置の変化を検出する第１のビーム位置変位検出器４ａと、当該第１のビーム位置検出器の出力から第１のレーザビームの入射角度の変位と記第１の距離検出器と第２の距離検出器間の距離検出器間の距離の変位と、を求める第１のビーム位置変位処理部４ｂとを備え、厚さ測定値を自動的に補正するようにした厚さ測定装置。 （もっと読む）

【課題】単純な形状に限らず認識対象物を的確に抽出する。
【解決手段】形状認識装置１２０は、軸を有する３次元モデル１２２を示す３次元モデル情報を保持するモデル保持部２１０と、認識対象物１１２の３次元形状を示す認識対象情報を取得する認識対象情報取得部２３０と、認識対象情報と３次元モデル情報とに基づいて、認識対象物または３次元モデルを対称的に配置した２つの姿勢候補を示す姿勢候補情報を生成する姿勢候補情報生成部２３４と、認識対象物の姿勢候補情報と３次元モデル情報とに基づいて、または、認識対象情報と３次元モデルの姿勢候補情報とに基づいて認識対象物の位置および姿勢を特定する認識対象物特定部２３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】ストレートエッジと同等の精度で真直度の測定、調整ができる小型軽量安価な真直度測定装置の提供。
【解決手段】光位置センサ７が、測定対象１２に沿って摺動させられつつ、光ビーム出力部１からの光ビームを受光した平面上の位置を検出することにより、測定対象１２の真直度を測定する真直度測定装置。光ビーム出力部１及び光位置センサ７間の距離を距離センサ６が測定し、受光する平面上の任意の位置を基準位置として受付け、校正動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差を、位置の検出時に距離センサ６が測定した距離と共に記憶しておき、測定動作時に、基準位置及び光位置センサ７が検出した位置の差を算出し、算出した差から、位置の検出時に測定した距離に対応して記憶している差を差引いた結果を距離と共に表示部１１に表示する構成である。 （もっと読む）

【課題】変位量への換算を迅速に処理する。
【解決手段】 対物レンズ１８は、光源１３が発した光束を被検面２３ａ上に微小スポットとして投射する。シリンドリカルレンズユニット２１は、曲率半径の異なる２つのシリンドリカルレンズ３０，３１をもっており、それぞれに被検面２３ａで反射した反射光束に異なる量の非点収差を与える。受光センサ１９は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部２４は、受光面から得られる出力信号に基づいて被検面２３ａの変位を検出する。選択部３３は、被検面２３ａの検出範囲に応じて、いずれか一方のシリンドリカルレンズ３０，３１を光路上にセットするように移動機構２２を制御する。 （もっと読む）

【課題】炉壁表面の凹凸形状を測定するためのレーザ光と炉壁の自発光とを同時に取得しつつもレーザ光と自発光とが干渉せず、炉壁表面に対し垂直方向の計測可能範囲およびレーザ光の照射範囲を広くする。
【解決手段】スリット状の窓２を有する断熱性保護箱３の内部に配置された、スリット状のレーザ光を射出するスリットレーザ光源４と、レーザ光を反射して窓２を介して炉壁表面へレーザ光を照射するレーザ光用ミラー５と、窓２を介して断熱性保護箱３の内部に入射する、レーザ光の照射による炉壁表面の反射光および炉壁表面が発する自発光を反射する撮像用ミラー６と、撮像用ミラー６から反射された自発光と反射光とを光学フィルタ７を介して撮像する撮像装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】うねりによる影響を極力無くして被検面の変位量を検出する。
【解決手段】 対物レンズ１８は、光源１３が発した光束を被検面２３ａ上に微小なビーム光として投射する。シリンドリカルレンズ２１は、被検面２３ａで反射した反射光束に非点収差を与える。受光センサ１９は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部２６は、受光面から得られる変位信号に基づいて被検面２３ａの変位を検出する。表面すねり補正部２８は、変位信号に基づいて表面のうねりの周期ピッチを求め、その時点の被検面２３ａ上のビーム径が周期ピッチよりも大きくなるように集光レンズ２０と受光面１９ａとの間隔を変え、これに連動して対物レンズ１８を移動する。 （もっと読む）

【課題】置の大型化を招くことなく移動ステージの位置検出を可能とする測定装置を提供する。
【解決手段】第１軸方向に沿って可動体に第１ビームを出射し、可動体で反射した第１ビームが第１光路で進む前記第１光学部材と、第１軸方向に沿って可動体に第２ビームを出射し、可動体で反射した第２ビームが第２光路で進む第２光学部材と、第１軸方向に沿って可動体に第３ビームを出射し、可動体で反射した第３ビームが第３光路で進む第３光学部材と、第１光路を進んだ第１ビーム、及び第２光路を進んだ第２ビームが互いに干渉する干渉計と、干渉計での干渉に基づいて、第３軸方向における可動体の位置情報を得る算出装置とを備え、第１軸方向に沿って可動体に向かう第３ビームの進路は、第３軸方向について、第１光路の進路と第２光路の進路との間に位置する。 （もっと読む）

【課題】広い範囲にわたって対象物体の位置を光学的に検出することのできる光学式位置検出装置、および位置検出システムを提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２は、検出光Ｌ２の出射強度が出射角度範囲の一方側から他方側に向かって減少する第１点灯動作と、検出光Ｌ２の出射強度が出射角度範囲の他方側から一方側に向かって減少する第２点灯動作とを行う。従って、第１点灯動作時における受光部１３の受光強度と第２点灯動作時における受光部１３の受光強度との比較結果に基づいて検出用光源部１２に対する対象物体Ｏｂの角度位置（角度θ）を検出でき、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射した際の受光部１３の受光強度に基づいて検出用光源部１２から対象物体Ｏｂまでの距離ｒを検出できる。 （もっと読む）

【課題】軌間外の建築限界を支障しない箇所に１つのセンサを設置するだけで車輪のレールに対するアタック角を測定することができ、複数のセンサを用いることや、高い精度でのゼロ点調整が不要な、鉄道車両アタック角測定装置および方法を提供する。
【解決手段】レールを走行する鉄道車両の車輪Ｗが通過する位置が測定範囲となるように設置され、測定点を通過する前記車輪Ｗまでの距離を連続的に測定するセンサ部１２と、前記センサ部１２による測定結果を受信して解析する処理部１４と、を有し、前記処理部１４は、前記センサ部１２の測定結果から、前記車両の走行速度と、所定時間における車輪Ｗまでの距離の変化量を算出し、前記走行速度に前記所定時間を乗じた値と、前記所定時間における車輪Ｗまでの距離の変化量とから、その車輪の前記レールに対するアタック角を算出する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダで位置を測定しつつ、移動体を所望の方向へ精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハテーブルＷＴＢのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６４の計測値とその計測時に干渉計１６，４３Ａ及び４３Ｂによって計測されるウエハテーブルＷＴＢの非計測方向（例えば、Ｚ、θｚ及びθｘ方向）の位置情報に応じた既知の補正情報とに基づいて、ウエハテーブルがＹ軸方向に駆動される。すなわち、非計測方向へのヘッドとスケールの相対変位に起因するエンコーダの計測誤差を補正する補正情報により補正されたエンコーダの計測値に基づいて移動体がＹ軸方向に駆動される。従って、ヘッドとスケールの間の計測したい方向（計測方向）以外の相対運動に影響を受けることなく、エンコーダで位置を計測しつつ、ウエハテーブル（移動体）を所望の方向へ精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】温度センサ等を追加しなくても、環境温度の変化に応じた適正な補正を行うことのできる光学式位置検出装置および光学式位置検出方法を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０および光学式位置検出方法において、補正条件決定部６４は、対象物体Ｏｂが存在しないデフォルト状態により位置検出部５０で検出されたデフォルト二次元座標データの第１座標値と第２座標値との比較結果に基づいて補正条件を決定し、位置検出部５０により対象物体Ｏｂの二次元座標データを検出する際、補正条件に対応する補正が行われる。従って、環境温度を直接、測定しなくても、温度補正を行うことができるので、検出用光源１２からの検出光の出射強度が環境温度によって変化した場合でも、対象物体Ｏｂの二次元座標データを精度よく検出することができる。 （もっと読む）

【課題】加工物の表面欠陥を自動的に検出するとともに、作業者に対して安全な環境を維持しつつ、その表面欠陥の位置を正確かつすばやく明示し、その後の表面欠陥の再加工を円滑に行わせることのできる表面欠陥検出・指示システムおよび表面処理の伴う加工物の製造方法を提供する。
【解決手段】ロボットの動作範囲内に表面処理された加工物を置いて、その加工物の表面をスキャンさせ、表面欠陥があったときには、その欠陥位置を特定する情報を記憶させておき、そのスキャン後に、加工物をロボットの動作範囲外におき、欠陥位置情報をもとに指示器がその表面欠陥の位置を光で照射することのほか、その照射した光が指し示す加工物の表面部位に対して再表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】画像と３次元形状モデルの誤対応を減らし、高速でロバストな物体の位置及び姿勢の計測を実現する。
【解決手段】物体の３次元形状モデルを保存する保存部１１０と、物体の濃淡画像を入力する濃淡画像入力部１３０と、物体の距離画像を入力する距離画像入力部１５０と、位置姿勢計測装置１００に対する物体の概略の位置及び姿勢を入力する概略位置姿勢入力部１２０と、濃淡画像の情報を利用して、物体の概略の位置及び姿勢をもとに物体の第１の位置及び姿勢を算出するとともに、第１の位置及び姿勢を用いて算出される３次元形状モデルの画像面上での投影位置をもとに、距離画像から得られる３次元点群または当該３次元点群及び濃淡画像の画像特徴群と、３次元形状モデルとの対応付けを行い、当該対応付け結果に基づいて第２の位置及び姿勢を算出する位置姿勢算出部１６０を備える。 （もっと読む）